JPH109163A - スクリュ式ドライ真空ポンプ - Google Patents

スクリュ式ドライ真空ポンプ

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Publication number
JPH109163A
JPH109163A JP8164117A JP16411796A JPH109163A JP H109163 A JPH109163 A JP H109163A JP 8164117 A JP8164117 A JP 8164117A JP 16411796 A JP16411796 A JP 16411796A JP H109163 A JPH109163 A JP H109163A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum pump
screw rotor
rotor
screw
casing
Prior art date
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Pending
Application number
JP8164117A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Komaki
達也 駒木
Kenji Nakagawa
憲治 仲川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP8164117A priority Critical patent/JPH109163A/ja
Publication of JPH109163A publication Critical patent/JPH109163A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
    • F04C18/084—Toothed wheels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
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    • F04C2250/00—Geometry
    • F04C2250/20—Geometry of the rotor
    • F04C2250/201—Geometry of the rotor conical shape

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】フィルタの圧力損失が大きくなることからメッ
シュを細かくする事ができないことを考慮して、排気す
る気体の中に大きな異物を含む場合でも、真空ポンプ作
動室での異物の噛み込みに起因するロータロックを防止
し、長期間の安定稼働を得られる真空ポンプを提供す
る。 【解決手段】真空ポンプの圧縮機本体にテーパ形状のス
クリュロータ１を設けて、吸気側のスクリュロータ１と
ケーシング２間の隙間を広く取る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空ポンプに係り、
特に、異物の噛み込みに起因するロータロックの防止に
好適な装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、異物によるロータロックの防止
策として、真空ポンプの吸気口にメッシュフィルタ等を
取り付けて作動室内に異物が混入しないようにしてい
た。しかし、フィルタの圧力損失が大きくなることによ
る排気速度の低下のためメッシュを充分に細かくする事
ができず、異物の作動室侵入を充分に防ぐ事はできなか
った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】真空ポンプで異物が混
入している気体を吸気する際、気体が大きな異物を含ん
でいた場合、スクリュロータとケーシング間の狭い隙間
に異物を噛み込んでしまい、この異物を砕ききれずにロ
ータロックを発生して過負荷停止に至る。従来技術で
は、フィルタの圧力損失が大きくなるためメッシュを充
分に細かくする事ができないことについての考慮がなさ
れていない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明はスクリュロータ形状をテーパ形状にする事
により吸気側のスクリュロータとケーシング間の隙間を
広く取り、大きな異物を砕いて小さくする。これによ
り、異物の噛み込みに起因するロータロックを防止す
る。
【０００５】気体が作動室内に吸い込まれる吸気過程に
おいて大きな異物がスクリュロータとケーシング間に噛
み込んでしまい、この異物を砕ききれずにロータロック
を発生してしまう。そこで、本発明ではスクリュロータ
の形状をテーパ形状にする事により吸気側のスクリュロ
ータとケーシング間の隙間を広く取り、異物が入ってき
た際に吸気過程，移送過程，圧縮過程において異物を徐
々に砕いて小さくしていくことで異物の噛み込みに起因
するロータロックを防止する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１及
び図２により説明する。図１は本発明に関わる異物の噛
み込みによるロータロック防止装置を使用したスクリュ
式ドライ真空ポンプの本体構造図を示したものである。
図２は本発明に関わるスクリュロータとケーシング間の
隙間における異物の流れを示したものである。
【０００７】真空ポンプの圧縮機本体には、吸気側を細
くしたテーパ形状のスクリュロータ１が取付けられてい
る。このため、吸気側のスクリュロータ１とケーシング
２間の隙間が広く取られている。
【０００８】運転時、異物を含んだ気体を作動室内へ吸
気する。従来のスクリュロータであると、この隙間に対
し大きな異物を噛み込んでしまい、この異物を砕ききれ
ずにロータロックを発生してしまう。本発明では広く取
られた隙間により大きな異物を砕くことが可能となる。
そして、移送するにつれ異物を砕いて徐々に小さくし、
排気側へと排出する。
【０００９】本実施例によれば、真空ポンプ作動室内で
の異物の噛み込みに起因するロータロックを防止するこ
とができる。これにより、過負荷停止を防止する効果が
ある。
【００１０】
【発明の効果】本発明により、フィルタのメッシュを細
かくすることなく、真空ポンプ作動室内での異物の噛み
込みに起因するロータロックによる過負荷停止を防止す
ることができ、長期間の安定した性能及び稼働を確保す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のスクリュ式ドライ真空ポンプの本体の
断面図。
【図２】本発明のスクリュロータとケーシング間の隙間
における異物の流れの説明図。
【符号の説明】
１…スクリュロータ、２…ケーシング、３…異物。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】お互いに噛み合う雄，雌一対のスクリュロ
    ータとケーシングにより形成される真空ポンプ機内のス
    クリュロータ間及びスクリュロータ・ケーシング間で、
    異物の噛み込みに起因するロータロックを発生させない
    テーパ形状のスクリュロータを有する事を特徴とするス
    クリュ式ドライ真空ポンプ。
JP8164117A 1996-06-25 1996-06-25 スクリュ式ドライ真空ポンプ Pending JPH109163A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8164117A JPH109163A (ja) 1996-06-25 1996-06-25 スクリュ式ドライ真空ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

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JP8164117A JPH109163A (ja) 1996-06-25 1996-06-25 スクリュ式ドライ真空ポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH109163A true JPH109163A (ja) 1998-01-13

Family

ID=15787081

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JP8164117A Pending JPH109163A (ja) 1996-06-25 1996-06-25 スクリュ式ドライ真空ポンプ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1205666A2 (en) * 2000-11-10 2002-05-15 Ebara Corporation Screw-type dry vacuum pump
CN106401947A (zh) * 2016-11-16 2017-02-15 中国石油大学(华东) 一种变螺距变啮合间隙的螺杆转子
GB2608630A (en) * 2021-07-08 2023-01-11 Leybold Gmbh Screw pump, screw rotor, method of manufacturing a screw rotor, and use of a screw pump or a screw rotor

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