KR101499582B1 - Heating jacket to enhance heating efficiency - Google Patents

Heating jacket to enhance heating efficiency Download PDF

Info

Publication number
KR101499582B1
KR101499582B1 KR20140108772A KR20140108772A KR101499582B1 KR 101499582 B1 KR101499582 B1 KR 101499582B1 KR 20140108772 A KR20140108772 A KR 20140108772A KR 20140108772 A KR20140108772 A KR 20140108772A KR 101499582 B1 KR101499582 B1 KR 101499582B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cover body
cover
heat
gas piping
piping
Prior art date
Application number
KR20140108772A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박은국
Original Assignee
(주) 한양티엠에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 한양티엠에스 filed Critical (주) 한양티엠에스
Priority to KR20140108772A priority Critical patent/KR101499582B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101499582B1 publication Critical patent/KR101499582B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67098Apparatus for thermal treatment
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L53/00Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L59/00Thermal insulation in general
    • F16L59/02Shape or form of insulating materials, with or without coverings integral with the insulating materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Insulation (AREA)
  • Pipe Accessories (AREA)

Abstract

The present invention relates to a heating jacket formed to cover the external surface of gas piping and, more specifically, to a heating jacket for piping which is installed on the external surface of gas piping transporting reaction gas used for a chemical process in an LCD manufacturing apparatus, heats the external surface of the gas piping for easy movement of the reaction gas, and can be selected and installed according to diameters and lengths of piping by standardizing lengths and shapes. The heating jacket comprises: a cover body which covers the side of gas piping, wherein one side of the heating jacket comes into contact with the external surface of the gas piping; a heating wire which emits heat by power applied from the outside, and transfers heat to the gas piping by being located inside the cover body; a heating wire fixing cover which is located inside the cover body, and fixes the heating wire to be arranged in a zigzag line; and a thermal insulation material which is placed between the heating wire fixing cover and the other surface of the cover body, and prevents heat energy emitted from the heating wire from escaping to the outside to maintain the temperature of the gas piping.

Description

배관용 히팅자켓{Heating jacket to enhance heating efficiency}{Heating jacket to enhance heating efficiency for piping}

본 발명은 가스 배관의 외부를 감싸도록 형성되는 히팅 자켓에 관한 것으로서 보다 상세하게는 반도체 및 LCD를 제조하는 제조장치의 화학 공정에 사용되는 반응가스를 이송하는 가스 배관의 외측면에 설치되어 반응가스의 원활한 이동을 위해 가스 배관의 외부를 가열하고, 일정한 길이와 형상으로 규격화되어 배관의 직경 및 길이에 따라 선택하여 설치할 수 있는 배관용 히팅자켓에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a heating jacket formed so as to surround an outside of a gas pipe, and more particularly, to a heating jacket formed in an outer surface of a gas pipe for transferring a reaction gas used in a chemical process of a manufacturing apparatus for manufacturing semiconductors and LCD, The present invention relates to a heating jacket for piping which can be installed according to the diameter and length of piping by heating the outside of the gas piping for smooth movement of the piping and standardizing it to a predetermined length and shape.

일반적으로 반도체 제조장치, 화학공정, 진공배관, 플라스틱 생산 등에서 액체 또는 기체가 특정온도로 수송될 필요가 있거나, 증발성 재료가 배관과 배관이 연결되는 배관피팅부에서 고착되지 않고 잘 이송되도록 하기 위해서는 배관뿐만 아니라 배관피팅부를 적정 온도로 히팅시킬 필요가 있다Generally, in order for liquid or gas to be transported at a specific temperature in a semiconductor manufacturing apparatus, a chemical process, a vacuum piping, a plastic production, or the like, or to allow the evaporable material to be transported without being fixed at a piping fitting portion It is necessary to heat the piping fitting portion as well as the piping to an appropriate temperature

예를 들어 반도체 제조공정은 전 공정과 후 공정으로 나눌 수 있는데, 전 공정이 수행되는 동안 프로세스 챔버의 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질, 유해가스가 발생되며, 이러한 유해가스는 가스세정기에서 정화되어 방출된다. 가스세정기가 정화한 가스형태의 반응 부산물이 프로세스 챔버의 외부 배기관에 파우더의 형태 로 고착될 경우 배기압력이 상승되고 진공펌프가 고장날 수 있는데, 이럴 경우 프로세스 챔버로 유해가스가 역류하여 웨이퍼를 오염시키는 중대한 문제를 발생시킬 수 있다. 따라서, 히팅자켓을 이용하여 가스 부산물이 배출되는 배관을 가열하고 항상 일정온도 이상으로 유지시킴으로써 고형파우더의 발생을 억제하고 있다.For example, the semiconductor manufacturing process can be divided into a pre-process and a post-process. During the pre-process, various kinds of ignitable gases, corrosive foreign substances and noxious gases are generated in the process chamber. . If the gaseous reaction byproducts purified by the gas scrubber are adhered to the exhaust duct of the process chamber in the form of powder, the exhaust pressure may rise and the vacuum pump may fail, causing the noxious gas to flow back into the process chamber to contaminate the wafer It can cause serious problems. Therefore, the heating jacket is used to heat the pipe through which the gas byproduct is discharged, and is always maintained at a predetermined temperature or more, thereby suppressing the generation of the solid powder.

이와 같은 히팅자켓은 가스 배관의 설치가 완료된 후에 설치된 파이프의 직경 및 길이를 실측하여 측정된 데이터에 의해 히팅자켓을 제작하고 설치하는 작업을 수행하는 방법이 일반적이였다. 이처럼 히팅자켓을 설치하려면 가스배관의 설치가 완료된 후에 공정이 시작되므로 시공기간이 항상 촉박하고, 실측을 통해 제작하므로 작업자의 측정 누락 및 오차 등이 발생하는 등의 문제점이 발생하였다. In such a heating jacket, it is common to measure the diameter and length of a pipe installed after the installation of the gas piping is completed, and to manufacture and install the heating jacket by the measured data. In order to install the heating jacket, the process is started after the installation of the gas piping is completed. Therefore, the construction period is always short, and the measurement jacket is manufactured through the actual measurement.

또한 가스 배관의 설계변경으로 인해 배관의 형상 및 길이가 달라지거나 장비를 이전하는 경우가 발생하면 종래에 설치된 히팅자켓을 폐기하고 설계변경된 치수대로 히팅자켓을 제작하여야 하므로 경제적인 손실이 상당한 문제점이 발생하였다. In addition, if the shape and length of the piping are changed due to the design change of the gas piping, or when the equipment is transferred, there is a problem of economical loss since the conventional heating jacket should be disposed and the heating jacket must be manufactured according to the changed dimensions Respectively.

또한 히팅자켓의 노후로 인해 내부에 설치된 열선이 단락되거나 파손되어 가스배관을 가열할 수 없는 경우 일체로 이루어진 히팅자켓을 전부 교체할 수 밖에 없고, 제작하는 기간 동안 장비를 가동할 수 없어 추가적인 손실을 초래하였다. 따라서, 규격화된 길이와 형상으로 배관의 직경 및 길이에 따라 선택하여 설치할 수 있어 가스배관의 설계변경 등에 구애받지 않는 배관용 히팅자켓의 개발이 필요한 실정이다.In addition, if the heating wire inside the heating jacket is short-circuited or damaged due to the aging of the heating jacket, the heating jacket can not be heated, and the heating jacket can not be completely replaced. Respectively. Therefore, it is necessary to develop a heating jacket for piping which can be selectively installed in accordance with the diameter and length of the piping in a standardized length and shape, and is not affected by design changes of the piping.

1. 등록실용 제20-0469807호 '열효율을 향상시킨 배관용 히팅자켓'1. Registration Practice No. 20-0469807 'Heating jacket for improved heat efficiency' 2. 공개특허 제10-2010-0093962호 "상부천과 하부천을 갖는 투명 히팅 자켓"2. Open Patent No. 10-2010-0093962 "Transparent heating jacket with upper Bucheon and Lower Bucheon" 3. 등록특허 제10-0990157호 "단열 히팅 자켓 및 그 제조방법"3. Registered Patent No. 10-0990157 entitled " Adiabatic Heating Jacket &

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 규격화된 길이로 히팅자켓을 제작함으로 인해 다양한 길이와 직경 및 형상에 맞게 가변될 수 있고, 파손이나 누전 등으로 인해 교체가 필요할 시 파손된 부위의 히팅자켓만을 교체할 수 있는 배관용 히팅자켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a heating jacket having a standardized length, which can be varied in various lengths, diameters and shapes, The heating jacket of the present invention can replace only the heating jacket of the piping.

또한 본 발명은 접촉된 다른 히팅자켓과의 연결부위로 열손실이 발생하지 않도록 일측에 열손실 커버가 추가로 구비되며, 이웃한 다른 히팅자켓과의 체결구조가 간단하여 시공시간을 단축시킬 수 있는 배관용 히팅자켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.Further, according to the present invention, a heat loss cover is additionally provided on one side so as to prevent heat loss from being connected to another heating jacket in contact with the other heating jacket, and a fastening structure with other adjacent heating jackets is simple, It is an object of the present invention to provide a heating jacket for piping.

본 발명의 배관용 히팅자켓은 일측면이 가스배관(10)의 외측면과 접촉되도록 상기 가스배관(10)의 측면을 감싸는 커버몸체(100); 외부로부터 전력을 인가받아 발열하며, 상기 커버몸체(100)의 내부에 위치하여 상기 가스배관(10)에 열을 전달하는 열선(200); 사이 커버몸체(100)의 내부에 위치하되, 상기 열선(200)이 지그재그로 배열되도록 상기 열선(200)을 고정하는 열선고정커버(300); 상기 열선고정커버(300)와 상기 커버몸체(100)의 타측면 사이에 구비되며, 상기 가스배관(10)이 일정한 온도를 유지하도록 상기 열선(200)에서 방출되는 열에너지가 외부로 손실되는 것을 방지하는 단열재(400); 상기 커버몸체(100)의 일측 측면에 형성되며, 상기 커버몸체(100)가 상기 가스배관(10)을 감싸는 경우 상기 커버몸체(100)의 일측면과 상기 가스배관(10)의 외측면을 밀착시키기 위해 상기 커버몸체(100)의 양측 측면이 상호 접촉되면 상기 커버몸체(100)의 타측 측면에 부착되는 고정커버(500);를 포함하되, 상기 커버몸체(100)는 상기 가스배관(10)의 길이방향에 따라 임의로 설정한 길이만큼 규격화되어 다수개 형성되되, 상기 커버몸체(100)와 이웃한 상기 커버몸체(100)의 각각의 열선(200)이 연결되어 전력을 인가받을 수 있도록 상기 각각의 열선(200)을 연결하는 커넥터부(600)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.A heating jacket for piping according to the present invention includes: a cover body (100) surrounding a side of the gas pipe (10) so that one side thereof is in contact with the outer surface of the gas pipe (10); A heat ray (200) which receives heat from the outside to generate heat and transfers heat to the gas piping (10) located inside the cover body (100); A heat ray fixing cover 300 which is positioned inside the interposer body 100 and fixes the heat ray 200 so that the heat rays 200 are staggered; The heat pipe 200 is provided between the hot wire fixing cover 300 and the other side surface of the cover body 100 and prevents heat energy emitted from the hot wire 200 from being lost to the outside so that the gas pipe 10 maintains a predetermined temperature. (400); The cover body 100 is formed on one side of the cover body 100 and covers one side of the cover body 100 and the outer surface of the gas pipe 10 when the cover body 100 surrounds the gas pipe 10. [ And a fixed cover 500 attached to the other side surface of the cover body 100 when both side surfaces of the cover body 100 are brought into contact with each other so that the cover body 100 is in contact with the gas pipe 10. [ And a plurality of heat pipes 200 of the cover body 100 adjacent to the cover body 100 are connected to each other so as to receive power, And a connector unit 600 for connecting the heat wires 200 of the first embodiment.

본 발명에 있어서, 상기 커버몸체(100)와 이웃한 다른 커버몸체(100)의 측면과 접촉되는 부분의 틈새로 상기 열선(200)에서 방출되는 열에너지가 손실되는 것을 방지하기 위해 상기 틈새를 밀폐시키는 연결커버(700)가 상기 커버몸체(100)의 전방 측면에 형성되는 것을 특징으로 한다.In the present invention, in order to prevent loss of heat energy emitted from the heat ray 200 due to a gap between a portion of the cover body 100 and another side of the cover body 100 adjacent to the cover body 100, And a connection cover 700 is formed on a front side surface of the cover body 100.

본 발명에 있어서, 상기 커넥터부(600)는 상기 열선(200)의 일측단과 연결되며, 상기 연결커버(700)의 내측면에 노출되는 제1 접촉단자(610); 상기 열선(200)의 타측단과 연결되며, 상기 커버몸체(100)의 타측면에 노출되는 제2 접촉단자(620);를 포함하고, 상기 연결커버(700)가 이웃한 상기 커버몸체(100)의 타측면을 감싸는 경우 상기 제1 접촉단자(610)와 상기 제2 접촉단자(620)는 상호 접촉되어 통전(通電)되는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the connector unit 600 includes a first contact terminal 610 connected to one end of the heat wire 200 and exposed to an inner surface of the connection cover 700; And a second contact terminal 620 connected to the other end of the heat ray 200 and exposed to the other side of the cover body 100. The connection cover 700 may cover the neighboring cover body 100, The first contact terminal 610 and the second contact terminal 620 are in contact with each other and energized.

본 발명에 있어서, 상기 커버몸체(100)에는 상기 가스배관(10)의 외측방향으로 길이조절이 가능하도록 상기 가스배관(10)의 둘레면을 따라 형성되는 주름커버(800);와 일측과 타측으로 교번되며 절개되는 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)가 형성되고, 상기 제1 절개부(910)와 상기 제2 절개부(920)를 따라 상기 열선(200)이 지그재그로 배열되며 고정되는 연장커버(900);가 형성되되, 상기 주름커버(800)가 상기 가스배관(10)의 외측방향으로 연장되어 길이가 늘어나는 경우 상기 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)는 절개된 틈새가 점차적으로 벌어지고, 동시에 상기 연장커버(900)에 고정된 열선(200)의 간격이 벌어지면서 상기 가스배관(10)에 밀착되는 것을 특징으로 하는 배관용 히팅자켓.In the present invention, the cover body 100 is provided with a corrugated cover 800 formed along the circumferential surface of the gas pipe 10 so that the length of the gas pipe 10 can be adjusted in the outer direction, The first cut portion 910 and the second cut portion 920 are alternately formed on the first cut portion 910 and the second cut portion 920 and the heat ray 200 is staggered along the first cut portion 910 and the second cut portion 920. [ When the corrugated cover 800 extends in the outer direction of the gas pipe 10 and the length of the corrugated cover 800 is increased, the first incision portion 910 and the second incision portion 910, Wherein the gap between the gasket and the gasket is made to be in contact with the gas pipe while the gap between the gasket and the gasket is gradually increased, .

본 발명은 내부에 가스배관을 가열할 수 있는 열선이 구비되고, 열선의 외측에 유리섬유로 제작된 단열재가 구비되어 가스배관의 단열성능을 향상시켰으며, 규격화된 길이와 직경을 갖도록 제작하여 가스배관의 실측이 이루어지지 않아도 규격화된 모듈의 조합으로 인해 가스배관의 외부를 감쌀 수 있어 시공시간을 감소시킴은 물론 장비의 이전 및 설계변경에도 제약을 받지 않는 장점이 있다.In the present invention, a heat pipe for heating a gas pipe is provided inside, and a heat insulating material made of glass fiber is provided on the outer side of the heat pipe to improve the heat insulating performance of the gas pipe. It is possible to cover the outside of the gas piping due to the combination of the standardized modules even if the piping is not actually measured, thereby reducing the construction time and being free from restriction of the equipment transfer and design change.

또한 본 발명은 연결된 틈새로 열에너지가 방출되는 것을 방지하기 위해 일측에 연결커버를 형성하였으며, 이웃한 다른 모듈과 연결되는 커넥터부가 손쉽게 탈부착이 가능한 구조로 형성되어 파손이나 불량으로 인해 교체가 필요할 때 신속한 교체가 이루어질 수 있는 장점이 있다.In addition, the present invention provides a connection cover on one side to prevent heat energy from being released to a connected gap, and a connector part connected to another neighboring module can be easily detachable and attachable so that when the replacement is required due to breakage or failure, There is an advantage that replacement can be done.

도 1 은 본 발명의 히팅자켓을 나타낸 사시도.
도 2 는 본 발명의 히팅자켓이 가스배관에 설치된 모습을 나타낸 사시도.
도 3 은 본 발명의 히팅자켓의 내부 주요구성을 나타낸 부분 단면 사시도.
도 4 은 본 발명의 히팅자켓의 커버몸체에 연결커버가 형성된 모습을 나타낸 사시도.
도 5 는 본 발명의 연결커버의 체결상태를 나타낸 사시도.
도 6 은 본 발명의 커넥터부의 일실시예를 나타낸 사시도.
도 7 은 본 발명의 주름커버의 장착 사시도 및 주름커버와 연장커버에 고정된 열선을 나타낸 사시도.
1 is a perspective view showing a heating jacket of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a heating jacket of the present invention installed in a gas pipe; FIG.
3 is a partial cross-sectional perspective view showing the main internal configuration of the heating jacket of the present invention.
4 is a perspective view showing a connection cover formed on the cover body of the heating jacket of the present invention.
5 is a perspective view showing a fastening state of the connection cover of the present invention.
6 is a perspective view showing one embodiment of a connector portion of the present invention;
Fig. 7 is a perspective view of a wrinkle cover according to the present invention and a perspective view showing a heat line fixed to the wrinkle cover and the extension cover; Fig.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 은 본 발명의 히팅자켓을 나타낸 사시도, 도 2 는 본 발명의 히팅자켓이 가스배관에 설치된 모습을 나타낸 사시도, 도 3 은 본 발명의 히팅자켓의 내부 주요구성을 나타낸 부분 단면 사시도, 도 4 은 본 발명의 히팅자켓의 커버몸체에 연결커버가 형성된 모습을 나타낸 사시도, 도 5 는 본 발명의 연결커버의 체결상태를 나타낸 사시도, 도 6 은 본 발명의 커넥터부의 일실시예를 나타낸 사시도, 도 7 은 본 발명의 주름커버의 장착 사시도 및 주름커버와 연장커버에 고정된 열선을 나타낸 사시도에 관한 것이다.FIG. 1 is a perspective view showing a heating jacket of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a heating jacket of the present invention installed on a gas pipe, FIG. 3 is a partial cross- Fig. 5 is a perspective view showing the fastening state of the connecting cover according to the present invention, Fig. 6 is a perspective view showing one embodiment of the connector portion of the present invention, Fig. 7 is a perspective view of a wrinkle cover according to the present invention and a perspective view showing a heat line fixed to the wrinkle cover and the extension cover.

도 1 을 참조하면 본 발명의 배관용 히팅자켓은 커버몸체(100)를 갖는다. 커버몸체(100)는 소정의 두께를 갖는 불연재인 유리섬유로 제작된 천으로써 내부에 수용공간이 형성되도록 겹쳐지며 형성된다. 따라서, 커버몸체(100)의 일측면은 가스배관(10)의 측면을 감싸며, 가스배관(10)의 외측면과 접촉될 수 있고, 타측면은 외부에 노출된다. 이때 노출되는 타측면에는 커버몸체(100)의 내구성을 향상시키기 위해 별도의 유리섬유로 제작된 천을 추가로 부착시킬 수 있다.Referring to FIG. 1, the heating jacket for piping according to the present invention has a cover body 100. The cover body 100 is formed of a non-flammable glass fiber having a predetermined thickness, and is formed so as to overlap with a receiving space formed therein. Thus, one side of the cover body 100 surrounds the side surface of the gas piping 10, and can be brought into contact with the outer surface of the gas piping 10, and the other side is exposed to the outside. At this time, a cloth made of a separate glass fiber may be additionally attached to the other side exposed to improve the durability of the cover body 100.

도 3 을 참조하면 커버몸체(100)의 내부에는 열선(200)이 구비된다. 열선(200)은 외부로부터 전력을 인가받아 발열하여 가스배관(10)을 가열한다. 이때 열선(200)은 커버몸체(100)의 길이방향 또는 폭방향을 따라 일정한 간격을 유지하며 지그재그로 연장형성된다. Referring to FIG. 3, a heat ray 200 is provided inside the cover body 100. The heating wire 200 receives electric power from the outside and generates heat to heat the gas pipe 10. At this time, the heat rays 200 are formed in a zigzag shape maintaining a constant gap along the longitudinal direction or the width direction of the cover body 100.

도 3 을 참조하면 커버몸체(100)의 내부에는 열선고정커버(300)가 형성된다. 열선고정커버(300)는 열선(200)을 고정하되, 열선(200)이 지그재그로 배열된 상태를 유지하도록 고정된다. 이때 열선(200)은 접착제에 의해 접착될 수 있으나 바람직하게는 실 등에 의해 열선고정커버(300)에 봉제되어 고정된다. Referring to FIG. 3, a heat ray fixing cover 300 is formed inside the cover body 100. The hot wire fixing cover 300 fixes the hot wire 200 so that the hot wire 200 is stably arranged. At this time, the heat ray 200 can be adhered by an adhesive, but it is preferably sewn and fixed to the heat ray fixing cover 300 by a thread or the like.

도 3 을 참조하면 열선고정커버(300)와 커버몸체(100)의 타측면 사이에는 단열재(400)가 구비된다. 즉 단열재(400)는 열선고정커버(300)에 열선(200)이 고정되는 면과 반대면, 커버몸체(100)가 외부에 노출되는 면 사이에 형성된다. 단열재(400)는 가스배관(10)이 일정한 온도를 유지하도록 열선(200)에서 방출되는 열에너지가 외부로 손실되는 것을 방지한다. 단열재(400)는 글라스울(glass-wool) 등이 사용될 수 있지만 이외에도 단열을 위한 목적을 갖는 재질이면 그 어떠한 것을 사용하여도 무방하다.Referring to FIG. 3, a heat insulating material 400 is provided between the hot wire fixing cover 300 and the other side surfaces of the cover body 100. That is, the heat insulating material 400 is formed between the surface on which the heat ray 200 is fixed to the heat ray fixing cover 300, and the surface on which the cover body 100 is exposed to the outside. The heat insulating material 400 prevents the heat energy emitted from the heat ray 200 from being lost to the outside so that the gas piping 10 maintains a constant temperature. Glass-wool or the like may be used for the heat insulating material 400, but any material may be used as long as it has a purpose for heat insulation.

도 1 및 도 2 를 참조하면 커버몸체(100)의 일측 측면에는 고정커버(500)가 형성된다. 고정커버(500)는 커버몸체(100)의 일측 측면 다수개 형성될 수 있으며, 커버몸체(100)의 일측면, 즉 가스배관(10)과 접촉되는 커버몸체(100)의 면 방향과 동일한 방향에는 벨크로 등이 형성될 수 있다. 이는 커버몸체(100)가 상기 가스배관(10)을 감싸는 경우 커버몸체(100)의 일측면과 가스배관(10)의 외측면을 밀착시키기 위한 목적으로 형성된다. 즉 커버몸체(100)의 양측 측면이 상호 접촉되면 고정커버(500)는 커버몸체(100)의 타측면에 부착된다. 이때 커버몸체(100)의 타측면에는 고정커버(500)에 형성된 벨크로(velcro)에 대응하는 벨크로가 형성됨에 따라 고정커버(500)는 커버몸체(100)의 타측면으로부터 쉽게 탈부착될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a fixed cover 500 is formed on one side surface of the cover body 100. The fixed cover 500 may be formed in a plurality of one side surfaces of the cover body 100 and may be formed in the same direction as the surface direction of the cover body 100 contacting the one side of the cover body 100, A Velcro or the like may be formed. This is for the purpose of bringing one side of the cover body 100 and the outer surface of the gas piping 10 in close contact with each other when the cover body 100 surrounds the gas piping 10. That is, when both sides of the cover body 100 are in contact with each other, the fixed cover 500 is attached to the other side of the cover body 100. At this time, since the velcro corresponding to the velcro formed on the fixed cover 500 is formed on the other side of the cover body 100, the fixed cover 500 can be easily detached from the other side of the cover body 100.

따라서, 커버몸체(100)를 가스배관(10)에 시공할 때 시공성을 향상시켜 원활한 작업이 이루어질 수 있도록 하였으며, 이로 인해 작업시간이 단축되어 공기를 절감할 수 있는 효과를 제공한다. Therefore, when the cover body 100 is installed in the gas piping 10, the workability is improved and smooth work can be performed. As a result, the working time is shortened and the air is saved.

한편 도 2 를 참조하면 커버몸체(100)는 사용자가 임의로 설정한 길이만큼 규격화 되어 다수개 형성될 수 있다. 예를 들면 10cm, 20cm, 50cm, 80cm, 1m, 2m 등으로 구분지어 형성될 수 있는 것이다. 이와 같이 규격화되어 형성되면 규격화된 모듈의 조합으로 인해 가스배관(10)의 외부를 감쌀 수 있기 때문에 장비의 이전 및 설계변경에도 제약을 받지 않는 장점이 발생한다. On the other hand, referring to FIG. 2, a plurality of cover bodies 100 may be standardized by a length arbitrarily set by a user. For example, 10 cm, 20 cm, 50 cm, 80 cm, 1 m, 2 m, or the like. When the gas piping 10 is standardized, it is possible to cover the outside of the gas piping 10 due to the combination of the standardized modules.

또한 도 2 를 참조하면 다수개로 이루어진 커버몸체(100)의 열선(200)과 이웃한 다른 커버몸체(100) 내부에 구비된 열선(200)을 각각 연결하여 전력을 공급하기 위한 커넥터부(600)가 커버몸체(100)의 외측면에 형성된다. 이로써 커버몸체(100)는 직렬 또는 병렬로 전력을 인가받아 발열될 수 있다.Referring to FIG. 2, a connector 600 for supplying power by connecting a heat ray 200 of a cover body 100 having a plurality of openings and a heat ray 200 provided inside another neighboring cover body 100, Is formed on the outer surface of the cover body (100). As a result, the cover body 100 can receive electricity in series or in parallel and generate heat.

도 4 및 도 5 를 참조하면 커버몸체(100)의 전방 측면 또는 후방 측면에는 연결커버(700)가 구비된다. 연결커버(700)는 가스배관(10)에 커버몸체(100)가 다수개 설치되는 경우 커버몸체(100)와 이웃한 다른 커버몸체(100)의 측면과 접촉되는 부분의 틈새로 열선(200)에서 방출되는 열에너지가 유출되어 손실되는 것을 방지하기 위한 목적을 갖는다. 즉 연결커버(700)는 상기 틈새의 둘레면을 밀폐시키도록 커버몸체(100)를 감쌀 수 있으며, 연결커버(700)의 내부에는 상기 단열재(400)와 동일한 재질을 갖는 단열재가 구비되어 보온효과를 제공할 수 있다. Referring to FIGS. 4 and 5, a connection cover 700 is provided on the front side or rear side of the cover body 100. The connection cover 700 is provided with a plurality of cover bodies 100 on the gas piping 10 so as to be separated from the cover body 100 by a gap between the cover body 100 and the adjacent side surfaces of the cover body 100, To prevent heat energy from being leaked out and lost. That is, the connection cover 700 can cover the cover body 100 to close the circumferential surface of the gap, and a thermal insulation material having the same material as the thermal insulation material 400 is provided inside the connection cover 700, Can be provided.

도 6 을 참조하면 커넥터부(600)는 열선(200)의 일측단과 연결되는 제1 접촉단자(610)와 열선(200)의 타측단과 연결되는 제2 접촉단자(620)를 포함한다. 먼저 제1 접촉단자(610)는 연결커버(700)의 내측면, 즉 연결커버(700)가 커버몸체(100)의 외측면에 접촉될 수 있는 내측면에 노출되고, 제2 접촉단자(620)는 커버몸체(100)의 타측면에 노출된다. 따라서, 연결커버(700)가 이웃한 커버몸체(100)의 타측면을 감싸는 경우 제1 접촉단자(610)와 제2 접촉단자(620)는 상호 접촉되어 전류를 인가하도록 통전(通電)될 수 있는 것이다. 6, the connector unit 600 includes a first contact terminal 610 connected to one end of the heat wire 200 and a second contact terminal 620 connected to the other end of the heat wire 200. As shown in FIG. The first contact terminal 610 is exposed on the inner surface of the connection cover 700, that is, the inner surface on which the connection cover 700 can contact the outer surface of the cover body 100, and the second contact terminal 620 Is exposed on the other side surface of the cover body 100. As shown in Fig. The first contact terminal 610 and the second contact terminal 620 are in contact with each other and can be energized to apply a current when the connection cover 700 surrounds the other side of the neighboring cover body 100. [ It is.

한편, 제1 접촉단자(610) 또는 제2 접촉단자(620) 중 적어도 어느 하나는 소정의 길이만큼 돌출 형성됨으로써 상호 접촉될 때 접촉률을 높일 수 있으며, 제1 접촉단자(610) 및 제2 접촉단자(620)의 각각의 가장자리에는 서로 다른 극성을 갖는 자석을 구비함으로써 단선 등의 현상을 방지할 수 있다. At least one of the first contact terminal 610 and the second contact terminal 620 is protruded by a predetermined length to increase the contact ratio when the first contact terminal 610 and the second contact terminal 620 are in contact with each other, By providing the magnets having different polarities at the respective edges of the terminal 620, it is possible to prevent the occurrence of disconnection or the like.

도 7 의 (a)를 참조하면 커버몸체(100)에는 가스배관(10)의 외측방향으로의 길이조절이 가능한 주름커버(800)가 형성될 수 있다. 주름커버(800)는 가스배관(10)을 연결하는 연결플렌지나 브라켓 또는 밸브 등이 설치되어 있을 때나 가스배관(10)이 직경보다 더 큰 직경을 갖는 별도의 구조체를 감싸야 하는 경우에 사용된다. Referring to FIG. 7A, a cover 800 may be formed on the cover body 100 to adjust the length of the gas pipe 10 in the outward direction. The corrugated cover 800 is used when a connection flange, a bracket, a valve or the like is connected to the gas piping 10 or when the gas piping 10 needs to surround a separate structure having a diameter larger than the diameter .

도 7 의 (b)를 참조하면 주름커버(800)에도 열선이 배열되어 가스배관(10)을 가열해 줘야 하기 때문에 주름커버(800)의 내측면에는 열선(200)을 고정하는 연장커버(900)가 형성된다. 연장커버(900)에는 연장커버(900)의 양측면을 따라 일측과 타측으로 교번되며 절개되는 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)가 형성된다. 이때 열선(200)은 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)를 따라 지그재그로 배열되어 연장커버(900)에 고정된다. 7 (b), since the heat pipe is arranged on the corrugated cover 800 to heat the gas pipe 10, an extension cover 900 for fixing the heat pipe 200 is formed on the inner surface of the corrugated cover 800 Is formed. The extension cover 900 is formed with a first cutout 910 and a second cutout 920 which are alternately cut to one side and the other side along both side surfaces of the extension cover 900. At this time, the heat ray 200 is staggered along the first cutout 910 and the second cutout 920, and is fixed to the extension cover 900.

따라서, 가스배관(10) 보다 직경이 큰 갖는 구조체의 외부를 감싸기 위해 주름커버(800)가 가스배관(10)의 외측방향으로 연장되어 길이가 늘어나는 경우 연장커버(900) 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)의 절개된 틈새의 간격은 점차적으로 벌어진다. 동시에 연장커버(900)에 고정된 열선(200)의 간격도 벌어진다. 이와 같이 연장커버(900)로 인해 열선(200)의 누락이나 단락 없이 열선(200)이 발열되므로 가스배관(10)의 전체적인 부분에 열을 공급할 수 있는 장점이 발생한다. Therefore, when the corrugated cover 800 extends in the outer direction of the gas pipe 10 to extend the length thereof to cover the outside of the structure having a larger diameter than the gas pipe 10, the first cover 910 And the gap between the cuts of the second cut portion 920 gradually increase. At the same time, the interval of the heat ray 200 fixed to the extension cover 900 is also varied. Since the extension cover 900 generates the heat of the heat ray 200 without missing or short-circuiting the heat ray 200, it is possible to supply heat to the entire portion of the gas pipeline 10.

또한 본 발명의 배관용 히팅자켓은 커버몸체(100)의 측면에 연결커버(700)를 형성하여 연결된 틈새로 열에너지가 방출되는 것을 방지하였고, 이웃한 다른 모듈화된 커버몸체(100) 연결되는 커넥터부(600)가가 손쉽게 탈부착이 가능한 구조로 형성되어 파손이나 불량으로 인해 교체가 필요할 때 신속한 교체가 이루어질 수 있는 장점이 있다.In addition, the heating jacket for a piping according to the present invention has a connection cover 700 formed on a side surface of the cover body 100 to prevent heat energy from being released from the gap, and the connector body 100, which is adjacent to the other modular cover body 100, (600) can be easily detachable and attachable, so that it can be quickly replaced when it is necessary to replace due to breakage or failure.

10 : 가스배관
100 : 커버몸체 200 : 열선
300 : 열선고정커버 400 : 단열재
500 : 고정커버 600 : 커넥터부
610 : 제1 접촉단자 620 : 제2 접촉단자
700 : 연결커버 800 : 주름커버
900 : 연장커버 910 : 제1 절개부
920 : 제2 절개부
10: Gas piping
100: Cover body 200:
300: Hot wire fixing cover 400: Insulation
500: fixed cover 600: connector part
610: first contact terminal 620: second contact terminal
700: Connection cover 800: Wrinkle cover
900: extension cover 910: first incision
920: second incision section

Claims (4)

일측면이 가스배관(10)의 외측면과 접촉되도록 상기 가스배관(10)의 측면을 감싸며, 상기 가스배관(10)의 길이방향에 따라 임의로 설정한 길이만큼 규격화되어 다수개 형성되는 커버몸체(100);
외부로부터 전력을 인가받아 발열하며, 상기 커버몸체(100)의 내부에 위치하여 상기 가스배관(10)에 열을 전달하는 열선(200);
사이 커버몸체(100)의 내부에 위치하되, 상기 열선(200)이 지그재그로 배열되도록 상기 열선(200)을 고정하는 열선고정커버(300);
상기 열선고정커버(300)와 상기 커버몸체(100)의 타측면 사이에 구비되며, 상기 가스배관(10)이 일정한 온도를 유지하도록 상기 열선(200)에서 방출되는 열에너지가 외부로 손실되는 것을 방지하는 단열재(400);
상기 커버몸체(100)의 일측 측면에 형성되며, 상기 커버몸체(100)가 상기 가스배관(10)을 감싸는 경우 상기 커버몸체(100)의 일측면과 상기 가스배관(10)의 외측면을 밀착시키기 위해 상기 커버몸체(100)의 양측 측면이 상호 접촉되면 상기 커버몸체(100)의 타측 측면에 부착되는 고정커버(500);
상기 커버몸체(100)와 이웃한 상기 커버몸체(100)의 각각의 열선(200)이 연결되어 전력을 인가받을 수 있도록 상기 각각의 열선(200)을 연결하는 커넥터부(600);
상기 커버몸체(100)의 전방 측면에 형성되되되, 상기 커버몸체(100)와 이웃한 다른 커버몸체(100)의 측면과 접촉되는 부분의 틈새로 상기 열선(200)에서 방출되는 열에너지가 손실되는 것을 방지하기 위해 상기 틈새를 밀폐시키는 연결커버(700);를 포함하되,
상기 커넥터부(600)는 상기 열선(200)의 일측단과 연결되며, 상기 연결커버(700)의 내측면에 노출되는 제1 접촉단자(610);
상기 열선(200)의 타측단과 연결되며, 상기 커버몸체(100)의 타측면에 노출되는 제2 접촉단자(620);를 포함하고,
상기 연결커버(700)가 이웃한 상기 커버몸체(100)의 타측면을 감싸는 경우 상기 제1 접촉단자(610)와 상기 제2 접촉단자(620)는 상호 접촉되어 통전(通電)되는 것을 특징으로 하는 배관용 히팅자켓.
A cover body (10) which surrounds the side surface of the gas piping (10) so that one side thereof is in contact with the outer surface of the gas piping (10) and is standardized by a predetermined length along the longitudinal direction of the gas piping 100);
A heat ray (200) which receives heat from the outside to generate heat and transfers heat to the gas piping (10) located inside the cover body (100);
A heat ray fixing cover 300 which is positioned inside the interposer body 100 and fixes the heat ray 200 so that the heat rays 200 are staggered;
The heat pipe 200 is provided between the hot wire fixing cover 300 and the other side surface of the cover body 100 and prevents heat energy emitted from the hot wire 200 from being lost to the outside so that the gas pipe 10 maintains a predetermined temperature. (400);
The cover body 100 is formed on one side of the cover body 100 and covers one side of the cover body 100 and the outer surface of the gas pipe 10 when the cover body 100 surrounds the gas pipe 10. [ A fixing cover 500 attached to the other side surface of the cover body 100 when both side surfaces of the cover body 100 are in contact with each other;
A connector unit 600 connecting each of the heat wires 200 so that each of the heat wires 200 of the cover body 100 adjacent to the cover body 100 is connected to receive power;
The thermal energy emitted from the heat ray 200 is lost due to a gap formed in the front side of the cover body 100 and in contact with the side surface of the cover body 100 adjacent to the cover body 100 And a connection cover (700) for sealing the gap to prevent the gap,
The connector unit 600 includes a first contact terminal 610 connected to one end of the heat wire 200 and exposed to an inner surface of the connection cover 700;
And a second contact terminal 620 connected to the other end of the heat wire 200 and exposed to the other side of the cover body 100,
The first contact terminal 610 and the second contact terminal 620 contact each other and are energized when the connection cover 700 surrounds the other side of the cover body 100. [ Heating jacket for piping.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 커버몸체(100)에는
상기 가스배관(10)의 외측방향으로 길이조절이 가능하도록 상기 가스배관(10)의 둘레면을 따라 형성되는 주름커버(800); 와
일측과 타측으로 교번되며 절개되는 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)가 형성되고, 상기 제1 절개부(910)와 상기 제2 절개부(920)를 따라 상기 열선(200)이 지그재그로 배열되며 고정되는 연장커버(900);가 형성되되,
상기 주름커버(800)가 상기 가스배관(10)의 외측방향으로 연장되어 길이가 늘어나는 경우 상기 제1 절개부(910)와 제2 절개부(920)는 절개된 틈새가 점차적으로 벌어지고, 동시에 상기 연장커버(900)에 고정된 열선(200)의 간격이 벌어지면서 상기 가스배관(10)에 밀착되는 것을 특징으로 하는 배관용 히팅자켓.
The method according to claim 1,
In the cover body 100,
A corrugated cover 800 formed along a circumferential surface of the gas piping 10 so as to be adjustable in length in an outward direction of the gas piping 10; Wow
A first incision portion 910 and a second incision portion 920 are formed alternately on one side and the other side of the first incision portion 910 and the second incision portion 920, Are formed in a zigzag arrangement and are fixed to each other,
When the corrugated cover 800 extends in the outward direction of the gas piping 10 and the length thereof increases, the cleaved gaps of the first cutout 910 and the second cutout 920 gradually expand, Wherein a gap between the heating wires (200) fixed to the extension cover (900) is extended to closely contact the gas piping (10).
KR20140108772A 2014-08-21 2014-08-21 Heating jacket to enhance heating efficiency KR101499582B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140108772A KR101499582B1 (en) 2014-08-21 2014-08-21 Heating jacket to enhance heating efficiency

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140108772A KR101499582B1 (en) 2014-08-21 2014-08-21 Heating jacket to enhance heating efficiency

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101499582B1 true KR101499582B1 (en) 2015-03-09

Family

ID=53026559

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20140108772A KR101499582B1 (en) 2014-08-21 2014-08-21 Heating jacket to enhance heating efficiency

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101499582B1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200489438Y1 (en) 2019-03-12 2019-06-17 ㈜제이아이테크 Heating Jacket Holder
KR20190107882A (en) 2018-03-13 2019-09-23 (주)제이솔루션 Heating jacket for semiconductor and display manufacturing facility with operation indication function
KR102143515B1 (en) 2019-05-23 2020-08-11 동주에이피 주식회사 Heating pipe for semiconductor manufacuring facilities
KR102189754B1 (en) * 2020-06-05 2020-12-11 주식회사 에이치엔씨 Three way valve assembly

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100905289B1 (en) * 2008-12-10 2009-06-29 (주)화인 An apparatus for heating an exhaust pipe of semiconductor production process
KR100990157B1 (en) * 2009-12-16 2010-10-29 (주)화인 Heating jacket and method for manufacturing the same
KR20110064920A (en) * 2009-12-09 2011-06-15 한국생산기술연구원 Heater jacket for semiconductor processing
KR20120052699A (en) * 2010-11-16 2012-05-24 (주)에스케이아이 Pipe cover apparatus for heatting layer

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100905289B1 (en) * 2008-12-10 2009-06-29 (주)화인 An apparatus for heating an exhaust pipe of semiconductor production process
KR20110064920A (en) * 2009-12-09 2011-06-15 한국생산기술연구원 Heater jacket for semiconductor processing
KR100990157B1 (en) * 2009-12-16 2010-10-29 (주)화인 Heating jacket and method for manufacturing the same
KR20120052699A (en) * 2010-11-16 2012-05-24 (주)에스케이아이 Pipe cover apparatus for heatting layer

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190107882A (en) 2018-03-13 2019-09-23 (주)제이솔루션 Heating jacket for semiconductor and display manufacturing facility with operation indication function
KR200489438Y1 (en) 2019-03-12 2019-06-17 ㈜제이아이테크 Heating Jacket Holder
KR102143515B1 (en) 2019-05-23 2020-08-11 동주에이피 주식회사 Heating pipe for semiconductor manufacuring facilities
KR102189754B1 (en) * 2020-06-05 2020-12-11 주식회사 에이치엔씨 Three way valve assembly

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101499582B1 (en) Heating jacket to enhance heating efficiency
US8071920B2 (en) Planar heater
KR20180013803A (en) Heating jacket for outdoor pipe
JP2009030771A (en) Heating and heat-retention tube including device
US11480285B2 (en) Triple pipe heating device of easy installation for heating exhaust gas in semiconductor and LCD manufacturing process
CN110023689A (en) Steam generator and reactor
CN105190837A (en) System and method for protection of vacuum seals in plasma processing systems
KR100996458B1 (en) A pipe unit of semiconductor fabrication device
KR20160018232A (en) Heating Apparatus of Pipe
KR101603950B1 (en) Heating jacket with button or band
WO2015002044A1 (en) Temperature detection device
KR101094814B1 (en) bellows heater
KR101495668B1 (en) Heating jacket having multi-heating wire
CN212056301U (en) Electric heating heat tracing device for pipeline
KR101089615B1 (en) protection cover for installing heater of gas pipe line
CN108072171A (en) The heating unit and semiconductor processing equipment of gas piping
KR20140058859A (en) Heating pipe for semiconductor manufacturing apparatus
CN106711004B (en) Admission gear and plasma etching machine
KR20150019656A (en) heat tracing apparatus for vessel pipe line
KR101326218B1 (en) Heater jacket
JP2006332086A (en) Heating arrangement and process gas treating system
JP5063119B2 (en) Condition detection device
KR102675135B1 (en) Substrate heat treatment device
JP5894632B2 (en) Heating device
JP3152782U (en) Heating heater for piping

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180528

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190326

Year of fee payment: 5