KR20020044155A - 일체식 테스트 셀 - Google Patents

Abstract

핸들링 장치 위에 배치된 반도체 디바이스를 테스트하기 위해 적용된 반도체 테스터가 개시되었다. 이 반도체 테스터는 자체 지지 프레임을 형성하고, 핸들링 장치를 수용하기 위해 적용된 외부로부터 접근가능한 개구가 형성된 테스터 하우징을 포함한다. 테스트 컨트롤러는 하우징내에 배치되고 프레임에 의해 유지된다. 테스터 회로를 포함하는 핀 전자장치는 테스트 컨트롤러에 응답하고 이 테스트 컨트롤러에 인접하여 연결되어 있으며 프레임에 장착되어 있다. 도킹 장치는 개구 위에 배치되고 테스터 회로를 핸들링 장치에 연결하도록 적용된다.

Description

일체식 테스트 셀{INTEGRATED TEST CELL}

반도체 디바이스의 제조자는 일상적으로 웨이퍼 및 패키지된 디바이스 레벨로 그들의 제품을 테스트한다. 통상 테스트는 보통 자동 테스트 장비로 불리는 정교한 시스템에 의해 수행된다. 이 장비는 파형을 구동시키고 하나 이상의 테스트중인 디바이스(DUT)로부터의 출력을 검출한다. 그후에, 검출된 출력은 디바이스가 정확한 기능을 하는지를 결정하기 위해 예상치와 비교된다.

반도체 제조자의 중요한 관심사는 테스트에 유용한 제한된 바닥 면적의 사용을 어떻게 극대화하는가이다. 전형적으로, 먼지 또는 입자로 인한 불량의 가능성을 최소화하기 위해 반도체 디바이스를 테스트하는 동안 엄격한 청결상태가 요구된다. 그러한 요구조건을 만족시키기 위해, 상기 자동 테스트 장비는 특정 애플리케이션에 따른 입자의 크기 및 수를 최소화하는 정교한 클린룸내에 위치된다. 클린룸을 작동시키고 유지하기 위해 필요한 비용 때문에, 클린룸 바닥 면적을 극대화하는 것은 제조 비용을 최소화하는데 필수적이다.

종래 반도체 테스터의 한 타입은 일반적으로 메인프레임 컴퓨터, 또는 테스트 컨트롤러, 및 상대적으로 큰 케이블 다발을 통해 컨트롤러에 연결된 테스트헤드를 포함한다. 이 테스트헤드는 전형적으로 수 백 파운드이고 테스트중인 반도체(DUTs)에 연결하는 복잡한 회로를 포함하는 복수의 채널 카드를 수용한다. 이 테스트헤드는 이 테스트헤드를 필요한 대로 다양한 위치로 이동시키고 조정시키는 머니퓰레이터에 고정되어 있다.

효율적인 반도체 디바이스 테스트에는 일반적으로 테스트중인 디바이스(DUT)를 테스터에 이동시켜 빠르게 연결시키는 장치가 필요하다. 웨이퍼를 이동시키기 위해, 프로버로 불리는 기계가 사용된다. 패키지된 부분을 조정하기 위해, 핸들러로 불리는 디바이스가 사용된다. 이러한 유닛은 반도체 디바이스를 정교하게 위치시켜 이 반도체 디바이스가 테스터의 출력부에 접촉하게 한다. 프로버, 핸들러 및 DUT를 테스트헤드에 대하여 상대적으로 위치시키는 다른 디바이스는 일반적으로 "핸들링 장치"로 불린다.

상술된 종래 테스터가 그 적용에 있어서 유익한 것으로 나타나지만, 테스트헤드를 정위치에 이동시켜 정렬시키는 복잡하고 자동화된 머니퓰레이터의 필요로 인하여, 테스트 시스템에 바람직하지 않은 비용이 추가된다. 머니퓰레이터는 종종 수 십만 달러의 비용 상승을 가져온다. 또한, 훨씬 더 중요한 것은 머니퓰레이터에 요구되는 바닥 면적과 조합된 테스트헤드의 개별적인 성질은 상대적으로 큰 푸트프린트에 기여하게 된다. 이것은 바람직하지 않게 주어진 클린룸내에서 동작할 수 있는 테스터의 수를 감소시키게 되고, 그래서 디바이스 작업량을 감소시켜 전체적인유닛 비용을 증가시키게 된다.

테스터 푸트프린트에 대하여 설명하기 위하여, 반도체 테스터에 대한 한 제안으로 메인프레임/테스트헤드 유닛을 프로버 또는 핸들러의 상부에 수직으로 위치시킨다. 이러한 타입의 테스터의 예가 미국 매사츄세츠, 보스톤의 Teradyne Inc.에 의해 제조된 Teradyne Model J750 Tester에서 발견된다. 이러한 구조는 클린룸의 수직 치수를 유익하게 이용함으로써 테스터 푸트프린트를 극적으로 감소시킨다. 결과적으로, 더 많은 테스터가 주어진 클린룸 공간내에 고정될 수 있다.

상술된 수직 구성이 실질적인 푸트프린트 감소의 유익을 나타내지만, 프로버 또는 핸들러는 일반적으로 메인프레임/테스트헤드 유닛을 지지한다. 결과적으로, 머니퓰레이터는 여전히 유닛의 초기 설치 또는 종종 핸들러 또는 프로버로부터 메인프레임/테스트헤드 유닛의 임시적인 제거와 같은 목적을 달성하기 위해 필요하다. 결과적으로, 임시적인 작동을 위해, 공간은 자주 머니퓰레이터의 진입 및 빠짐을 위해 클린룸내에서 유용해야만 한다. 이렇게 임시 공간은 더 많은 테스터 및 더 많은 작업량을 위해 플로어 룸 면적을 차지하게 된다.

필요하지만 이제까지 유용하지 못했던 것은 최소한의 푸트프린트를 포함하고 동작상 아무 머니퓰레이터도 필요하지 않은 반도체 테스트 시스템이다. 본 발명의 일체식 테스트 셀은 이러한 필요를 충족시킨다.

본 발명은 일반적으로 반도체 디바이스를 테스트하는 자동 테스트 장비에 관한 것이고, 보다 상세하게는 반도체 디바이스를 테스트하는 실질적으로 감소된 푸트프린트를 갖는 일체식 자동 테스트 시스템에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 테스터의 전방 사시도,

도 2는 외부 판넬이 투명한 도 1의 반도체 테스터의 입면 사시도,

도 3은 도 2의 반도체 테스터의 부분 전방 평면도,

도 4는 본 발명에 대한 카트 장치에 의해 유지되는 핸들링 장치의 부분도, 및

도 5는 도 1의 테스터내에 사용하기 위한 인터페이스 장치의 사시도.

본 발명의 일체식 테스트 셀은 프로버 또는 핸들러와 같은 핸들링 디바이스로부터 도킹 해제하는 일 없이 반도체 테스터를 동작시키는 능력을 제공한다. 그결과로, 머니퓰레이터를 사용할 필요가 없고, 그래서 비용을 극적으로 감소시킨다. 이것은 또한 테스터의 평균 수리 시간(MTTR)의 상당한 감소에 기여한다. 더욱이, 테스트 셀의 수직적인 성질은 실질적으로 감소된 푸트프린트를 나타내고, 그래서 유용한 클린룸 바닥 면적을 극대화할 수 있다.

상기 장점을 실현하기 위하여, 한 형태로서 본 발명은 핸들링 장치상에 배치된 반도체 디바이스를 테스트하기 위해 적용된 반도체 테스터를 포함한다. 반도체 테스터는 자체 지지 프레임을 형성하고 핸들링 장치를 수용하기 위해 적용된 외부로부터 접근가능한 개구로 구성된 테스터 하우징을 포함한다. 테스트 컨트롤러는 하우징내에 배치되고 프레임에 의해 유지된다. 테스터 회로를 포함하는 핀 전자장치는 테스트 컨트롤러에 응답하고 테스트 컨트롤러에 인접하여 연결되며 프레임에 장착된다. 도킹 장치는 개구 위에 배치되고 테스터 회로를 핸들링 장치에 연결하기 위해 적용된다.

또 다른 형태에서, 본 발명은 반도체 디바이스를 테스트하는 일체식 테스트 셀을 포함한다. 이 일체식 테스트 셀은 반도체 디바이스를 테스트가능한 위치로 고정시키기 위해 적용된 핸들링 장치 및 자체 지지 프레임을 형성하는 테스터 하우징을 포함한다. 프레임은 핸들링 장치를 수용하도록 적용된 외부로부터 접근가능한 개구가 형성된다. 테스트 컨트롤러는 하우징내에 배치되고 프레임에 의해 유지된다. 테스터 회로를 포함하는 핀 전자장치는 테스트 컨트롤러에 응답하고 테스트 컨프롤러에 인접하게 연결되고 프레임에 장착된다. 도킹 장치는 개구 위에 배치되고 핸들링 장치에 테스터 회로를 연결하기 위해 적용된다.

또 다른 형태에서, 본 발명은 일체식 테스트 셀내에 핸들링 장치를 맞물려 핸들링 장치가 테스트 셀로/로부터 선택적으로 진입 및 빠지게 하는 카트 장치를 포함한다. 이 카트 장치는 평행 관계로 배치된 각각의 전후방 채널 지지부 및 이 전후방 채널 지지부의 각 단부에 고정된 한 쌍의 측방향 측부 빔을 포함한다. 이 측부 빔은 직각 플랫폼을 형성하기 채널 지지부와 협동한다. 이 카트 장치는 전후방 채널 지지부에 고정된 수직방향의 직립 핸들 및 카트를 선택적으로 이동시키기 위해 플랫폼의 바로 아래에 배치된 복수의 캐스터를 또 포함한다.

또 다른 형태에서 본 발명은 반도체 테스터를 핸들링 장치에 연결시키는 방법을 포함한다. 이 방법은 핸들링 장치를 수용하기 위해 테스터내에 개구를 제공하는 단계, 이 핸들링 장치를 개구내에 미끄러지게 하는 단계 및 테스터를 핸들링 장치에 도킹하는 단계를 포함한다.

본 발명의 다른 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조함으로써 하기 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다.

도 1에서, 본 발명의 일 실시예에 따르고 일반적으로 10으로 표시된 반도체 테스터는 테스터 시스템의 수평 치수와 관련된 테스트 푸트프린트를 최소화함으로써 제조 효율에서 실질적인 장점을 제공한다. 핸들링 장치(54; 도 4))를 미끄러짐가능하게 수용하도록 적용된 개구(52)로 형성된 자체 지지 프레임(12)을 사용함으로써 최소화된다. 핀 전자장치(39; 도 2)는 도킹 장치(80; 도 5)를 따라 프레임내에 장착된다. 이 도킹 장치는 머니퓰레이터를 사용함 없이 도킹된 핸들링 장치의 종래 내구성을 제공하고, 그래서 주어진 클린룸내의 상대적으로 높은 테스터 시스템 밀도 및 이에 상응하는 감소된 제조 비용을 가능하게 한다.

이제 도 2 및 도 3에서, 프레임(12)은 전자장치 플랫폼(30)을 구비하고 각각 마주보도록 배치된 제1 및 제2 베이스 지지 구조(14,28)로 형성되어 있다. 전체 프레임 구조는 강으로 구성되어 있고 상대적으로 작은 수평 푸트프린트를 형성하기 위해 수직으로 돌출되어 있다. 제1 베이스 지지부(14)는 직립 직각 단면부로 형성되어 있고 중앙 처리 장치(CPU; 16), 냉각 분배 유닛(CDU), 및 전력 배전 유닛(PDU; 20)을 장착하는 복수의 개방 구획을 포함한다. 한 쌍의 이격된 레벨러(22,24)는 제1 베이스 지지부의 전반부에 조정가능한 레벨링 능력을 제공하고 후반부는 용이한 물 및 전력 액세스 포트(26)를 포함한다. 제2 베이스 지지부(28)는 제1 지지부와 실질적으로 평행한 관계로 수직으로 돌출한다. 직각 단면이 상대적으로 좁게 형성된 제2 베이스 지지부는 최하단부에 마주 보도록 배치된 한 쌍의 캐스터(29; 오직 하나만이 도시됨)를 포함한다.

또한, 도 2 및 도 3에서, 전자장치 플랫폼(30)은 베이스 지지부(14,28)와 일체식으로 형성되고 상기 베이스 지지부를 가로질러 수평으로 배치된다. 이 플랫폼은 측부가 직각인 구조를 형성하도록 협동하고 제1 및 제2 공동(32,34) 각각을 형성하는 용접된 바의 네트워크를 포함한다. 이 공동은 상부에 그리고 원형상의 프로부 링(36; 도 3)의 반대측상에 위치되고 제1 및 제2 카드케이지 어셈블리(38,40) 각각을 장착하도록 적용된다. 이 카드케이지는 반도체 디바이스(도시되지 않음)를 테스트하기 위해 테스터 핀 전자장치(39)를 수용한다. 이 플래폼은 전원(44,46; 도 3)의 각각의 스택을 네스팅하는 수직방향으로 뻗은 랙 골조(42)로 형성된 후반부를 포함한다.

또한, 도 2에서, 복수의 팬(50) 및 열 교환기(51)를 구비하도록 형성된 냉각 시스템 지지 구조(48)는 각 카드케이지(38,40) 위에 배치된다. 이 팬 및 열 교환기는 밀봉된 냉각 시스템의 일부를 형성하고 이 밀봉된 냉각 시스템은 본 발명의 양수인에게 양도된 1999년 7월 23일에 출원된 "Semiconductor Tester Cooling System"으로 표제되고 여기에 참조된 계류중인 미국 특허 출원 제 09/360180호에 보다 자세하게 설명되어 있다. 제1 및 제2 베이스 지지부(14,28) 및 전자장치 플랫폼(30)은 핸들링 장치(54; 도 4)를 미끄러짐가능하게 수용하도록 적용된 측방향으로 접근가능한 개구(52)를 집합적으로 형성한다.

도 4에서 보다 상세하게 설명하면, 개구(52)에 접근하기 위하여, 핸들링 장치(54)는 이동가능한 카트 장치(60)에 의해 미끄러짐가능하게 유지되는 것이 바람직하다. 이 카트 장치는 평행한 관계로 배치된 전후방 강 채널 지지부(62,64) 각각을 포함하고 이 지지부는 여기에 고정된 한 쌍의 측부 빔(66,68)에 의해 측방향으로 바운딩되어 있다. 측부 빔 및 채널 지지부는 직각 플랫폼을 형성하도록 협동한다. 수직 직립 강 핸들(70)이 약 25 파운드의 척력/인력으로 프로버/카트 어셈블리를 이동시키는 전방 채널 지지부(62)에 장착되어 있다. 복수의 로킹 캐스터(72)는 필요한 선택적인 이동성을 제공한다. 용이하게 위치된 시각적 표시기(도시되지 않음)는 유닛이 프레임 개구(52)내에 설치됨에 따라 조종자에 대해 거친 정렬 능력을 제공하는 피드백 메카니즘(도시되지 않음)과 협동한다.

도 5에서, 도킹 장치(80)는 핸들링 장치(도시되지 않음)에 반도체 테스터(10)를 정렬하고 도킹하도록 용이하게 적용된다. 이 도킹 장치는 프로브 링 어셈블리(36) 및 하나의 머니퓰레이터에 의해 핸들링 장치(도시되지 않음)로 프로브 링을 정확하게 수동 정렬시킬 수 있는 자체 정렬 메카니즘(90)을 포함한다.

이 프로브 링 어셈블리(36)는 테스터(10)의 핀 전자장치 및 프로버가 지원된 웨이퍼(도시되지 않음)상에 배치된 평행 어레이의 테스트중인 디바이스(도시되지 않음) 사이에 신호 채널의 고밀도 루팅을 제공하도록 모듈러 구획 또는 공동(도시되지 않음)으로 원형상으로 형성된다. 방사방향으로 돌출된 핸들(82) 및 복수의 캠 그루브(83)가 링의 주변에 배치된다. 핀 전자장치(39)를 핸들링 장치(54)에 연결하는 프로브 링 및 관련된 루팅 회로는 본 발명의 양수인에게 양도되고 1999년 6월 28일에 출원된 "Semiconductor Parallel Tester"로 표제되고 여기에 참조된 계류중인 미국 특허 출원 제 09/340,832호에 보다 자세하게 설명되었다.

자체 정렬 메카니즘(90)은 카드 케이지 백플레인 어셈블리(91)의 하나에 가깝게 인접하여 프레임(12)에 용접된 측방향 및 길이방향의 지지부(92,94) 각각에 의해 유지된다. 이 정렬 메카니즘은 동작 동안에 압축 바(96)로서 기능하는 수직방향으로 뻗은 아암을 통해 프로브 링(36)에 연결되어 있다. 이 아암은 피봇(98)에 연결된 커넥터(97)에 의해 프로브 링에 고정되어 있다. 듀얼 축 테이블(100)은 확장 아암상에 장착되고 X 및 Y 축을 따라 프로브 링을 수평방향으로 지향시키는 각 선형 베어링(102,104)을 포함한다. 카운터웨이트 어셈블리(106)는 압축 바에 연결되어 있고 가이드 레일(110)을 따라 미끄러짐가능하고, 프로브 링을 수직방향으로 변위시키는 한 쌍의 직렬 도르래(114,118)를 트래버싱하는 케이블(112)을 통해 확장 아암에 구속된다.

프로버 애플리케이션에 있어서, 바람직한 핸들링 장치는 일본 도쿄의 Tokyo Electronics, Ltd.에 의해 제조된 TEL P8XL Prober이다. 이 프로버는 캠 그루브(83)와 고정되는 복수의 캠 폴로어(85)로 형성되는 베이스 링(37)을 포함한다. 또한 프로브 링 포고 핀(도시되지 않음)을 압축하는 자동 프로브 카드 교환기(도시되지 않음)가 제공된다. 이러한 기계는 32 사이트, 하이 핀 카운트 애플리케이션로서 기능할 수 있는 하이 z-포스 척을 가지는 것으로 알려져 있다. 선택적으로, 프로버는 시스템 오퍼레이터에 대한 모니터 디스플레이 및 키보드의 수를 최소화하는 장점을 위해 테스터(10)와 오퍼레이터 인터페이스(120; 도 1)를 공유할 수 있다.

패키지된 디바이스 테스팅을 포함하는 상황에서, 바람직한 핸들링 장치는 뉴햄프셔 베드포드의 Kinetrix, Inc.에 의해 제조된 Galileo model Handler를 포함한다. 이 핸들러는 표준 JEDEC 디바이스 트레이를 조정하고 DUT 핫 및 콜드 소킹 능력을 제공한다. 또한, 이 핸들러는 컨택터 소켓내로 및 밖으로 DUTs를 이동시키도록 최적화되어 있고, 그래서 매우 낮은 고장율 및 높은 작업량을 제공한다.

테스트 시스템의 초기 설정은 서비스 카트(60)와 프로버를 맞물리게 함으로써 프레임 개구(52)내에 프로버(54)를 설치하는 단계를 포함한다. 이것은 프로버 레벨링 피트가 채널 지지부(62,64)에 의해 유지되도록 프로버 바로 밑에 먼저 카트를 위치시키는 단계를 포함한다. 그후에 이 프로버는 프레임 개구(52)내로 미끄러져 레벨링된다. 일단 프로버는 프로브 링에 대하여 개구내에 대략 정렬되면, 조종자는 도킹 장치를 프로버에 단단히 도킹하도록 아래의 도킹 단계를 시작할 수 있다.

도 5에서, 조종자는 프로브 링(36)을 베이스 링(37)위로 수동으로 낮춤으로써 도킹을 초기화한다. 이 프로브 링은 테스터 메인프레임으로의 커넥션의 지점에서 X-Y 테이블(100)로 인하여 전후방 그리고 측방향으로 이동할 수 있다. 이것은 프로버 및 테스터 사이의 오정렬을 최소화할 수 있다. 프로브 링은 도르래가 달린 카운터웨이트(100)으로 인하여 용이하게 상하로 이동할 수 있다.

그후에 조종자는 프로브 링이 베이스 링의 내경에 들어가 캠 폴로어(85)가 캠 그루브(83)와 고정되도록 프로브 링을 육안으로 정렬시킨다. 일단 이렇게 정렬하면, 조종자는 핸들을 반시계방향으로 약 22도 회전시킴으로써 캠 록이 맞물리게 할 수 있다. 이러한 지점에서, 도킹은 완료되고 조종자는 포고 핀을 압축하기 위해 자동 프로브 카드 교환기(도시되지 않음)를 초기화할 수 있다. 그다음, 프로버 및테스터 사이의 전기적인 접속이 완료된다.

상기 도킹 고정 및 당업자에게 잘 알려진 교정 공정에 이어서 웨이퍼 레벨에서의 하나 이상의 반도체 디바이스가 테스트된다. 이것은 통상 당업자에게 잘 알려진 디바이스 로의/로부터의 테스터 파형의 인가 및 포착을 포함한다.

특정 지점에서 핸들링 장치(54) 및/또는 테스터(10)는 예방 정비를 위해 예를 들어 프로버 헤드 플레이트(122; 도 4)에 접근하는 기능이 필요할 수도 있다. 테스터 프레임의 자체 지지 성질 때문에, 동작을 위해 잠금해제 공정을 돕기 위해 어떤 머니퓰레이터도 필요하지 않다. 차라리, 조종자는 파스너를 해제하고 프로브 링 핸들을 통해 프로브 링을 상승시킴으로써 프로버로부터 프로브 링을 단순히 연결해제시킨다.

당업자는 본 발명에 의해 허용되는 많은 이익 및 장점을 이해할 것이다. 반도체 제조자가 클린룸 공간의 사용을 극대화할 수 있도록 테스터 푸트프린트를 극적으로 감소시킨 것은 상당히 중요하다. 클린룸 사용을 극대화함으로써, 더 많은 테스터가 사용되어 디바이스 작업량을 향상시키고 비용을 감소시킬 수 있게 된다. 또한, 일체식 테스트 셀의 자체 지지 성질 때문에, 테스터를 사용할 때 비싸고 거대한 머니퓰레이터를 사용할 필요가 없다. 이러한 특징은 구성요소의 비용을 감소시킴과 동시에, 평균 수리 시간 또한 직접적인 도킹 능력으로 인해 실질적으로 감소될 수 있고, 그래서 테스터 작업량을 극대화한다.

본 발명이 바람직한 실시예에 관하여 특별히 도시되고 설명되었지만, 형태및 상세한 부분에 있어서의 다양한 변화가 본 발명의 정신 및 범위를 벗어남 없이 만들어질 수 있다는 것을 당업자는 이해할 것이다.

Claims (20)

1. 핸들링 장치상에 배치된 반도체 디바이스를 테스트하기 위해 적용된 반도체 테스터에 있어서,

   자체 지지 프레임을 형성하고, 상기 핸들링 장치를 수용하기 위해 적용되고 외부로부터 접근가능한 개구가 형성된 테스터 하우징;

   상기 하우징내에 배치되고 상기 프레임에 유지된 테스트 컨트롤러;

   상기 테스트 컨트롤러에 인접하여 연결되고 상기 프레임에 장착되며 상기 테스트 컨트롤러에 응답하는, 테스터 회로를 포함하는 핀 전자장치; 및

   상기 개구 위에 배치되고 상기 핸들링 장치에 상기 테스터 회로를 연결하기 위해 적용된 도킹 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스터.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 도킹 장치는 상기 핸들링 장치와 맞물리도록 적용된 프로브 링 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스터.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 프로브 링 어셈블리는 상기 프로브 링을 상기 핸들링 장치와 함께 정렬시키는 자체 정렬 메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스터.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 자체 정렬 메카니즘은

   다중 축 테이블;

   상기 다중 축 테이블에 고정되고, 상기 링상에 배치된 피봇을 통하여 상기 프로브 링에 고정된 수직방향으로 뻗은 압축 바; 및

   상기 프로브 링을 상기 피봇의 둘레로 수동으로 회전시키기 위해 상기 프로브 링에 장착된 핸들;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스터.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 프레임은 복수의 카드케이지 모듈을 형성하고, 상기 핀 전자장치는 상기 카드케이지 모듈내에 이격된 관계로 배치된 복수의 채널 카드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스터.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 프레임은 제1 베이스 지지부 및 제2 베이스 지지부 각각을 포함하고, 상기 개구는 상기 베이스 지지부 사이에 형성되며,

   상기 카드케이지 모듈은 상기 개구 위에 마주보며 이격된 관계로 한 쌍의 카드케이지 세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 테스터.
7. 반도체 디바이스를 테스트하는 일체식 테스트 셀에 있어서,

   상기 반도체 디바이스를 테스트가능한 위치로 고정시키기 위해 적용되는 핸들링 장치;

   자체 지지 프레임을 형성하고, 상기 핸들링 장치를 수용하기 위해 적용되고 외부로부터 접근가능한 개구가 형성된 테스터 하우징;

   상기 하우징내에 배치되고 상기 프레임에 의해 유지되는 테스트 컨트롤러;

   상기 테스트 컨트롤러에 인접하여 연결되고 상기 프레임에 장착되며 상기 테스트 컨트롤러에 응답하는, 테스터 회로를 포함하는 핀 전자장치; 및

   상기 개구 위에 배치되고 상기 핸들링 장치에 상기 테스터 회로를 연결시키기 위해 적용된 도킹 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 핸들링 장치는 프로버를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
9. 제 7 항에 있어서, 상기 핸들링 장치는 핸들러를 포함하는 것을 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
10. 제 7 항에 있어서,

    상기 핸들링 장치와 끼워 맞추어지고 상기 개구로/로부터 상기 핸들링 장치가 선택적으로 미끄러짐가능하게 진입하고 빠지도록 적용된 카트 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 카트 장치는

    평행 관계로 배치된 각각의 전후방 채널 지지부;

    상기 전후방 채널 지지부의 각 단부에 끼워 맞추어지고 상기 전후방 채널 지지부와 협동하여 직각 플랫폼을 형성하는 한 쌍의 측방향의 측부 빔;

    상기 전방 채널 지지부에 끼워 맞춤된 수직방향의 직립 핸들; 및

    상기 플랫폼의 바로 아래에 배치되어 상기 카트에 대한 선택적인 이동성을 제공하는 복수의 캐스터;를 포함하는 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 캐스터는 최대 약 25 파운드의 척력/인력으로 상기 카트를 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
13. 제 12 항에 있어서, 상기 카트 장치는 거친 정렬 메카니즘 또는 상기 핸들링 장치를 상기 프레임 개구내에 거칠게 위치시키는 정렬 메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 일체식 테스트 셀.
14. 상기 핸들링 장치와 맞물리고 상기 테스트 셀로/로부터 상기 핸들링 장치가 선택적으로 진입하고 빠지도록 하는 카트 장치에 있어서,

    평행 관계로 배치된 각각의 전후방 채널 지지부;

    상기 전후방 채널 지지부의 각 단부에 끼워 맞추어지고 상기 전후방 채널 지지부와 협동하여 직각 플랫폼을 형성하는 한 쌍의 측방향의 측부 빔;

    상기 전방 채널 지지부에 끼워 맞추어진 수직방향의 직립 핸들; 및

    상기 플랫폼의 바로 아래에 배치되어 상기 카트에 대해 선택적인 이동을 제공하는 복수의 캐스터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 카트 장치.
15. 제 14 항에 있어서, 상기 캐스터는 최대 약 25 파운드의 척력/인력으로 상기 카트를 이동시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 카트 장치.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 카트 장치는 거친 정렬 메카니즘 또는 상기 핸들링 장치를 상기 프레임 개구내에 거칠게 위치시키는 정렬 메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 카트 장치.
17. 일체식 테스트 셀을 형성하기 위해 해느ㄷㄹ링 장치와 반도체 테스트 시스템을 연결시키는 방법에 있어서,

    상기 테스터는 자체 지지 프레임을 포함하고 도킹 장치는 위치지정가능한 프로브 링을 포함하며, 상기 방법은

    베이스 링을 구비한 상기 핸들링 장치를 수용하기 위해 상기 테스터내에 개구를 제공하는 단계;

    상기 핸들링 장치를 상기 개구내로 미끄러지게 하는 단계; 및

    상기 테스터를 상기 핸들링 장치에 도킹하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
18. 제 17 항에 있어서, 상기 미끄러지게 하는 단계는

    상기 핸들링 장치를 이동 카트 장치상에 유지시키는 단계; 및

    상기 핸들링 장치를 상기 개구내에 거칠게 정렬시키도록 상기 카트 장치를 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 방법.
19. 제 17 항에 있어서, 상기 도킹하는 단계는

    상기 프로브 링을 상기 베이스 링 위로 수동으로 낮추는 단계;

    상기 프로브 링을 상기 베이스 링내에 겉보기로 정렬시키는 단계; 및

    상기 프로브 링을 상기 베이스 링에 잠금하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
20. 반도체 테스트 시스템이 핸들링 디바이스에 도킹된 반도체 테스터를 포함하는 기능을 하는 방법에 있어서,

    상기 프로브 링을 상기 베이스 링으로부터 잠금해제하고;

    상기 프로브 링을 상기 베이스 링내로부터 수동으로 상승시킴;으로써

    상기 핸들링 디바이스로부터 상기 테스터를 잠금해제하는 단계; 및

    소정의 기능 공정을 위해 상기 핸들링 장치에 접근하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.