KR20020020827A - Heater device - Google Patents
Heater device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20020020827A KR20020020827A KR1020000079443A KR20000079443A KR20020020827A KR 20020020827 A KR20020020827 A KR 20020020827A KR 1020000079443 A KR1020000079443 A KR 1020000079443A KR 20000079443 A KR20000079443 A KR 20000079443A KR 20020020827 A KR20020020827 A KR 20020020827A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- heater
- sheet
- insulating material
- pipe
- heat
- Prior art date
Links
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 11
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims description 11
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 10
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N chromium iron Chemical compound [Cr].[Fe] UPHIPHFJVNKLMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000002310 elbow joint Anatomy 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/34—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater flexible, e.g. heating nets or webs
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
- F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
- F16L53/35—Ohmic-resistance heating
- F16L53/38—Ohmic-resistance heating using elongate electric heating elements, e.g. wires or ribbons
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/02—Details
- H05B3/06—Heater elements structurally combined with coupling elements or holders
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Pipe Accessories (AREA)
- Surface Heating Bodies (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 히터 장치, 특히, 파이프, 그 외의 도관, 구체(球體), 밸브,The present invention relates to a heater device, in particular pipes, other conduits, spheres, valves,
엘보(elbow) 이음매 또는 T형 이음매와 같은 곡표면구조를 갖는 피가열물을 가열하기 위한 히터 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heater device for heating a heated object having a curved surface structure such as an elbow seam or a T-shaped seam.
반도체 제조, 화학처리, 플라스틱 제조, 식품처리, 기기제조 등에 있어서,가열 또는 단열을 필요로 하는 파이프, 특히 휘발성 액체 또는 가스의 파이프 내벽에의 고화(固化) 및 퇴적을 방지하기 위해 히터가 자주 이용된다. 이 히터는 주위의 공기로부터 열을 전열함으로 인해 필요한 출력을 감소시키고, 또 노출하는 히터의 바깥면의 온도를 최소로 하여, 그것에 접할 우려가 있는 사람이 화상을 입지 않도록 하는 것이 요구된다.In semiconductor manufacturing, chemical processing, plastics manufacturing, food processing, appliance manufacturing, etc., heaters are frequently used to prevent the solidification and deposition of pipes, especially volatile liquids or gases, on the inner wall of pipes that require heating or heat insulation. do. This heater is required to reduce the required output by transferring heat from the surrounding air, and to minimize the temperature of the outer surface of the heater to be exposed so that a person who is likely to come into contact with it is not burned.
즉, 예를 들어, 반도체칩을 형성하기 위해 사용되는 기판 웨이퍼 상에 질화 규소를 퇴적시키는 감압 CVD처리에서는, 질화 규소의 퇴적이 발생하고 있는 반응실 내의 부생물(副生物)로서 대량의 염화 암모늄 가스가 발생한다. 이 염화 암모늄 가스가 일단 반응실로부터 나와 냉각되면, 백색의 결정물을 제조 시스템 내의 파이프 및 펌프의 안쪽 등 모든 피가열면에 형성하여 층이 이루어진다. 이 염화 암모늄의 층은 벗겨져 떨어져서 반응실로 역류하고, 실내의 기판 웨이퍼를 오염시킨다. 그와 같은 오염이 발생하면, 제조 시스템을 폐쇄하고, 막힌 파이프나 펌프를 세정하거나 바꾸지 않으면 안된다. 또한, 기판 웨이퍼 또는 반도체칩은 수리 또는 사용이 불가능할 정도로 오염되는 일도 있다. 염화 암모늄 가스가 제조 시스템을 막거나 또는 오염시키는 것을 방지하기 위해서는, 히터를 파이프 주위에 배치하고 가열하여 그 가스를 승화시킬 필요가 있다.That is, for example, in a reduced pressure CVD process in which silicon nitride is deposited on a substrate wafer used to form a semiconductor chip, a large amount of ammonium chloride as a by-product in the reaction chamber in which deposition of silicon nitride occurs Gas is generated. Once this ammonium chloride gas is released from the reaction chamber and cooled, white crystals are formed on all heated surfaces, including the inside of pipes and pumps in the manufacturing system, to form a layer. This layer of ammonium chloride is stripped off and flows back into the reaction chamber, contaminating the substrate wafer in the room. If such contamination occurs, the manufacturing system must be closed and a clogged pipe or pump must be cleaned or changed. In addition, the substrate wafer or the semiconductor chip may be contaminated to such an extent that repair or use is impossible. In order to prevent ammonium chloride gas from clogging or contaminating the manufacturing system, it is necessary to place the heater around the pipe and heat it to sublimate the gas.
상기 파이프를 포함하는 대상물을 가열하거나 단열하기 위한 히터로서, 종래에는 실리콘 고무 또는 유리 섬유로 피복한 띠 모양의 히터를 파이프에 감아서 사용했다.As a heater for heating or heat-insulating the object containing the said pipe, the strip | belt-shaped heater coat | covered with silicone rubber or glass fiber was conventionally wound and used for the pipe.
그러나, 상기 종래의 띠 모양의 히터를 파이프, 도관, 구체, 펄프, 엘보 이음매 또는 T형 이음매와 같은 곡표면 구조를 갖는 피가열물에 밀착하여 감기는 어렵고, 피가열물의 온도를 균일하게 할 수 없었으므로 부생물의 부분적인 고화를 방지할 수 없었다.However, it is difficult to wind the conventional band-shaped heater in close contact with a heated object having a curved surface structure such as a pipe, a conduit, a sphere, a pulp, an elbow joint, or a T-shaped joint, and to uniformize the temperature of the heated object. As a result, partial solidification of the by-products could not be prevented.
또, 한번 감은 히터를 떼어내는 것은 어려웠으며, 또 한번 떼어낸 히터는 다시 이용할 수 없었다.In addition, it was difficult to remove the heater once wound, and the heater once removed was not available again.
또한, 상기 히터를 피복한 실리콘 고무 또는 유리 섬유는 얇아서 사람이 화상을 입을 위험이 있으며, 방열도 크고 히터의 가열 효율도 나쁘다는 결점이 있었다.In addition, the silicone rubber or glass fiber coated with the heater is thin and there is a risk that a person may be burned, and the heat dissipation is large and the heating efficiency of the heater is poor.
본 발명은 상기와 같은 결점을 배제하려고 한 것이다.The present invention is intended to exclude the above drawbacks.
도 1은 본 발명의 히터 장치의 정면도이다.1 is a front view of the heater apparatus of the present invention.
도 2는 도 1에 나타낸 히터 장치의 종단 측면도이다.FIG. 2 is a longitudinal side view of the heater device shown in FIG. 1. FIG.
도 3은 도 1에 나타낸 히터 장치의 회로도이다.3 is a circuit diagram of the heater device shown in FIG. 1.
도 4는 본 발명의 히터 장치의 다른 실시예의 정면도이다.4 is a front view of another embodiment of the heater apparatus of the present invention.
도 5는 도 4에 나타낸 히터 장치의 종단 측면도이다.FIG. 5 is a longitudinal side view of the heater device shown in FIG. 4. FIG.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
1 : 파이프 2 : 시트 모양 히터 3 : 단열 재킷 4 : 코드DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Pipe 2: Sheet-shaped heater 3: Insulation jacket 4: Cord
5 : 코드 6a : 플러그 6b : 플러그 7 : 전원 코드5: cord 6a: plug 6b: plug 7: power cord
8 : 접합 단면 9 : 커버 시트 10 : 고정구 11 : 전기부품8 Bonding Cross-section 9 Cover Sheet 10 Fixture 11 Electrical Component
본 발명의 히터 장치는 피가열물의 표면 형상과 일치하는 내면 형상을 기억시킨 탄성재료로 이루어진 엔드리스 모양의 시트 모양 히터와, 상기 시트 모양 히터의 외면에 고착하고, 상기 시트 모양 히터의 외면 형상과 일치하는 내면 형상을 기억시킨 엔드리스 모양의 탄성재료로 이루어진 단열재로 구성되는 것을 특징으로 한다.The heater apparatus of the present invention adheres to an endless sheet-shaped heater made of an elastic material that stores an inner surface shape that matches the surface shape of a heated object, and adheres to an outer surface of the sheet-shaped heater, and matches the outer surface shape of the sheet-shaped heater. It is characterized by consisting of a heat insulating material made of an endless elastic material that memorizes the inner surface shape.
상기 단열재는 실리콘 고무 스펀지와 세라믹스 파이버를 적층한 것임을 특징으로 한다.The heat insulating material is characterized in that the silicone rubber sponge and a ceramic fiber laminated.
또, 상기 단열재의 열전도율은 0.03∼0.13㎉/mh℃인 것을 특징으로 한다.Moreover, the heat conductivity of the said heat insulating material is characterized by being 0.03-0.13 kPa / mh degreeC.
또, 상기 단열재의 두께는 10㎜ 이상인 것을 특징으로 한다.Moreover, the thickness of the said heat insulating material is characterized by being 10 mm or more.
또한, 상기 시트 모양 히터는 2장의 열 및 전기 절연재와 이 2장의 절연재 사이에 끼워진, 임의의 패턴을 갖는 발열 금속박재로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the sheet heater is characterized by consisting of a heat-generating metal foil material having an arbitrary pattern, sandwiched between two thermal and electrical insulating materials and the two insulating materials.
또, 상기 열 및 전기 절연재는 유리 파이버로 보강한 실리콘 고무 시트인 것을 특징으로 한다.In addition, the thermal and electrical insulating material is characterized in that the silicone rubber sheet reinforced with glass fibers.
또, 상기 시트 모양 히터의 두께는 2㎜ 미만인 것을 특징으로 한다.In addition, the sheet-shaped heater is characterized in that less than 2mm.
[실시예]EXAMPLE
이하, 도면에 의해 본 발명의 실시예를 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of this invention is described by drawing.
본 발명의 히터 장치는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 피가열물, 예를 들어 파이프(1)의 표면 형상과 일치하는 내면 형상을 기억시키고, 엔드리스 모양으로 그 양단을 서로 대향시켜 통 모양으로 형성한, 얇고 비신축성을 갖는 공지의 탄성재료로 구성되는 시트 모양 히터(2)와, 그 시트 모양 히터(2)의 외면 전체에 밀착하고, 상기 시트 모양 히터(2)의 외면 형상과 일치하는 내면 형상을 기억시키고, 엔드리스 모양으로 그 양단을 서로 대향시켜서 통 모양으로 형성한 공지의 탄성재료에 의해 구성되는 단열 재킷(3)과, 상기 시트 모양 히터(2)에 접속한 한쪽 및 다른 쪽의 코드(4, 5)와, 그 한쪽 및 다른 쪽의 코드(4, 5)의 자유 단부에 각각 설치한 플러그(6a, 6b)로 구성된다.As shown in Figs. 1 and 2, the heater apparatus of the present invention stores an inner surface shape that matches the surface shape of the object to be heated, for example, the pipe 1, and has an endless shape so that both ends thereof face each other. The sheet-shaped heater 2 composed of a known elastic material having a thin and non-elasticity, formed in contact with the entire outer surface of the sheet-shaped heater 2, and coincident with the outer surface shape of the sheet-shaped heater 2 One side and the other connected to a heat insulating jacket 3 made of a known elastic material formed in a tubular shape by opposing each other in an endless shape with the end faces facing each other. Cords 4 and 5 and plugs 6a and 6b respectively provided at the free ends of the cords 4 and 5 on one side and the other.
또한, 도면 부호 7은 상기 한쪽의 코드(4)의 플러그(6a)에 접속하는 전원 코드이다.In addition, 7 is a power supply cord connected to the plug 6a of the said one cord 4. As shown in FIG.
상기 시트 모양 히터(2)는, 예를 들어 유리 파이버로 보강한 실리콘 고무 등의 내열성, 난연성 및 전기 절연성을 갖는 2장의 절연 시트에 임의의 발열 패턴으로 화학적으로 에칭한 금속박재를 삽입하여 형성하고, 상기 시트 모양 히터(2)의 두께는 2㎜ 이하가 바람직하다.The sheet heater 2 is formed by inserting a metal foil chemically etched in an arbitrary heating pattern into two insulating sheets having heat resistance, flame retardancy, and electrical insulation, such as silicone rubber reinforced with glass fiber, for example. As for the thickness of the said sheet-shaped heater 2, 2 mm or less is preferable.
또, 상기 파이프(1)의 외면 형상과 일치하는 내면 형상을 기억하는 상기 시트 모양 히터(2)와 상기 절연 시트의 실리콘 고무가 미가황 상태일 때 상기 파이프(1)와 동일한 형상의 형(型)의 표면에 부착하여, 적당히 가열하여 가황처리를 행한 후, 상기 형으로부터 박리시켜서 형성한다.Moreover, when the said sheet heater 2 which memorize | stores the inner surface shape which matches the outer surface shape of the said pipe 1, and the silicone rubber of the said insulating sheet is unvulcanized state, the shape of the same shape as the said pipe 1 It adheres to the surface of), and it heats suitably, performs a vulcanization process, and forms it by peeling from the said mold.
본 발명의 히터 장치는 상기와 같은 구성이므로, 그의 복원성을 이용하여, 엔드리스 모양의 상기 시트 모양 히터(2) 및 상기 단열 재킷(3)의 접합 단면(8)을 넓히고, 상기 시트 모양 히터(2) 및 상기 단열 재킷(3)을 파이프(1)에 덮는다.Since the heater apparatus of the present invention has the above configuration, the restoring end face of the sheet-shaped heater 2 and the heat insulation jacket 3 having the endless shape is widened by using the restorability thereof, and the sheet-shaped heater 2 And the heat insulating jacket 3 on the pipe 1.
상기 시트 모양 히터(2) 및 상기 단열 재킷(3)은 탄성에 의해 원래의 통 모양으로 복원하고, 상기 시트 모양 히터(2)는 상기 파이프(1)에 밀착하며, 상기 시트 모양 히터(2) 및 단열 재킷(3)의 상기 접합 단면(8)은 대략 접촉하게 된다.The sheet heater 2 and the heat insulating jacket 3 are restored to the original tubular shape by elasticity, the sheet heater 2 closely adheres to the pipe 1, and the sheet heater 2 And the joining end face 8 of the thermal insulation jacket 3 is in rough contact.
이 상태에서 상기 히터 장치를 가열하면, 상기 시트 모양 히터(2)는 상기 파이프(1)에 밀착하고 있으므로, 상기 시트 모양 히터(2)로부터 발생한 열은 파이프 방향으로 흐르게 되고, 단열 재킷(3)에 의해 바깥 방향으로의 열의 흐름이 방지된다.When the heater device is heated in this state, since the sheet heater 2 is in close contact with the pipe 1, heat generated from the sheet heater 2 flows in the pipe direction, and the heat insulating jacket 3 This prevents the flow of heat outward.
또한, 상기 금속박재로서는 니크롬, 철 크롬, 스테인리스 또는 전류에 대해 충분한 저항을 나타내어 대량으로 발열하는 성질과, 전류가 흐를 때 발생한 열에 견딜 수 있는 높은 융점을 갖는 것을 사용한다.In addition, as the metal foil, nichrome, iron chromium, stainless steel, or a material having sufficient resistance to current and generating heat in large quantities, and having a high melting point that can withstand the heat generated when the current flows.
상기 단열 재킷(3)은 상기 시트 모양 히터(2) 및 상기 파이프(1)보다 낮은 열전도성을 갖고, 그의 열전도율은 0.03∼0.13㎉/mh℃인 것이 바람직하다.It is preferable that the said heat insulation jacket 3 has lower thermal conductivity than the said sheet heater 2 and the said pipe 1, and the thermal conductivity is 0.03-0.13 kPa / mh degreeC.
또한, 상기 단열 재킷(3)은 그의 단열 효과를 향상시킬 수 있도록 실리콘 고무 스펀지와 세라믹스 파이버를 적층한 것이어도 좋다.In addition, the heat insulation jacket 3 may laminate | stack a silicone rubber sponge and ceramic fiber so that the heat insulation effect may be improved.
또, 상기 단열 재킷(3)의 두께는 10㎜ 이상인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the thickness of the said heat insulation jacket 3 is 10 mm or more.
상기 코드(4, 5, 7)는 실리콘 고무, 테플론 또는 유리 파이버로 피복시킨다.The cords 4, 5, 7 are covered with silicone rubber, Teflon or glass fiber.
또, 상기 코드(4,5)는 도 3의 회로도에서 나타내듯이 서로 병렬로 접속하고, 상기 한쪽의 코드(4)의 플러그(6a)는 상기 전원 코드(7)에 접속되며, 상기 다른 쪽의 코드(5)의 플러그(6b)를 인접하는 히터 장치의 한쪽의 코드(4)의 플러그(6a)에 접속하면, 인접하는 히터 장치에 병렬적으로 전원을 공급할 수 있게 한다.In addition, the cords 4 and 5 are connected in parallel with each other as shown in the circuit diagram of FIG. 3, and the plug 6a of the one cord 4 is connected to the power cord 7. When the plug 6b of the cord 5 is connected to the plug 6a of one cord 4 of the adjacent heater apparatus, power can be supplied in parallel to the adjacent heater apparatus.
이렇게 하면, 형상이 다른 파이프가 연속하는 파이프 네트워크를 가열할 경우, 다수의 히터 장치를 상기 파이프 네트워크에 부착시키고, 각 이웃한 히터 장치를 연쇄적으로 접속할 수 있게 된다.This makes it possible to attach a plurality of heater devices to the pipe network when the pipes of different shapes heat continuous pipe networks, and to connect each neighboring heater devices in series.
본 발명의 다른 실시예에 있어서는, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 단열 재킷(3)의 외주면에, 유리 파이버로 보강한 실리콘 고무 시트로 구성된 커버 시트(9)를 상기 접합 단면(8)에 걸치도록 감고, 상기 히터 장치를 파이프(1)에 고정한다.In another embodiment of the present invention, as shown in Figs. 4 and 5, a cover sheet 9 made of a silicone rubber sheet reinforced with glass fibers is formed on the outer circumferential surface of the heat insulating jacket 3, wherein the bonded end face 8 ), And the heater device is fixed to the pipe (1).
또, 상기 커버 시트(9)의 양단부를 고정하기 위해서, 상기 커버 시트(9)의 양단부에 호크, 당겨 거는 쇠장식, 또는 스프링 훅 등의 고정구(10)를 설치하여, 상기 접합 단면(8)이 분리되어 상기 히터 장치가 갑자기 파이프(1)로부터 탈락하는현상을 방지하게 한다.Moreover, in order to fix the both ends of the said cover sheet 9, the fixing end 10, such as a hawk, a metal fitting, or a spring hook, is provided in the both ends of the said cover sheet 9, and the said joining end surface 8 is To prevent the heater device from suddenly falling off the pipe 1.
또한, 상기 시트 모양 히터(2)의 바깥 표면에 온도 퓨즈, 서모스탯 등의 전기부품(11)을 배치해도 좋다.Moreover, you may arrange | position the electrical component 11, such as a thermal fuse and a thermostat, on the outer surface of the said sheet-shaped heater 2. As shown in FIG.
상기와 같은 본 발명의 히터 장치에 의하면, 이것을 곡표면구조를 갖는 파이프의 소정 위치에 신속하고 쉽게 설치하고, 또 떼낼 수 있게 된다는 큰 이익이 있다.According to the heater apparatus of the present invention as described above, there is a great advantage that it can be quickly and easily installed and removed at a predetermined position of a pipe having a curved surface structure.
따라서, 한달에 한번 또는 일주일에 한번 관로(管路) 청소를 행하기 때문에, 관로 조업의 중지나 관로 시스템의 이동이 자주 있는 반도체공장에서 특히 편리하다.Therefore, since the pipe cleaning is carried out once a month or once a week, it is particularly convenient in the semiconductor factory where the pipeline operation is stopped and the pipeline system is frequently moved.
또, 단열 재킷(3)에 의해 시트 모양 히터(2)로부터 바깥 방향으로의 전열이 억제되므로, 파이프(1)에의 전열이 촉진되어, 이것에 의해 필요한 히터 열량을 감소시킬 수 있다.In addition, since heat transfer from the sheet-shaped heater 2 to the outward direction is suppressed by the heat insulation jacket 3, heat transfer to the pipe 1 is promoted, whereby the required amount of heater heat can be reduced.
또, 단열 재킷(3)의 외주면의 온도를 낮출 수 있으므로, 히터 장치 바깥 표면에 접촉할 가능성이 있는 사람을 화상으로부터 보호할 수 있다.Moreover, since the temperature of the outer peripheral surface of the heat insulation jacket 3 can be reduced, it is possible to protect a person who may come into contact with the heater device outer surface from burns.
또, 커버 시트(9)를 사용하면, 확실하게 히터 장치를 파이프(1)에 고정할 수 있고, 또 훅 등의 고정구(10)를 사용하면, 히터 장치를 보다 신속하고 쉽게 파이프에 설치하고 또 떼낼 수 있게 된다.In addition, if the cover sheet 9 is used, the heater device can be securely fixed to the pipe 1, and if the fastener 10 such as a hook is used, the heater device can be installed in the pipe more quickly and easily. It can be removed.
또, 파이프 네트워크에 다수의 히터 장치를 접속하는 경우, 전원 코드의 길이를 현저하게 줄일 수 있어, 근처에서 일을 하는 사람의 장애물을 줄일 수 있다.In addition, when a large number of heater devices are connected to the pipe network, the length of the power cord can be significantly reduced, thereby reducing obstacles of people working nearby.
또, 병렬적으로 각 히터 장치를 접속할 수 있으므로, 하나의 히터 장치의 상태가 안좋아도 다른 히터 장치에 대해 전류를 흐르게 할 수 있다.Moreover, since each heater apparatus can be connected in parallel, even if the state of one heater apparatus is bad, an electric current can flow to another heater apparatus.
Claims (7)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000274568A JP2002093553A (en) | 2000-09-11 | 2000-09-11 | Heater device |
| JP2000-274568 | 2000-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20020020827A true KR20020020827A (en) | 2002-03-16 |
Family
ID=18760310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020000079443A KR20020020827A (en) | 2000-09-11 | 2000-12-21 | Heater device |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002093553A (en) |
| KR (1) | KR20020020827A (en) |
| TW (1) | TW508421B (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100980861B1 (en) * | 2010-01-21 | 2010-09-10 | 브라이톤 (주) | Non-foaming heating jacket |
| KR101023707B1 (en) * | 2010-06-14 | 2011-03-25 | 홍정표 | Method for manufacturing jacket type heater |
| KR101028712B1 (en) * | 2009-05-07 | 2011-04-21 | 홍정표 | Jacket Type Heater |
| KR101348644B1 (en) * | 2009-01-09 | 2014-01-06 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | Modular Heater Systems |
| KR101386184B1 (en) * | 2012-09-05 | 2014-04-17 | 박화섭 | Warming Apparatus which applies heat sensitive paint and the Manufacturing Method thereof |
| US10557584B2 (en) | 2015-12-16 | 2020-02-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4912605B2 (en) * | 2005-03-31 | 2012-04-11 | ニチアス株式会社 | Covering member and heater device |
| JP5063245B2 (en) * | 2007-08-02 | 2012-10-31 | 株式会社三幸富山センター | Tape heater and tape heater structure |
| JP5133159B2 (en) * | 2008-07-11 | 2013-01-30 | 日本パイオニクス株式会社 | Sheet heater |
| JP5537279B2 (en) * | 2010-06-18 | 2014-07-02 | 日本パイオニクス株式会社 | Piping heating equipment |
| JP6541125B2 (en) * | 2015-05-01 | 2019-07-10 | ミズホクラフト株式会社 | Method of manufacturing rubber heater |
-
2000
- 2000-09-11 JP JP2000274568A patent/JP2002093553A/en active Pending
- 2000-09-27 TW TW089119996A patent/TW508421B/en not_active IP Right Cessation
- 2000-12-21 KR KR1020000079443A patent/KR20020020827A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101348644B1 (en) * | 2009-01-09 | 2014-01-06 | 와틀로 일렉트릭 매뉴팩츄어링 컴파니 | Modular Heater Systems |
| KR101028712B1 (en) * | 2009-05-07 | 2011-04-21 | 홍정표 | Jacket Type Heater |
| KR100980861B1 (en) * | 2010-01-21 | 2010-09-10 | 브라이톤 (주) | Non-foaming heating jacket |
| KR101023707B1 (en) * | 2010-06-14 | 2011-03-25 | 홍정표 | Method for manufacturing jacket type heater |
| KR101386184B1 (en) * | 2012-09-05 | 2014-04-17 | 박화섭 | Warming Apparatus which applies heat sensitive paint and the Manufacturing Method thereof |
| US10557584B2 (en) | 2015-12-16 | 2020-02-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002093553A (en) | 2002-03-29 |
| TW508421B (en) | 2002-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3901583B2 (en) | Flexible insulation heater | |
| KR20020020827A (en) | Heater device | |
| JP4852647B2 (en) | Modular heater system | |
| KR101113704B1 (en) | Insulating heater jacket | |
| TW200526063A (en) | Surface mount heater | |
| KR101693376B1 (en) | Heating element of pipes, tanks and baths | |
| WO2017018778A1 (en) | Jacket heater | |
| US5775379A (en) | Insulation jacket for fluid carrying conduits | |
| JP2015152218A (en) | fluid heating device | |
| KR101499582B1 (en) | Heating jacket to enhance heating efficiency | |
| KR101918492B1 (en) | Heating jacket | |
| JPH11159685A (en) | Piping heater | |
| JPH1047581A (en) | Heating device for piping | |
| CN113785664A (en) | Low profile heater apparatus and method of manufacture | |
| CN105873245B (en) | Buckle type heater for heating semiconductor vacuum pipeline | |
| TWI524808B (en) | Heater | |
| JP5894632B2 (en) | Heating device | |
| JP3640699B2 (en) | Heater and manufacturing method thereof | |
| KR102373547B1 (en) | Jacket heater | |
| KR102069373B1 (en) | Fluid line heating jacket | |
| KR101126011B1 (en) | Heater | |
| KR20220104347A (en) | Valve heating device of semiconductor equipment with constant temperature heating function | |
| JP2011086444A (en) | High heat resistant planar heater | |
| JPS5852096Y2 (en) | heat recoverable articles | |
| UA133850U (en) | CUTTING (RING) THERMAL FUEL HEATER |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |