KR20020025769A

KR20020025769A - 반도체 원격 검사방법 및 장치

Info

Publication number: KR20020025769A
Application number: KR1020010059997A
Authority: KR
Inventors: 프레드릭더블유. 크리스트; 티모시제이. 와그너
Original assignee: 하이든 마틴; 슐럼버거 테크놀로지즈, 아이엔씨.
Priority date: 2000-09-28
Filing date: 2001-09-27
Publication date: 2002-04-04
Also published as: CN1267980C; JP3862984B2; US6879940B1; JP2002203760A; CN1347145A; KR100433241B1; TW498416B; SG102006A1

Abstract

반도체 제조공정에서의 단계를 원격으로 모니터하고 개발하는 장치로서, 원격 액세스 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 접속되는 적어도 하나의 원격 워크스테이션, 및 링크를 통해 상기 로컬 워크스테이션에 접속되는 검사 시스템을 포함하는 장치가 개시된다. 또한, 반도체 검사 시스템을 원격으로 실행하고, 상기 반도체 검사 시스템을 원격으로 모니터하며, 상기 반도체 검사 시스템으로부터 원격으로 데이터를 수신하는 방법이 개시된다. 다른 실시예는 반도체 제조공정에서의 단계들을 원격으로 모니터하고 개발하는 장치를 포함한다. 이 실시예는 원격 액세스 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 각각 접속된 다수의 원격 워크스테이션, 및 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 접속된 검사 시스템을 포함한다. 이 실시예의 보안상의 특징은 어떤 한 원격 워크스테이션이 다른 원격 워크스테이션에 액세스하는 것을 차단하는 것이다.

Description

반도체 원격 검사방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR REMOTELY TESTING SEMICONDUCTORS}

본 발명은 일반적으로 집적회로 설계 및 제조 분야에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 물리적인 검사장치에서 떨어진 위치에서 집적회로 설계 및 칩을 검사하는 시스템에 관한 것이다.

새로 개발되는 집적회로의 복잡성의 증가로 인해, 새로운 형태의 집적회로 제조기술이 개발되고 있다. 현재, 집적회로 제조회사들은 대개 여러 가지 가능한 접근법 중 하나를 이용하여 제품을 만든다. 우선, 제조회사들은 자체 공장을 세우고 가동시켜 직접 반도체를 제조할 수 있다. 이러한 공장은 반도체 주조장 또는 제조공장으로 알려져 있다. 어떤 회사들은 이러한 제조공장을 가동시키기만 하고, 새로운 집적회로의 개발에 있어서의 다른 단계들은 다른 회사에 맡긴다. "집적장치 제조사"(IDM)로 알려진 다수의 큰 회사들은 새로운 반도체의 설계 및 검사 능력을 모두 갖추고 있다. IDM은 자체 제조공장도 갖고 있다. 혹은, 집적회로를 설계만 하고 최종적으로는 다른 회사에서 제조하게 하는 회사도 있을 수 있다. 전통적으로는 제조회사가 IDM인 것이 일반적이었다. 다수의 제조공장, 또는 "제작소"는 이러한 IDM에 의해 세워졌다. 자본과 가동비용을 줄이기 위해, "제작소"의 소유주들은 때때로 저임금 국가에 공장을 세웠다. 그러나, 일반적으로 "제작소" 자체는 반도체 설계능력을 거의 전혀 갖고 있지 않았다. 그 결과, 몇몇 회사들은 집적회로 설계가 유일한 걱정이라는 것을 나타내기 시작했다. 제조 또는 검사능력이 없는 설계회사들은 일반적으로 집적회로의 검사 및 제조를 다른 회사와 계약한다. 많은 소규모 회사들은 대개 집적회로의 초기 설계 이상의 능력을 갖고 있지 않다. 초기 설계와 제조 사이의 모든 중간단계는 제3자와 계약이 체결된다. 이러한 설계만 하는 회사들은 "비 제조"회사라 한다. 비 제조회사들은 일반적으로 제3자가 제공하는 검사 서비스를 필요로 한다. 그러나, 비 제조회사는 회로 설계가 개발과정에서 많은 변화가 있을 수 있다는 사실 때문에 대량 생산을 위해서는 집적회로 설계의 "핸드오프" 이전에 발생하는 검사단계를 면밀히 할 필요가 있다.

새로운 집적회로의 개념적인 개발과 실제 대량생산 사이에는 여러 중간단계가 있다. 새로운 설계를 생산단계에 가져가는데 있어서 첫 번째 단계는 초기 설계이다. 초기 설계에서, 설계 엔지니어는 최종 사용자의 사양을 이용하여 설계 엔지니어가 완성된 집적회로에서 사용자가 명기한 기능을 만들어낼 것이라고 믿는 일련의 논리게이트를 개발한다. 이 단계에서, 설계 엔지니어는 논리소자들의 배치만을 만들고, 대개 어떤 장치를 물리적으로 구성하지는 않는다.

다음 단계는 초기 설계를 검사하여 집적회로가 사용자가 명기한 기능을 만들어낼 것인지 여부를 판단하는 것이다. 이 단계에서, 검사는 일반적으로 논리게이트의 배치를 컴퓨터에서 시뮬레이션 하는 것과, 그렇게 배치된 논리게이트의 실제 기능성을 판단하는 것을 수반한다. 시뮬레이션 컴퓨터 상에서는 논리게이트의 배치를 변경할 수 있어 사용자가 명기한 기능성을 재현하는 데 있어서의 부족한 부분을 수정할 수 있다. 그리고, 논리적 설계가 사용자가 원하는 사양을 만족시킬 때까지 검사 및 설계가 반복된다. 이 재검사 및 재설계 반복은 디버깅으로 알려져 있다. 대개 디버깅은 시뮬레이션한 또는 이론적인 게이트를 재배치하여 원하는 기능을 만들어내는 것만을 포함한다. 이 단계에서 검사는 대개 정확하지 않으며, 단지 논리게이트가 적절한 양식으로 배치되었는지를 확인할 뿐이다.

집적회로 개발과정의 다음 단계는 프로토타입 장치 제조로서, 기술자들은 "제1 실리콘"이라 한다. 이 프로토타입 장치는 설계 디버그라고 알려진 다음 단계에서 일반적으로 시뮬레이트된 장치보다 더 정밀하게 검사된다. 실리콘웨이퍼 상에서3차원으로 일련의 이론적인 논리게이트를 재현하는 데 있어서의 어려움 때문에, 처음 프로토타입 장치를 만드는 데에는 대개 오차가 발생한다. 예를 들어, 특정 게이트에서 두 신호의 타이밍이 원하는 데이터가 예상한 게이트를 통과하지 않는 식으로 될 수도 있다. 따라서, 개발과정에서의 다음 단계는 프로토타입 장치를 디버그 하여 가능한 한 수정하는 것이다. 프로토타입 장치를 수정하기 위해, 각각의 게이트가 평가되고 필요에 따라 수정되어 최종 사용자의 기능을 만들어낸다. 프로토타입 장치에서의 게이트는 "전자 빔"(e-빔) 프로브 시스템, "적외선 레이저"(광학) 프로브 시스템 또는 "집중된 이온 빔"(FIB) 프로브 시스템 등의 기구를 사용하여 물리적으로 관측 및/또는 수정된다. 이러한 e-빔 기구로는 모델번호 IDS 10000_da가 있다. 적외선 레이저 프로브 시스템으로는 모델번호 IDS 2000이 있다. 집중된 이온 빔 프로브 시스템으로는 모델번호 IDS P3X가 있다. 상기한 기구는 모두 캘리포니아, 산 호세의 슐럼버거 반도체 솔루션에서 판매된다. 작동하지 않거나 계획대로 작동하지 않는 게이트를 고치기 위해, FIB 기구는, 예컨대 작동하지 않는 게이트로 이어지는 선을 끊어 프로토타입 장치의 결함을 완전히 "태워버릴" 수 있다. 작동하지 않는 게이트가 끊어진 뒤, 점퍼와 같은 새로운 요소가 FIB 프로브 시스템에 의해 적소에 배치될 수 있다. 모든 수정이 끝난 다음, 논리소자가 최종 사용자가 원하는 기능을 만들어낼 때까지 프로토타입 장치를 재검사한다.

상기 과정의 다음 단계는 프로토타입 장치의 특성화이다. 특성화 단계는 일반적으로 장치의 실제 성능검사를 포함한다. 성능검사는, 예컨대, 실제 최대 작업속도, 입력 및 출력시의 전압, 타이밍 파라미터, 한계온도 등의 결정을 포함한다.프로토타입 장치가 특성화 검사를 통과하면 대량 제조를 위한 제조공장으로 "핸드오프"될 수 있다. 일단 장치 설계가 제조공장으로 전달되면, 제조공장에서 생산된 제품을 검사하기 위해 검사 프로그램이 설계되어야 한다. 회로 설계마다 사용자 사양이 다르고 내부 논리소자가 다르기 때문에, 생산된 장치의 각 설계마다 새로운 검사 프로그램이 개발되어야 한다. 일반적인 비 제조회사가 검사 프로그램을 작성할 수도 있고, 또는 설계 디버그나 특성화 또는 대량 제조 검사 중에 검사 프로그램의 개발 및 구현을 외부 회사에 맡길 수도 있다.

집적회로 개발의 여러 단계에서 검사 프로그램의 개발 및/또는 실제 검사가 유일한 기능인 기업에 "검사장"이 존재한다. 어떤 제조공장은 물리적인 검사는 수행하지만 검사 프로그램(소프트웨어나 검사 인터페이스 등을 포함할 수 있다)은 개발하지 않고, 대신 검사 프로그램을 설계하는 검사장이나 다른 기관에 의지한다. 검사는 어떤 특정 회로 설계의 생산주기 동안 수행된다. 이 시점에서, 일반적으로 집적회로는 최종 사용자들에게 팔릴 준비가 된다.

도 1은 비 제조회사가, 예컨대, 새로운 집적회로를 초기 설계에서 최종 제품까지 개발하는데 사용하는 일반적인 방법을 나타낸다. 비 제조회사(20)는 먼저 제안된 집적회로에서 회로소자의 논리배치를 설계(1)한다. 비 제조회사(20)는 집적회로를 시뮬레이션(2)하여 의도한 대로 작동하는지를 판단한다. 시뮬레이션(2)중에 필요하다고 판단된 설계(1)상의 어떤 변경이 이때 설계(1)에 포함된다. 다음에, 비 제조회사(20)는 집적회로의 레이아웃(3)을 생성한다. 레이아웃의 완성은 기술자들에게 "테이프 아웃"으로 알려져 있다. 레이아웃은 프로토타입이 제조될제조공장(30)으로 전달된다(4). 제조공장(30)에서는 자체적으로 디버그(5A)하여 프로토타입을 특성화(7B)하거나 디버그(5A) 및 특성화(7B)를 위해 프로토타입을 검사장(40)에 보낼 수 있다. 설계 디버그(5A)중에 얻어진 검사결과를 기초로 제조공장(30)이나 검사장(40)에서는 설계(7A)를 변경할 수도 있고 또는 새로운 프로토타입을 생성해야할 수도 있다. 프로토타입이 의도한 대로 기능한다고 판단되면 집적회로의 대량 제조가 시작될 수 있다. 제조공장(30)에서 만들어지는 제품의 검사 및 조립(5B)은 검사장(40)에서 행해질 수도 있고, 그 검사결과는 비 제조회사(20)와 제조공장(30)에 전해져 대량 제조 중에 발견되는 어떠한 설계 및/또는 제조상의 결함을 개선하게 된다. 마지막으로, 완성된 집적회로가 최종 사용자에게 보내질 수 있다.

새로운 집적회로를 출하하는데 수반되는 모든 단계, 즉, 설계단계, 수정/디버그 단계 및 검사단계 때문에 새로운 집적회로의 생산은 어렵고 비용이 많이 든다. 또한, 여러 단계를 통해 집적회로의 개발을 모니터 하는 것도, 검사를 대개 제3자와 계약해야하는 비 제조회사에서는 특히 어려운 일이다.

모니터링은 검사결과 및 그 검사결과가 유효해질 때의 검사 데이터의 검토 및 분석을 포함한다. 예를 들어, 비 제조회사는 어떤 설계변경이 필요한지를 판단하기 위해 집적회로 성능의 검사결과와 그러한 설계변경의 효과를 보는 데 관심이 있다. 모니터링이 어렵기 때문에, 설계 시에 예방할 수 있는 오차, 조립, 또는 그 밖의 단계들을 피할 수 없다. 또한, 비 제조회사는 검사 프로그램을 직접 가동하여 검사 데이터의 검토 속도를 높이길 원하지만 필요한 자원을 갖고 있지 않다. 이러한 경우, 비 제조회사는 검사를 외부에 맡기거나 검사장의 시설을 이용할 수 밖에 없다.

한 측면에 있어서, 본 발명은 반도체 제조공정에서의 원격 모니터링 및 개발 단계를 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명의 이러한 측면에 따른 장치는 원격 액세스 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 접속된 적어도 하나의 원격 워크스테이션과, 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 접속된 검사 시스템을 포함한다.

다른 측면에 있어서, 본 발명은 반도체 제조에 있어서의 원격 모니터링 및 개발 단계를 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명의 이러한 측면에 따른 방법은, 반도체 검사 시스템을 원격으로 가동하여 반도체 검사 시스템을 원격으로 모니터하고 반도체 검사 시스템으로부터 원격으로 데이터를 수신하는 것을 포함한다.

또 다른 측면에 있어서, 본 발명은 원격 액세스 링크를 통해 하나의 로컬 워크스테이션에 각각 접속된 다수의 원격 워크스테이션과, 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 접속된 검사 시스템을 포함하는 반도체 제조공정에서의 원격 모니터링 및 개발 단계를 위한 장치에 관한 것이다.

본 발명의 그 밖의 측면 및 이점은 다음 설명과 첨부한 청구항으로부터 분명해질 것이다.

도 1은 반도체 제조에 있어서의 종래 기술의 단계를 예시하는 것이다.

도 2는 본 발명의 실시예의 개요이다.

도 3은 본 발명의 실시예의 개요이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 원격 워크스테이션2 클라이언트 스위치

2A, 3, 6, 9A 링크4 제1 라우터

5 제2 라우터7 로컬 워크스테이션

8 검사 시스템8A 호스트 컴퓨터

9B 호스트 스위치10 호스트 네트웍

반도체 제조의 개발 속도를 높이고 비용을 줄이기 위해, 비 제조회사와 같은 회사들은 새로운 집적회로의 설계, 디버그 및 생산 단계에서 집적회로 검사 프로그램을 원격으로 모니터(자체 물리설비 등에서)하고 분석하여 가동시키는 능력을 원한다.

검사 시스템은 일반적으로 그 검사 시스템을 필요로 하는 장치를 제어(즉, 소유 또는 임대)하는 "호스트"에 의해 제공된다. 호스트는 기술자들에게 "검사장"이라고 알려진 개체나, 예컨대, 비 제조회사를 포함하는 다른 회사들에 검사 서비스를 제공하는 일부 집적회로 제조회사가 될 수 있다. 검사 시스템은 어떤 기계나 반도체 회로 검사에 사용되는 관련 부속품이 될 수 있다. 예를 들어, 그러한 검사 기계는 모델번호 ITS 9000KX로 캘리포니아, 산 호세의 슐럼버거 반도체 솔루션에서 판매된다. 이 검사 기계는 유리하게 높은 처리량을 가지며, 높은 레벨의 정확도를 유지하므로, 상당수의 반도체 회로를 신속히 검사할 수 있다. 부속품으로는, 예를 들어, 웨이퍼 프로버, 디바이스 핸들러나 열 강제 유닛(temperature forcing unit) 등이 있다. 또한, 검사 시스템은 검사 기계를 구동시키는 컴퓨터 하드웨어 및 소프트웨어를 구비한다. 컴퓨터 하드웨어, 소프트웨어 및 반도체 검사에 사용할 수 있는 검사 시스템의 종류는 기술자들에게 알려져 있으며, 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. "클라이언트"는 호스트 검사 시스템을 사용하길 원하는 개체이다. 클라이언트의 예로는 비 제조회사 IDM이나 제조공장(자체적으로 검사하길 원하지 않는)이 있다. "호스트 네트웍"이란 말은 호스트의 근거리 통신망(LAN) 또는 인트라넷을 설명하는데 사용된다. 마찬가지로, "클라이언트 네트웍"이란 말은 클라이언트의 근거리 통신망(LAN) 또는 인트라넷을 설명하는데 사용된다. 본 발명은 클라이언트가 모니터할 수 있게 하고, 그리고/또는 검사 기계가 개별적인 물리시설에 배치된 집적회로를 직접 검사할 수 있게 한다. 일반적으로, 그러나 독점적으로는 아니고, 검사 기계는 호스트의 물리시설에 배치된다.

도 2는 본 발명의 일 실시예의 구체적인 예를 제공한다. 도 2는 전술한 ITS 9000 검사 시스템(8)에 사용될 수 있는 검사 프로그램의 개발을 도시하고 있다. 이 예에서는, 클라이언트 위치에 원격 워크스테이션(1)이 설치된다. 원격 워크스테이션(1)은 일반적으로 클라이언트가 검사 받을 장치(DUT)의 검사 프로그램을 개발하기 위해 필요한 소프트웨어를 구비한다. 본 발명의 이 실시예의 시스템은 클라이언트 스위치(2)를 포함할 수도 있으며, 이것은 클라이언트에 의해 제어된다. 클라이언트 스위치(2)는 클라이언트가 링크(2A)를 통해 원격 워크스테이션(1)을 클라이언트 네트웍(1A)에 접속할 수 있게 한다. 클라이언트 스위치(2)는 링크(2A)를 통해 원격 워크스테이션(1)을 클라이언트 네트웍(1A)에 접속할 수 있고, 또는 원격 워크스테이션(1)을 제1 라우터(4)에 접속할 수 있다. 어떤 경우에는, 클라이언트는 원격 워크스테이션(1)을 클라이언트 네트웍(1A)에 접속하여 클라이언트의 물리적인 설비에서 검사 프로그램이나 다른 컴퓨터에 상주하는 데이터의 원격 워크스테이션(1)으로의 이송을 용이하게 하고자 할 수도 있다. 클라이언트 스위치(2)의 특징은 본 발명의 범위에 한정되는 것이 아니고, 더욱이, 클라이언트는 이러한 스위치가 바람직한지를 결정할 수도 있다.

제1 라우터(4)는 링크(3)를 통해 원격 워크스테이션(1)을 제2 라우터(5)에 접속한다. 제1 라우터(4), 제2 라우터(5) 및 링크(3)는 원격 워크스테이션(1)과 로컬 워크스테이션(7)을 연결하는 "원격 액세스 링크"(6)를 구성한다. 본 실시예에서제1 라우터(4)와 제2 라우터(5)는 ISDN 라우터이며, 모델번호 776으로 캘리포니아, 산 호세의 시스코 시스템 사에서 판매된다. 본 실시예에서는 2개의 라우터를 도시하고 있지만, 2개 이상의 라우터가 설치될 수도 있다. 제1 라우터(4)와 제2 라우터를 연결하는 링크(3)는 본 실시예에서는 종합 정보 통신망(ISDN) 다이얼-업 링크이다. 그러나, 원격 액세스 링크(6)는, 광역망(WAN) 기술과 같이 기술자들에게 알려진 것을 포함하는 다른 성분들로 구성될 수 있다. ISDN 외에도, WAN 기술의 다른 예로는 프레임 릴레이, 프랙탈 T1, T1, E1, T3 및 비동기 전송방식(ATM)이 있다. WAN 기술의 그 밖의 예로는 가상 구내망(VPN)이 있다. 가상 구내망은 정보를 암호화함으로써 보안을 유지하면서 인터넷 등의 네트웍을 통해 한 컴퓨터에서 다른 컴퓨터로의 정보 전송을 가능하게 한다. 경제성을 구동요소로 하는 경우에는 링크(6)에 표준 모뎀 링크가 사용될 수도 있다. 많은 양의 데이터를 전송하기에는 느리지만, 모뎀링크는 클라이언트가 원격으로 검사 시스템(8)을 조작할 수 있게 한다. 이 실시예에서의 원격 워크스테이션(1)과 로컬 워크스테이션(7)은 캘리포니아, 팔로알토의 선 마이크로시스템 사에서 모델명 "울트라 5"로 판매되는 UNIX 기반 워크스테이션이다.

로컬 워크스테이션(7)으로부터 검사 시스템(8)을 가동하기 위해 어떤 시점에서 검사 프로그램이 로컬 워크스테이션(7)으로 이송되어야 한다. 이 실시예에서는 검사 시스템(8)이 호스트 네트웍(10)(LAN)에 접속된다. 검사 시스템(8)에서는 대량의 데이터가 교환되어야 하기 때문에 로컬 워크스테이션(7)이 바람직하다. 그러나, 이론적으로 원격 워크스테이션(1)은 로컬 워크스테이션(7)을 이용하지 않고 검사시스템(8)에 동작적으로 결합될 수 있다(링크(6) 등에 의해). 검사 시스템(8)은 링크(9A)를 통해 호스트 네트웍(10)에 접속될 수도 있다. 그러나, 링크(9A)는 직접 링크가 아니라서 클라이언트가 로컬 워크스테이션(7)을 통해 호스트 컴퓨터(10)에 액세스하는 것을 차단한다. 대신, 호스트 스위치(9B)가 마련되어 호스트가 작동할 수 있다. 호스트 스위치(9B)는 클라이언트가 호스트 네트웍(10)에 액세스하지 않고 필요에 따라 호스트가 검사 시스템(8)에 액세스할 수 있게 한다. 호스트 스위치(9B)는 물리적인 스위치 또는 이더넷 스위치와 같은 컴퓨터 제어 스위치가 될 수 있다. 혹은, 호스트 스위치(9B)는 OMNES, 슐럼버거사, 하우스톤, TX에 의해 슐럼버거 커넥티버티 센터(SCC)의 제품명으로 상업적으로 이용할 수 있는 보안 소프트웨어에 의해 작동하는 컴퓨터 제어 스위치가 될 수도 있다. 보안 소프트웨어를 사용할 때 호스트 네트웍(10)은 가상 구내망으로서 기능한다. 이러한 경우에는 다수의 클라이언트가 로컬 워크스테이션(7)에 정보를 기억시킬 수 있지만, 그들 자신 이외의 사람이 어떤 정보에 액세스하는 것을 방화벽으로 차단한다. 사용되는 스위치의 종류는 본 발명의 범위에 한정되지는 않는다. 검사 시스템(8)을 호스트 네트웍(10)에 접속하기 위해 호스트가 호스트 스위치(9B)를 선택적으로 작동시킬 때, 클라이언트가 검사 시스템(8)에 액세스하는 것이 금지된다. 그러나, 호스트는 필요에 따라 검사 시스템(8)에 액세스할 수도 있다. 호스트는 호스트 스위치(9B)를 선택적으로 작동시킴으로써 클라이언트가 검사 시스템(8)에 다시 원격으로 액세스할 수 있게 한다.

검사 프로그램이 원격 액세스 링크(6)를 통해 로컬 워크스테이션(7)으로 이송된 후, 로컬 워크스테이션(7)은 검사 프로그램을 포함한다. 원격 액세스 링크(6)를 통한 검사 프로그램의 이송은 시간 낭비가 될 수도 있기 때문에 클라이언트는, 예컨대 자기테이프이나 CD-ROM과 같은 물리적인 매체를 사용하여 검사 프로그램을 로컬 워크스테이션(7)으로 이송하고자 할 수도 있다. 로컬 워크스테이션(7)이 검사 프로그램을 포함하게 되면, 클라이언트는 선택된 시간동안 검사 시스템(8)에서 DUT의 검사를 실행하여 모니터할 준비를 하게 된다. 예약된 시간이 되면 호스트는, 일반적으로 호스트 스위치(9B)의 선택적인 조작에 의해 검사 시스템(8)으로의 액세스를 허가한다. 그러면 검사 시스템(8)은 로컬 워크스테이션(7)에 상주하는 운영체제로부터 재부팅될 수 있다. 그 다음, 클라이언트는 원격 액세스 링크(6)를 통해 검사 시스템(8)에 원격으로 액세스할 수 있다. 원격 워크스테이션(1)과 로컬 워크스테이션(7)이 연결될 수 있기 때문에, 클라이언트는 마치 물리적으로 호스트 시설에 있는 것처럼 로컬 워크스테이션(7)을 가동시킬 수 있다. 또한, 클라이언트가 원한다면 검사 시스템(8)에 연결된 호스트 컴퓨터(8A)를 통해 호스트의 종업원들이 접속될 수도 있다. 호스트 컴퓨터(8A)나 로컬 워크스테이션(7)은 클라이언트가 검사 시스템(8) 가동 중에 호스트 종업원들로부터 실시간 보조를 받을 수 있도록 합작 소프트웨어를 설치할 수도 있다. 클라이언트는 전화선을 통하는 등의 종래의 수단이나 컴퓨터에 의해 보조를 요청할 수 있다. 컴퓨터에 의한 보조 요청은 호스트 컴퓨터(8A)나 로컬 워크스테이션(7)에 보내져 보조가 필요하다는 경보를 호스트에 발할 수 있다. 보조가 필요하다면 호스트 컴퓨터(8A)를 경유하거나 로컬 워크스테이션(7)에 액세스함으로써 호스트가 액세스하여, 필요한 어떤 기술적 보조를 제공할수 있다. 또한, 검사 시스템(8)에 방송 카메라(11)가 연결되어 클라이언트가 검사 시스템(8)이 기능하는 것을 감시할 수 있다. 방송 카메라(11)는 클라이언트가 검사 시스템(8)을 작동 중에 모니터할 수 있게 한다. 또한, 호스트는 클라이언트 요구에 따라 보조장비를 설치할 수 있다. 예를 들면, 열 강제 유닛, 웨이퍼 프로버 및/또는 디바이스 핸들러가 추가될 수 있다.

여기서, 클라이언트가 검사 시스템(8)으로의 액세스를 거부당하는 중에, 호스트는 클라이언트 외의 다른 개체에 검사 서비스를 제공하는 등 자체 목적을 위해 검사 시스템을 작동시킬 수 있다. 일례로, 호스트는 검사 시스템(8)의로의 클라이언트 액세스가 거부된 기간 중에 자체 회로 설계를 검사하는 IDM이 될 수도 있다. 다른 예로는, 검사 시스템(8)에 원격 액세스하길 원하지 않는 다른 클라이언트에 대해 호스트가 국부적으로 회로 설계를 검사할 수도 있다.

본 발명은 집적회로 제1 실리콘 검사 프로그램의 가동 및 모니터에 한정되지 않는다. 예컨대, 집적회로의 설계 디버그를 위한 비슷한 시스템이 될 수도 있다. 이 예에서는, 상기 실시예의 검사 시스템(8)이 앞서 기술한 프로브 시스템으로 대체된다.

다른 예에서는, 제조공장에서 본 발명의 제1 실시예와 비슷한 시스템이 사용되어 조립된 반도체를 모니터 및 검사할 수도 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타내며, 다수의 클라이언트가 검사 시스템에 원격 액세스하여 제어하길 원한다. 도 3에서 각 클라이언트는 개개의 로컬 워크스테이션을 구비하며, 다수의 원격 워크스테이션(30)은 각각 원격 액세스회선(31)을 구비한다. 도 3의 실시예에서 각 원격 액세스 회선은 제1 실시예의 링크(도 2에서 6)와 거의 동일하다. 각 회선(31)은 해당 원격 워크스테이션(들)(30)을 클라이언트 로컬 워크스테이션(32)에 접속한다. 로컬 워크스테이션(32)은 일반적으로 검사 시스템과 같은 물리적인 설비 내에 있다(제1 실시예에서와 같이). 개개의 클라이언트 각각을 위한 데이터 및 검사 프로그램은 일반적으로 일련의 방화벽(33)에 의해 분리된다. 방화벽(33)은 개개의 클라이언트의 데이터 및 검사 프로그램마다 보안 엔클레이브(enclave)를 생성한다. 검사 시스템(34)에서 특정 클라이언트가 예약한 시간이 되면 모든 다른 클라이언트들이 검사 시스템(34)에 액세스하는 것을 차단하여 특정 클라이언트에 대한 보안을 최대한 보장한다. 또한, 특정 클라이언트는 호스트 보안 시스템에 의해 차단된 후 그들의 로컬 워크스테이션(32)에만 접속할 수 있다. 로컬 워크스테이션(32)으로의 어떠한 칩입도 즉시 보고되어 호스트에 의해 추적된다. 호스트는 특정 단일 클라이언트를 위해 검사 시스템에(34)에 특별한 시간을 예약하고, 이 특정 단일 클라이언트는 제1 실시예에서 설명한 바와 같이 검사 시스템(34)을 작동시킨다. 호스트 네트웍(36)이 상기 실시예에서 설명한 바와 같이 검사 시스템(34)에 접속되거나 단락될 수 있도록 스위치 매트릭스(33)가 제공된다.

여기에 개시한 바와 같은 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 본 발명의 그 밖의 실시예가 당업자들에 의해 안출될 수 있다는 것은 자명하다. 따라서, 본 발명의 범위는 첨부한 청구항에 의해서만 한정될 것이다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반도체 검사 시스템을 원격으로 실행하고, 원격으로 모니터하며, 상기 반도체 검사 시스템으로부터 원격으로 데이터를 수신하는 것이 가능해진다.

Claims

반도체 제조공정에서의 단계들을 원격으로 모니터하고 개발하는 장치에 있어서,

원격 액세스 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 접속되는 적어도 하나의 원격 워크스테이션; 및

링크를 통해 상기 로컬 워크스테이션에 접속되는 검사 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제1항에 있어서,

클라이언트 네트웍을 적어도 하나의 원격 워크스테이션에 접속하는 클라이언트 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제1항에 있어서,

호스트 네트웍을 상기 검사 시스템에 접속하고, 결합될 때 상기 검사 시스템으로의 클라이언트 액세스를 방지하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제3항에 있어서,

상기 호스트 스위치는 수동 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제3항에 있어서,

상기 호스트 스위치는 이더넷 스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제3항에 있어서,

상기 호스트 스위치는 컴퓨터 보안 소프트웨어를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 원격 액세스 링크는, 상기 로컬 워크스테이션을 상기 원격 워크스테이션에 동작적으로 결합하는 광역망 통신회선을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제7항에 있어서,

상기 원격 액세스 링크는 적어도 하나의 라우터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 링크는 상기 로컬 워크스테이션 및 상기 검사 시스템을 포함하는 근거리 통신망을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제1항에 있어서,

상기 검사 시스템은 클라이언트에 의해 미리 선택된 보조장비를 더 포함하여 디바이스의 각종 기능을 검사하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제10항에 있어서,

상기 보조장비는 열 강제 유닛(temperature forcing unit)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제10항에 있어서,

상기 보조장비는 웨이퍼 프로버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제10항에 있어서,

상기 보조장비는 디바이스 핸들러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
반도체 제조공정의 단계들을 원격으로 모니터하고 개발하는 장치에 있어서,

원격 액세스 링크를 통해 로컬 워크스테이션에 각각 접속된 다수의 원격 워크스테이션; 및

링크를 통해 상기 로컬 워크스테이션에 접속된 검사 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제14항에 있어서,

상기 로컬 워크스테이션은 상기 한 원격 워크스테이션에서 다른 한 원격 워크스테이션으로 액세스하는 것을 차단하도록 된 다수의 방화벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제14항에 있어서,

상기 원격 액세스 링크들 중 적어도 하나는 인터넷 접속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제14항에 있어서,

상기 원격 액세스 링크들 중 적어도 하나는 전용 WAN 기술로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제14항에 있어서,

상기 검사 시스템에 호스트 네트워킹 서비스를 선택적으로 접속하도록 된 호스트 스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제14항에 있어서,

상기 검사 시스템은 클라이언트에 의해 미리 선택된 보조장비를 더 포함하여 디바이스의 각종 기능을 검사하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제19항에 있어서,

상기 보조장비는 열 강제 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제19항에 있어서,

상기 보조장비는 웨이퍼 프로버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제19항에 있어서,

상기 보조장비는 디바이스 핸들러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
반도체 제조의 단계들을 원격으로 모니터하고 개발하는 방법에 있어서,

링크를 통해 로컬 워크 스테이션에 접속된 원격 워크스테이션으로부터 반도체 검사 시스템을 원격으로 실행하며, 상기 로컬 워크스테이션은 상기 검사 시스템에 동작적으로 결합되는 단계;

상기 원격 워크스테이션으로부터 원격으로 상기 반도체 검사 시스템을 모니터하는 단계; 및

상기 원격 워크스테이션에서 상기 반도체 검사 시스템으로부터 데이터를 수신하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사방법.
제23항에 있어서,

상기 반도체 검사 시스템은 집적회로 설계 디버그 및 수정을 위한 반도체 프로브 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사방법.
제23항에 있어서,

상기 반도체 검사 시스템은 제조공장에서 생산된 반도체의 기능성을 모니터하도록 된 검사 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사방법.
반도체 제조공정의 단계들을 원격으로 모니터하고 개발하는 장치에 있어서,

광역망 통신회선을 통해 로컬 워크스테이션에 동작적으로 접속된 적어도 하나의 원격 워크스테이션;

근거리 통신망을 통해 상기 로컬 워크스테이션에 접속된 검사 시스템; 및

호스트 스위치 및 링크에 의해 상기 검사 시스템에 분리할 수 있게 접속된 호스트 네트웍을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.
제26항에 있어서,

상기 검사 시스템에 네트웍으로 연결된 비디오 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 원격 검사장치.