JP2002203760A - 半導体の遠隔試験方法及び装置 - Google Patents
半導体の遠隔試験方法及び装置Info
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 238000010998 test method Methods 0.000 title claims 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 152
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 43
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 12
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 230000008439 repair process Effects 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000006855 networking Effects 0.000 claims 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 9
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000012938 design process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000013102 re-test Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/31718—Logistic aspects, e.g. binning, selection, sorting of devices under test, tester/handler interaction networks, Test management software, e.g. software for test statistics or test evaluation, yield analysis
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/22—Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing
- G06F11/2294—Detection or location of defective computer hardware by testing during standby operation or during idle time, e.g. start-up testing by remote test
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監
視及び開発する装置及び方法を提供する。 【解決手段】 リモートアクセスリンクを介して、ロー
カルワークステーションに接続された少なくとも一つの
リモートワークステーションと、リンクを介して、ロー
カルワークステーションに接続された試験システムとを
備え、半導体の試験システムを遠隔操作及び遠隔監視
し、半導体の試験システムから遠く離れてデータを受信
することができる。また、セキュリティ面の特徴によ
り、いずれか一つのリモートワークステーションが、そ
れ以外のリモートワークステーションにアクセスするこ
とを防止することができる。
視及び開発する装置及び方法を提供する。 【解決手段】 リモートアクセスリンクを介して、ロー
カルワークステーションに接続された少なくとも一つの
リモートワークステーションと、リンクを介して、ロー
カルワークステーションに接続された試験システムとを
備え、半導体の試験システムを遠隔操作及び遠隔監視
し、半導体の試験システムから遠く離れてデータを受信
することができる。また、セキュリティ面の特徴によ
り、いずれか一つのリモートワークステーションが、そ
れ以外のリモートワークステーションにアクセスするこ
とを防止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路の設計と
製造の分野全般に関する。特に、本発明は、物理試験機
器から遠く離れた位置から集積回路の設計とチップを試
験するシステムに関する。
製造の分野全般に関する。特に、本発明は、物理試験機
器から遠く離れた位置から集積回路の設計とチップを試
験するシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】新たに開発された集積回路が複雑さを増
していることにより、集積回路の製造技術の新しい形式
が開発されている。現在、集積回路メーカは、自社の製
品を作るために、複数の可能な手法のうちの一つを使用
するのが通例である。まず、あるメーカは、半導体を自
ら製造するために、自社の工場を建てて操業することが
できる。これらの工場は、半導体の鋳造工場または製造
プラントとして知られている。会社によっては、このよ
うな製造プラントを稼動させるだけで、新しい半導体の
開発におけるその他の工程を他社に委ねているところも
ある。「集積デバイスメーカ」（ＩＤＭ）として知られ
ている大企業の多くは、新しい半導体を設計する能力と
試験する能力の両方を備えている。ＩＤＭはまた、自社
の製造プラントを所有している。また、会社によって
は、集積回路の設計を専門として、最終的に製造を他者
に委ねることもできる。伝統的に、メーカはＩＤＭであ
るのが通例であった。多くの製造プラント（略して「フ
ァブズ（fabs）」）は、このようなＩＤＭによって建て
られた。「ファブス」の所有者は、資金と操業費用を節
約するために、プラントをコストの低い国々に建設する
ことがあった。しかし、一般に、「ファブズ」自身がも
っている半導体の設計能力は、極めて低かった。その結
果、集積回路の設計だけを事業とする会社も出始めた。
製造又は試験能力を有さないこれらの設計会社は、集積
回路の試験と製造を一般に外注に出している。さらに規
模の小さい会社の多くは、集積回路の初期設計以上の能
力をもっていないことが往々にしてある。初期設計と製
造の間のあらゆる中間工程は、第三者に外注に出され
る。これらの設計専用の会社は、「ファブレス（fables
s＝ファブのない）」会社と呼ばれている。ファブレス
会社は、第三者から提供される試験サービスを概して必
要としている。しかし、回路設計においては開発プロセ
ス中に数々の変更がなされるかもしれないため、ファブ
レス会社は、集積回路の設計からボリュームの製造へと
「移される」前に実施される試験工程と、密接に関わっ
ている必要もある。
していることにより、集積回路の製造技術の新しい形式
が開発されている。現在、集積回路メーカは、自社の製
品を作るために、複数の可能な手法のうちの一つを使用
するのが通例である。まず、あるメーカは、半導体を自
ら製造するために、自社の工場を建てて操業することが
できる。これらの工場は、半導体の鋳造工場または製造
プラントとして知られている。会社によっては、このよ
うな製造プラントを稼動させるだけで、新しい半導体の
開発におけるその他の工程を他社に委ねているところも
ある。「集積デバイスメーカ」（ＩＤＭ）として知られ
ている大企業の多くは、新しい半導体を設計する能力と
試験する能力の両方を備えている。ＩＤＭはまた、自社
の製造プラントを所有している。また、会社によって
は、集積回路の設計を専門として、最終的に製造を他者
に委ねることもできる。伝統的に、メーカはＩＤＭであ
るのが通例であった。多くの製造プラント（略して「フ
ァブズ（fabs）」）は、このようなＩＤＭによって建て
られた。「ファブス」の所有者は、資金と操業費用を節
約するために、プラントをコストの低い国々に建設する
ことがあった。しかし、一般に、「ファブズ」自身がも
っている半導体の設計能力は、極めて低かった。その結
果、集積回路の設計だけを事業とする会社も出始めた。
製造又は試験能力を有さないこれらの設計会社は、集積
回路の試験と製造を一般に外注に出している。さらに規
模の小さい会社の多くは、集積回路の初期設計以上の能
力をもっていないことが往々にしてある。初期設計と製
造の間のあらゆる中間工程は、第三者に外注に出され
る。これらの設計専用の会社は、「ファブレス（fables
s＝ファブのない）」会社と呼ばれている。ファブレス
会社は、第三者から提供される試験サービスを概して必
要としている。しかし、回路設計においては開発プロセ
ス中に数々の変更がなされるかもしれないため、ファブ
レス会社は、集積回路の設計からボリュームの製造へと
「移される」前に実施される試験工程と、密接に関わっ
ている必要もある。
【０００３】新しい集積回路の概念設計と実際のボリュ
ーム製造との間には、多くの中間工程が存在する。新し
い設計を製造段階に移すための最初の工程は、初期設計
である。初期設計において、設計技師は、エンドユーザ
の仕様を用いて、完成された集積回路がエンドユーザの
指定した機能を生成するものと信じる一連の論理ゲート
を開発する。この段階で、設計技師は論理要素の配置だ
けを行い、一般にデバイスを物理的に組み立てることは
ない。
ーム製造との間には、多くの中間工程が存在する。新し
い設計を製造段階に移すための最初の工程は、初期設計
である。初期設計において、設計技師は、エンドユーザ
の仕様を用いて、完成された集積回路がエンドユーザの
指定した機能を生成するものと信じる一連の論理ゲート
を開発する。この段階で、設計技師は論理要素の配置だ
けを行い、一般にデバイスを物理的に組み立てることは
ない。
【０００４】次の工程は、集積回路がユーザの指定した
機能を生成することになるのか否かを判断するために、
初期設計を試験することである。この段階において、試
験は概して、コンピュータ上における論理ゲートの配置
をシミュレートすることと、このように配置された論理
ゲートの実際の機能を判断することとを伴っている。論
理ゲートの配置変更は、シミュレーションコンピュータ
上で行うことができ、ユーザの指定した機能を生成する
際のいかなる欠陥も修正される。その後、論理設計がユ
ーザの所望の仕様に合致するまで、試験と設計は繰り返
される。この再試験と再設計のサイクルは、デバッギン
グとして知られている。デバッギングは、所望の機能を
生成するために、擬似ゲートまたは理論的ゲートの再配
置だけを一般に含んでいる。試験は、この段階で、一般
に厳密ではなく、論理ゲートが適正に配置されているこ
との確認にのみ役立っている。
機能を生成することになるのか否かを判断するために、
初期設計を試験することである。この段階において、試
験は概して、コンピュータ上における論理ゲートの配置
をシミュレートすることと、このように配置された論理
ゲートの実際の機能を判断することとを伴っている。論
理ゲートの配置変更は、シミュレーションコンピュータ
上で行うことができ、ユーザの指定した機能を生成する
際のいかなる欠陥も修正される。その後、論理設計がユ
ーザの所望の仕様に合致するまで、試験と設計は繰り返
される。この再試験と再設計のサイクルは、デバッギン
グとして知られている。デバッギングは、所望の機能を
生成するために、擬似ゲートまたは理論的ゲートの再配
置だけを一般に含んでいる。試験は、この段階で、一般
に厳密ではなく、論理ゲートが適正に配置されているこ
との確認にのみ役立っている。
【０００５】集積回路の開発プロセスにおける次の工程
は、プロトタイプデバイスを製造することであり、これ
は、当該技術において「第１シリコン」と呼ばれてい
る。その後、このプロトタイプデバイスは、設計デバッ
グとして知られている次の工程において、擬似デバイス
よりも一般により厳密に試験される。論理ゲートの理論
的系列を３次元でシリコンウェハ上に再生するのが難し
いため、まずプロトタイプデバイスを作るときに通常は
エラーが生じる。例えば、ある特定のゲートへの二つの
信号のタイミングは、所望のデータがゲートを通過する
よう期待していたタイミングではないかもしれない。従
って、開発プロセスにおける次の工程は、プロトタイプ
デバイスをデバッグし、できれば修理することである。
プロトタイプデバイスを修理するためには、必要に応じ
て個々のゲートを評価かつ修理し、エンドユーザの機能
を生成する。プロトタイプデバイス内のゲートは、「電
子ビーム」（e-beam）プローブシステム、「赤外線レー
ザ」（光学）プローブシステム、もしくは「集束イオン
ビーム」（ＦＩＢ）プローブシステム等の機器を用い
て、物理的に監視及び／又は修理される。このような電
子ビーム機器の一つは、モデル番号ＩＤＳ１００００da
により知られている。このような赤外線レーザープロー
ブシステムの一つは、モデル番号ＩＤＳ２０００により
知られている。このような集束イオンビームプローブシ
ステムの一つは、モデル番号ＩＤＳＰ３Ｘにより知られ
ている。前述の機器は全て、カリフォルニア州サンホセ
市のシュルムベルガー・セミコンダクター・ソリューシ
ョンズ社により販売されている。動作不能又は計画通り
に機能していないゲートを修理するために、ＦＩＢ機器
はプロトタイプデバイスの中に文字どおりせん孔を「焼
いてあける」ことができ、例えば動作不能ゲートに導く
電線を切断することになる。動作不能ゲートの切断後、
ジャンパ等の新しいエレメントをＦＩＢプローブシステ
ムにより代わりにはめ込むことができる。修理が全て済
んだ後、論理エレメントがエンドユーザの所望の機能を
生成するまで、プロトタイプデバイスの再試験が行われ
る。
は、プロトタイプデバイスを製造することであり、これ
は、当該技術において「第１シリコン」と呼ばれてい
る。その後、このプロトタイプデバイスは、設計デバッ
グとして知られている次の工程において、擬似デバイス
よりも一般により厳密に試験される。論理ゲートの理論
的系列を３次元でシリコンウェハ上に再生するのが難し
いため、まずプロトタイプデバイスを作るときに通常は
エラーが生じる。例えば、ある特定のゲートへの二つの
信号のタイミングは、所望のデータがゲートを通過する
よう期待していたタイミングではないかもしれない。従
って、開発プロセスにおける次の工程は、プロトタイプ
デバイスをデバッグし、できれば修理することである。
プロトタイプデバイスを修理するためには、必要に応じ
て個々のゲートを評価かつ修理し、エンドユーザの機能
を生成する。プロトタイプデバイス内のゲートは、「電
子ビーム」（e-beam）プローブシステム、「赤外線レー
ザ」（光学）プローブシステム、もしくは「集束イオン
ビーム」（ＦＩＢ）プローブシステム等の機器を用い
て、物理的に監視及び／又は修理される。このような電
子ビーム機器の一つは、モデル番号ＩＤＳ１００００da
により知られている。このような赤外線レーザープロー
ブシステムの一つは、モデル番号ＩＤＳ２０００により
知られている。このような集束イオンビームプローブシ
ステムの一つは、モデル番号ＩＤＳＰ３Ｘにより知られ
ている。前述の機器は全て、カリフォルニア州サンホセ
市のシュルムベルガー・セミコンダクター・ソリューシ
ョンズ社により販売されている。動作不能又は計画通り
に機能していないゲートを修理するために、ＦＩＢ機器
はプロトタイプデバイスの中に文字どおりせん孔を「焼
いてあける」ことができ、例えば動作不能ゲートに導く
電線を切断することになる。動作不能ゲートの切断後、
ジャンパ等の新しいエレメントをＦＩＢプローブシステ
ムにより代わりにはめ込むことができる。修理が全て済
んだ後、論理エレメントがエンドユーザの所望の機能を
生成するまで、プロトタイプデバイスの再試験が行われ
る。
【０００６】プロセスにおける次の工程は、プロトタイ
プデバイスの特徴づけである。特徴づけの工程は、一般
にデバイスの全規模性能試験を含んでいる。例えば性能
試験は、実際の最大作動速度、入力及び出力電圧、タイ
ミングパラメタ及び温度制限の決定を含んでいる。プロ
トタイプデバイスが特徴づけ試験を合格したなら、それ
をボリュームを製造するための製造プラントに「移す」
ことができる。デバイスがいったん製造プラントに渡さ
れたら、製造プラントにより作られた製品を試験するた
めの試験プログラムを設計しなければならない。どの回
路設計もみな異なったユーザ仕様と、異なった内部論理
エレメントとを有するため、作られたデバイスのそれぞ
れの設計に対して、新しい試験プログラムを開発しなけ
ればならない。典型的なファブレス会社は、試験プログ
ラムを指定することができるし、またファブレス会社
は、設計デバッグ、特徴づけ、もしくはボリューム製造
の最中に、試験プログラムの開発と実施を外部の会社に
委ねることもできる。
プデバイスの特徴づけである。特徴づけの工程は、一般
にデバイスの全規模性能試験を含んでいる。例えば性能
試験は、実際の最大作動速度、入力及び出力電圧、タイ
ミングパラメタ及び温度制限の決定を含んでいる。プロ
トタイプデバイスが特徴づけ試験を合格したなら、それ
をボリュームを製造するための製造プラントに「移す」
ことができる。デバイスがいったん製造プラントに渡さ
れたら、製造プラントにより作られた製品を試験するた
めの試験プログラムを設計しなければならない。どの回
路設計もみな異なったユーザ仕様と、異なった内部論理
エレメントとを有するため、作られたデバイスのそれぞ
れの設計に対して、新しい試験プログラムを開発しなけ
ればならない。典型的なファブレス会社は、試験プログ
ラムを指定することができるし、またファブレス会社
は、設計デバッグ、特徴づけ、もしくはボリューム製造
の最中に、試験プログラムの開発と実施を外部の会社に
委ねることもできる。
【０００７】試験プログラムの開発及び／又は集積回路
の様々な段階で実試験を実施することを専門とする産業
には、「テストハウス」が存在する。製造プラントに
は、物理的な試験は行っても試験プログラム（ソフトウ
ェア、試験インタフェース等を含んでもよい）の開発は
行わないところがあり、代わりにテストハウスやその他
の主体に頼って、試験プログラムの設計をしている。試
験は、あらゆる特定の回路設計についての生産サイクル
の間中、実施される。この時点で、集積回路は一般に、
エンドユーザに販売できる状態になっている。
の様々な段階で実試験を実施することを専門とする産業
には、「テストハウス」が存在する。製造プラントに
は、物理的な試験は行っても試験プログラム（ソフトウ
ェア、試験インタフェース等を含んでもよい）の開発は
行わないところがあり、代わりにテストハウスやその他
の主体に頼って、試験プログラムの設計をしている。試
験は、あらゆる特定の回路設計についての生産サイクル
の間中、実施される。この時点で、集積回路は一般に、
エンドユーザに販売できる状態になっている。
【０００８】図１は、例えばファブレス会社が、新しい
集積回路を初期設計から最終生成物にまで開発するため
に用いる典型的な方法を示している。ファブレス会社２
０では、まず、提案された集積回路における回路エレメ
ントの論理配置を設計する（ステップＳ１）。ファブレ
ス会社２０は、意図したように機能するか否かを判断す
るために、集積回路をシミュレートする（ステップＳ
２）。当該シミュレーション中に必要であると判断され
た設計のいかなる変更も、この時点でステップＳ１にお
ける設計に含まれることになる。
集積回路を初期設計から最終生成物にまで開発するため
に用いる典型的な方法を示している。ファブレス会社２
０では、まず、提案された集積回路における回路エレメ
ントの論理配置を設計する（ステップＳ１）。ファブレ
ス会社２０は、意図したように機能するか否かを判断す
るために、集積回路をシミュレートする（ステップＳ
２）。当該シミュレーション中に必要であると判断され
た設計のいかなる変更も、この時点でステップＳ１にお
ける設計に含まれることになる。
【０００９】次に、ファブレス会社２０は、集積回路の
レイアウトを生成する（ステップＳ３）。レイアウトの
完成は、当該技術では「テープアウト」として知られて
いる。レイアウトは製造プラント３０に送られ、そこで
プロトタイプが製造される（ステップＳ４）。
レイアウトを生成する（ステップＳ３）。レイアウトの
完成は、当該技術では「テープアウト」として知られて
いる。レイアウトは製造プラント３０に送られ、そこで
プロトタイプが製造される（ステップＳ４）。
【００１０】製造プラント３０は、その後自らプロトタ
イプをデバッグし（ステップＳ５Ａ）、その特徴づけを
行っても良いし（ステップＳ７Ｂ）、デバッグ（ステッ
プＳ５Ａ）と特徴づけ（ステップＳ７Ｂ）を行うために
プロトタイプをテストハウス４０に送ってもよい。設計
デバッグ（ステップＳ５Ａ）中に取得した試験結果に基
づいて、製造プラント３０もしくはテストハウス４０
は、設計を修正変更しても良いし（ステップＳ７Ａ）、
又は新しいプロトタイプを作らなければならないかもし
れない。プロトタイプが意図したように機能するのを確
認した後、集積回路のボリューム製造を始めることがで
きる。
イプをデバッグし（ステップＳ５Ａ）、その特徴づけを
行っても良いし（ステップＳ７Ｂ）、デバッグ（ステッ
プＳ５Ａ）と特徴づけ（ステップＳ７Ｂ）を行うために
プロトタイプをテストハウス４０に送ってもよい。設計
デバッグ（ステップＳ５Ａ）中に取得した試験結果に基
づいて、製造プラント３０もしくはテストハウス４０
は、設計を修正変更しても良いし（ステップＳ７Ａ）、
又は新しいプロトタイプを作らなければならないかもし
れない。プロトタイプが意図したように機能するのを確
認した後、集積回路のボリューム製造を始めることがで
きる。
【００１１】製造プラント３０により作られた製品の試
験及び組み立ては（ステップＳ５Ｂ）、テストハウス４
０が行っても良い。ステップＳ５Ｂにおける試験結果
は、ボリューム製造中に発見された設計及び／又は製造
上の欠陥を直すために、ファブレス会社２０と製造プラ
ント３０に連絡される。最後に、完成品の集積回路を、
エンドユーザに出荷することができる（ステップＳ
６）。
験及び組み立ては（ステップＳ５Ｂ）、テストハウス４
０が行っても良い。ステップＳ５Ｂにおける試験結果
は、ボリューム製造中に発見された設計及び／又は製造
上の欠陥を直すために、ファブレス会社２０と製造プラ
ント３０に連絡される。最後に、完成品の集積回路を、
エンドユーザに出荷することができる（ステップＳ
６）。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】新しい集積回路を市場
に送り出すのに、設計工程、修理／デバッグ工程、そし
て試験工程といった数々の工程を伴うため、新しい集積
回路を作ることは難しく、しかも費用がかかる。また、
様々な段階全体にわたって集積回路の開発を監視するこ
とも難しい作業であり、一般に試験を第三者に委託しな
ければならないファブレス会社の場合、特に困難であ
る。
に送り出すのに、設計工程、修理／デバッグ工程、そし
て試験工程といった数々の工程を伴うため、新しい集積
回路を作ることは難しく、しかも費用がかかる。また、
様々な段階全体にわたって集積回路の開発を監視するこ
とも難しい作業であり、一般に試験を第三者に委託しな
ければならないファブレス会社の場合、特に困難であ
る。
【００１３】監視は、試験結果及び入手可能になった試
験データを再検討すること及び分析することを伴う。例
えば、ファブレス会社は、設計変更が必要であるか否か
を判断するために、集積回路の性能に関する試験結果と
ともに、このような設計変更の効果を見ることに関心を
寄せるだろう。監視することが困難であることから、設
計、組み立て、又はその他の段階で防ぐことができるエ
ラーを回避することができないかもしれない。
験データを再検討すること及び分析することを伴う。例
えば、ファブレス会社は、設計変更が必要であるか否か
を判断するために、集積回路の性能に関する試験結果と
ともに、このような設計変更の効果を見ることに関心を
寄せるだろう。監視することが困難であることから、設
計、組み立て、又はその他の段階で防ぐことができるエ
ラーを回避することができないかもしれない。
【００１４】さらに、ファブレス会社は、試験データの
再検討を早くするために、自ら試験プログラムを実行し
たいと思っても、必要な資産を有していないかもしれな
い。このような場合、ファブレス会社は、試験を外部に
委託するか、又はテストハウスの施設を利用するかのい
ずれかを迫られることになるだろう。
再検討を早くするために、自ら試験プログラムを実行し
たいと思っても、必要な資産を有していないかもしれな
い。このような場合、ファブレス会社は、試験を外部に
委託するか、又はテストハウスの施設を利用するかのい
ずれかを迫られることになるだろう。
【００１５】
【課題を解決するための手段】一つの側面において、本
発明は、半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視
及び開発する装置に関する。本発明のこの側面による装
置は、リモートアクセスリンクを介してローカルワーク
ステーションに接続された少なくとも一つのリモートワ
ークステーションと、リンクを介して前記ローカルワー
クステーションに接続された試験システムとを備えてい
る。
発明は、半導体の製造プロセスにおける工程を遠隔監視
及び開発する装置に関する。本発明のこの側面による装
置は、リモートアクセスリンクを介してローカルワーク
ステーションに接続された少なくとも一つのリモートワ
ークステーションと、リンクを介して前記ローカルワー
クステーションに接続された試験システムとを備えてい
る。
【００１６】他の側面において、本発明は、半導体の製
造における工程を遠隔監視及び開発する方法に関する。
本発明のこの側面による方法は、半導体の試験システム
を遠隔操作し、前記半導体の試験システムを遠隔監視
し、前記半導体の試験システムから遠く離れてデータを
受信することを含んでいる。
造における工程を遠隔監視及び開発する方法に関する。
本発明のこの側面による方法は、半導体の試験システム
を遠隔操作し、前記半導体の試験システムを遠隔監視
し、前記半導体の試験システムから遠く離れてデータを
受信することを含んでいる。
【００１７】他の側面において、本発明は、半導体の製
造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する装置に
関し、前記装置は、リモートアクセスリンクを介してロ
ーカルワークステーションにそれぞれ接続された複数の
リモートワークステーションと、リンクを介してローカ
ルワークステーションに接続された試験システムとを備
えている。
造プロセスにおける工程を遠隔監視及び開発する装置に
関し、前記装置は、リモートアクセスリンクを介してロ
ーカルワークステーションにそれぞれ接続された複数の
リモートワークステーションと、リンクを介してローカ
ルワークステーションに接続された試験システムとを備
えている。
【００１８】本発明のその他の側面と利点とは、以下の
記述と添付されている請求項から明らかになるであろ
う。
記述と添付されている請求項から明らかになるであろ
う。
【００１９】
【発明の実施の形態】半導体の製造における開発の速度
を上げて費用を減らすために、ファブレス会社などの企
業は、新しい集積回路を作り上げる設計、デバッグ、製
造の各段階において、集積回路の試験プログラムを遠く
離れて監視し（例えば、彼ら自身の物理的な施設におい
て監視し）、分析し、操作する能力を望んでいるかもし
れない。
を上げて費用を減らすために、ファブレス会社などの企
業は、新しい集積回路を作り上げる設計、デバッグ、製
造の各段階において、集積回路の試験プログラムを遠く
離れて監視し（例えば、彼ら自身の物理的な施設におい
て監視し）、分析し、操作する能力を望んでいるかもし
れない。
【００２０】試験システムは一般に、その試験システム
に必要な機器を制御する（つまり、所有する、あるいは
リースしている）「ホスト」によって提供されている。
ホストは、当該技術において「テストハウス」として知
られているものであっても良いし、または試験サービス
を他社に提供している集積デバイスメーカの一部であっ
ても良い。ここでいう他社には、例えばファブレス会社
も含まれている。
に必要な機器を制御する（つまり、所有する、あるいは
リースしている）「ホスト」によって提供されている。
ホストは、当該技術において「テストハウス」として知
られているものであっても良いし、または試験サービス
を他社に提供している集積デバイスメーカの一部であっ
ても良い。ここでいう他社には、例えばファブレス会社
も含まれている。
【００２１】試験システムは、半導体の回路試験で用い
られる（複数の）機械や関連補助機器であってもよい。
例えば、このような試験機械の一つは、ＩＴＳ９０００
ＫＸというモデル番号で、カリフォルニア州サンホセ市
のシュルムベルガー・セミコンダクター・ソリューショ
ンズ社により販売されている。この試験機械は、高い処
理能力を有し、高精度を維持することから、多数の半導
体回路を迅速に試験できるという利点がある。補助機器
には、例えばウェハ試験機、デバイスハンドラ、又は温
度フォーシング機が含まれていても良い。さらに、試験
システムは、コンピュータハードウェアと、試験機械を
動かすソフトウェアとからなっている。半導体の試験に
おいて入手可能なコンピュータハードウェア、ソフトウ
ェア、及び試験システムの形式は、当該技術で知られて
おり、本発明の範囲を限定するものではない。
られる（複数の）機械や関連補助機器であってもよい。
例えば、このような試験機械の一つは、ＩＴＳ９０００
ＫＸというモデル番号で、カリフォルニア州サンホセ市
のシュルムベルガー・セミコンダクター・ソリューショ
ンズ社により販売されている。この試験機械は、高い処
理能力を有し、高精度を維持することから、多数の半導
体回路を迅速に試験できるという利点がある。補助機器
には、例えばウェハ試験機、デバイスハンドラ、又は温
度フォーシング機が含まれていても良い。さらに、試験
システムは、コンピュータハードウェアと、試験機械を
動かすソフトウェアとからなっている。半導体の試験に
おいて入手可能なコンピュータハードウェア、ソフトウ
ェア、及び試験システムの形式は、当該技術で知られて
おり、本発明の範囲を限定するものではない。
【００２２】「クライアント」は、ホスト試験システム
の使用を希望している主体である。クライアントの例
は、ファブレス会社、ＩＤＭ、又は（自社の試験をする
ことを望まないかもしれない）製造プラントである。
「ホストネットワーク」という用語は、ホストのローカ
ルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、又はイントラネット
を説明するのに用いられる。同様に、「クライアントネ
ットワーク」という用語は、クライアントのローカルエ
リアネットワーク（ＬＡＮ）、又はイントラネットを説
明するのに用いられる。
の使用を希望している主体である。クライアントの例
は、ファブレス会社、ＩＤＭ、又は（自社の試験をする
ことを望まないかもしれない）製造プラントである。
「ホストネットワーク」という用語は、ホストのローカ
ルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、又はイントラネット
を説明するのに用いられる。同様に、「クライアントネ
ットワーク」という用語は、クライアントのローカルエ
リアネットワーク（ＬＡＮ）、又はイントラネットを説
明するのに用いられる。
【００２３】本発明は、試験機械が別の物理的な施設に
配置されている場合でも、クライアントが集積回路を監
視し、及び／又は直接的に集積回路の試験を行うことを
可能にする。試験機械は一般に、ホストの物理的な施設
に配置されることなるが、これに限定される訳ではな
い。
配置されている場合でも、クライアントが集積回路を監
視し、及び／又は直接的に集積回路の試験を行うことを
可能にする。試験機械は一般に、ホストの物理的な施設
に配置されることなるが、これに限定される訳ではな
い。
【００２４】図２は、本発明の一実施形態による具体例
を提供している。図２は、前述したＩＴＳ９０００試験
システム８上で使用可能な試験プログラムの開発を示し
たものである。
を提供している。図２は、前述したＩＴＳ９０００試験
システム８上で使用可能な試験プログラムの開発を示し
たものである。
【００２５】この例で、リモートワークステーション１
は、クライアントの所に設置されている。リモートワー
クステーション１は、クライアントが試験中の装置（Ｄ
ＵＴ）の試験プログラムを開発できるように、必要なソ
フトウェアを一般に装備している。本発明のこの実施形
態にかかるシステムには、クライアントにより制御され
ているクライアントスイッチ２が含まれていてもよい。
クライアントスイッチ２は、クライアントが、リモート
ワークステーション１を、リンク２Ａを介してクライア
ントネットワーク１Ａに接続することを可能にする。ク
ライアントスイッチ２は、リンク２Ａを介して、リモー
トワークステーション１をクライアントネットワーク１
Ａに接続することができるし、クライアントスイッチ２
は、リモートワークステーション１を第１ルータ４に接
続することもできる。
は、クライアントの所に設置されている。リモートワー
クステーション１は、クライアントが試験中の装置（Ｄ
ＵＴ）の試験プログラムを開発できるように、必要なソ
フトウェアを一般に装備している。本発明のこの実施形
態にかかるシステムには、クライアントにより制御され
ているクライアントスイッチ２が含まれていてもよい。
クライアントスイッチ２は、クライアントが、リモート
ワークステーション１を、リンク２Ａを介してクライア
ントネットワーク１Ａに接続することを可能にする。ク
ライアントスイッチ２は、リンク２Ａを介して、リモー
トワークステーション１をクライアントネットワーク１
Ａに接続することができるし、クライアントスイッチ２
は、リモートワークステーション１を第１ルータ４に接
続することもできる。
【００２６】クライアントは、場合によっては、試験プ
ログラム又は他のコンピュータ（図示せず）の常駐デー
タの、クライアントの物理的な施設におけるリモートワ
ークステーション１への転送を容易にするために、リモ
ートワークステーション１をクライアントネットワーク
１Ａに接続することを希望するかもしれない。クライア
ントスイッチ２の性質は、本発明の範囲を限定するもの
ではなく、また、このようなスイッチが望ましいか否か
は、クライアントが決めればよい。
ログラム又は他のコンピュータ（図示せず）の常駐デー
タの、クライアントの物理的な施設におけるリモートワ
ークステーション１への転送を容易にするために、リモ
ートワークステーション１をクライアントネットワーク
１Ａに接続することを希望するかもしれない。クライア
ントスイッチ２の性質は、本発明の範囲を限定するもの
ではなく、また、このようなスイッチが望ましいか否か
は、クライアントが決めればよい。
【００２７】第１ルータ４は、リモートワークステーシ
ョン１を、リンク３を介して第２ルータ５に接続してい
る。第１ルータ４と、第２ルータ５と、リンク３とは、
リモートワークステーション１をローカルワークステー
ション７に最終的に連結している「リモートアクセスリ
ンク」を構成している。本実施形態では、第１ルータ４
と第２ルータ５とはＩＳＤＮルータであり、カリフォル
ニア州サンホセ市のシスコ・システムズ社により、モデ
ル番号７７６で販売されている。本実施形態では２台の
ルータが示されているが、ルータの数は２台より多くて
もよい。第１ルータ４と第２ルータ５とを接続している
リンク３は、本実施形態では、統合ディジタル通信サー
ビス網（ＩＳＤＮ）のダイアル呼出しリンクである。し
かし、リモートアクセスリンク６は、当該技術において
広域通信網（ＷＡＮ）技術として知られているものを含
むその他の構成要素からできていてもよい。ＩＳＤＮと
並んで、ＷＡＮ技術のその他の例には、フレームリレ
ー、フラクショナル(fractional)Ｔ１、Ｔ１、Ｅ１、Ｔ
３、非同期転送モード（ＡＴＭ＝Asynchronous Transfe
r Mode）が含まれる。
ョン１を、リンク３を介して第２ルータ５に接続してい
る。第１ルータ４と、第２ルータ５と、リンク３とは、
リモートワークステーション１をローカルワークステー
ション７に最終的に連結している「リモートアクセスリ
ンク」を構成している。本実施形態では、第１ルータ４
と第２ルータ５とはＩＳＤＮルータであり、カリフォル
ニア州サンホセ市のシスコ・システムズ社により、モデ
ル番号７７６で販売されている。本実施形態では２台の
ルータが示されているが、ルータの数は２台より多くて
もよい。第１ルータ４と第２ルータ５とを接続している
リンク３は、本実施形態では、統合ディジタル通信サー
ビス網（ＩＳＤＮ）のダイアル呼出しリンクである。し
かし、リモートアクセスリンク６は、当該技術において
広域通信網（ＷＡＮ）技術として知られているものを含
むその他の構成要素からできていてもよい。ＩＳＤＮと
並んで、ＷＡＮ技術のその他の例には、フレームリレ
ー、フラクショナル(fractional)Ｔ１、Ｔ１、Ｅ１、Ｔ
３、非同期転送モード（ＡＴＭ＝Asynchronous Transfe
r Mode）が含まれる。
【００２８】ＷＡＮ技術の別の例は、仮想私設網（ＶＰ
Ｎ＝virtual private network）である。仮想私設網
は、情報を暗号化することによりセキュリティを保持し
ながら、インターネット等のネットワーク上で、一台の
コンピュータから他のコンピュータへの情報送信を可能
にしている。経済性を推進する場合には、標準モデムリ
ンクをリンク６に使用してもよい。大容量のデータを転
送するのが遅い一方で、モデムリンクは、クライアント
による試験システム８の遠隔操作を可能にするであろ
う。
Ｎ＝virtual private network）である。仮想私設網
は、情報を暗号化することによりセキュリティを保持し
ながら、インターネット等のネットワーク上で、一台の
コンピュータから他のコンピュータへの情報送信を可能
にしている。経済性を推進する場合には、標準モデムリ
ンクをリンク６に使用してもよい。大容量のデータを転
送するのが遅い一方で、モデムリンクは、クライアント
による試験システム８の遠隔操作を可能にするであろ
う。
【００２９】本実施形態におけるリモートワークステー
ション１とローカルワークステーション７は、ユニック
スベースのワークステーションであり、「ウルトラ５
（Ultra 5）」というモデル名でカルフォルニア州パロ
アルト市のサン・マイクロシステムズ社により販売され
ている。
ション１とローカルワークステーション７は、ユニック
スベースのワークステーションであり、「ウルトラ５
（Ultra 5）」というモデル名でカルフォルニア州パロ
アルト市のサン・マイクロシステムズ社により販売され
ている。
【００３０】試験プログラムは、試験システム８をロー
カルワークステーション７から稼動するために、ある時
点で、ローカルワークステーション７に転送されなけれ
ばならない。本実施形態では、試験システム８は、ホス
トのネットワーク１０（ＬＡＮ）に接続されている。試
験システム８との間で転送されなければならないデータ
の容量が大きいため、ローカルワークステーション７が
望ましい。しかし、理論上は、リモートワークステーシ
ョン１は、ローカルワークステーション７を使わずに、
（リンク６等により）試験システム８に操作可能に接続
されているかもしれない。
カルワークステーション７から稼動するために、ある時
点で、ローカルワークステーション７に転送されなけれ
ばならない。本実施形態では、試験システム８は、ホス
トのネットワーク１０（ＬＡＮ）に接続されている。試
験システム８との間で転送されなければならないデータ
の容量が大きいため、ローカルワークステーション７が
望ましい。しかし、理論上は、リモートワークステーシ
ョン１は、ローカルワークステーション７を使わずに、
（リンク６等により）試験システム８に操作可能に接続
されているかもしれない。
【００３１】試験システム８は、リンク９Ａを介してホ
ストネットワーク１０に接続されていても良い。しか
し、リンク９Ａは、クライアントがローカルワークステ
ーション７を通してホストネットワーク１０にアクセス
するのを防ぐために、直接リンクではない。その代わ
り、ホストが操作できるホストスイッチ９Ｂを設けても
良い。ホストスイッチ９Ｂは、クライアントにはホスト
ネットワーク１０にアクセスさせないが、ホストが必要
に応じて試験システム８にアクセスすることを可能にし
ている。ホストスイッチ９Ｂは、物理的なスイッチでも
いいし、イーサネット（Ｒ）スイッチにようなコンピュ
ータ制御スイッチであってもよい。その代わりに、ホス
トスイッチ９Ｂは、セキュリティソフトウェアによって
操作されるコンピュータ制御スイッチであってもよく、
例えばテキサス州ヒューストン市のシュルンベルガー社
のＯＭＮＥＳによるシュルンベルガー・コネクティヴィ
ティ・センター（ＳＣＣ）という商品名で市販されてい
るようなものでもよい。
ストネットワーク１０に接続されていても良い。しか
し、リンク９Ａは、クライアントがローカルワークステ
ーション７を通してホストネットワーク１０にアクセス
するのを防ぐために、直接リンクではない。その代わ
り、ホストが操作できるホストスイッチ９Ｂを設けても
良い。ホストスイッチ９Ｂは、クライアントにはホスト
ネットワーク１０にアクセスさせないが、ホストが必要
に応じて試験システム８にアクセスすることを可能にし
ている。ホストスイッチ９Ｂは、物理的なスイッチでも
いいし、イーサネット（Ｒ）スイッチにようなコンピュ
ータ制御スイッチであってもよい。その代わりに、ホス
トスイッチ９Ｂは、セキュリティソフトウェアによって
操作されるコンピュータ制御スイッチであってもよく、
例えばテキサス州ヒューストン市のシュルンベルガー社
のＯＭＮＥＳによるシュルンベルガー・コネクティヴィ
ティ・センター（ＳＣＣ）という商品名で市販されてい
るようなものでもよい。
【００３２】セキュリティソフトウェアを用いる場合、
ホストネットワーク１０は仮想私設網として機能する。
このような場合、複数のクライアントが、ローカルワー
クステーション７に情報を格納しておくことができる
が、自分の情報以外のいかなる情報へのアクセスも、フ
ァィアウォールによって妨げられることになる。使用さ
れるスイッチの形式は、本発明の範囲を限定するもので
はない。試験システム８をホストネットワーク１０に接
続するために、ホストが選択的にホストスイッチ９Ｂを
操作する場合、クライアントの試験システム８へのアク
セスは防止されている。しかし、ホストは、必要に応じ
て試験システム８にアクセスすることができる。ホスト
は、ホストスイッチ９Ｂを選択的に操作することによ
り、クライアントが再び試験システム８にリモートアク
セスできるようにすることができる。
ホストネットワーク１０は仮想私設網として機能する。
このような場合、複数のクライアントが、ローカルワー
クステーション７に情報を格納しておくことができる
が、自分の情報以外のいかなる情報へのアクセスも、フ
ァィアウォールによって妨げられることになる。使用さ
れるスイッチの形式は、本発明の範囲を限定するもので
はない。試験システム８をホストネットワーク１０に接
続するために、ホストが選択的にホストスイッチ９Ｂを
操作する場合、クライアントの試験システム８へのアク
セスは防止されている。しかし、ホストは、必要に応じ
て試験システム８にアクセスすることができる。ホスト
は、ホストスイッチ９Ｂを選択的に操作することによ
り、クライアントが再び試験システム８にリモートアク
セスできるようにすることができる。
【００３３】試験プログラムが、リモートアクセスリン
ク６を介してローカルワークステーション７に転送され
た後、試験プログラムはローカルワークステーション７
に保存されている。リモートアクセスリンク６を経由す
る試験プログラムの転送は時間がかかるかもしれないの
で、クライアントは、例えば磁気テープやＣＤ−ＲＯＭ
等の物理的な媒体を用いて試験プログラムをローカルワ
ークステーション７に転送することを望むかもしれな
い。試験プログラムがいったんローカルワークステーシ
ョン７に保存されたなら、クライアントは、ＤＵＴの試
験を操作及び監視するために、試験システム８上におい
てある選択された時間を計画しても良い。予定されてい
た時間になったら、ホストは一般にホストスイッチ８の
選択的操作によって、試験プログラム８へのアクセス権
を与える。試験システム８は、その後、ローカルワーク
ステーション７に常駐のオペレーティングシステムから
リブートされうる。
ク６を介してローカルワークステーション７に転送され
た後、試験プログラムはローカルワークステーション７
に保存されている。リモートアクセスリンク６を経由す
る試験プログラムの転送は時間がかかるかもしれないの
で、クライアントは、例えば磁気テープやＣＤ−ＲＯＭ
等の物理的な媒体を用いて試験プログラムをローカルワ
ークステーション７に転送することを望むかもしれな
い。試験プログラムがいったんローカルワークステーシ
ョン７に保存されたなら、クライアントは、ＤＵＴの試
験を操作及び監視するために、試験システム８上におい
てある選択された時間を計画しても良い。予定されてい
た時間になったら、ホストは一般にホストスイッチ８の
選択的操作によって、試験プログラム８へのアクセス権
を与える。試験システム８は、その後、ローカルワーク
ステーション７に常駐のオペレーティングシステムから
リブートされうる。
【００３４】クライアントは、その後、リモートアクセ
スリンク６を介して、試験システム８にリモートアクセ
スしてもよい。リモートワークステーション１とローカ
ルワークステーション７とが連結されることにより、ク
ライアントは、あたかもホストの施設に物理的に存在す
るかのように、ローカルワークステーション７を作動で
きる。
スリンク６を介して、試験システム８にリモートアクセ
スしてもよい。リモートワークステーション１とローカ
ルワークステーション７とが連結されることにより、ク
ライアントは、あたかもホストの施設に物理的に存在す
るかのように、ローカルワークステーション７を作動で
きる。
【００３５】さらに、クライアントが希望すれば、ホス
トの職員が、試験システム８に連結されたホストコンピ
ュータ８Ａを介して接続することもできる。ホストコン
ピュータ８Ａ又はローカルワークステーション７には、
クライアントが試験プログラム８の作動中にホストの職
員からリアルタイム支援を受けられるように、共同ソフ
トウェアがインストールされていてもよい。クライアン
トは、電話線といった従来の手段によって支援を要求で
きるし、コンピュータ生成によるものでも構わない。コ
ンピュータ生成による支援要求は、支援が必要であると
ホストに注意を促すために、ホストコンピュータ８Ａ又
はローカルワークステーション７に送られてもよい。支
援が要求されたなら、ホストはホストコンピュータ８Ａ
を介して、又はローカルワークステーション７にアクセ
スすることによってアクセスを行い、必要なあらゆる技
術的支援を提供することができる。
トの職員が、試験システム８に連結されたホストコンピ
ュータ８Ａを介して接続することもできる。ホストコン
ピュータ８Ａ又はローカルワークステーション７には、
クライアントが試験プログラム８の作動中にホストの職
員からリアルタイム支援を受けられるように、共同ソフ
トウェアがインストールされていてもよい。クライアン
トは、電話線といった従来の手段によって支援を要求で
きるし、コンピュータ生成によるものでも構わない。コ
ンピュータ生成による支援要求は、支援が必要であると
ホストに注意を促すために、ホストコンピュータ８Ａ又
はローカルワークステーション７に送られてもよい。支
援が要求されたなら、ホストはホストコンピュータ８Ａ
を介して、又はローカルワークステーション７にアクセ
スすることによってアクセスを行い、必要なあらゆる技
術的支援を提供することができる。
【００３６】さらに、ネットワーク化したカメラ１１を
試験システム８に連結させることで、クライアントは、
試験システム８が機能している様子を見守ることができ
る。ネットワーク化したカメラ１１は、クライアントが
作動中の試験システム８を監視できるようになってい
る。
試験システム８に連結させることで、クライアントは、
試験システム８が機能している様子を見守ることができ
る。ネットワーク化したカメラ１１は、クライアントが
作動中の試験システム８を監視できるようになってい
る。
【００３７】さらに、クライアントのニーズに応じて、
ホストは補助機器をインストールすることができる。例
えば温度フォーシング機、ウェハ試験機、及び／又はデ
バイスハンドラを付け加えてもよい。
ホストは補助機器をインストールすることができる。例
えば温度フォーシング機、ウェハ試験機、及び／又はデ
バイスハンドラを付け加えてもよい。
【００３８】クライアントの試験システム８へのアクセ
スが拒絶されている間、ホストは自分の目的のために、
例えば当該クライアント以外の主体に試験サービスを提
供するために試験システムを操作してもよいことに注意
して欲しい。一つの例では、クライアントの試験システ
ム８へのアクセスが拒絶されている期間、ホストは、自
分の回路設計を試験しているＩＤＭであってもよい。他
の例では、ホストが、試験システム８へのリモートアク
セスを希望しない他のクライアントのために、回路設計
を試験してもよい。
スが拒絶されている間、ホストは自分の目的のために、
例えば当該クライアント以外の主体に試験サービスを提
供するために試験システムを操作してもよいことに注意
して欲しい。一つの例では、クライアントの試験システ
ム８へのアクセスが拒絶されている期間、ホストは、自
分の回路設計を試験しているＩＤＭであってもよい。他
の例では、ホストが、試験システム８へのリモートアク
セスを希望しない他のクライアントのために、回路設計
を試験してもよい。
【００３９】本発明は、集積回路第１シリコン試験プロ
グラムの操作と監視に限定されていない。たとえば、同
様のシステムを、集積回路の設計デバッグに用いてもよ
い。この例では、前述の実施形態の試験システム８は、
前に述べたようなプローブシステムに取って代わられて
いる。
グラムの操作と監視に限定されていない。たとえば、同
様のシステムを、集積回路の設計デバッグに用いてもよ
い。この例では、前述の実施形態の試験システム８は、
前に述べたようなプローブシステムに取って代わられて
いる。
【００４０】他の例では、製造プラントは、組み立てら
れた半導体を監視及び試験するために、本発明の第１実
施形態に類似したシステムを用いてもよい。
れた半導体を監視及び試験するために、本発明の第１実
施形態に類似したシステムを用いてもよい。
【００４１】図３は、本発明のもう一つの実施形態を示
しており、ここでは試験システムを複数のクライアント
がリモートアクセス及び制御することを希望している。
図３において、それぞれのクライアントは自分の独立し
たローカルワークステーションを有することになり、複
数のリモートワークステーション３０のそれぞれが、専
用アクセス回線３１を有する。図３の実施形態の例で
は、各専用アクセス回線は、第１の実施形態におけるリ
ンク（図２に示す６）と実質的に同じである。各専用ア
クセス回線３１は、それに対応する（複数の）リモート
ワークステーション３０を、クライアントのローカルワ
ークステーション３２に接続している。
しており、ここでは試験システムを複数のクライアント
がリモートアクセス及び制御することを希望している。
図３において、それぞれのクライアントは自分の独立し
たローカルワークステーションを有することになり、複
数のリモートワークステーション３０のそれぞれが、専
用アクセス回線３１を有する。図３の実施形態の例で
は、各専用アクセス回線は、第１の実施形態におけるリ
ンク（図２に示す６）と実質的に同じである。各専用ア
クセス回線３１は、それに対応する（複数の）リモート
ワークステーション３０を、クライアントのローカルワ
ークステーション３２に接続している。
【００４２】ローカルワークステーション３２は、一般
に試験システムと同じ物理的な施設内にある（第１の実
施形態と同様）。個々のクライアントのデータ及び試験
プログラムは、一連のファイアウォールによって一般に
分離されている。ファイアウォール３３は、個々のクラ
イアントのデータと試験プログラム用のセキュア領域を
作っている。ある特定のクライアントが試験システム３
４上で時間を設定したなら、その他のクライアントはみ
な、試験システム３４にアクセスすることができないた
め、その特定のクライアントに対して最大のセキュリテ
ィが保証されている。さらに、その特定のクライアント
は、ホストのセキュリティシステムによって審査された
後に限り、自分のローカルワークステーション３２に接
続してもよい。ローカルワークステーション３２へのい
かなる侵入も、ホストがさらに追跡して直ちに記録し、
レッテルを付ける。ホストは、第１の実施形態において
説明したように、試験システム３４をその後操作するか
もしれない特定の単一のクライアントに対して、試験シ
ステム３４上で特定の時間を計画に入れる。前記の実施
形態で説明したように、スイッチマトリックス３３が設
けられているため、ホストネットワーク３６は試験シス
テム３４に接続したり、切断したりできる。
に試験システムと同じ物理的な施設内にある（第１の実
施形態と同様）。個々のクライアントのデータ及び試験
プログラムは、一連のファイアウォールによって一般に
分離されている。ファイアウォール３３は、個々のクラ
イアントのデータと試験プログラム用のセキュア領域を
作っている。ある特定のクライアントが試験システム３
４上で時間を設定したなら、その他のクライアントはみ
な、試験システム３４にアクセスすることができないた
め、その特定のクライアントに対して最大のセキュリテ
ィが保証されている。さらに、その特定のクライアント
は、ホストのセキュリティシステムによって審査された
後に限り、自分のローカルワークステーション３２に接
続してもよい。ローカルワークステーション３２へのい
かなる侵入も、ホストがさらに追跡して直ちに記録し、
レッテルを付ける。ホストは、第１の実施形態において
説明したように、試験システム３４をその後操作するか
もしれない特定の単一のクライアントに対して、試験シ
ステム３４上で特定の時間を計画に入れる。前記の実施
形態で説明したように、スイッチマトリックス３３が設
けられているため、ホストネットワーク３６は試験シス
テム３４に接続したり、切断したりできる。
【００４３】当該技術を有する者であれば、この中で開
示されている本発明の意図からはずれることのない別の
実施形態が考案可能であることを理解するであろう。従
って、本発明の範囲は、添付の請求項によってのみ限定
されるものとする。
示されている本発明の意図からはずれることのない別の
実施形態が考案可能であることを理解するであろう。従
って、本発明の範囲は、添付の請求項によってのみ限定
されるものとする。
【００４４】
【発明の効果】以上のように本発明にかかる半導体の遠
隔試験方法及び装置によれば、一般に試験を第三者に委
託しなければならないファブレス会社の場合であって
も、設計から製造にわたる全工程にわたって監視するこ
とができることから、設計、組み立て、又はその他の段
階で防ぐことができるエラーを回避することができ、半
導体集積回路の設計から製造までの効率の向上に寄与す
る。
隔試験方法及び装置によれば、一般に試験を第三者に委
託しなければならないファブレス会社の場合であって
も、設計から製造にわたる全工程にわたって監視するこ
とができることから、設計、組み立て、又はその他の段
階で防ぐことができるエラーを回避することができ、半
導体集積回路の設計から製造までの効率の向上に寄与す
る。
【図１】 従来の半導体の製造工程を示す図である。
【図２】 本発明の一実施形態の概略図である。
【図３】 本発明の一実施形態の概略図である。
１、３０ リモートワークステーション １Ａ クライアントネットワーク ２ クライアントスイッチ ２Ａ、３、９Ａ リンク ４ 第１ルータ ５ 第２ルータ ６ リモートアクセスリンク ７、３２ ローカルワークステーション ８、３４ 試験システム ８Ａ ホストコンピュータ ９Ｂ ホストスイッチ １０ ホストワークステーション １１ カメラ ３１ 専用アクセス回線 ３３ スイッチマトリクス（ファイアウォール） ３６ ホストネットワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フレデリック ダブリュー． クリスト アメリカ合衆国、03062 ニューハンプシ ャー州、ネイシュア、シアレス ロード 133 (72)発明者 ティモシー ジェイ． ワグナー アメリカ合衆国、93907 カリフォルニア 州、プルーンデイル、パラダイス ロード 278 Ｆターム(参考） 4M106 AA01 DD00 DG00 DJ40
Claims (27)
- 【請求項１】 半導体の製造プロセスにおける工程を遠
隔監視及び開発する遠隔試験装置であって、 リモートアクセスリンクを介して、ローカルワークステ
ーションに接続された少なくとも一つのリモートワーク
ステーションと、 リンクを介して前記ローカルワークステーションに接続
されている試験システムとを備えることを特徴とする遠
隔試験装置。 - 【請求項２】 クライアントネットワークを、少なくと
も一つのリモートワークステーションに接続するクライ
アントスイッチをさらに備えることを特徴とする請求項
１に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項３】 ホストネットワークを前記試験システム
に接続し、使用中のときには、クライアントの前記試験
システムへのアクセスを防ぐホストスイッチをさらに備
えることを特徴とする請求項１に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項４】 前記ホストスイッチが、手動スイッチで
ある請求項３に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項５】 前記ホストスイッチが、イーサネット
（Ｒ）スイッチである請求項３に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項６】 前記ホストスイッチが、コンピュータセ
キュリティソフトウェアである請求項３に記載の遠隔試
験装置。 - 【請求項７】 前記リモートアクセスリンクが、前記ロ
ーカルワークステーションを前記リモートワークステー
ションに操作可能に結合している広域ネットワーク通信
回線を備えることを特徴とする請求項１に記載の遠隔試
験装置。 - 【請求項８】 前記リモートアクセスリンクが、少なく
とも１台のルータをさらに備えることを特徴とする請求
項７に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項９】 前記リンクが、前記ローカルワークステ
ーション及び前記試験システムを含むローカルエリアネ
ットワークであることを特徴とする請求項１に記載の遠
隔試験装置。 - 【請求項１０】 前記試験システムが、装置の様々な機
能を試験するために、クライアントにより予め選択され
た補助機器をさらに備えることを特徴とする請求項１に
記載の遠隔試験装置。 - 【請求項１１】 前記補助機器が、温度フォーシング機
をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の遠
隔試験装置。 - 【請求項１２】 前記補助機器が、ウェハ試験機をさら
に備えることを特徴とする請求項１０に記載の遠隔試験
装置。 - 【請求項１３】 前記補助機器が、デバイスハンドラを
さらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の遠隔
試験装置。 - 【請求項１４】 半導体の製造プロセスにおける工程を
遠隔監視及び開発する遠隔試験装置であって、 リモートアクセスリンクを介して、ローカルワークステ
ーションにそれぞれ接続された複数のリモートワークス
テーションと、 リンクを介して、前記ローカルワークステーションに接
続された試験システムとを備えることを特徴とする遠隔
試験装置。 - 【請求項１５】 前記ローカルワークステーションが、
一つの前記リモートワークステーションからどれか別の
一つの前記リモートワークステーションへのアクセスを
防ぐように適合された複数のファィアウォールを含むこ
とを特徴とする請求項１４に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項１６】 前記リモートアクセスリンクの少なく
とも一つが、インターネット接続であることを特徴とす
る請求項１４に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項１７】 前記リモートアクセスリンクの少なく
とも一つが、専用ＷＡＮ技術であることを特徴とする請
求項１４に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項１８】 ホストネットワーキングサービスを、
前記試験システムに選択的に接続するように適合された
ホストスイッチをさらに備えることを特徴とする請求項
１４に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項１９】 前記試験システムが、半導体装置の様
々な機能を試験するために、クライアントにより予め選
択された補助機器をさらに備えることを特徴とする請求
項１４に記載の遠隔試験装置。 - 【請求項２０】 前記補助機器が、温度フォーシング機
をさらに備えることを特徴とする請求項１９に記載の遠
隔試験装置。 - 【請求項２１】 前記補助機器が、ウェハ試験機をさら
に備えることを特徴とする請求項１９に記載の遠隔試験
装置。 - 【請求項２２】 前記補助機器が、デバイスハンドラを
さらに備えることを特徴とする請求項１９に記載の遠隔
試験装置。 - 【請求項２３】 半導体の製造における工程を遠隔監視
及び開発する遠隔試験方法であって、 半導体の試験システムに操作可能に結合されているロー
カルワークステーションとリンク上で結合されたリモー
トワークステーションから、前記試験システムを遠隔操
作し、 前記半導体の試験システムを前記リモートワークステー
ションから遠隔監視し、 前記リモートワークステーションで前記半導体の試験シ
ステムからのデータを受信することを特徴とする遠隔試
験方法。 - 【請求項２４】 前記半導体の試験システムが、集積回
路の設計デバッグ及び修理の半導体プローブシステムを
備えることを特徴とする請求項２３に記載の遠隔試験方
法。 - 【請求項２５】 前記半導体の試験システムが、製造プ
ラントにより生産された半導体の機能を監視するように
適合された試験システムを備えることを特徴とする請求
項２３に記載の遠隔試験方法。 - 【請求項２６】 半導体の製造プロセスにおける工程を
遠隔監視及び開発する遠隔試験装置であって、 広域ネットワーク通信回線を介して、ローカルワークス
テーションに操作可能に接続された少なくとも一つのリ
モートワークステーションと、 ローカルエリアネットワークを介して、前記ローカルワ
ークステーションに接続された試験システムと、 ホストスイッチ及びリンクとにより、前記試験システム
に分離可能に接続されたホストネットワークとを備えた
ことを特徴とする遠隔試験装置。 - 【請求項２７】 前記試験システムが、ネットワーク化
したビデオカメラをさらに備える請求項２６に記載の遠
隔試験装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/676,292 US6879940B1 (en) | 2000-09-28 | 2000-09-28 | Method and apparatus for remotely testing semiconductors |
| US09/676292 | 2000-09-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002203760A true JP2002203760A (ja) | 2002-07-19 |
| JP3862984B2 JP3862984B2 (ja) | 2006-12-27 |
Family
ID=24713941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001287506A Expired - Fee Related JP3862984B2 (ja) | 2000-09-28 | 2001-09-20 | 半導体の遠隔試験方法及び装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6879940B1 (ja) |
| JP (1) | JP3862984B2 (ja) |
| KR (1) | KR100433241B1 (ja) |
| CN (1) | CN1267980C (ja) |
| SG (1) | SG102006A1 (ja) |
| TW (1) | TW498416B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7526408B2 (en) | 2004-04-30 | 2009-04-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Measurement system and method and computer program for processing measurement data |
| JP2010080663A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理システム |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8510476B2 (en) * | 2001-02-15 | 2013-08-13 | Brooks Automation, Inc. | Secure remote diagnostic customer support network |
| US7253651B2 (en) * | 2004-12-21 | 2007-08-07 | Formfactor, Inc. | Remote test facility with wireless interface to local test facilities |
| US7805948B2 (en) * | 2005-12-15 | 2010-10-05 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Internally mounted device for a pressure vessel |
| JP5833500B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2015-12-16 | 株式会社アドバンテスト | 試験システム |
| US20140006570A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Globalfoundries Inc. | Method and system for customer specific test system allocation in a production environment |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5563524A (en) * | 1989-05-19 | 1996-10-08 | A.T.E. Solutions, Inc. | Apparatus for testing electric circuits |
| JPH06120316A (ja) | 1992-08-21 | 1994-04-28 | Fujitsu Ltd | 部品の試験方法 |
| JP3919294B2 (ja) | 1997-06-24 | 2007-05-23 | キヤノン株式会社 | 産業用機器の遠隔保守システムおよび方法 |
| US5889986A (en) * | 1997-01-28 | 1999-03-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Instruction fetch unit including instruction buffer and secondary or branch target buffer that transfers prefetched instructions to the instruction buffer |
| JPH10256109A (ja) | 1997-03-11 | 1998-09-25 | Canon Inc | 半導体製造装置及びデバイス製造方法 |
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| JP2000077290A (ja) | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体製造工程管理システム |
| US6393591B1 (en) | 1999-02-12 | 2002-05-21 | Xilinx, Inc. | Method for remotely testing microelectronic device over the internet |
-
2000
- 2000-09-28 US US09/676,292 patent/US6879940B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-20 JP JP2001287506A patent/JP3862984B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-27 SG SG200105909A patent/SG102006A1/en unknown
- 2001-09-27 TW TW090123901A patent/TW498416B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-09-27 KR KR10-2001-0059997A patent/KR100433241B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-09-28 CN CN01141510.XA patent/CN1267980C/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1267980C (zh) | 2006-08-02 |
| JP3862984B2 (ja) | 2006-12-27 |
| TW498416B (en) | 2002-08-11 |
| US6879940B1 (en) | 2005-04-12 |
| SG102006A1 (en) | 2004-02-27 |
| KR20020025769A (ko) | 2002-04-04 |
| CN1347145A (zh) | 2002-05-01 |
| KR100433241B1 (ko) | 2004-05-24 |
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Legal Events
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| A602 | Written permission of extension of time |
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| A521 | Request for written amendment filed |
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