KR20020041203A - 단결정 잉곳의 제조장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Gc(。K/㎝) | ΔG(。K/㎝) | |
종래 기술 | 22.01 | 0.83 |
본 발명 | 26.44 | 0.65 |
Claims (50)
- 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 소정 직경(D)를 갖는 단결정 잉곳을 성장하기 위한 실리콘 융액을 담는 석영 도가니와, 상기 석영 도가니를 피복하며 회전축 상에 고정 설치되는 도가니 지지대와, 상기 도가니 지지대를 에워싸는 원통형의 히터와, 상기 히터를 에워싸게 설치되어 상기 히터에서 발산되는 열이 상기 챔버의 벽 쪽으로 확산되는 것을 방지하는 보온통과, 상기 단결정 잉곳과 도가니 사이에 설치되고 원통 형상의 제 1 차폐부와 상기 제 1 차폐부의 상부와 연결되어 상기 보온통 상에 고정되는 플랜지 형상의 제 2 차폐부와 상기 제 1 차폐부의 하부와 연결되어 상기 단결정 잉곳 쪽으로 돌출되게 형성된 제 3 차폐부로 이루어진 열실드를 포함하는 단결정 잉곳 제조장치에 있어서,상기 제 3 차폐부가 상기 단결정 잉곳 및 상기 실리콘 융액을 향하며 수평대응거리(W1)와 제 1 곡률 반경(R1)을 갖는 제 1 면과, 상기 단결정 잉곳의 반대 쪽인 상기 히터 및 상기 실리콘 융액를 향하며 수평대응거리(W2)와 제 2 곡률 반경(R2)을 갖는 제 2 면과, 상기 단결정 잉곳과 의 외주면과 대향하는 제 3 면과, 상기 챔버의 상부를 향하며 제 3 곡률 반경(R3)을 갖는 제 4 면으로 이루어진 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 열실드는 몰리브덴(Mo) 또는 텅스텐(W)이나, 탄소 또는 SiC가 코팅된 흑연으로 이루어진 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 3 차폐부는 내부에 카본 펠트(carbon felt)로 이루어진 단열부를 더 포함하는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 3 차폐부는 상기 제 3 면이 상기 단결정 잉곳과 10㎜ ∼ 30㎜ 이격되게 설치되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면이 볼록하게 형성되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 5에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)의 합은 0.5D≤W1+W2≤1.0D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 6에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)는 1.0≤W1/W2≤4.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 5에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 곡률 반경(R1)(R2)은 1.0≤R1/R2≤3.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 8에 있어서 상기 제 1 면의 곡률 반경과 제 2 면의 곡률 반경이 동일할 때제 1 면과 제 2 면이 같은 중심점을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 5에 있어서 제 4 면이 오목하게 형성되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 10에 있어서 상기 제 4 면이 하나의 곡률 반경(R3)을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 11에 있어서 상기 곡률 반경(R3)이 R3≤2.0R1인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 10에 있어서 상기 제 4 면이 다단의 곡률 반경을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 13에 있어서 상기 다단의 곡률 반경은 상기 단결정 잉곳과 인접하는 부분에서부터 멀어질수록 점차 커지는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 1 면이 오목하고 상기 제 2 면이 볼록하게 형성되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 15에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)의 합은 0.5D≤W1+W2≤1.0D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 14에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)는 1.0≤W1/W2≤4.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 15에 있어서 상기 제 1 및 제 2 면의 곡률 반경(R1)(R2)은 1.0≤R1/R2≤3.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 18에 있어서 상기 제 1 면의 곡률 반경과 제 2 면의 곡률 반경이 동일할 때 제 1 면과 제 2 면이 같은 중심점을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 15에 있어서 제 4 면이 오목하게 형성되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 20에 있어서 상기 제 4 면이 하나의 곡률 반경(R3)을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 21에 있어서 상기 곡률 반경(R3)이 R3≤2.0R1인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 20에 있어서 상기 제 4 면이 다단의 곡률 반경을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 23에 있어서 상기 다단의 곡률 반경은 상기 단결정 잉곳과 인접하는 부분에서부터 멀어질수록 점차 커지는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 3 면의 높이(H1)는 0.05D≤H1≤0.35D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 3 차폐부의 높이(H2)는 1.0D≤H2≤2.0D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 1에 있어서 상기 제 3 차폐부의 최 저면부는 상기 실리콘 융액에 30∼100㎜ 보다 높게 설치되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 소정 직경(D)를 갖는 단결정 잉곳을 성장하기 위한 실리콘 융액을 담는 석영 도가니와, 상기 석영 도가니를 피복하며 회전축 상에 고정 설치되는 도가니 지지대와, 상기 도가니 지지대를 에워싸는 원통형의 히터와, 상기 히터를 에워싸게 설치되어 상기 히터에서 발산되는 열이 상기 챔버의 벽 쪽으로 확산되는 것을 방지하는 보온통과, 상기 단결정 잉곳과 도가니 사이에 설치되고 원통 형상의 제 1 차폐부와 상기 제 1 차폐부의 상부와 연결되어 상기 보온통 상에 고정되는 플랜지 형상의 제 2 차폐부와 상기 제 1 차폐부의 하부와 연결되어 상기 단결정 잉곳 쪽으로 돌출되게 형성된 제 3 차폐부로 이루어진 열실드를 포함하는단결정 잉곳 제조장치에 있어서,상기 제 3 차폐부가 상기 단결정 잉곳 및 상기 실리콘 융액을 향하며 수평대응거리(W1)와 볼록한 제 1 곡률 반경(R1)을 갖는 제 1 면과, 상기 단결정 잉곳의 반대 쪽인 상기 히터 및 상기 실리콘 융액를 향하며 수평대응거리(W2)와 볼록한 제 2 곡률 반경(R2)을 갖는 제 2 면과, 상기 단결정 잉곳의 외주면과 대향하는 제 3 면과, 상기 챔버의 상부를 향하며 오목한 제 3 곡률 반경(R3)을 갖는 제 4 면으로 이루어진 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)의 합은 0.5D≤W1+W2≤1.0D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 29에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)는 1.0≤W1/W2≤4.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 곡률 반경(R1)(R2)은 1.0≤R1/R2≤3.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 31에 있어서 상기 제 1 면의 곡률 반경과 제 2 면의 곡률 반경이 동일할 때 제 1 면과 제 2 면이 같은 중심점을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 4 면이 하나의 곡률 반경(R3)을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 33에 있어서 상기 곡률 반경(R3)이 R3≤2.0R1인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 4 면이 다단의 곡률 반경을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 35에 있어서 상기 다단의 곡률 반경은 상기 단결정 잉곳과 인접하는 부분에서부터 멀어질수록 점차 커지는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 3 면의 높이(H1)는 0.05D≤H1≤0.35D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 3 차폐부의 높이(H2)는 1.0D≤H2≤2.0D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 28에 있어서 상기 제 3 차폐부의 최 저면부는 상기 실리콘 융액에 30∼100㎜ 보다 높게 설치되는 단결정 잉곳 제조장치.
- 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 소정 직경(D)를 갖는 단결정 잉곳을 성장하기 위한 실리콘 융액을 담는 석영 도가니와, 상기 석영 도가니를 피복하며 회전축 상에 고정 설치되는 도가니 지지대와, 상기 도가니 지지대를 에워싸는 원통형의 히터와, 상기 히터를 에워싸게 설치되어 상기 히터에서 발산되는 열이 상기 챔버 쪽으로 확산되는 것을 방지하는 보온통과, 상기 단결정 잉곳과 도가니 사이에 설치되고 원통 형상의 제 1 차폐부와 상기 제 1 차폐부의 상부와 연결되어 상기 보온통 상에 고정되는 플랜지 형상의 제 2 차폐부와 상기 제 1 차폐부의 하부와 연결되어 상기 단결정 잉곳 쪽으로 돌출되게 형성된 제 3 차폐부로 이루어진 열실드를 포함하는 단결정 잉곳 제조장치에 있어서,상기 제 3 차폐부가 상기 단결정 잉곳 및 상기 실리콘 융액을 향하며 수평대응거리(W1)와 오목한 제 1 곡률 반경(R1)을 갖는 제 1 면과, 상기 단결정 잉곳의 반대 쪽인 상기 히터 및 상기 실리콘 융액를 향하며 수평대응거리(W2)와 볼록한 제 2 곡률 반경(R2)을 갖는 제 2 면과, 상기 단결정 잉곳의 외주면과 대향하는 제 3 면과, 상기 챔버의 상부를 향하며 오목한 제 3 곡률 반경(R3)을 갖는 제 4 면으로 이루어진 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 40에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)의 합은 0.5D≤W1+W2≤1.0D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 41에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 수평대응거리(W1)(W2)는1.0≤W1/W2≤4.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 42에 있어서 상기 제 1 면 및 제 2 면의 곡률 반경(R1)(R2)은 1.0≤R1/R2≤3.0인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 40에 있어서 상기 제 4 면이 하나의 곡률 반경(R3)을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 44에 있어서 상기 곡률 반경(R3)이 R3≤2.0R1인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 40에 있어서 상기 제 4 면이 다단의 곡률 반경을 갖는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 46에 있어서 상기 다단의 곡률 반경은 상기 단결정 잉곳과 인접하는 부분에서부터 멀어질수록 점차 커지는 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 40에 있어서 상기 제 3 면의 높이(H1)는 0.05D≤H1≤0.35D인 단결정 잉곳 제조장치.
- 청구항 40에 있어서 상기 제 3 차폐부의 높이(H2)는 1.0D≤H2≤2.0D인 단결정 잉곳제조장치.
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