JP3703618B2 - Ｉｃテストシステム - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、 ＩＣの生産ラインに用いられるＩＣテストシステムの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣの生産ラインには、ＩＣテストシステムを設けたものがあった。ＩＣテストシステムは、生産ラインで生産されてくるＩＣをＩＣテスタで随時検査するシステムである。 生産ラインで歩留まりが急降下する等のトラブルが発生したときは、テストエンジニアは、ＩＣテスタから得られるテスト結果データを解析して原因を突き止め、必要な作業指示を生産ラインの作業者に出す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このようなＩＣテストシステムでは、生産現場が海外にあり、テストエンジニアが国内に駐在している場合がある。このような場合に、トラブルが発生して作業指示が必要になったときは、テストエンジニアはわざわざ海外の生産現場に足を運ばなければならない。
【０００４】
本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、隔絶されて所在する生産現場とテストエンジニアの駐在場所とをネットワークでつなぎ、このネットワークを介して生産現場の画像・音声の情報、検査データを生産現場からテストエンジニアの駐在場所へ送り、テストエンジニアの駐在場所からは生産現場へ作業指令を出すことによって、テストエンジニアが生産現場から離れた場所にいてもあたかも生産現場にいるようにトラブルに対応できるＩＣテストシステムを実現することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になったＩＣテストシステムである。
【０００６】
（１）ＩＣの生産ラインにＩＣテスタを設置し、生産ラインで生産した被検査ＩＣをＩＣテスタで検査するＩＣテストシステムにおいて、
ＩＣの生産ラインと指令室とが隔絶された場所に所在し、これらはネットワークで接続されていて、
前記ＩＣの生産ラインには、
生産ラインの現場で画像情報と音声情報の少なくとも一方を収集する第１の情報収集手段と、前記ＩＣテスタから検査データを収集する第２の情報収集手段と、ネットワークを介して指令室と通信を行う第１の通信手段とを有するパソコンを設け、
前記指令室には、
ネットワークを介して生産ラインと通信を行う第２の通信手段と、
ネットワークを介して伝達された画像情報と音声情報の少なくとも一方をもとに現場の状況を画像と音声の少なくとも一方を再現する状況再現手段と、
ネットワークを介して伝達された検査データを解析する情報解析手段と、
ネットワークを介してＩＣの生産ラインに設けた前記パソコンに作業指令を与える指令発生手段と、
を設け、前記第１の情報収集手段、ネットワーク、状況再現手段及び指令発生手段によりテレビ会議システムを構築していることを特徴とするＩＣテストシステム。
【０００７】
（２）前記第１の情報収集手段は、カメラ及びマイクの少なくとも一方を有し、
前記指令室には遠隔制御手段を設け、この遠隔制御手段は前記情報解析手段の解析結果に応じて前記カメラ及びマイクの少なくとも一方を制御することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【０００８】
（３）前記第１及び第２の情報収集手段で得た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデータを抽出し、抽出したデータを送信データとして前記第１の通信手段に与える情報抽出手段を具備したことを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【０００９】
（４）前記指令発生手段は、前記情報解析手段の解析結果に応じてＩＣの生産ラインに設けた前記パソコンへ作業改善指令を発生することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【００１０】
（５）前記第１及び第２の情報収集手段は、画像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメディアとし、このマルチメディアをネットワークを介して伝達することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の構成図である。
図１で、 ＩＣの生産ライン１と指令室２とが隔絶された場所に所在し、これらはネットワーク３で接続されている。例えば、生産ライン１は海外、指令室２は国内にある。生産ライン１には現場の作業者が居る。指令室２にはＩＣテスタのトラブルに対応できるテストエンジニアが駐在する。
【００１４】
生産ライン１では、ＩＣテスタ１１は、テスト治具１２を使って被検査ＩＣ１３を検査する。カメラ１４は生産ラインの現場の画像を撮る。マイク１５は生産ラインの現場の音声を収録する。
パソコン１６は、 ＩＣテスタ１１の検査データ、カメラ１４の画像情報、マイク１５の音声情報を収集したり、ネットワーク３を介して指令室２と通信を行う。
【００１５】
パソコン１６には次の機能が搭載されている。
情報収集手段１６１は、カメラ１４の画像情報とマイク１５の音声情報を収集する。
情報収集手段１６２は、ＩＣテスタ１１の検査データを収集する。
情報抽出手段１６３は、情報収集手段１６１と１６２で得た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデータを抽出する。
通信手段１６４は、ネットワーク３を介して指令室２と通信を行う。情報抽出手段１６３で抽出したデータは送信データとして通信手段１６４に与えられる。
制御手段１６５は、パソコン１６全体の制御を司る。表示手段１６６は現場で必要な画像を表示する。
【００１６】
指令室２にはパソコン２１が設置されている。パソコン２１には次の機能が搭載されている。
通信手段２１は、ネットワーク３を介して生産ライン１と通信を行う。
状況再現手段２１２は、ネットワーク３を介して伝達された画像情報と音声情報をもとに現場の状況を画像と音声で再現する。
情報解析手段２１３は、ネットワーク３を介して伝達された検査データを解析する。
指令発生手段２１４は、ネットワーク３を介して生産ライン１に作業指令を与える。また、指令発生手段２１４は、情報解析手段２１３の解析結果に応じて生産ライン１へ作業改善指令を発生する。指令発生手段２１４は、カメラとマイク（図示せず）を持っていて、指令室２の状況を画像情報と音声情報で伝えてもよい。
遠隔制御手段２１５は、情報解析手段２１３の解析結果に応じてカメラ１４とマイク１５を制御する。
表示手段２１６は、状況再現手段２１２で再現した画像情報を画面表示する。これによって、生産ライン１の状況を視覚的に認識できる。
表示手段２１７は、情報解析手段２１３の解析結果を画面表示する。これによって、検査結果を画面上で認識できる。
【００１７】
図１のシステムの動作を説明する。
ＩＣテスタ１１が検査を行うことによって得られた検査データは、ネットワーク３を経由して指令室２へ送られる。指令室２では送られた検査データが再現される。これによって、テストエンジニアはＩＣの検査結果を認識することができる。
【００１８】
ここで、生産ラインで歩留まりが急に低下するトラブルが発生したとする。
テストエンジニアは、遠隔制御手段２１５によりカメラ１４とマイク１５を制御し、生産現場の観たい箇所から画像情報と音声情報を収集する。収集した画像情報と音声情報は、ネットワーク３を経由して指令室２に送られる。指令室２では送られた画像情報と音声情報が再現される。これによって、テストエンジニアは生産現場の状況をあたかも現場に居るような臨場感で認識することができる。
【００１９】
例えば、ＩＣの特性を測る周辺回路がどのようになっているかをテストエンジニアは画像から認識できる。また、現場の作業者がどんな作業をしているか、作業の手順が正しいかどうか等を画像を介してチェックできる。そして、必要な作業指令を指令発生手段２１４により与える。作業指令は、文字列のコマンドで与えても、音声で与えてもよい。
【００２０】
このようにして、画像情報、音声情報及び検査データが統合してテストエンジニアに伝えられ、マルチメディアを利用したデバッグ環境が提供される。テストエンジニアは、生産現場から離れた場所に居てもあたかも現場に居るような臨場感で現場とコミュニケーションを行い、トラブルに対して対策を講じることができる。
【００２１】
なお、情報収集手段１６２、ネットワーク３、状況再現手段２１２及び指令発生手段２１４によりテレビ会議システムを構築してもよい。
【００２２】
また、情報収集手段１６１及び１６２は、画像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメディアとし、ネットワーク３を介して伝達してもよい。これによって、マルチメディアを利用したデバッグ環境が提供される。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば次の効果が得られる。
【００２５】
請求項１によれば、テストエンジニアが生産現場から離れた場所にいても、あたかも現場にいるような臨場感で現場の状況を認識し、トラブルに対応することができる。また、現場の状況を視覚的及び聴覚的に把握できるため、トラブルに対して適切な指示を与えることができる。
【００２６】
請求項２によれば、カメラとマイクを遠隔操作できるため、生産現場の検証したい箇所を的確に観ることができる。
【００２７】
請求項３によれば、生産現場で得られた全てのデータではなく、現場の状況を認識するために必要なデータだけを伝送しているため、通信効率が向上する。
【００２８】
請求項４によれば、生産ラインでトラブルが発生したときに、トラブルの影響を最小限に食い止めることができる。
【００２９】
請求項５によれば、情報を統合化して伝えるため、伝達効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
１ 生産ライン
２ 指令室
３ ネットワーク
１１ ＩＣテスタ
１３ 被検査ＩＣ
１４ カメラ
１５ マイク
１６１、１６２ 情報収集手段
１６３ 情報抽出手段
１６４、２１１ 通信手段
２１２ 状況再現手段
２１３ 情報解析手段
２１４ 指令発生手段
２１５ 遠隔制御手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、 ＩＣの生産ラインに用いられるＩＣテストシステムの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣの生産ラインには、ＩＣテストシステムを設けたものがあった。ＩＣテストシステムは、生産ラインで生産されてくるＩＣをＩＣテスタで随時検査するシステムである。 生産ラインで歩留まりが急降下する等のトラブルが発生したときは、テストエンジニアは、ＩＣテスタから得られるテスト結果データを解析して原因を突き止め、必要な作業指示を生産ラインの作業者に出す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このようなＩＣテストシステムでは、生産現場が海外にあり、テストエンジニアが国内に駐在している場合がある。このような場合に、トラブルが発生して作業指示が必要になったときは、テストエンジニアはわざわざ海外の生産現場に足を運ばなければならない。
【０００４】
本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、隔絶されて所在する生産現場とテストエンジニアの駐在場所とをネットワークでつなぎ、このネットワークを介して生産現場の画像・音声の情報、検査データを生産現場からテストエンジニアの駐在場所へ送り、テストエンジニアの駐在場所からは生産現場へ作業指令を出すことによって、テストエンジニアが生産現場から離れた場所にいてもあたかも生産現場にいるようにトラブルに対応できるＩＣテストシステムを実現することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は次のとおりの構成になったＩＣテストシステムである。
【０００６】
（１）ＩＣの生産ラインにＩＣテスタを設置し、生産ラインで生産した被検査ＩＣをＩＣテスタで検査するＩＣテストシステムにおいて、
ＩＣの生産ラインと指令室とが隔絶された場所に所在し、これらはネットワークで接続されていて、
前記ＩＣの生産ラインには、
生産ラインの現場で画像情報と音声情報の少なくとも一方を収集する第１の情報収集手段と、前記ＩＣテスタから検査データを収集する第２の情報収集手段と、ネットワークを介して指令室と通信を行う第１の通信手段とを有するパソコンを設け、
前記指令室には、
ネットワークを介して生産ラインと通信を行う第２の通信手段と、
ネットワークを介して伝達された画像情報と音声情報の少なくとも一方をもとに現場の状況を画像と音声の少なくとも一方を再現する状況再現手段と、
ネットワークを介して伝達された検査データを解析する情報解析手段と、
ネットワークを介してＩＣの生産ラインに設けた前記パソコンに作業指令を与える指令発生手段と、
を設け、前記第１の情報収集手段、ネットワーク、状況再現手段及び指令発生手段によりテレビ会議システムを構築していることを特徴とするＩＣテストシステム。
【０００７】
（２）前記第１の情報収集手段は、カメラ及びマイクの少なくとも一方を有し、
前記指令室には遠隔制御手段を設け、この遠隔制御手段は前記情報解析手段の解析結果に応じて前記カメラ及びマイクの少なくとも一方を制御することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【０００８】
（３）前記第１及び第２の情報収集手段で得た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデータを抽出し、抽出したデータを送信データとして前記第１の通信手段に与える情報抽出手段を具備したことを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【０００９】
（４）前記指令発生手段は、前記情報解析手段の解析結果に応じてＩＣの生産ラインに設けた前記パソコンへ作業改善指令を発生することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【００１０】
（５）前記第１及び第２の情報収集手段は、画像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメディアとし、このマルチメディアをネットワークを介して伝達することを特徴とする（１）記載のＩＣテストシステム。
【００１３】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の構成図である。
図１で、 ＩＣの生産ライン１と指令室２とが隔絶された場所に所在し、これらはネットワーク３で接続されている。例えば、生産ライン１は海外、指令室２は国内にある。生産ライン１には現場の作業者が居る。指令室２にはＩＣテスタのトラブルに対応できるテストエンジニアが駐在する。
【００１４】
生産ライン１では、ＩＣテスタ１１は、テスト治具１２を使って被検査ＩＣ１３を検査する。カメラ１４は生産ラインの現場の画像を撮る。マイク１５は生産ラインの現場の音声を収録する。
パソコン１６は、 ＩＣテスタ１１の検査データ、カメラ１４の画像情報、マイク１５の音声情報を収集したり、ネットワーク３を介して指令室２と通信を行う。
【００１５】
パソコン１６には次の機能が搭載されている。
情報収集手段１６１は、カメラ１４の画像情報とマイク１５の音声情報を収集する。
情報収集手段１６２は、ＩＣテスタ１１の検査データを収集する。
情報抽出手段１６３は、情報収集手段１６１と１６２で得た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデータを抽出する。
通信手段１６４は、ネットワーク３を介して指令室２と通信を行う。情報抽出手段１６３で抽出したデータは送信データとして通信手段１６４に与えられる。
制御手段１６５は、パソコン１６全体の制御を司る。表示手段１６６は現場で必要な画像を表示する。
【００１６】
指令室２にはパソコン２１が設置されている。パソコン２１には次の機能が搭載されている。
通信手段２１は、ネットワーク３を介して生産ライン１と通信を行う。
状況再現手段２１２は、ネットワーク３を介して伝達された画像情報と音声情報をもとに現場の状況を画像と音声で再現する。
情報解析手段２１３は、ネットワーク３を介して伝達された検査データを解析する。
指令発生手段２１４は、ネットワーク３を介して生産ライン１に作業指令を与える。また、指令発生手段２１４は、情報解析手段２１３の解析結果に応じて生産ライン１へ作業改善指令を発生する。指令発生手段２１４は、カメラとマイク（図示せず）を持っていて、指令室２の状況を画像情報と音声情報で伝えてもよい。
遠隔制御手段２１５は、情報解析手段２１３の解析結果に応じてカメラ１４とマイク１５を制御する。
表示手段２１６は、状況再現手段２１２で再現した画像情報を画面表示する。これによって、生産ライン１の状況を視覚的に認識できる。
表示手段２１７は、情報解析手段２１３の解析結果を画面表示する。これによって、検査結果を画面上で認識できる。
【００１７】
図１のシステムの動作を説明する。
ＩＣテスタ１１が検査を行うことによって得られた検査データは、ネットワーク３を経由して指令室２へ送られる。指令室２では送られた検査データが再現される。これによって、テストエンジニアはＩＣの検査結果を認識することができる。
【００１８】
ここで、生産ラインで歩留まりが急に低下するトラブルが発生したとする。
テストエンジニアは、遠隔制御手段２１５によりカメラ１４とマイク１５を制御し、生産現場の観たい箇所から画像情報と音声情報を収集する。収集した画像情報と音声情報は、ネットワーク３を経由して指令室２に送られる。指令室２では送られた画像情報と音声情報が再現される。これによって、テストエンジニアは生産現場の状況をあたかも現場に居るような臨場感で認識することができる。
【００１９】
例えば、ＩＣの特性を測る周辺回路がどのようになっているかをテストエンジニアは画像から認識できる。また、現場の作業者がどんな作業をしているか、作業の手順が正しいかどうか等を画像を介してチェックできる。そして、必要な作業指令を指令発生手段２１４により与える。作業指令は、文字列のコマンドで与えても、音声で与えてもよい。
【００２０】
このようにして、画像情報、音声情報及び検査データが統合してテストエンジニアに伝えられ、マルチメディアを利用したデバッグ環境が提供される。テストエンジニアは、生産現場から離れた場所に居てもあたかも現場に居るような臨場感で現場とコミュニケーションを行い、トラブルに対して対策を講じることができる。
【００２１】
なお、情報収集手段１６２、ネットワーク３、状況再現手段２１２及び指令発生手段２１４によりテレビ会議システムを構築してもよい。
【００２２】
また、情報収集手段１６１及び１６２は、画像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメディアとし、ネットワーク３を介して伝達してもよい。これによって、マルチメディアを利用したデバッグ環境が提供される。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば次の効果が得られる。
【００２５】
請求項１によれば、テストエンジニアが生産現場から離れた場所にいても、あたかも現場にいるような臨場感で現場の状況を認識し、トラブルに対応することができる。また、現場の状況を視覚的及び聴覚的に把握できるため、トラブルに対して適切な指示を与えることができる。
【００２６】
請求項２によれば、カメラとマイクを遠隔操作できるため、生産現場の検証したい箇所を的確に観ることができる。
【００２７】
請求項３によれば、生産現場で得られた全てのデータではなく、現場の状況を認識するために必要なデータだけを伝送しているため、通信効率が向上する。
【００２８】
請求項４によれば、生産ラインでトラブルが発生したときに、トラブルの影響を最小限に食い止めることができる。
【００２９】
請求項５によれば、情報を統合化して伝えるため、伝達効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
１ 生産ライン
２ 指令室
３ ネットワーク
１１ ＩＣテスタ
１３ 被検査ＩＣ
１４ カメラ
１５ マイク
１６１、１６２ 情報収集手段
１６３ 情報抽出手段
１６４、２１１ 通信手段
２１２ 状況再現手段
２１３ 情報解析手段
２１４ 指令発生手段
２１５ 遠隔制御手段
Claims (5)
- ＩＣの生産ラインにＩＣテスタを設置し、生産ラインで生産した被検査ＩＣをＩＣテスタで検査するＩＣテストシステムにおいて、
ＩＣの生産ラインと指令室とが隔絶された場所に所在し、これらはネットワークで接続されていて、
前記ＩＣの生産ラインには、
生産ラインの現場で画像情報と音声情報の少なくとも一方を収集する第１の情報収集手段と、前記ＩＣテスタから検査データを収集する第２の情報収集手段と、ネットワークを介して指令室と通信を行う第１の通信手段とを有するパソコンを設け、
前記指令室には、
ネットワークを介して生産ラインと通信を行う第２の通信手段と、
ネットワークを介して伝達された画像情報と音声情報の少なくとも一方をもとに現場の状況を画像と音声の少なくとも一方を再現する状況再現手段と、
ネットワークを介して伝達された検査データを解析する情報解析手段と、
ネットワークを介してＩＣの生産ラインに設けた前記パソコンに作業指令を与える指令発生手段と、
を設け、前記第１の情報収集手段、ネットワーク、状況再現手段及び指令発生手段によりテレビ会議システムを構築していることを特徴とするＩＣテストシステム。 - 前記第１の情報収集手段は、カメラ及びマイクの少なくとも一方を有し、
前記指令室には遠隔制御手段を設け、この遠隔制御手段は前記情報解析手段の解析結果に応じて前記カメラ及びマイクの少なくとも一方を制御することを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシステム。 - 前記第１及び第２の情報収集手段で得た情報の中から現場の状況を認識するために必要なデータを抽出し、抽出したデータを送信データとして前記第１の通信手段に与える情報抽出手段を具備したことを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシステム。
- 前記指令発生手段は、前記情報解析手段の解析結果に応じてＩＣの生産ラインに設けた前記パソコンへ作業改善指令を発生することを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシステム。
- 前記第１及び第２の情報収集手段は、画像情報、音声情報及び検査データを統合してマルチメディアとし、このマルチメディアをネットワークを介して伝達することを特徴とする請求項１記載のＩＣテストシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03467998A JP3703618B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | Ｉｃテストシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03467998A JP3703618B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | Ｉｃテストシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11233582A JPH11233582A (ja) | 1999-08-27 |
| JP3703618B2 true JP3703618B2 (ja) | 2005-10-05 |
Family
ID=12421115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03467998A Expired - Fee Related JP3703618B2 (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | Ｉｃテストシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3703618B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6879940B1 (en) * | 2000-09-28 | 2005-04-12 | Credence Systems Corporation | Method and apparatus for remotely testing semiconductors |
| JP2003107672A (ja) | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスク外観検証システム及び方法 |
-
1998
- 1998-02-17 JP JP03467998A patent/JP3703618B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11233582A (ja) | 1999-08-27 |
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