KR20020036746A - 스크루식 드라이 진공펌프 - Google Patents

스크루식 드라이 진공펌프 Download PDF

Info

Publication number
KR20020036746A
KR20020036746A KR1020010069669A KR20010069669A KR20020036746A KR 20020036746 A KR20020036746 A KR 20020036746A KR 1020010069669 A KR1020010069669 A KR 1020010069669A KR 20010069669 A KR20010069669 A KR 20010069669A KR 20020036746 A KR20020036746 A KR 20020036746A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rotor
casing
screw
vacuum pump
dry vacuum
Prior art date
Application number
KR1020010069669A
Other languages
English (en)
Inventor
야나기사와기요시
후카이도키오
Original Assignee
마에다 시게루
가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마에다 시게루, 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 filed Critical 마에다 시게루
Publication of KR20020036746A publication Critical patent/KR20020036746A/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
    • F04C18/086—Carter
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044—Holweck-type pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

스크루식 드라이 진공펌프는 회전을 통하여 가스를 배출시키는 스크루나사를 갖는 로터, 내부에 상기 로터를 수용하는 케이싱, 상기 케이싱내에 제공되는 축소부 및 상기 케이싱의 배출끝단부상에 제공되는 확대부를 포함한다. 상기 축소부는 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 작은 간극을 형성한다. 상기 확대부는 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 더 큰 간극을 형성한다.

Description

스크루식 드라이 진공펌프{SCREW-TYPE DRY VACUUM PUMP}
본 발명은 스크루나사를 깆는 로터가 케이싱내에 배치되고, 로터의 회전에 의하여 펌프로부터 기체를 배출하는 스크루식 드라이 진공펌프에 관한 것이다.
종래의 스크루식 드라이 진공펌프는 예를 들면, 2개의 로터에 각각 스크루나사를 구비하고, 2개의 로터 사이 및 각각의 로터와 케이싱 사이에 형성되는 간극을 포함한다. 2개의 로터가 동기적으로 서로 반대방향으로 회전함으로써, 로터상의 스크루나사를 따라 기체가 이송된다. 이와 같은 형식의 펌프는, 예를 들어, 반도체 제조장치 등에 있어서 챔버로부터 가스를 배출하는데 널리 사용되어 왔다.
많은 반도체의 제조공정에서는 진공 환경이 만들어지는 가운데, 화학기상성장(CVD)장치, 드라이 에칭장치 또는 스퍼터링과 같은 반도체 제조장치에서 반응가스를 사용하여 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 웨이퍼를 처리한다. 화학기상성장과 같은 다양한 처리가 반도체 제조장치의 챔버내에서 행하여진다. 어떤 경우에는, 이들 공정에 사용되는 처리가스가 고형물질 또는 응고되기 쉬운 성분을 포함한다. 스크루나사를 가지는 로터가 회전되어 가스를 이송하는 스크루식 드라이 진공펌프는, 로터의 회전에 의하여 이들 처리가스를 배출하는데 적합하다. 로터와 케이싱 사이의 스크루나사 내에 축적되는 고형물질이 로터의 회전에 따라 긁어 내어지고 배출끝단부로 이송된다.
도 4는 2축 용적형 유체기계의 일종인 종래의 스크루식 드라이 진공펌프를 나타내는 단면도이다. 종래의 스크루식 드라이 진공펌프는 원통형 케이싱(11)과 스크루나사를 가지는 회전식로터(12)를 포함한다. 로터(12)의 외주면과 케이싱 (11)의 내면 사이에 작은 간극이 형성되도록, 로터(12)가 케이싱(11)내에 수용된다. 로터(12)는 주축(15)에 연결되고, 주축(15)은 배출끝단부상의 고정 부재(13)에 고정되는 베어링(16)에 의하여 지지된다. 주축(15)은 외부 모터(도시 되지 않음)에 결합되고, 로터(12)는 모터의 작동에 의하여 회전된다. 로터(12)의 회전에 의하여 유입구(17)를 통하여 펌프안으로 기체가 도입된다. 상기 기체는 스크루나사의 회전에 따라 배출끝단부쪽으로 이송된 후, 유출구(18)로부터 배출된다.
배출될 반응가스 중에는 고형물질이 함유될 수도 있다. 따라서, 스크루식 드라이 진공펌프를 사용하여, 예를 들면 반도체 제조장치의 챔버를 배기하는 경우에는 반응가스 중의 성분이 응고되고, 어떤 경우에는 반응 부생성물(20)로서 배출끝단부에 축적된다. 상기한 바와 같이, 스크루식 진공펌프에서는, 스크루나사를 가지는 로터가 회전되어 기체를 이송하고, 상기 펌프 내부에 축적되는 고형물질은 스크루나사의 회전에 따라 긁어 내어져 배출끝단부쪽으로 이송될 수 있다. 그러나, 도 4에 도시된 바와 같이, 로터(12)와 케이싱(11) 사이에 형성된 간극은 케이싱(11)내의 배출끝단부 근처에서 반응 부생성물(20)로 채워진다. 진공펌프의 배출끝단부에 고형물질이 축적하여 로터와 케이싱 사이의 간극이 채워지면, 모터에 과부하가 걸리게 되어 펌프를 정지시키고, 펌프 및 모터에 손상을 일으킨다.
배출될 반응가스는 반응 부생성물의 덩어리 및 이물질 등을 포함할 수도 있다. 이들 고형물질의 입자직경이 로터 사이의 간극 또는 로터와 케이싱 사이의 틈새보다 작으면, 상술된 바와 같이, 고형물질은 로터의 배출작용에 의하여 배출될 것이다. 그러나, 이들 고형물질의 입자직경이 더 크면, 배출 과정에서 로터의 회전을 방해하여, 고형물질이 로터 사이의 간극 또는 로터와 케이싱 사이의 틈새에 끼일 수 있다.
본 발명은 상기한 결점을 고려하여 만들어졌다. 따라서, 본 발명의 목적은 펌프 내부에 반응 부생성물이 축적되는 것을 막을 수 있는 진공펌프를 제공하는 것이다.
본 발명의 첫번째 형태에 따르면,
회전에 의하여 가스를 배출하는 스크루나사를 구비한 로터; 그 안에 로터를 수용하는 케이싱; 케이싱 내에 제공된 축소부, 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 작은 간극을 형성하는 축소부; 및 케이싱의 배출끝단부상에 제공된 확대부, 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 더 큰 간극을 형성하는 확대부를 포함하는 스크루식 드라이 진공펌프를 제공한다.
로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 더 큰 간극을 형성하는 확대부가 케이싱의 배출끝단부에 제공되기 때문에, 로터와 케이싱 사이의 배출끝단부상에 큰 간극이 형성된다. 본 발명은 로터와 케이싱 사이의 미세간극에 반응 부생성물이 축적되는 종래의 문제를 해결한다. 따라서, 본 발명은 고형 반응 부생성물을 생성하기 쉬운 가스를 배출하는 경우에도 안정된 펌프의 운전을 확실하게 한다.
본 발명의 바람직한 형태에 따르면, 진공펌프는 케이싱의 흡입끝단부에 제공되는 확대부, 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 더 큰 간극을 형성하는 확대부를 포함한다.
펌프에 복수의 로터가 제공되는 경우에는, 반응 부생성물을 축적할 수 있도록 인접한 로터 사이의 케이싱 내에 함몰부가 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 바람직한 형태에 따르면, 진공펌프는 케이싱 내부에 축적된 반응 부생성물을 배출하는 배출 기구를 더 포함한다. 이러한 구조에 의하면, 많은 양의 부생성물이 축적되었을 때, 반응 부생성물을 펌프의 외부로 배출할 수 있다. 따라서, 이러한 구조는 진공펌프의 갑작스런 정지를 막을 수 있고 펌프의 안정적인운전을 확실하게 한다.
본 발명의 상기 목적과 또 다른 목적, 특징 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시예를 통하여 설명하는 첨부도면과 연계하여 아래에 기술함으로써 명백해진다.
도 1은 회전축의 축선을 따라 취한, 본 발명의 제1실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프를 도시한 단면도;
도 2는 회전축의 축선을 따라 취한, 본 발명의 제2실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프를 도시한 단면도;
도 3은 회전축의 축선을 따라 취한, 본 발명의 제3실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프를 도시한 단면도;
도 4는 회전축의 축선을 따라 취한, 종래의 스크루식 드라이 진공펌프를 도시한 단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프는 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술된다.
도 1은, 본 발명의 제1실시예에 따른 2개의 로터를 구비한 스크루식 드라이 진공펌프를, 1개의 로터의 축선을 따라 취하여 도시한 단면도이다. 도 4에 도시된 종래의 진공펌프와 같이, 본 실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프는 스크루나사를 각각 구비한 2개의 로터(12)와, 상기 로터(12)에 연결된 주축(회전축)(15)을 포함한다. 각 로터(12)는 유입구(17)를 통하여 펌프 안으로 기체를 도입하여 배출끝단부로 기체를 이송하도록 모터(도시되지 않음)의 작동에 의하여 회전된다. 상기 기체는 유출구(18)로부터 대기로 배출된다. 따라서, 진공펌프의 유입구(17)에 연결된 챔버는 비워진다.
케이싱(11)은 각각 스크루나사를 구비한 로터(12)를 덮도록 배치되고, 로터 (12)의 외주면과 케이싱(11)의 내면 사이에는 작은 간극이 형성된다. 케이싱(11)에는 로터(12)의 축방향 길이보다 더 짧은 축방향 길이를 갖는 축소부(14)가 제공된다. 상세하게는, 상기 케이싱(11)은 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 간극을 형성하는 축소부(14)와 케이싱(11)의 배출끝단부상에 형성된 확대부(21)를 갖는다. 상기 확대부(21)는 로터(12)의 외주면과 케이싱(11)의 내면 사이에 더 큰 간극을형성하도록 배치된다. 고정 부재(13)에 고정된 베어링(16)에 의하여 주로 주축 (15)을 지지하는 지지 기구와 같은 진공펌프의 기타 구조는 도 4에 도시된 종래의 진공펌프의 구조와 동일하다.
로터(12)의 외주면과 케이싱(11)의 내면 사이에 작은 간극을 형성하는 케이싱(11)의 축소부(14)는 스크루나사를 갖는 로터(12)의 영역보다 짧은 축선방향의 길이를 갖는다. 따라서, 본 발명에 따른 드라이 진공펌프는 배출가스 내의 반응 부생성물이 고형화되고 로터의 배출끝단부를 막는 종래의 문제점을 해결한다. 상세하게는, 상술한 바와 같이, 반도체 제조장치등에서 진공챔버가 비워지는 경우, 배출가스는 응고된 물질 또는 응고되기 쉬운 성분을 함유할 수 있다. 본 발명에 따른 드라이 진공펌프는 이러한 상황에서 사용하기에 적합하다.
스크루식 드라이 진공펌프내의 베어링(16)에 의하여 로터(12)가 자리잡기 때문에, 운전중에는 배출끝단부에서의 온도가 높아지는 경향이 있다. 또한, 로터(12)의 회전에 따른 기체의 압축열에 의하여 배출끝단부에서의 내부 온도가 증가되는 경향이 있다. 그 결과, 배출끝단부상의 로터를 구성하는 부품에서 열팽창이 일어난다. 한편, 케이싱(11)은 일반적으로 공기냉각 등에 의하여 냉각되기 때문에, 로터 (12)의 외주면과 케이싱(11)의 내면 사이의 미세 간극이 배출끝단부상에서 더 작아지는 경향이 있다. 또한, 유출구 근처의 온도가 낮기 때문에, 기화된 반응 부생성물(20)은 유출구 근처에서 응고되기 쉽다. 따라서, 펌프의 상류측으로부터 이송된 반응 부생성물(20)은, 상술된 바와 같이 펌프의 배출끝단부상에 축적되는 경향이 있다.
일반적으로, 고형물질이 케이싱의 배출끝단부에 축적되면, 진공펌프가 정지되고 펌프의 내부 온도가 더 낮아질 때, 축적된 물질은 로터의 외주면과 접촉하게 된다. 이것은 상술된 바와 같이, 진공펌프를 재시동할 수 없는 결과를 초래한다.
본 발명의 진공펌프에서, 로터(12)의 외주면과 케이싱(11)의 내면 사이에 작은 간극을 형성하는 축소부는, 로터의 배출끝단부에 걸쳐 연장되지 않는다. 대신에, 확대부(21)가 케이싱의 배출끝단부에 제공된다. 이러한 구조에 의하여, 본 발명의 진공펌프는 고형물질이 로터의 배출끝단부를 막아버리는 종래 진공펌프의 문제점을 피하게 된다.
상세하게는, 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이의 간극이 케이싱의 배출끝단부에서 확장되기 때문에, 배출가스내에 함유된 반응 부생성물이 축적되어 상기 간극을 막는 것을 방지한다. 반응 부생성물은 확대부를 통하여 흐르고 유출구(18)를 통하여 배출된다. 따라서, 반응 부생성물을 함유하는 가스가 배출되더라도, 케이싱의 배출끝단부상에 반응 부생성물이 축적되지 않는다. 이는 시동 시에, 로터의 회전이 방해받고, 모터에 과부하가 걸리게 되어 로터 및 모터에 손상을 입히는 문제를 피할 수 있게 한다. 그 결과, 본 발명의 구성은 진공펌프의 수명을 길게 할 수 있다.
본 발명의 제2실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프는 도 2를 참조하여 아래에 기술된다. 도 2는, 제2실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프를, 회전축의 축선을 따라 취하여 나타내는 단면도이다. 제1실시예와 동일한 제2실시예에 따른 진공펌프의 구성 및 효과는 아래에 기술되지 않는다.
제2실시예의 스크루식 드라이 진공펌프에서, 케이싱(11)은 로터(12)의 길이보다 더 짧은 축방향 길이를 갖는 축소부(14)와, 로터의 배출끝단부 뿐만 아니라 흡입끝단부에도 제공되는 확대부(21)를 갖는다. 확대부(21)는 로터(12)의 외주면과 케이싱(11)의 내면 사이에 간극이 형성되도록 배치되고, 상기 간극은 로터(12)의 외주면과 축소부(14)의 내면 사이의 간극보다 더 크다. 또한, 착탈식 덮개(24)가 배출끝단부에 형성되는 확대부(21)에 걸쳐 장착된다. 착탈식 덮개(24)는 확대부 (21)내에 축적된 반응 부생성물을 배출하는 배출 기구로서 역할을 한다. 본 실시예에서는, 베어링(16)이 로터의 배출끝단부에 제공되지만, 상기 베어링(16) 대신에 베어링이 흡입끝단부상에 제공될 수도 있다.
이러한 구조에 의하여, 큰 입자직경을 가진 부생성물이나 이물질이 펌프 내부로 흐르더라도 이 반응 부생성물은 흡입끝단부에 제공되는 확대부(21)내에 축적된다. 따라서, 흡입끝단부의 확대부(21)가 이러한 반응 부생성물이 회전 로터(12)에 들어가는 것을 방지할 수 있게 되어 펌프의 갑작스런 정지를 미연에 방지할 수 있다.
본 발명의 제3실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프는 도 3을 참조하여 아래에 기술된다. 도 3은, 제3실시예에 따른 스크루식 드라이 진공펌프를, 회전축의 축선을 따라 취하여 나타내는 단면도이다. 제1 및 제2실시예와 동일한 제3실시예에 따른 구성 및 효과는 아래에 기술되지 않는다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제3실시예의 다단 스크루식 드라이 진공펌프는 주축(15)에 직렬로 배치된 2개의 로터(12a, 12b)를 포함한다. 케이싱(11)은 각각 로터(12a, 12b)의 축방향 길이보다 짧은 축방향 길이를 갖는 축소부(14a, 14b)를 갖는다. 또한, 케이싱(11)은 각 로터(12a, 12b)의 배출끝단부와 흡입끝단부에 제공된 확대부(21)를 갖는다. 상세하게는, 3개의 확대부(21)는 유입구(17)끝단부와 유출구(18)끝단부상에 그리고 2개의 로터(12a, 12b) 사이에 형성된다. 함몰부(22)는 로터(12a, 12b) 사이에 위치한 확대부(21)내에 형성되어, 반응 부생성물이 함몰부(22)상에 축적될 수 있다. 배출구(23)는 함몰부(22)내에 제공되고, 덮개(24)가 배출구(23)를 밀봉하기 위하여 제공된다. 상기 배출구(23) 및 덮개(24)는 함몰부(22)내에 축적된 반응 부생성물을 케이싱(11)으로부터 배출시키는 배출 기구의 역할을 한다. 배출구와 덮개는 반응 부생성물을 배출하는 유출구(18)끝단부에 형성된 확대부(21)내에 제공될 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는, 베어링(16)이 로터의 배출끝단부상에 제공되지만, 상기 베어링(16) 대신에 베어링이 흡입끝단부상에 제공될 수도 있다.
이러한 구조에 의하여, 유입구(17)끝단부상의 로터(12a)에 의하여 배출끝단부쪽으로 반응 부생성물(20)이 이송되고, 유출구(18)끝단부상의 로터(12b)에 들어가기 전에 함몰부(22)에 축적된다. 따라서, 회전 로터(12a, 12b)가 정지되는 것을 방지할 수 있고, 그 때문에 펌프의 안정적인 운전이 달성될 수 있다.
시간이 경과함에 따라, 케이싱내에 축적되는 반응 부생성물의 양은 증가하고 축적된 부생성물은 서서히 하류로 흐른다. 이러한 경우에, 상기 반응 부생성물은 케이싱(11)의 내면과 로터(12a, 12b)의 외주면 사이로 들어가 로터의 회전을 방해할 수 있다. 그러나, 본 실시예의 구성에 의하면, 배출구(23)와 덮개(24)를 통하여함몰부(22)내에 축적된 반응 부생성물을 배출하는 것이 가능하다. 따라서, 본 발명은 보다 안정적인 펌프의 운전을 확실히 할 수 있고, 펌프를 교체해야 하는 빈도를 줄일 수 있다. 반도체 제조공장 등에서 이러한 진공펌프를 사용하여, 생산 시에 반도체 제품에 대한 손상을 억제할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기 실시예에는 2개의 로터을 갖는 스크루식 드라이 진공펌프가 기술되었지만, 본 발명은 이들 구성에 국한되지 않고, 다른 형태의 스크루식 드라이 진공펌프에 명백히 적용될 수 있다. 더 나아가, 본 발명은 앞서 언급된 드라이 진공펌프와 동일한 구성을 갖는 드라이 압축기에도 적용될 수 있다.
상기된 바와 같이, 본 발명에 따르면, 케이싱 구조의 부분적인 수정을 통하여 배출가스내의 반응 부생성물과 같은 응고된 물질이 펌프 내부에 축적되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 펌프의 안정적인 운전이 달성될 수 있고, 펌프의 수명이 연장될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진공펌프는 고형물질 또는 응고되기 쉬운 성분을 함유하는 가스를 배출하는데 적합하다.
본 발명의 바람직한 실시예가 도시되고 상세히 기술되었지만, 첨부된 청구항을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 이루어질 수 있다는 것이 이해되어야 할 것이다.
본 발명에 따라, 펌프 내부에 반응 부생성물이 축적되는 것을 막을 수 있는 스크루식 드라이 진공펌프를 제공하여 보다 안정적인 펌프의 운전이 확보되고, 진공펌프의 수명이 길어지는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (5)

  1. 스크루식 드라이 진공펌프에 있어서,
    회전을 통하여 가스를 배출시키는 스크루나사를 갖는 로터;
    내부에 상기 로터를 수용하는 케이싱;
    상기 케이싱내에 제공되어, 상기 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 작은 간극을 형성하는 축소부; 및
    상기 케이싱의 배출끝단부상에 제공되어, 상기 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 더 큰 간극을 형성하는 확대부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크루식 드라이 진공펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 케이싱의 흡입끝단부상에 제공되어, 상기 로터의 외주면과 케이싱의 내면 사이에 더 큰 간극을 형성하는 확대부를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크루식 드라이 진공펌프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 확대부상에 축적된 반응 부생성물을 배출시키는 배출 기구를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크루식 드라이 진공펌프.
  4. 스크루식 드라이 진공펌프에 있어서,
    회전을 통하여 가스를 배출하는 스크루나사를 각각 갖고, 직렬로 배치되어 있는 복수의 로터;
    상기 복수의 로터를 수용하는 케이싱; 및
    반응 부생성물이 그 위에 축적되도록 인접한 로터들 사이의 상기 케이싱내에 형성되는 함몰부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크루식 드라이 진공펌프.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 함몰부에 축적된 반응 부생성물을 배출시키는 배출 기구를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크루식 드라이 진공펌프.

KR1020010069669A 2000-11-10 2001-11-09 스크루식 드라이 진공펌프 KR20020036746A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2000-00343870 2000-11-10
JP2000343870 2000-11-10
JP2001226195A JP2002206493A (ja) 2000-11-10 2001-07-26 スクリュー式ドライ真空ポンプ
JPJP-P-2001-00226195 2001-07-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20020036746A true KR20020036746A (ko) 2002-05-16

Family

ID=26603765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010069669A KR20020036746A (ko) 2000-11-10 2001-11-09 스크루식 드라이 진공펌프

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6655938B2 (ko)
EP (1) EP1205666A3 (ko)
JP (1) JP2002206493A (ko)
KR (1) KR20020036746A (ko)
SG (1) SG101508A1 (ko)
TW (1) TW546441B (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101366769B1 (ko) * 2009-09-25 2014-02-25 가부시키가이샤 아루박 진공 드라이 펌프
KR101641887B1 (ko) * 2016-01-15 2016-07-25 이영수 스크류 로터와 그루브를 구비한 건식진공펌프

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3963682B2 (ja) * 2001-09-17 2007-08-22 株式会社荏原製作所 容積式ドライ真空ポンプ
JP3991918B2 (ja) 2003-05-19 2007-10-17 株式会社豊田自動織機 ルーツポンプ
US20190128261A1 (en) * 2017-11-02 2019-05-02 Carrier Corporation Opposed screw compressor with staggered screw rotor
KR102119071B1 (ko) * 2018-11-22 2020-06-04 (주)엘오티베큠 마모 발생을 방지하는 진공펌프
CN110725796B (zh) * 2019-11-11 2021-08-13 浙江思科瑞真空技术有限公司 一种具有多段转子结构的螺杆泵
JP7244554B2 (ja) * 2021-02-05 2023-03-22 株式会社アルバック スクリューポンプ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1635271A (en) * 1925-08-12 1927-07-12 Laval Separator Co De Vacuum pump
FR1409698A (fr) 1964-09-30 1965-08-27 Svenska Rotor Maskiner Ab Compresseur à pistons rotatifs à déplacement positif
GB1518271A (en) * 1974-07-01 1978-07-19 Svenska Rotor Maskiner Ab Method for the compression ratio of a screw compressor and prime mover
JPH06103030B2 (ja) 1985-10-21 1994-12-14 株式会社日立製作所 スクリユ−真空ポンプ
US4943215A (en) * 1988-02-29 1990-07-24 Leybold Aktiengesellschaft Multistage vacuum pump with bore for fouling removal
JPH07111184B2 (ja) * 1988-12-05 1995-11-29 株式会社荏原製作所 スクリュ−圧縮機
NL8803199A (nl) * 1988-12-29 1990-07-16 Skf Ind Trading & Dev Schroefcompressor.
JPH02245493A (ja) 1989-03-20 1990-10-01 Hitachi Ltd スクリュー真空ポンプ
JP2981276B2 (ja) * 1990-11-01 1999-11-22 株式会社日立製作所 多段スクリュー圧縮機
JPH109163A (ja) 1996-06-25 1998-01-13 Hitachi Ltd スクリュ式ドライ真空ポンプ
WO1999049220A1 (fr) 1998-03-23 1999-09-30 Taiko Kikai Industries Co., Ltd. Pompe d'aspiration de matieres seches

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101366769B1 (ko) * 2009-09-25 2014-02-25 가부시키가이샤 아루박 진공 드라이 펌프
KR101641887B1 (ko) * 2016-01-15 2016-07-25 이영수 스크류 로터와 그루브를 구비한 건식진공펌프
WO2017122894A1 (ko) * 2016-01-15 2017-07-20 이영수 스크류 로터와 그루브를 구비한 건식진공펌프

Also Published As

Publication number Publication date
SG101508A1 (en) 2004-01-30
US20020057964A1 (en) 2002-05-16
JP2002206493A (ja) 2002-07-26
TW546441B (en) 2003-08-11
EP1205666A2 (en) 2002-05-15
EP1205666A3 (en) 2003-02-26
US6655938B2 (en) 2003-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20100209259A1 (en) Evacuation apparatus
JP4732750B2 (ja) 真空排気装置
EP1866076B1 (en) Method and apparatus of treating a gas stream
KR20020036746A (ko) 스크루식 드라이 진공펌프
JPH0886298A (ja) ドライターボ真空ポンプ
US7052259B2 (en) Vacuum exhausting apparatus
JP5330896B2 (ja) ドライ真空ポンプ
JP4000611B2 (ja) 真空排気システム
JP6390478B2 (ja) 真空ポンプ
JP2006520873A (ja) 容積型真空ポンプ
JP6353257B2 (ja) 排気口部品、および真空ポンプ
CN112867867B (zh) 真空泵、以及真空泵构成零件
JP4111763B2 (ja) 縦置きスクリュー式真空ポンプ
JP4916655B2 (ja) 真空ポンプ
KR20080056192A (ko) 반도체 처리용 펌프 장치
JPH10125657A (ja) 真空排気装置
JP2003322094A (ja) 真空排気装置
JP2004293377A (ja) 多段式ドライポンプ
JP2004076708A (ja) 真空ポンプ
KR20000073513A (ko) 가스 배기 시스템
KR20050105365A (ko) 스크루식 드라이 진공펌프의 냉각장치 및 그 냉각방법
JP2003336596A (ja) ドライターボ真空ポンプ
JPH08319985A (ja) ドライ真空ポンプ
JPH04127891U (ja) 真空ポンプ
JP2004116354A (ja) ターボ分子ポンプ

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid