JP3869465B2 - 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ - Google Patents
自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3869465B2 JP3869465B2 JP52565196A JP52565196A JP3869465B2 JP 3869465 B2 JP3869465 B2 JP 3869465B2 JP 52565196 A JP52565196 A JP 52565196A JP 52565196 A JP52565196 A JP 52565196A JP 3869465 B2 JP3869465 B2 JP 3869465B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test head
- manipulator
- assembly
- gear
- cable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20311—Robotic arm including power cable or connector
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Description
自動テスト装置は、半導体チップメーカーにより使用される。半導体チップは、製造工程の出来る限り初期の段階でテストされて、欠陥のあるチップの処理に費やすコストを排除するようにされている。一般に、半導体チップは、該チップが製造される半導体ウエハの一部となっている間にテストをされる。この状態にある半導体チップをテストするには、通常半導体チップへのアクセスとなるリード線が該半導体チップがウエハから分離されて包装されるまで付け加えられないため、プローブを直接に半導体チップ上に配置しなければならない。
プローブは、「テストヘッド」と呼ばれる自動テスト装置の一部分に取り付けられる。テストヘッドは、ケーブルを介して本体キャビネットに接続され、本体キャビネットにはテスト信号を発生分析するのに必要となる電子回路の本体部分が収容されている。テストヘッドの支持及び移動はマニピュレータによりなされる。
チップをテストするには、ウエハを検査装置と呼ばれる装置に取り付ける。テストヘッドは、次いで、操作者により移動されて、チップとプローブが接触する。テストヘッドはその位置に保持されて、テストが実施される。テストヘッドをチップとの電気的接触がなされる一定の位置へ移動して保持する工程は、「ドッキング」と呼ばれる。一旦ドッキングがなされると、検査装置がウエハを移動させて、該ウエハ上の個々のチップがテスト位置にくるようにして、テストが実施される。
様々な要因によってドッキング工程は非常に難しいものとなる。第1には、半導体チップが1平方インチの何分の1といった非常に小さいことである。何百ものテスト信号を半導体チップに接続しなければならないことがしばしばある。これらのテスト信号の接触点は、全て小さなチップ上に取り付けられなければならないことから、該接触点自体も非常に小さなものでなければならない。テストヘッドは、プローブの全てが接触点の全てと整合するように正確に位置決めされなければならない。
テストヘッドの重量が何百ポンドもあることから、テストヘッドを正確に位置決めするのは複雑なものとなる。このような重さになるのは、電子回路をテスト中のチップに出来る限り接近させて位置決めする必要があるからである。テストヘッドの移動は、斯かる重量により難しいものとなる。更に、テストヘッドにより過度の力が検査装置に加えられて、検査装置が変形することがある。検査装置の変形が大きくなると、プローブを検査装置内の半導体チップに対して正確に位置決めするのが非常に難しくなる。
別の複雑にする要因は、テストヘッドを本体キャビネットに接続するケーブルが非常に重く、ヒステリシスを示すことである。ケーブルの重量は何百ポンドにもなる。斯かるケーブルの重量によりテストヘッドに力が加えられることがある。ケーブルがヒステリシスを示すことから、これらの力がケーブルが移動する時に変化することがある。従って、マニピュレータは、力が変動してもテストヘッドを正確に位置決めしなければならない。
別の複雑にする要因は、同一の自動テスト装置に異なる検査装置を使用することがしばしばあることである。検査装置が異なれば、半導体チップの配列も異なったものとなる。マニピュレータは、検査装置のタイプの如何に拘わらず、テストヘッドをドッキングがなされるように位置決めしなければならない。テストヘッドは、ある場合には、プローブを下方に向けて検査装置の上方に水平に位置決めされる。その他の例では、プローブを上方に向けて検査装置の下方に水平に位置決めされる。その他の検査装置の場合には、テストヘッドは、プローブを横方向に向けて垂直に位置決めされる。更に、別の検査装置の場合には、テストヘッドは、水平と垂直の間のある角度に位置決めしなければならないことがある。
様々なデザイン技術を利用してドッキングを容易に行うようにされてきた。高精度製造技術を利用して、マニピュレータの弛みを殆どないもにすることが確実になされている。堅牢なストップがマニピュレータに組み込まれて、マニピュレータが繰り返し同一位置へ戻るようにされる。また、検査装置と、テストヘッドとの接触面積を出来る限り大きくして、撓みが平均したものとなるようにされる。
位置決めを容易にするとともに、テストヘッドの重量により生じる撓みを低減するために、カウンターウエイト案がビュークープ(Beaucoup)その他に許可された米国特許第4,973,015号や、全てスミス(Smith)に許可された米国特許第4,527,942号、第4,705,447号、第4,588,346号、第4,589,815号及び第5,149,029号等で提案されている。また、テストヘッドの重量により生じる問題点を改善するために、あるマニピュレータはモーターまたはその他の駆動機構を含んでいる。
ケーブルの重量の影響を低減するために、ケーブルの重量を支持する装置が提案されている。斯かる装置は、ホルト(Holt)等に許可された米国特許第4,893,074号及び第5,030,869号に示されている。
上記のデザイン技術を使用するにも拘わらず、現在のマニピュレータでは、テストヘッドと、検査装置とのドッキングを常に容易に行えるというわけではない。しばしば、2人でテストヘッドを所定の位置へ装着することが必要となることがある。テストヘッドのドッキングがなされているように見える時でさえ、時々数々の調節をして、集積回路チップ上のテストポイントの全てとの電気接触を達成することが必要になる場合がある。
発明の概要
前記の背景を念頭におくと、本発明の目的は、テストヘッドを正確且つ繰り返してドッキングできるマニピュレータを提供することである。
本発明の別の目的は、1人でテストヘッドのドッキングを可能にするマニピュレータを提供することである。
本発明の更に別の目的は、追従的な態様(compliant mode)で操作して、テストヘッドを正確に位置決めできるマニピュレータを提供することである。
前記及びその他の目的は、テストヘッドを保持するクレードル(credle)を有するマニピュレータで達成される。クレードル内のテストヘッドを移動して微調節を行うことができる。大きな調節はクレードル自体を移動して行うことができる。クレードルにクランプを取り付けてケーブルを保持するが、該ケーブルは、クランプとテストヘッドとの間に若干の曲がりが設けられてテストヘッドの操作を容易に行えるようにして、微調節がなされるようにされている。
一実施例では、マニピュレータは、操作者の入力に応答してマニピュレータの様々な部材に取り付けられたモーター及びブレーキを制御する電子制御ユニットを含んでいる。一実施例では、マニピュレータは、電子制御ユニットに接続されたテストヘッド上の位置センサを含んでいる。電子制御ユニットは、位置センサからの入力を使用して操作者の参照フレームに対して与えられた方向指令をマニピュレータの参照フレームの指令に変換する。
別の実施例では、クレードル内のテストヘッドの動きが減衰されて、ドッキングを解除した時にテストヘッドが突然動くのを無くすようにされる。
更に、別の実施例では、マニピュレータは、若干量の追従性(compliance)を有して、ドッキング中に正確に繋ぎ合わさせることによりテストヘッドの最終位置調節が行えるようにされる。
別の実施例では、マニピュレータは、電子制御ユニットに結合されたヒートセンサを備えた静電放電装置を含んでいる。人が静電放電装置を身に着けているとヒートセンサが表示しなければ、電子制御ユニットは、テストヘッドの動きを禁止する。
【図面の簡単な説明】
図1は、使用中の本発明によるマニピュレータを図示した略図であり、
図2は、本発明によるマニピュレータをより詳細に示した略図であり、
図3は、図2のマニピュレータのベース組立体を示した略図であり、
図4Aは、図2のマニピュレータの支柱組立体を示した略図であり、
図4Bは、図4Aの支柱組立体のコンプライアント駆動機構の断面図を示した略図であり、
図5は、図2のマニピュレータの旋回アーム組立体を示した略図であり、図6は、図2のマニピュレータのテストヘッドクレードルを示した略図である。
好適な実施例の説明
図1は、半導体ウエハのテストに使用されるようなテスタ100を示す。テストヘッド108は、検査装置(prober)または取扱装置(図示なし)へ連結または「ドッキング」し、該検査装置は、テストヘッド108に対してウエハを位置決めする。図1では、2台のテストヘッド108が図示されているが、しばしば1台のテストヘッドが使用される。
各テストヘッド108は、ケーブル104を介してテスタ100に接続される。ケーブル104には数多くのワイヤまたは細いケーブルが収容されている。ケーブルは、非常に堅く且つ重い。
テストヘッド108は、マニピュレータ102により保持される。マニピュレータ102は、テストヘッド108を物理的に支持する。マニピュレータは、また、テストヘッド108を位置決めして検査装置または取扱装置(図示なし)にドッキングするのを可能にする。検査装置または取扱装置が異なるとドッキングするためのインタフェースの位置も異なってくる。テストヘッド108を任意のタイプの検査装置または取扱装置にドッキングするためには、マニピュレータ102は、テストヘッド108を6つの自由度で移動できなければならない。
テストヘッド108は、非常に重く、重量が数千ポンドにもなる。マニピュレータ102は、テストヘッド108を容易且つ正確に所定の位置へ移動可能とする間に斯かる重量を支持しなければならない。更に、マニピュレータ102は、テストヘッド108が床に落下するのを確実に防止する特徴を含んでいなければならない。
これらの目的を達成するためには、マニピュレータ102は、一定の方向に所定の連続した動き、即ち、進行運動(course motion)をするとともに、他方の方向に微運動することが可能にされている。ケーブル104は、ケーブル鐙金物110で固定されており、該ケーブル鐙金物(cable stirrup)により進行運動と微運動とが区別して行われる。
ケーブル鐙金物は、マニピュレータ102が進行運動をしてテストヘッド108を移動する時には、テスタ100及び検査装置(図示なし)に対して移動する。反対に、マニピュレータ102がテストヘッド108を微運動により移動する時は、ケーブル鐙金物110は、テスタ100に対して固定される。このように構成することで、微運動をする間にケーブル104に加えられる力の変化による影響がテストヘッド108へ及ぼさないようにされる。
ケーブル104は、ケーブル鐙金物110に固定され、該ケーブル鐙金物110と、ケーブル104のテストヘッド108への取付点との間のケーブル104の長さがケーブル鐙金物110と、テストヘッド108上のケーブル取付点との間の最大距離より長くなるようにされている。この構成により、ケーブル鐙金物110とテストヘッド108との間でケーブル104の曲がり112が生じる。ケーブル104は、概ね曲がらないが、曲がり112により、ケーブル104のケーブル鐙金物110とテストヘッド108との間の部分が自由に動くようにされるとともに、微運動を行っている間にテストヘッド108をより正確に位置決めすることが可能となる。
テストヘッド108の動きを容易にするために、マニピュレータ102がモータを含んでいて、1つ以上の方向に該マニピュレータを駆動するようにしても良い。斯かるモータの制御は、電子部品ハウジング106内に収容された電子部品によりなされる。マニピュレータ102は、また、ブレーキを含み、該ブレーキが解放されるとマニピュレータの移動が可能となる。これらのブレーキの制御は、電子部品ハウジング106内の従来の電子部品によりなされる。更に、マニピュレータ102の動きは、操作者またはテスタ100及びマニピュレータ102を含むテストフロア(test floor)の操作を制御するコンピュータにより出される指令に応答してコンピュータ制御されるようにしても良い。また、従来の制御用電子部品も電子部品ハウジング106内に収容するようにしても良い。
モータを制御し且つブレーキを解放する電子部品は、公知であるので明確には図示しない。同様に、モータを制御して物体を移動するコントロールアルゴリズムは公知である。斯かる多くのアルゴリズムはセンサを頼んでフィードバックを行う。本発明のマニピュレータとともに使用されるような任意の斯かるセンサは、明確に図示されていない。同様に、制御用電子部品をモータ及びブレーキに接続する配線は、当業界では公知のものであるから、明確に図示しない。
マニピュレータ102は、テストヘッドを該マニピュレータ102のベース(符号なし)から離間して保持する。このように位置決めすることによりマニピュレータ102からトルクが発生して、マニピュレータが転倒する恐れがある。マニピュレータ102の転倒を防止するために、マニピュレータ102をベースにおいて床に固定するようにしても良い。或いは、マニピュレータ102のベースに釣り合い重りを配置することが可能である。図1では、マニピュレータ102のベースがテスタ100の下まで伸長している。この構成では、テスタ100が釣り合い重りとして作用する。マニピュレータ102がテスタ100から離れて位置決めされる場合には、鉄板等の釣り合い重りをマニピュレータ102のベース上に配置することが可能である。
図2を参照すると、マニピュレータ102が詳細に図示されている。マニピュレータ102は、ベース組立体300、支柱組立体400、旋回アーム(twist arm)組立体500及びクレードル組立体600の幾つかの組立体から構成されている。これらの組立体は図3乃至図6にそれぞれ詳細に図示されている。
図2には2組の矢印が図示されており、それぞれマニピュレータ102がテストヘッド108を移動する方向を図示している。矢印U−Dは垂直方向の運動を画定している。矢印L−Rは振り運動を画定している。矢印RL−RRは回転運動を画定している。垂直運動、水平運動、振り運動及び回転運動は進行運動である。
垂直運動は、支柱組立体400を入れ子式に移動させることで達成される。水平運動は、支柱組立体400をベース組立体300に対して平行移動させることで達成される。振り運動は、ベース組立体300に対して支柱組立体400を回動することで達成される。回転運動は、旋回組立体500を回動することで達成される。
矢印I−Oは内外(in−out)運動を画定する。矢印NU−NDは「頷き(nod)」運動を画定する。矢印ΘL−ΘRはΘ方向を画定する。内外、頷き及びΘにより微運動を画定する。
内外運動は、クレードル組立体600中でテストヘッド108の両側を平行移動することで達成される。頷き運動は、テストヘッド108をクレードル組立体600への取付点を中心に回動することで達成される。Θ方向への運動は、クレードル組立体600に対してテストヘッド108の2つの側を差動平行移動させることで達成される。
クレードル組立体600及び旋回アーム組立体500の一部分は、進行運動中はテスタ100(図1)に対して常に相対移動を行うが、斯かる進行運動中にテストヘッド108に対する相対移動は行わない。進行運動中のケーブル力の変化によってテストヘッド108が影響されないようにするために、ケーブル鐙金物110(図1)は、クレードル組立体600またはテストヘッド108に対して相対移動しない旋回組立体500の一部のいずれかに取付ておかねばならない。旋回アーム組立体500は、ケーブル力に対して持ちこたえられるようにするのが容易であることから、該組立体へ取り付ける方が好適である。
ケーブル鐙金物110(図1)は、図2には明瞭に図示していない。ケーブル鐙金物110は、でき得る限り支柱組立体400に接近して取り付けるのが好適である。しかしながら、ケーブル鐙金物110は、ケーブル104を支柱組立体400から十分に離して保持して、テストヘッドが回動された時にケーブル104が支柱組立体400に接触しないようにされている。また、図1に図示する如く、ケーブル鐙金物110は、支柱組立体400に一方の側に位置決めされる。これにより、RLの方向に少なくとも180°及びPRの方向に少なくとも90°の回動が可能になる。この範囲の運動によりテストヘッド108が該テストヘッド108の上方または下方、または水平方向右側または左側にドッキング面を有する検査装置または取扱装置にドッキングすることが可能となる。
図3は、ベース組立体300を詳細に図示している。ベース組立体300の要素は、ベースプレート302上に支持される。
脚304は、ベースプレート302の下側に取付られる。該脚304は、ねじの切られた穴を通して取付られて、伸長または引込が可能にされている。脚304は、伸長されるとマニピュレータ102を静止位置に支持する。
また、キャスタ306も、ベースプレート302及び安定バー308の下側に取り付けられる。脚304が引込まれると、キャスタ306が床と接触して、マニピュレータ102が容易に転動可能となる。
チューブ310は、ベースプレート302の後部に位置決めされる。所望であれば、棒(図示なし)を該チューブ310内及びテスタ100(図示)の下へ挿入して、マニピュレータ102の釣り合い重りの機能をさせるようにしても良い。
釣り合い重り312もまたベースプレート302の上に配置される。該釣り合い重り312は、鋼板を積み重ねた様な任意の重量物体であって良い。
プレート314は、回転軸受318とともにベースプレート302上に取り付けられる。プレート314は、支柱組立体400(図4)を支持する。従って、回転軸受318により振り運動が可能となる。
平行な直線レール316がプレート314に取り付けられる。該直線レール316は、支柱組立体400(図4)の直線軸受402を受けるようにされている。直線レール316及び直線軸受402を組み合わせることで水平運動が可能となる。
モータ組立体320はプレート314に対して支柱組立体400を駆動するように接続される。モータ組立体320は、駆動されると伸長及び引っ込んむことで直線運動を可能にするボールねじを含む。斯かるモータの使用は、任意のものである。
モータ組立体322は、振り運動のブレーキとして使用される。モータ組立体322は、また、駆動されると伸び或いは引っ込むボールねじを含む。該ボールねじは、軸受318の周りを輪状に取り囲むベルト(図示なし)に接続する。モータ組立体322が駆動されると、ベルトが締まったりまたは緩んで、それによって、振り運動に対する制動が加えられたり解放されたりする。
モータ組立体322の使用もまた任意である。回転軸受318の外側表面に歯を形成することで制動を達成するようにしても良い。次いで、ばねを装着したソレノイドを使用して、「短いラック」を押圧して歯に係合させたり、または、該短いラックを引っ込ませるようにする。短いラックは、回動しない歯が形成された部分である。歯が形成された軸受に押圧されて当接すると、軸受の回動が防止される。しかしながら、十分な力、例えば、13.608kg(30ポンド)を超える力が加えられると、短いラックと回転軸受との間で滑りが生じる。このように、振り方向において追従性が提供される。
図4は、支柱組立体400の分解図である。支柱組立体400は、支柱ベースプレート404上に組み立てられる。直線軸受402は、支柱ベースプレート404の下側に取り付けられて、前記に説明した水平運動を画定する。
支柱組立体400は、複数の、本書では4つの平行な支柱部分を含んでいる。支柱部分414Dは、該支柱部分の2つの側に取り付けられた安定翼416を有する。支柱部分414Dは、安定翼416と同様に支柱ベースプレート404に取り付けられる。支柱部分414Dは、支柱ベースプレート404に垂直に取り付けられる。
直線レール418は、支柱部分414Dの正面に取り付けられる。直線軸受420は、支柱部分414Cの裏面に取り付けられて、直線レール418と係合する。これにより、支柱部分414Cが支柱部分414Dに対して垂直に摺動するのが可能となる。
直線レール418及び直線軸受420は、支柱部分414B及び414A間のみならず支柱部分414C及び414B間でも同様に使用される。支柱部分414C、414B及び414Aは、支柱ベースプレート404に固定されない。しかしながら、支柱部分414A、414B及び414Cは、支柱ベースプレート404に到達するまで垂直に下方へ移動することができる。支柱部分414A、414B及び414Cは、また、垂直に上方へも移動することができる。このように、支柱組立体400は、入れ子式に収縮または伸長することができる。
支柱部分414Cの上方への垂直運動は、支柱部分414Cの裏面のストップタブ424に係合する支柱部分414Dのストップピン422により制限される。支柱部分414Bの上方への垂直運動は、支柱部分414Cのストップピン422により制限される。支柱部分414Aの上方への運動は、支柱部分414Bのストップタブにより同様に制限される。全体的に見て、支柱組立体400は、収縮された時の高さの約2倍まで伸長することが可能である。例えば、支柱組立体は、91.44cm(3フィート)の高さから182.88cm(6フィート)の高さまで入れ子式に伸長収縮が可能となる。このようにして垂直運動が画定される。
支柱部分414は、平坦でない形状にされる。この形状により支柱組立体400の安定性が一段と増すのである。また、斯かる形状により前記の支柱部分が一体にはまり込んで組立体のサイズの縮小が可能となる。しかしながら、任意の形状を用いることが可能である。
取付プレート412は、支柱部分414Aに取り付けられる。取付プレート412により旋回アーム組立体500(図5)の取付場所が画定される。アクメねじ410の上端も取付プレート412に取り付けられる。
アクメねじ410の下端は、伝動装置408に接続され、該伝動装置は、支柱ベースプレート404に取り付けられる。伝動装置は、モータ406により駆動される、モータ406が起動されると、伝動装置がアクメねじ410を回動する。
アクメねじ410は、入れ子式に収縮伸長する部分により構成される。アクメねじ410は、回動して伸長または収縮を行う。このように、支柱組立体400は、モータにより伸長または収縮を行う。
アクメねじ410は、十分な摩擦のあるねじを有しており、取付プレート412に付与された重力で収縮することはない。アクメねじは、モータ406に駆動されて初めて収縮する。垂直運動は、「復元駆動不可能(nonbackdrivable)」である。復元駆動不可能とは、たとえ駆動力が取り除かれても、一切の運動が起きないことである。
図4Bは、支柱組立体400の駆動機構の別の実施例の断面図である。図4Bの駆動機能は、モータ406、伝動装置408及び図4Aのアクメねじ410に取って替わるものである。
アクメねじ410の代わりにボールねじが使用される。ボールねじ460は、また、入れ子式に収縮伸長するねじであるが、アクメねじより摩擦が低く、従って、小型のモータで駆動することが可能である。
ボールねじ462の上端には歯車462が収容される。歯車462は、歯車464に接続し、歯車464は、モータ456の軸に取り付けられる。このように、回転運動は、モータ456からボールねじ460へ連結される。ボールねじ462の上端は、支柱部分414Aに取り付けられ、駆動されると、支柱を伸長収縮する。アクメねじの代わりにボールねじを使用した場合には、モータ456は、ブレーキを含んで、垂直軸線が確実に復元駆動不可能となるようにしなければならない。
ボールねじ460の下端は、内部シリンダ468及び外部シリンダ470から構成される空気ピストン組立体480上に取り付けられる。内部シリンダ468は、外側に向けられた突起を有し、外部シリンダ470は、内側に向けられた突起を有している。これらの突起は、それぞれの端でほぼ気密シールを成してキャビティ472を形成する。しかしながら、斯かるシールは、依然として内部シリンダ468及び外部シリンダ470の相対運動を可能にしている。
キャビティ472は、レギュレータ(図示なし)等を介して圧縮されて一定の圧力にされる。各キャビティにおいて約2.86kg/cm2乃至約4.22kg/cm2(1平方インチ当たり40乃至60ポンド)の範囲の圧力が維持されるのが好適である。キャビティ474は、圧縮されずに通気口を設けて、外部シリンダ470に対して内部シリンダ468の運動が過度に制限されるのを排除される。
外部シリンダ470は、支柱ベースプレート404に取り付けられる。十分な力が垂直軸線に沿って加えられると、内部シリンダ468が外部シリンダ470に対して移動する。このように、空気ピストン組立体480により垂直軸線に沿ってマニピュレータ102に追従性がある程度与えられる。
図5は、旋回アーム組立体500の一部分解図である。旋回アーム500は、回転軸受組立体502を介して取付プレート412(図4)に取り付けられる。回転軸受組立体502は、互いに自由に相対回転する外側リング及び内側リングを有する。
外側リング504は、取付プレート412に取り付けられる。内側リング506は、チューブ510に取り付けられる。必要な場合には、軸または延長部材を使用して、内側リング506及びチューブ510間の距離を測る。回転軸受組立体502がチューブ510の回動を可能にして、回転運動が画定される。
歯車508は、外側リング504に固定される。歯車512は歯車508に係合する。歯車512は軸514を介してモータ516に接続される。モータ516は、内側チューブ510に取り付けられる。軸514は、軸受ブロック518に支持され、該軸受ブロック518は、チューブ510に取り付けられる。
モータ516は、起動されると、チューブ510を駆動して回動する。このように、回転運動が行われる。モータ516は、クラッチ組立体を組み込んでいる。モータ516が起動されないと、クラッチ組立体が軸514の運動を防止する。このように、回転運動は、復元駆動不可能となる。
モータ516は、ばね520に取り付けられて、チューブ510に堅牢に取り付けられていない。ばね520は、穴522を貫通するピン(図示なし)により所定位置に保持される。この取付により、十分な力が加えられれば、モータ516が軸514を中心に回動可能となる。モータ516は、約20°回動できるのが好適である。歯車508及び512の歯車比に基づくと、この回動によりチューブ510が約2°回動することになる。この若干量の回動により回転方向に追従性が生まれる。
ケーブルクランプ110(図1)は図5に明確に図示していない。しかしながら、ケーブルクランプは、チューブ510に容易に取り付けることが可能である。
チューブ510は、クレードル組立体600の取付点を画定する。図6は、テストヘッドフレーム608を保持するクレードル組立体600を示す。使用中においては、テストヘッドフレーム608がテストヘッド108(図1)を構成する電子部品を支持する。
背部602がチューブ510(図5)に取付られる。サイドアーム604は、背部602から伸長する。各サイドアーム604は、U字状の形状にされて、一切の微運動を可能にする機能を収容する。斯かる機能は、各サイドアーム604において同一である。
各サイドアーム604は、該サイドアーム604の全長に沿った一対のレール612を含む。該レール612には往復台610が載置される。
テストヘッドフレームは、該テストヘッドフレームから伸長するボルト614を含んでいる。これらのボルトは、テストヘッド108から伸長しており、一方の端においてねじが切られて、テストヘッド108への堅牢な取り付けが可能にされている。該ボルトの側壁604内へ突起している端は、ねじが切られていない。
ボルト614のねじの切られていない端は、トリントン(Torrington)社から出されているパーツ番号6sf10等の球形平面軸受により形成される回転継手(符号なし)を介して往復台610へ接続される。各サイドアーム604内の往復台610が一緒に移動すると、内外運動が画定される。
回転継手によりボルト614が該ボルトの軸線を中心に回動するのが可能となる。この回動により頷き運動が画定される。
回転継手は、また、ボルト614が往復台610の表面に垂直な平面において、往復台610に対して枢動するのを可能にする。この運動は、また、対向するサイドアーム604が同時に異なる方向に移動するのを可能にする。この異なる方向への移動によりΘ運動が画定される。
往復台610が反対方向に移動すると、往復台612間の距離が変化する。この距離の変化を行うために、サイドアームの一方の往復台610にボルト614を接続する軸受がボルト614が往復台610の表面に垂直に摺動するのを可能にする。
好適な実施例では、ボルト614が往復台610の表面に対して垂直に運動するのは、直接には可能にされていない。寧ろ、サイドアーム604が若干可撓性を有するようにされている。Θ運動中は、サイドアーム604が一体に曲がって、往復台610間の距離を一定に維持する。サイドアーム604は、鋼またはその他の比較的堅い材料から形成されるのが好適であるにせよ、該サイドアームの長さが長いことから、少量の可撓性が付与されてΘ運動が可能となる。高さが15.24cm(6インチ)、深さが5.08cm(2インチ)及び厚さが0.762cm(0.3インチ)の鋼溝片が適切である。同様のサイズのアルミ片を使用して軽量化を図ることが可能である。
各サイドアーム604は、モータ618を含む。モータ618は、ベルト(図示なし)を介して等の従来の手段で往復台610に連結される。モータ618は、駆動して内外運動及びΘ運動を画定する。好適な実施例では、モータ618は、ボールねじを介して往復台610に連結されたステップモータである。ステップモータは、オープンループ制御を可能にするとともに、位置フィードバックセンサを不要にする。
モータ618は、クラッチ機構を含み、該クラッチ機構が解放されると、往復台610の移動が可能になる。モータ618のクラッチ機構は、モータ618を駆動せずに解放可能となるのが好適である。これにより、テストヘッド108(図1)が追従的な態様で移動して、内外運動及びΘ運動が可能になる。
頷き運動(ボルト614の軸線を中心にした回動)は、モータの駆動によって生じるものではない。概ね、ボルト614は、テストヘッド108の重心近傍に取り付けられる。従って、テストヘッド108の重量に拘わらず、頷き運動にはほとんど力を必要としない。頷き運動は、常に追従的な態様で行われる。
図1に示す如く、ケーブル104は、可能な頷き運動を一定の量制限する。好適な実施例では、頷き運動は、ストッパ(図示なし)等を介して拘束されて約±2°以下までとなる。テストヘッド108は、頷き方向にばね付勢されて、中立位置へ復帰するようにすることが可能である。
内外運動及びΘ運動は、モータ駆動制御にユニークな問題を提起する。クレードル組立体600が回動可能なことから、内外運動及びΘ運動の絶対方向が変化できる。方向が変化できるから、前記運動に対する重力の方向が変化できる。モータ618のクラッチが解放されると、テストヘッド108(図1)が重力により移動するのが可能となる。重力の方向が変化できるから、モータ618が往復台610の各々を駆動して重力と釣り合いを取らなければならない方向は、常に同一ではない。
モータ618のクラッチが解放された時の突然の動きによりテストヘッド108が損傷するのを避けるために、各サイドアーム604は、空気ダンパ620を含む。モータ618のクラッチが解放されると、テストヘッド108(図1)は移動するが、その運動は非常にゆっくりとしたものであるから、テストヘッド108が損傷を受ける危険性は低減される。
マニピュレータ102は、一般に精密機械設計に使用される強い材料から組立られる。構造部材は、鋼または同様な材料から公知の製造技術を用いて形作られる。例えば、ベースプレート302は、3.81cm(1.5インチ)の鋼板から形成され、支柱部分414は、1.905cm(0.75インチ)の鋼板から形成される。軸受組立体及びレールは市販されているものである。テストヘッド108の重量を支持できる任意の良質の軸受を使用することが可能である。
任意の公知の組立技術を使用することが可能である。鋼片は、溶接またはボルトまたはねじにより接合することが可能である。少なくとも幾つかの部品はねじで接合されて、マニピュレータ102の容易は搬送を可能にするのが好適である。旋回アーム組立体500は、ねじで支柱組立体400に取り付けられて、マニピュレータ102が幾つかの部分に分解されて搬送を容易にするのが好適である。
マニピュレータ102は、正確な位置決めを画定するテストヘッド及び(又は)検査装置インタフェースと連携して使用されることが予想される。斯かるインタフェースの一例は、1994年9月1日に出願された自動テスト装置用インタフェースと題する米国特許出願第06/299,831号(参照として本書に組み込まれている)に記載されている。該特許出願は、検査装置のポストがテストヘッド上の一機構により把持されるといったインタフェースを画定している。この機構は、ポストを引っ張ることで、テストヘッドと、検査装置とを一体に引っ張るものである。該機構は、テストヘッドが検査装置に向かって引っ張られるに連れて適切に位置決めされるような形状にされている。
使用においては、マニピュレータ102は、一組のジョイスティック等の電子部品ハウジング106(図1)に接続された制御機構を含むことが予想される。斯かるジョイスティックは、制御電子部品に制御入力を与えるのに使用される。一つのジョイスティックを使用して進行運動を制御し、また、一つのジョイスティックを使用して微運動を制御するのが好適である。ジョイスティック制御入力をモータ制御信号に変換する制御アルゴリズムは公知である。
例えば、進行運動制御を最初に行ってテストヘッド108を位置決めする。次いで、微運動制御を行ってテストヘッド108を検査装置に十分に近づけて、検査装置/テストヘッドインタフェースにある正確な位置決め機構が係合される。正確な位置決め機構が一旦係合すると、マニピュレータ102が追従的な態様に入れることが必要となる。
マニピュレータ102は、モータ320及び322のクラッチを解放して、振り及び水平方向に追従性を発生させることで追従的な態様に入れられる。追従性は、モータ618のブレーキを解放することで内外及びΘ方向に発生することができる。上記で説明した如く、若干の量の追従性は、また、サイドアーム604及びその他の構造部材に備わっている可撓性によっても生じる。垂直方向の追従性は、空気シリンダ480により生じ、回転方向の追従性は、モータ516のばねマウントを介して生じる。頷き方向の追従性は、テストヘッドが頷き方向に回動自在となることから、一定の制限内で生じる。追従性により、正確な位置決め機構がテストヘッド108を、該テストヘッドを検査装置にドッキングさせるのに必要な正確な位置まで引っ張るのである。
一旦ドッキングされると、モータ320、322及び516のクラッチは、次いで、係合してテストヘッド108を必要な位置に保持する。
一実施例を説明してきたが、数多くの代替実施例または変形が可能である。例えば、図5は、歯車508が回転軸受502に取り付けられたものを図示している。回転軸受502は外側表面に歯を設けるようにして別個の歯車を不要にすることも可能である。
更に、マニピュレータは、様々な方向に追従性を与えるような構造とされると説明した。追従性は、テストヘッドを検査装置に対して位置決めするインタフェースを収容する検査装置またはその他の装置とドッキングする際に有益となる。斯かる外部位置決め装置を使用しない場合には、マニピュレータを追従性なしで作るのが好適であるかも知れない。
例えば、全ての運動をモータにより行う必要はない。モータは、テストヘッド108をより簡単に移動するのに使用される。振り運動は、重力またはケーブル力の影響を相殺する必要はなく、従って、モータで駆動される必要はない。同様に、微運動は、ケーブル力の影響を受けないから、モータ618を排除することが可能である。
しかしながら、たとえモータを取り除いても、あるクラッチ機構を使用して不要な運動を防止するのは好適である。
モータを排除する場合には、テストヘッド108またはマニピュレータ102の他の場所にハンドルを取り付けて移動を容易にするのが好ましい。斯かるハンドルは、クラッチ機構の解除を行う制御ボタンを含むことが可能である。
たとえモータを使用しても、テストヘッド108及びマニピュレータ102にハンドルを使用するのが好ましい。斯かるハンドルは、ジョイスティックに替えて制御入力を付与するのに使用される力センサを含むことが可能である。
更に、テストヘッド108に位置センサを設けるのが好ましい。斯かる位置センサは、制御入力を、操作者の座標スペースに対してテストヘッドの運動を生じさせるモータ指令に翻訳するのに使用することが可能である。
位置センサが使用される場合には、空気ダンパ620を取り除くことが可能である。テストヘッドのドッキングを解除する時には、テストヘッドの位置が最初に感知される。ドッキングの解除前にモータ618が起動されて、テストヘッド108の如何なる運動も無効にされる。
制御電子部品と連携してモータによる制御を使用することによりマニピュレータ102に多くの特徴を追加する機会が生まれる。例えば、ジョイスティックコントローラを腕時計に似たリストバンド上の一組のボタンに替えることが可能である。リストバンドは、また、静電放電を防止する接地装置として機能する。リストバンドは、また、該バンドが人に装着されているか否かを検出する温度センサを収容することが可能である。リストバンドが人に装着されていない場合には、マニピュレータ上の制御機能が機能禁止となる。このように、テストヘッドは、操作者が適切に接地されて静電放電の危険性が排除されないと移動することが不可能となる。斯かるセンサは、他のタイプの静電放電装置に組み込むことが可能である。
別の実施例は、テストヘッドを検査装置にドッキングする補助装置として光ビームを含む。1つ以上の光ビームがテストヘッドの下側の特定の点から放出される。検査装置にマーカーが含まれて、テストヘッド上の前記の点と整合すべき検査装置上の特定の点を表示する。光ビームとマーカーとの間の関係を監視することによって、操作者は、テストヘッドをどの方向に移動させて適切なドッキングを行う必要があるかを判断することが可能となる。更に、光ビームをテストヘッドから一定の固定した距離の平面に焦点を合わせることができる。検査装置がこの平面内にあるようにテストヘッドを位置決めすれば、全ての光ビームがはっきりと焦点をあわせる。光ビームのあるものが他の光ビームより鮮明に焦点を合わせた場合には、テストヘッドが検査装置に対して傾いていることを示す。従って、光ビームの位置及び照度を監視することにより操作者は、正確にテストヘッドの位置決めを行うことができる。
図2は、旋回アーム組立体500が取付プレート412に対称的取り付けられているのを図示している。旋回アーム組立体500を非対称的に取り付ければ、テストヘッド108をマニピュレータ102の一方の側の検査装置により接近して移動することが可能となる。
更に、自動テスト装置用のテストヘッドを例に取って好適な実施例を説明したが、本発明のマニピュレータは、任意のタイプのテストヘッド、または、正確に位置決めしなければならないその他の重量物体をも位置決めするのに使用することが可能である。本発明は、たとえケーブルに接続されてあっても正確な位置決めを必要とする重量装置とともに使用すれば特に有益である。
従って、本発明は、添付の請求の範囲の趣旨及び範囲によってのみ制限されるべきものである。
Claims (10)
- テストヘッド(108)用のマニピュレータ(102)において、
a)入れ子式に収縮伸長する支柱組立体(400)と、
b)ベース組立体(300)と、
c)前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体を前記ベース組立体に接続する回転軸受(318)と、
d)前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体に設けられていて前記テストヘッドを2点において支持する手段(610)を有するクレードル組立体(600)であって、前記2点が同一方向に移動して、前記2点を含んだ平面内における前記テストヘッドの平行移動を可能にするとともに、反対方向に移動して、前記2点を含む平面内における回動を可能にするクレードル組立体(600)と、
を備えているテストヘッド(108)用マニピュレータ(102)。 - 前記テストヘッドを2点で支持する手段が、各々が前記クレードル組立体に摺動自在に取り付けられた一対の回転継手と、各々前記2点において前記テストヘッドから伸長しかつ前記回転継手の一方に係合する一対のボルト(614)とを備えている請求項1に記載のマニピュレータ。
- 前記テストヘッドを2点において支持する手段が、更に、一対の往復台(610)と、前記一対の往復台に連結された一対のモータ(618)とを備えている請求項1又は2に記載のマニピュレータ。
- 前記一対のモータが一対のステッパモータを備えている請求項3に記載のマニピュレータ。
- テストヘッド(108)用のマニピュレータ(102)において、
a)支柱ベースプレート(404)と、
b)該支柱ベースプレートに取り付けられた入れ子式に収縮伸長する支柱組立体(412、414、414A乃至414D、416、420、422、424)と、
c)該入れ子式に収縮伸長する支柱組立体から伸長し、前記支柱ベースプレートに対して移動自在となる前記テストヘッドを支持する手段(500、600)と、
d)前記テストヘッドの追従的な運動を可能にする少なくとも一つの手段と、
e)前記支柱ベースプレートに対して垂直方向に前記テストヘッドを駆動する手段(410,460)とを備え、
前記追従的な運動を可能にする手段が、前記テストヘッドを垂直方向に駆動する手段と前記支柱ベースプレートとの間に追従性のあるマウントを備え、
更に、前記追従性のあるマウントが空気ピストン組立体(480)を備えているテストヘッド(108)用マニピュレータ(102)。 - 前記追従的な運動を可能にする手段が前記テストヘッドを支持する手段と、前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体との間に追従性のあるマウントを備えている請求項5に記載のマニピュレータ。
- 前記追従性のあるマウントが、前記入れ子式に収縮伸長する支柱組立体に取り付けられた第1の歯車(508)と、該第1の歯車と係合する第2の歯車(512)と、該第2の歯車を保持する軸(514)と、該軸に取り付けられていて該軸に関して垂直に突出するモータ(516)と、該モータを前記テストヘッドを支持する手段に取り付ける少なくとも1つのばね(520)とを備えている請求項6に記載のマニピュレータ。
- 前記少なくとも1つのばねは、前記テストヘッドを支持する手段が前記軸を中心に一定の円弧に亘って移動するのを可能にする請求項7に記載のマニピュレータ。
- 前記第1の歯車が前記第2の歯車の円周より大きな円周を有する請求項7又は8に記載のマニピュレータ。
- 前記第1の歯車と前記第2の歯車の歯車比が5対1を超えている請求項7ないし9の何れかに記載のマニピュレータ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US39264795A | 1995-02-23 | 1995-02-23 | |
US08/392,647 | 1995-02-23 | ||
PCT/US1995/013438 WO1996026446A1 (en) | 1995-02-23 | 1995-10-11 | Manipulator for automatic test equipment test head |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006174777A Division JP4589271B2 (ja) | 1995-02-23 | 2006-06-26 | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11501722A JPH11501722A (ja) | 1999-02-09 |
JP3869465B2 true JP3869465B2 (ja) | 2007-01-17 |
Family
ID=23551455
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP52565196A Expired - Lifetime JP3869465B2 (ja) | 1995-02-23 | 1995-10-11 | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
JP2006174777A Expired - Lifetime JP4589271B2 (ja) | 1995-02-23 | 2006-06-26 | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006174777A Expired - Lifetime JP4589271B2 (ja) | 1995-02-23 | 2006-06-26 | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5931048A (ja) |
EP (1) | EP0811167B1 (ja) |
JP (2) | JP3869465B2 (ja) |
AT (1) | ATE205303T1 (ja) |
DE (1) | DE69522586T2 (ja) |
WO (1) | WO1996026446A1 (ja) |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6023173A (en) * | 1997-04-30 | 2000-02-08 | Credence Systems Corporation | Manipulator with expanded range of motion |
US6151981A (en) * | 1997-07-24 | 2000-11-28 | Costa; Larry J. | Two-axis cartesian robot |
US5949002A (en) * | 1997-11-12 | 1999-09-07 | Teradyne, Inc. | Manipulator for automatic test equipment with active compliance |
US20010015641A1 (en) * | 1998-09-23 | 2001-08-23 | Mark A. Swart | Circuit board testing apparatus |
US6853181B1 (en) | 2003-12-31 | 2005-02-08 | Teradyne, Inc. | Silicon-on-insulator channel architecture for automatic test equipment |
US6888343B1 (en) | 1999-01-13 | 2005-05-03 | Intest Ip Corporation | Test head manipulator |
DE60012692T2 (de) * | 1999-01-13 | 2005-09-15 | Intest Ip Corp., Wilmington | Testkopf-manipulator |
ES2209928T3 (es) * | 1999-07-14 | 2004-07-01 | Teradyne, Inc. | Manipulador de prueba automatico con soporte interno para cabezal de prueba. |
US6837125B1 (en) | 1999-07-14 | 2005-01-04 | Teradyne, Inc. | Automatic test manipulator with support internal to test head |
US6310486B1 (en) * | 1999-10-01 | 2001-10-30 | Teradyne, Inc. | Integrated test cell |
MY144519A (en) * | 2000-03-01 | 2011-09-30 | Intest Corp | Vertical counter balanced test head manipulator |
KR20040028925A (ko) * | 2001-07-16 | 2004-04-03 | 인테스트 아이피 코포레이션 | 테스트 헤드 도킹 시스템 및 그 방법 |
US6766996B1 (en) | 2001-07-16 | 2004-07-27 | Reid-Ashman Manufacturing, Inc. | Manipulator |
US6788078B2 (en) | 2001-11-16 | 2004-09-07 | Delaware Capital Formation, Inc. | Apparatus for scan testing printed circuit boards |
US6646431B1 (en) | 2002-01-22 | 2003-11-11 | Elite E/M, Inc. | Test head manipulator |
US6828774B2 (en) * | 2002-02-27 | 2004-12-07 | Teradyne, Inc. | Rear-mounted gimbal for supporting test head |
AU2003226352A1 (en) * | 2002-04-15 | 2003-11-03 | Intest Ip Corporation | Test head positioner system |
US6722215B2 (en) | 2002-06-18 | 2004-04-20 | Michael Caradonna | Manipulator apparatus with low-cost compliance |
AU2002368253A1 (en) * | 2002-10-02 | 2004-04-23 | Intest Ip Corp. | Test head positioning apparatus |
US7235964B2 (en) * | 2003-03-31 | 2007-06-26 | Intest Corporation | Test head positioning system and method |
EP1947466B1 (en) | 2003-08-06 | 2012-07-04 | inTEST Corporation | Test head positioning system |
US8607935B2 (en) | 2005-12-20 | 2013-12-17 | Intuitive Surgical Operations, Inc. | Guide systems for laminated spring assemblies |
US7378860B2 (en) * | 2006-09-22 | 2008-05-27 | Verigy (Singapore) Pte. Ltd. | Wafer test head architecture and method of use |
TWI490513B (zh) | 2006-12-29 | 2015-07-01 | Intest Corp | 用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統以及使負載達到平衡之方法 |
EP2104862B1 (en) * | 2006-12-29 | 2012-08-08 | inTEST Corporation | Test head positioning system and method |
MY158281A (en) * | 2007-02-23 | 2016-09-30 | Intest Corp | Test head manipulator |
DE102007011700B4 (de) * | 2007-03-09 | 2009-03-26 | Hubertus Heigl | Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, insbesondere an einer Prüfeinrichtung |
EP2150823A4 (en) * | 2007-05-07 | 2016-12-21 | Intest Corp | BOWL AND SHELL HANDLER FOR A TEST HEAD MANIPULATOR |
DE102007027698B4 (de) * | 2007-06-15 | 2011-06-22 | Airbus Operations GmbH, 21129 | Dualer Linear-Aktuator |
JP4514236B2 (ja) * | 2008-02-25 | 2010-07-28 | 株式会社協同 | プローブカード移載装置 |
DE112009005202T5 (de) * | 2009-09-02 | 2012-07-19 | Advantest Corporation | Prüfvorrichtung, Prüfverfahren und Prog ramm |
US8981807B2 (en) * | 2010-07-27 | 2015-03-17 | Intest Corporation | Positioner system and method of positioning |
CN103782182B (zh) | 2011-07-12 | 2016-08-24 | 英泰斯特股份有限公司 | 驳接测试头与外围设备的方法与装置 |
CN103558421B (zh) * | 2013-11-02 | 2015-12-02 | 国家电网公司 | 用于断路器电气试验的接线杆 |
US10545173B2 (en) * | 2013-11-26 | 2020-01-28 | Commscope Connectivity Uk Limited | Balunless test fixture |
US10094854B2 (en) | 2015-10-23 | 2018-10-09 | Teradyne, Inc. | Manipulator in automatic test equipment |
KR102653657B1 (ko) * | 2016-02-12 | 2024-04-03 | (주)테크윙 | 반도체소자 테스트용 핸들러 |
KR101640749B1 (ko) * | 2016-03-04 | 2016-07-19 | (주)에스엠디에스피 | 모바일 모듈 및 이를 구비한 컨택 장치 |
EP3523664A4 (en) | 2016-10-10 | 2020-06-17 | Reid-Ashman Manufacturing, Inc. | MANIPULATOR |
US20180364131A1 (en) * | 2017-06-14 | 2018-12-20 | Optofidelity Oy | Testing apparatus |
US11498207B2 (en) | 2021-01-08 | 2022-11-15 | Teradyne, Inc. | Test head manipulator configured to address uncontrolled test head rotation |
Family Cites Families (56)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3791052A (en) * | 1970-01-26 | 1974-02-12 | Lely Nv C Van Der | Tractor comprising a pivotable driver seat |
GB1379399A (en) * | 1971-02-12 | 1975-01-02 | Electrolux Ab | Unit for moving an article and apparatus having a plurality of such units |
DE2153397C3 (de) * | 1971-10-27 | 1974-11-21 | Maschinenfabrik Augsburg-Nuernberg Ag, 8900 Augsburg | Halterung fur Ultraschall Prüf köpfe zum Prüfen von unregelmäßig ge formten Werkstucksteilen |
DE2226407C3 (de) * | 1972-05-31 | 1978-10-12 | Industrie-Werke Karlsruhe Augsburg Ag, 7500 Karlsruhe | Gerät zur maschinellen, durch veränderbare Programme steuerbaren Handreichung |
US3873148A (en) * | 1972-12-27 | 1975-03-25 | Caterpillar Tractor Co | Vehicle frame |
US3916701A (en) * | 1973-04-17 | 1975-11-04 | Automation Prod | Rotary wrist actuator for industrial robots |
SE416452B (sv) * | 1975-06-16 | 1981-01-05 | Asea Ab | Industrirobot |
FR2352640A1 (fr) * | 1976-05-24 | 1977-12-23 | Bretagne Atel Chantiers | Telemanipulateur a faible encombrement |
DE2630857A1 (de) * | 1976-07-09 | 1978-01-12 | Volkswagenwerk Ag | Handhabungsautomat |
US4062455A (en) * | 1976-11-22 | 1977-12-13 | Flatau Carl R | Remote manipulator |
US4132318A (en) * | 1976-12-30 | 1979-01-02 | International Business Machines Corporation | Asymmetric six-degree-of-freedom force-transducer system for a computer-controlled manipulator system |
US4112364A (en) * | 1977-04-04 | 1978-09-05 | Teradyne, Inc. | Circuit board testing apparatus |
DE2861285D1 (en) * | 1977-10-20 | 1982-01-14 | Ici Plc | An industrial manipulator for placing articles in close proximity to adjacent articles and a method of close packing articles therewith |
JPS571116Y2 (ja) * | 1978-01-31 | 1982-01-08 | ||
US4187051A (en) * | 1978-05-26 | 1980-02-05 | Jerry Kirsch | Rotary video article centering, orienting and transfer device for computerized electronic operating systems |
US4303368A (en) * | 1978-09-18 | 1981-12-01 | Westinghouse Electric Corp. | Remote docking apparatus |
US4229136A (en) * | 1979-03-19 | 1980-10-21 | International Business Machines Corporation | Programmable air pressure counterbalance system for a manipulator |
US4264266A (en) * | 1979-04-20 | 1981-04-28 | Tl Systems Corporation | Manipulator apparatus |
US4527942A (en) * | 1982-08-25 | 1985-07-09 | Intest Corporation | Electronic test head positioner for test systems |
US4705447A (en) * | 1983-08-11 | 1987-11-10 | Intest Corporation | Electronic test head positioner for test systems |
US4588346A (en) * | 1982-08-25 | 1986-05-13 | Intest Corporation | Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition |
US5149029A (en) * | 1982-08-25 | 1992-09-22 | Intest Corporation | Electronic test head positioner for test systems |
EP0108657B1 (en) * | 1982-09-25 | 1987-08-12 | Fujitsu Limited | A multi-articulated robot |
JPS59201785A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 関節機構 |
US4676002A (en) * | 1984-06-25 | 1987-06-30 | Slocum Alexander H | Mechanisms to determine position and orientation in space |
US4606696A (en) * | 1984-06-25 | 1986-08-19 | Slocum Alexander H | Mechanism to determine position and orientation in space |
US4685661A (en) * | 1985-06-21 | 1987-08-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Method and mechanism for fixturing objects |
DE3524348A1 (de) * | 1985-07-08 | 1987-01-29 | Heigl Helmuth | Vorrichtung zum positionieren von testkoepfen |
US4715574A (en) * | 1985-11-12 | 1987-12-29 | Intest Corporation | Safety lock for materials handling system |
US4765668A (en) * | 1986-02-13 | 1988-08-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Robot end effector |
US4694230A (en) * | 1986-03-11 | 1987-09-15 | Usa As Represented By The Secretary Of Commerce | Micromanipulator system |
US4695024A (en) * | 1986-05-09 | 1987-09-22 | Attain, Inc. | Test system manipulator arm |
DE3615941A1 (de) * | 1986-05-12 | 1987-11-19 | Willberg Hans Heinrich | Geraet zum pruefen von elektronischen bauelementen, insbesondere ic's |
US4751457A (en) * | 1986-09-08 | 1988-06-14 | Tektronix, Inc. | Integrated circuit probe parallelism establishing method and apparatus |
JPH0740578B2 (ja) * | 1987-05-30 | 1995-05-01 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハプロ−バ |
US5090265A (en) * | 1987-07-27 | 1992-02-25 | Slocum Alexander H | System to convert rotary motion to linear motion |
US4836042A (en) * | 1987-07-27 | 1989-06-06 | Advanced Engineering Systems, Operations & Products, Inc. | System to convert rotary motion to linear motion |
US4973015A (en) * | 1987-09-17 | 1990-11-27 | Schlumberger Technologies, Inc. | Manipulator apparatus for test head support and orientation |
US4893074A (en) * | 1988-05-13 | 1990-01-09 | Intest Corporation | Electronic device testing system |
US5001422A (en) * | 1989-06-09 | 1991-03-19 | Hilevel Technology, Inc. | VLSI tester backplane |
US5135196A (en) * | 1990-03-30 | 1992-08-04 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Multi-axis positional gimbal |
US5163649A (en) * | 1990-03-30 | 1992-11-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Multi-axis positional gimbal |
US5091693A (en) * | 1990-07-13 | 1992-02-25 | Schlumberger Technologies, Inc. | Dual-sided test head having floating contact surfaces |
US5030869A (en) * | 1990-07-25 | 1991-07-09 | Intest Corporation | Device testing system with cable pivot |
US5241183A (en) * | 1991-03-22 | 1993-08-31 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Vertical xy stage |
US5241870A (en) * | 1991-07-22 | 1993-09-07 | Intest Corporation | Test head manipulator |
JP2919172B2 (ja) * | 1992-04-28 | 1999-07-12 | ファナック株式会社 | 産業用ロボットのケーブル処理装置 |
US5372147A (en) * | 1992-06-16 | 1994-12-13 | Origin Medsystems, Inc. | Peritoneal distension robotic arm |
JPH06226881A (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-16 | Bridgestone Corp | タイヤ成形方法および装置 |
US5440943A (en) * | 1993-09-15 | 1995-08-15 | Intest Corporation | Electronic test head manipulator |
DE4425208C2 (de) * | 1994-07-16 | 1996-05-09 | Jenoptik Technologie Gmbh | Einrichtung zur Kopplung von Be- und Entladegeräten mit Halbleiterbearbeitungsmaschinen |
TW273635B (ja) * | 1994-09-01 | 1996-04-01 | Aesop | |
US5567386A (en) * | 1995-04-07 | 1996-10-22 | Board Of Regents- Univ. Of Ne | Elevator and speciman carrier for automated conveyor system |
US5608334A (en) * | 1995-04-20 | 1997-03-04 | Intest Corporation | Device testing system with cable pivot and method of installation |
US5733096A (en) * | 1995-09-13 | 1998-03-31 | Silicon Valley Group, Inc. | Multi-stage telescoping structure |
US5821440A (en) * | 1997-04-30 | 1998-10-13 | Credence Systems Corporation | Cable tray assembly for testing device |
-
1995
- 1995-10-11 DE DE69522586T patent/DE69522586T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-11 EP EP95938274A patent/EP0811167B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-11 WO PCT/US1995/013438 patent/WO1996026446A1/en active IP Right Grant
- 1995-10-11 AT AT95938274T patent/ATE205303T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-10-11 JP JP52565196A patent/JP3869465B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-02-28 US US08/808,131 patent/US5931048A/en not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-06-26 JP JP2006174777A patent/JP4589271B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69522586D1 (de) | 2001-10-11 |
JPH11501722A (ja) | 1999-02-09 |
ATE205303T1 (de) | 2001-09-15 |
JP2006322944A (ja) | 2006-11-30 |
WO1996026446A1 (en) | 1996-08-29 |
DE69522586T2 (de) | 2002-07-11 |
EP0811167B1 (en) | 2001-09-05 |
JP4589271B2 (ja) | 2010-12-01 |
EP0811167A1 (en) | 1997-12-10 |
US5931048A (en) | 1999-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3869465B2 (ja) | 自動テスト装置のテストヘッド用マニピュレータ | |
EP1485647B1 (en) | Tripod | |
US9943962B2 (en) | Robotic medical apparatus with collision detection and method for collision detection in a robotic medical apparatus | |
JP5519274B2 (ja) | 計測装置 | |
JP3283603B2 (ja) | モータ駆動式の架台 | |
US8981807B2 (en) | Positioner system and method of positioning | |
JPH05126902A (ja) | 試験装置用電子試験ヘツド位置決め装置 | |
US5949002A (en) | Manipulator for automatic test equipment with active compliance | |
JP2010194307A (ja) | 超音波スキャンのための支持アーム | |
WO1994018490A1 (en) | Movable supporting arm | |
US20100243924A1 (en) | Radiation imaging apparatus | |
JPH0266405A (ja) | 座標測定装置 | |
HUT61498A (en) | Placing device, sensing arm and method for placing operator | |
JP2004523729A (ja) | テストヘッドのバランスをとり、順応範囲を供給するための装置および方法 | |
JP6858534B2 (ja) | 動電型加振機のための位置決め装置 | |
JP2023002759A (ja) | カプセル内視鏡制御設備 | |
CN102844604A (zh) | 可延伸的摄像机支撑和稳定装置 | |
US6766996B1 (en) | Manipulator | |
JPH0579334B2 (ja) | ||
JP2002191617A (ja) | 架台、特に手術顕微鏡用架台 | |
US10180207B1 (en) | Stand | |
JP2005043458A (ja) | 手術用顕微鏡 | |
US20230304784A1 (en) | Inside-diameter measuring unit, floating joint mechanism unit, and measuring unit | |
JP2024111882A (ja) | 機器支持装置 | |
Pehlivan et al. | Active vertical stabilization mechanism for lightweight handheld cameras |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050506 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050620 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050808 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060626 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20060817 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |