KR100245799B1 - 검사조건 자동 작성 및 전송시 스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 집적회로 소자의 검사공정에 필요한 검사조건을 자동으로 작성하고 이를 검사기 호스트에 전송하여 각각의 검사기를 제어하는 검사 프로그램에 로딩하는 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템은 집적회로 소자의 생산에 필요한 정보가 들어있는 데이터베이스를 갖는 원격 호스트로부터 검사조건에 필요한 데이터를 수집하는 데이터 수집수단과, 수집된 데이터를 소정의 처리조건과 비교하여 그 비교결과에 따라 검사조건을 작성하거나 또는 기존 검사조건을 검색하는 연산수단, 복수의 검사기의 동작을 해당 검사 프로그램에 의해 제어하는 검사기 호스트로 검사조건을 전송하거나 또는 기존 검사조건을 전송하여 해당 검사 프로그램에 로딩하는 전송수단을 구비하고 있다.

Description

검사조건 자동 작성 및 전송 시스템 및 방법 {A system and a method for automatically creating and transmitting test conditions of integrated circuit devices}
본 발명은 반도체 집적회로 소자의 검사에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 검사공정에 필요한 검사조건을 자동으로 작성하고 이를 검사기 호스트에 전송하여 각각의 검사기를 제어하는 검사 프로그램에 로딩하는 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템 및 방법에 관한 것이다.
마스크롬(mask ROM)과 같은 수주제품(ASIC; Application Specific IC)은 사용자로부터 소자의 동작속도, Ce/Oe 옵션 (Chip Enable/ Output Enable option), 동작모드, ROM 코드 등과 같은 정보를 입수하여 이를 토대로 생산을 진행한다. 그리고, 이러한 정보는 마스크(mask) 제작, 웨이퍼 제조공정, EDS(Electrical Die Sorting) 검사, 조립공정, 최종 검사공정 등과 같은 생산공정의 진행에 그대로 반영된다. 수주제품의 생산정보는 제품을 사용하고자 하는 고객(사용자)이 반도체 제조업체의 영업부서에 미리 제공하고, 영업부에서는 이를 토대로 하여 생산에 필요한 정보가 들어 있는 데이터베이스를 구축하여 기타 생산에 관여하는 많은 부서가 이를 이용할 수 있도록 컴퓨터 시스템, 예컨대 원격 호스트 (remote host)에 저장하여 둔다. 생산관여 부서에서는 각자 필요한 정보를 원격 호스트로부터 제공받아 고객이 원하는 기능과 품질을 갖는 반도체 집적회로 제품을 제조하게 된다.
한편, 검사공정을 진행하는 부서에서는 생산된 소자의 제반 정보를 검사 프로그램에서 사용할 수 있도록 검사조건 (test condition)을 재작성하여야 한다. 이러한 검사조건을 작성하기 위하여 종래에는, 먼저 원격 호스트에 접근하여 저장되어 있는 데이터를 다운로드(download) 받아서, 검사 엔지니어가 직접 데이터를 확인하면서 검사할 소자에 적합한 검사조건에 해당하는 데이터를 검사 프로그램에 입력하였다. 그런데, 이러한 검사조건의 작성이 검사 엔지니어의 수작업에 의해 이루어지면, 오류가 많이 발생하고 새로운 수주제품이 생산된 경우 검사공정이 이에 신속하게 대처하기 어렵기 때문에 검사시간이 길어지고 효율적인 업무처리가 이루어지지 못한다는 단점이 있다.
따라서, 검사공정의 검사 프로그램에 사용되는 검사조건을 자동으로 작성하고 이를 검사 프로그램에 자동으로 로딩할 수 있는 방안이 필요하게 되었다.
본 발명의 목적은 검사공정에 필요한 검사조건을 자동으로 작성하고 이를 자동으로 검사 프로그램에 로딩하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 검사공정의 효율성을 높이고 검사시간을 단축하는 것이다.
도1은 본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템의 전체적인 구성을 나타내는 개략 블록도,
도2는 본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 방법의 전체적인 과정을 나타내는 흐름도,
도3은 원격 호스트에 저장되어 있는 집적회로 소자의 생산에 필요한 데이터베이스의 일례를 나타내는 도표,
도4는 검사조건 작성에 필요한 데이터의 일례를 나타내는 도표,
도5는 본 발명에 따른 검사조건 데이터 연산처리과정의 흐름도,
도6은 본 발명에 따른 검사조건 전송과정의 흐름도,
도7은 본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템과 검사기 호스트간의 연결 프로그램의 흐름도이다.
<도면의 주요 부호에 대한 설명>
10; 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템
12; 데이터 수집부 14; 연산부
16; 전송부 20; 원격 호스트
22; 데이터 베이스 30; 검사기 호스트
32; 검사 프로그램 40; 복수의 검사기
본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템은 집적회로 소자의 생산에 필요한 정보가 들어있는 데이터베이스를 갖는 원격 호스트로부터 검사조건에 필요한 데이터를 수집하는 데이터 수집수단과, 수집된 데이터를 소정의 처리조건과 비교하여 그 비교결과에 따라 검사조건을 작성하거나 또는 기존 검사조건을 검색하는 연산수단, 복수의 검사기의 동작을 해당 검사 프로그램에 의해 제어하는 검사기 호스트로 검사조건을 전송하거나 또는 기존 검사조건을 전송하여 해당 검사 프로그램에 로딩하는 전송수단을 구비하고 있다.
데이터 수집수단에서는 관계형 데이터베이스 조회용 언어인 SQL 언어를 사용하며, 데이터 전송수단은 TCP/IP 전송규약을 사용한다.
본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 방법은 반도체 집적회로 소자를 검사하기 위한 소정의 검사조건을 자동으로 작성하고 상기 작성된 검사조건을 검사기로 전송하는 방법으로서, 상기 집적회로 소자의 생산에 필요한 정보가 들어있는 데이터베이스를 갖는 원격 호스트로부터 상기 검사조건에 필요한 데이터를 수집하는 데이터 수집단계와, 상기 수집된 데이터를 소정의 처리조건과 비교하여 검사조건을 작성하는 연산처리단계와, 복수의 상기 검사기의 동작을 해당 검사 프로그램에 의해 제어하는 검사기 호스트로 상기 검사조건을 전송하여 해당 검사 프로그램에 로딩하는 전송단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하 도면을 참조로 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템의 전체적인 구성을 나타내는 개략 블록도이다. 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템(10)의 데이터 수집부(12)는 검사할 제품에 관한 모든 생산정보가 들어 있는 데이터베이스(22)가 저장되어 있는 원격 호스트(20)에 접근하여 검사조건 작성에 필요한 데이터를 다운로드받는다. 데이터 수집부(12)는 예컨대, 관계형 데이터베이스 조회용 언어인 SQL (Structural Query Language) 언어를 사용하여 구현되는 SQL 엔진(engine)으로서 하나의 데이터베이스 엔진을 다수의 사용자가 접근하여 작업을 할 수 있으며, 원격 호스트에 저장된 데이터베이스를 검색하여 자료를 수집하고 정리(modify)할 수 있도록 구성되어 있다. 원격 호스트(20)에 저장되어 있는 데이터베이스(22)는 예컨대, Oracle 데이터 베이스이다.
검사조건 자동 작성 및 전송 시스템(10)의 연산부(14)는 데이터 수집부(12)에서 수집, 정리한 데이터를 이미 알려진 특수 처리조건과 비교하여 그 내용을 정리한 후 각 코드별로 검사조건을 작성한다.
전송부(16)는 작성된 검사조건을 검사기 호스트(30)에서 사용할 수 있는 파일 형태로 전송하는 역할을 한다. 이를 위하여 전송부(16)는 예컨대 원격 호스트 연결 유즈(user) 구조를 사용한다. 검사기 호스트(30)에는 실제 검사공정이 진행되는 복수의 검사기(40)를 제어하기 위한 복수의 검사 프로그램(32)이 들어 있다. 검사할 소자(도시 아니함)가 검사기(40)에 장착되면 검사기 호스트(30)는 해당 검사 프로그램(32)을 검사기(40)에 보내고 검사기는 이 검사 프로그램에 따라 소자에 검사신호를 공급하고 소자의 전기적 특성 등을 검사한다.
도2는 본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 방법의 전체적인 과정을 나타내는 흐름도이다. 먼저, 원격 호스트에 접속하여(50), 데이터베이스의 사용자명, 암호(password), 데이터베이스 설정 ID(Identification Data)을 입력하여 소자의 모든 생산정보가 들어 있는 데이터베이스에 접근한다(52). 데이터베이스에 들어 있는 정보 중에서 필요한 데이터만을 수집하는데(54), SQL 언어를 사용하는 경우 다음과 같은 형식의 선택문을 사용할 수 있다.
[select '원하는 항목' from '데이블명' where '조건' order by '정열조건']
수집된 데이터를 분석하여(56) 이를 토대로 검사조건을 작성하되, 현재 수집된 데이터가 기존의 수집된 데이터와 동일한지를 판단하여(60), 만약 동일한 경우에는 다시 검사조건을 작성하지 않고 원래의 검사조건을 검색하여 그 검색된 원래의 검사조건을 전송하며(58a), 만약 현재 수집된 데이터가 기존의 수집된 데이터와 다른 경우에는 이를 토대로 검사조건을 새로 작성하여(58b) 이를 검사기 호스트로 전송한다(62). 검사조건의 전송을 위해서는 인터넷에서 데이터를 전송하는 규약으로 사용하는 TCP/IP (Transmission Control Protocol/Internet Protocol)에 의해 구현되는 Rlogin, Telnet, Ping, Finger, FTP, Rcp 등과 같은 어플리케이션(application)을 사용할 수 있다.
도3은 원격 호스트에 저장되어 있는 집적회로 소자의 생산에 필요한 데이터베이스의 일례이다. 이 데이터베이스는 모두 37개의 필드로 구성되는 데이터를 가지고 있는데, 이것은 마스트롬의 생산에 근간이 되는 데이터를 예시적으로 나타낸 것으로서 수주제품의 종류에 따라 달라질 수 있다.
도3에 도시한 데이터베이스에서 주문자 번호에 해당하는 필드 ord_no는 영업부에서 주문자를 관리하기 위하여 지정한 번호이며, 필드 line_no는 주문서의 해당 파트번호, 필드 schd_no는 수주 입수일로부터 출하일까지의 계획 번호를 의미한다. 필드 sales_code는 영업에서 부여한 사용자 코드이며, 필드 crc는 CheckSum을 의미하며 소자에 저장되어 있는 데이터를 산술적으로 더한 값이다. 필드 codepass는 버스트(burst) 마스트롬의 암호이며, 필드 user_code는 사용자 코드에 패킹(packing) 방법을 기술한 코드, 필드 cms_code는 사용자 코드에 패키지의 유형을 기술한 코드, 필드 part_no는 웨이퍼 제조공정을 관리하기 위한 사용자 코드, 필드 pkg_type는 해당 소자의 패키지 유형을 나타낸다. 파트번호는 같은 제품이라도 주문자에 따라서 사양이 다르므로 이러한 내용을 관리하기 위한 데이터 필드이다. 필드 customer_id는 영업에서 관리하는 고객의 ID, 필드 customer_name은 고객명, 필드 domain은 고객의 거주지역, 필드 rec_date는 고객으로부터 수주를 접수한 날짜, ord_date는 영업 입고 요청일로서 영업에서 생산측에 요구하는 입고일을 표시하는 필드이다. 필드 ord_qty는 입고 수량, 필드 appli_flg는 해당 코드의 사용처, 즉 게임기용이냐 아니면 PC(Personal Computer)나 팩스 등에 사용되는 산업용이냐를 구분하기 위한 데이터이다. 필드 speed는 해당 코드의 주문자가 요구하는 소자의 동작속도, 필드 chksum은 소자에 저장되는 데이터의 합, 필드 ctrl_pin은 칩 인에이블(Ce) 핀이나 출력 인에이블(Oe) 핀에 대해 사용자가 요구하는 내용, 필드 pkig는 패킹 방법을 나타낸다. 패킹 방법에는 테이프 릴(tape & reel), 트레이(tray), 튜브(tube) 방식이 있다. 필드 new_flag는 주문이 새로 들어온 것인지 기존에 있던 것이지를 나타내며, 필드 prty는 주문자가 요구하는 납기일이 급한 것인지 아닌지를 나타낸다. 필드 ord_stat는 현재 수주 상태, 필드 ord_memo는 특수 처리코드로서 보통의 검사조건이 아닌 코드, 즉 주문자가 특별히 요구하는 동작조건이 만족되는지 검사하기 위한 코드에 해당한다. 필드 same_code는 코드의 내용이 같은 코드의 목록, 필드 rtf_date는 생산에서 영업으로 전달되는 시기, 필드 rtf_qty는 영업 전달 수량, 필드 re_rft_date는 생산 상황에 따른 납기 재조정일을 나타낸다. 그리고, 필드 ord_asgn_date는 코드정보 작성일, 필드 ord_asgn_qty는 작성된 주문서 상의 수량, 필드 chulha_date는 출하 일자, 필드 chulha_qty는 출하시 수량, 필드 ret_desc는 웨이퍼 공정 진행시 각 공정마다 기본이 되는 웨이퍼, 즉 레티클(reticle)에 대한 옵션, 필드 master는 진행 코드의 마스터 코드를 각각 나타낸다.
이러한 데이터베이스에 들어 있는 정보 중에서 검사공정에 필요한 정보는 도4에 도시한 것처럼 몇 가지 필드에 들어 있다. 도4는 검사조건 작성에 필요한 데이터의 일례이다. 검사조건의 작성에 필요한 항목은 파트 번호, 속도, 용도, Ce/Oe 핀 옵션, 고객명, CheckSum, CRC, 버스트 암호, 패키지 유형 등 9가지인데, 이것도 수주제품의 종류나 검사할 항목에 따라 달라질 수 있다. 특수처리조건은 고객명을 참조하여 검사 프로그램에서 사용할 수 있다.
도3과 도4에서 볼 수 있는 것처럼, 원격 호스트에 저장되어 있는 데이터베이스에는 검사공정에 필요 없는 부분이 존재한다. 따라서 검사조건을 작성하기 위해서는 필요한 데이터만 수집하여 가공할 필요가 있다. 예를 들어서, SQL 언어 중 데이터의 수집 및 가공을 용이하게 하는 다음과 선택문을 사용할 수 있다.
[SELECT "rec_date", "cms_code", "customer_name", "ord_date", "ord_qty", "appl_flag", "speed", "chksum", "ctrl_pin" "crc", "codepass", "same_code", "pkg_type", WHERE ("rec_date" between :from_date and :to-date) and ("com_code" like :code????'%') and ("pkg_type" < > 'WFS') and ("pkg_type" < > 'chp") ORDERED BY "pkg_type" ASC , "cms_code" ASC;]
위에서 예시한 선택문은 :from_date에서 :to_date 사이의 납기일을 가진 파트의 정보를 패키지 유형이 웨이퍼 상태(WFS)나 칩 상태(CHP)가 아닌 파트만 1) 패키지 유형 순으로, 2) 파트 번호 순서로 정렬하여 SELECT부의 항목들을 수집하라는 의미이다.
이렇게 수집, 정리한 데이터는 이미 알려진 특수 처리조건과 비교하여 그 내용을 정리한 후 각 코드별로 검사조건을 작성한다.
도5는 본 발명에 따른 검사조건 데이터 연산처리과정의 흐름도이다. 데이터 수집이 끝나면(70), 마스크롬 소자에 대한 Ce/Oe 핀 옵션을 확인하고(72), 소자의 동작모드를 확인한다(74). 고객이 원하는 소자의 동작속도를 확인한 다음(76), 소자가 게임용인지 산업용인지 확인하고(78), 소자의 밀도(8M, 16M, 32M 비트 등)를 확인한다(80). 다음으로 CheckSum을 확인하고(82) 패키지 유형을 확인하여(84) 검사조건 테이블을 작성한다(86). 검사조건 테이블을 기초로 검사 프로그램에서 사용할 수 있는 형태의 검사조건 파일을 작성한다(88).
도6은 본 발명에 따른 검사조건 전송과정의 흐름도이다. 위에서 설명한 검사조건 연산처리과정에 의해 작성된 검사조건 파일을 전송하기 위해서는 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템과 검사기 호스트의 네트워크 상태를 확인하고 검사기 호스트에 연결한 다음 지정된 디렉토리(directory)에 검사조건 파일을 전송한다. 검사기 호스트에 연결하기 위해서는 정보를 예컨대, 호스트 연결 유즈 구조에 저장하며 이를 사용하여 검사기 호스트와 통신을 하게 된다.
검사기 호스트에 대한 정보를 저장하고(100), 네트워크 상태를 확인하기 위해 연결포트를 확인하고(102), 검사기 호스트에 대한 정보를 검사기 호스트로 전송하여(104) 접속허용 신호를 수신한 다음(106) 작성된 검사조건 파일을 열고(108) 전송한다(110). 검사조건 파일의 전송이 끝나면 파일을 닫고(112) 검사조건 전송과정을 마친다.
도7은 본 발명에 따른 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템과 검사기 호스트간의 연결 프로그램의 흐름도이다. 이 연결 프로그램은 검사기 호스트에 내장되어 있다. 검사기 호스트에서 수신된 검사조건 파일의 수신 시간을 확인하고(120), 검사기 호스트에 존재하는 파일의 생성시간을 확인한 다음(122), 파일 생성시간을 비교하여(124) 시간이 다르면, 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템으로부터 파일을 전송받고(126), 같으면 파일의 전송없이 프로그램을 종료한다(128).
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 수주제품에 대한 검사조건이 자동으로 작성되고 검사 프로그램에 자동으로 로딩되기 때문에 검사조건 작성 오류를 줄일 수 있고, 새로운 제품에 대한 신속한 대처가 가능하여 검사시간이 단축되고 업무의 효율성을 꾀할 수 있다.

Claims (10)

  1. 반도체 집적회로 소자를 검사하기 위한 소정의 검사조건을 자동으로 작성하고 상기 작성된 검사조건을 검사기로 전송하는 시스템으로서, 상기 집적회로 소자의 생산에 필요한 정보가 들어있는 데이터베이스를 갖는 원격 호스트로부터 상기 검사조건에 필요한 데이터를 수집하는 데이터 수집수단과, 상기 수집된 데이터를 소정의 처리조건과 비교하여 그 비교결과에 따라 검사조건을 작성하거나 또는 기존 검사조건을 검색하는 연산수단, 복수의 상기 검사기의 동작을 해당 검사 프로그램에 의해 제어하는 검사기 호스트로 상기 검사조건을 전송하거나 또는 기존 검사조건을 전송하여 해당 검사 프로그램에 로딩하는 전송수단을 구비하는 검사조건 자동 작성 및 전송 시스템.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 집적회로 소자는 마스크롬이며, 상기 데이터베이스에 들어 있는 정보는 상기 마스크롬의 사용자의 주문에 기초하여 작성된 것을 특징으로 하는 시스템.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 데이터 수집수단은 관계형 데이터베이스 조회용 언어를 사용하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 데이터 수집수단은 "select '원하는 항목' from '데이블명' where '조건' order by '정열조건'"의 형식을 갖는 선택문을 사용하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 전송수단은 호스트 연결 유즈 구조를 사용하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  6. 반도체 집적회로 소자를 검사하기 위한 소정의 검사조건을 자동으로 작성하고 상기 작성된 검사조건을 검사기로 전송하는 방법으로서, 상기 집적회로 소자의 생산에 필요한 정보가 들어있는 데이터베이스를 갖는 원격 호스트로부터 상기 검사조건에 필요한 데이터를 수집하는 데이터 수집단계와, 상기 수집된 데이터를 분석하여 기존의 검사조건과 비교하여 수집 데이터가 기존의 검사조건과 다른 경우에는 검사조건을 작성하며 수집 데이터가 기존의 검사조건과 같은 경우에는 검사조건을 작성하지 않고 기존 검사조건을 검색하는 연산처리단계와, 복수의 상기 검사기의 동작을 해당 검사 프로그램에 의해 제어하는 검사기 호스트로 상기 연산처리단계를 통해 새로 작성된 검사조건이나 또는 검색된 기존 검사조건을 전송하여 해당 검사 프로그램에 로딩하는 전송단계를 구비하는 검사조건 자동 작성 및 전송 방법.
  7. 제6 항에 있어서, 상기 데이터 수집단계는 상기 원격 호스트에 접속하는 단계와, 상기 원격 호스트의 데이터베이스에 접근하는 단계와, 검사조건 작성에 필요한 데이터를 수집하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제6 항에 있어서, 상기 검사조건 작성에 필요한 데이터는 Ce/Oe 핀 옵션, 소자의 동작모드, 동작속도, 용도, 소자의 밀도, 소자의 내용 합계, 패키지 유형에 관한 데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제6 항에 있어서, 상기 전송단계는 검사기 호스트의 정보를 저장하는 단계와, 검사기 호스트와의 연결 포트를 확인하는 단계와, 상기 저장된 검사기 호스트의 정보를 검사기 호스트로 전송하는 단계와, 상기 검사기 호스트로부터 접속허용 신호를 수신하는 단계와, 상기 연산처리단계에서 작성된 검사조건을 전송하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제6 항에 있어서, 상기 검사기 호스트는 검사기 호스트에서 수신된 검사조건의 수신시간을 확인하는 단계와, 검사기 호스트에 존재하는 기존의 검사조건의 생성시간을 확인하는 단계와, 상기 수신시간과 생성시간이 다른 경우에는 검사조건을 전송받는 단계를 구비하는 연결 프로그램을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
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