KR200200106Y1 - 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치 - Google Patents

레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치에 관한 것으로서, 본 고안의 목적은 하나의 클램핑장치로써 다기종의 디바이스를 그 중심위치의 변동없이 모두 클램핑 가능하게 함과 아울러 안정적인 클램핑을 수행토록 하는데 있다.
이에 본 고안은 수행될 레이저 마킹 공정에 따라 순차적으로 스텝회전하는 인덱스 테이블(IT)상에 베이스 플레이트(1) 및 하우징(2)을 통하여 방사상으로 장착되어서 IC 디바이스(D)를 클램핑하는 클램핑 장치에 있어서, 상기 하우징(2) 내측의 안내축(14)에 각각 상기 디바이스(D)의 양측 소폭단부(D1)를 파지하는 방향으로 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재(15)에 의하여 디바이스(D) 파지방향으로 탄발지지되어 연동되는 4쌍의 클램핑 조오(10)와, 상기 하우징(2)내에 설치되어 상기 각쌍의 클램핑 조오(10)를 디바이스(D) 파지 또는 해제방향으로 확장 또는 수축이동시키는 클램핑 조오 작동수단과, 각각 상기 디바이스(D)의 리드부(D2)를 파지하도록 상기 클램핑 조오(10)에 직교하는 방향으로 하우징(2) 내측의 직교축(35)에 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재(36)에 의하여 디바이스(D) 파지방향으로 탄발지지되어 연동되는 4쌍의 리드 조오(20)와, 상기 하우징(2)내에 설치되어 상기 각쌍의 리드 조오(20)를 디바이스(D) 파지 또는 해제방향으로 확장 또는 수축이동시키는 리드 조오 작동수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

Description

레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치
본 고안은 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치에 관한 것으로서, 특히 다양한 기종의 IC(집적회로) 디바이스를 하나의 클램핑 장치로써 중심위치의 변동없이 안정적으로 클램핑할 수 있도록 된 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 제조 완료된 IC 디바이스 표면에 문자 및 숫자 등을 마킹하기 위한 레이저 마킹 시스템은 통상적으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 마킹할 다수의 디바이스(D)를 수용한 트레이(T)를 트레이 공급부(TS)로부터 트레이 적재부(TL)로 단계적으로 이송하는 이송콘베어(FC)와, 레이저 마킹될 디바이스(D)를 파지하는 클램핑 장치(CA)가 방사상으로 장착되어서 수행될 공정에 따라서 순차적으로 스텝회전하는 인덱스 테이블(IT)과, 트레이(T) 이송과정에서 트레이(T)가 로딩위치에 위치할 시 로딩로봇(LR)에 의하여 트레이(T)로부터 설정개수의 디바이스(D)를 흡착하여 인덱스 테이블(IT)상의 클램핑 장치(CA)에 로딩하는 로딩부(LP)와, 클램핑 장치(CA)에 로딩된 디바이스(D)의 방향을 검사하여 마킹불량을 방지하는 방향검사부(VC)와, 레이저 발진에 의하여 디바이스(D)에 마킹을 수행하는 레이저 마킹부(LM)와, 마킹시 디바이스(D)의 표면에 생성된 그을음 등의 이물질을 브러슁하여 흡착제거하는 브러슁부(BR)와, 브러슁 된 디바이스(D)를 언로딩로봇(UR)이 흡착하여 이송콘베어(FC)상의 빈 트레이(T)에 옮겨놓는 언로딩부(UP)로 구성되어 IC 디바이스(D)의 마킹을 수행하였다.
이러한 레이저 마킹 시스템에서 종래의 디바이스의 클램핑 장치로 크기가 다른 디바이스를 클램핑할 경우에는 디바이스의 중심위치가 변화되어 마킹불량을 초래하기 때문에 특정 사이즈를 갖는 한종류의 디바이스에 맞춘 클램핑 장치만을 사용하도록 되어 있었다. 이에 디바이스 기종에 상응한 별도의 클램핑 장치를 각각 구비하고 디바이스의 기종변경시마다 이를 교체 사용하여야 하였으므로 가격상승과 함께 생산성이 저하되는 문제가 있었다.
본 고안은 이러한 종래의 문제를 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 고안은 다양한 기종의 디바이스를 그 중심위치의 변동없이 클램핑 가능하게 함으로써 하나의 클램핑 장치로써 다기종의 디바이스를 클램핑 가능하게 함과 아울러 이의 클램핑을 보다 안정적으로 수행할 수 있도록 된 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치는, 수행될 레이저 마킹 공정에 따라 순차적으로 스텝회전하는 인덱스 테이블상에 베이스 플레이트 및 하우징을 통하여 방사상으로 장착되어서 IC 디바이스를 클램핑하는 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치에 있어서, 상기 하우징 내측의 안내축에 각각 상기 디바이스의 양측 소폭단부를 파지하는 방향으로 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재에 의하여 디바이스 파지방향으로 탄발지지되어 연동되는 4쌍의 클램핑 조오와, 상기 하우징내에 설치되어 상기 각쌍의 클램핑 조오를 디바이스 파지 또는 해제방향으로 확장 또는 수축이동시키는 클램핑 조오 작동수단과, 각각 상기 디바이스의 리드부를 파지하도록 상기 클램핑 조오에 직교하는 방향으로 하우징 내측의 직교축에 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재에 의하여 디바이스 파지방향으로 탄발지지되어 연동되는 4쌍의 리드 조오와, 상기 하우징내에 설치되어 상기 각쌍의 리드 조오를 디바이스 파지 또는 해제방향으로 확장 또는 수축이동시키는 리드 조오 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 1은 일반적인 마킹 공정을 나타내기 위한 레이저 마킹 시스템의 개략 평면도
도 2는 도 1의 정면도
도 3은 본 고안에 따른 디바이스 클램핑 장치의 평면도
도 4는 도 3의 A-A선 단면도
도 5는 도 3의 B-B선 단면도
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞
D: 디바이스 IT: 인덱스 테이블 1: 베이스 플레이트
2: 하우징 10: 클램핑 조오 11: (클램핑 조오)경사면
12: (클램핑조오)경사단부 13: (경사단부)경사면 14: 안내축
15: 탄성부재 20: 리드 조오 21∼24: 바깥쪽 리드 조오
25∼28: 내측 리드 조오 30: 가이드판 35: 직교축
36: 탄성부재 40: 수직축 42: (수직축)경사면
43: 탄성부재 50: 작동축 51: 탄성부재
52: 승강판 60: 승강축 61:(승강축)경사면
62: 탄성부재
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거 보다 상세하게 설명한다.
도 3은 본 고안에 따른 디바이스 클램핑 장치(CA)의 평면도로서, 두 개의 도면이 도시되어 있다. 상부의 도면에서 수평한 중심선을 기준으로 그 위쪽부분은 베이스 플레이트(1)가 있는 상태를 그 아래쪽부분은 베이스플레이트(1)를 절취한 상태를 도시하고 있으며, 하부의 도면은 상부의 도면에서 리드 조오(20) 부분만을 분리하여 상세하게 도시하고 있다.
도 4는 도 3의 A-A선 단면도로서, 수직한 중심선을 기준으로 좌측은 클램핑 조오(10)가 수축된 상태를 도시하고 있고, 우측은 확장된 상태를 도시하고 있다.
도 5는 도 3의 B-B선 단면도로서, 수직한 중심선을 기준으로 좌측은 리드 조오(20)가 수축된 상태를 도시하고 있고, 우측은 확장된 상태를 도시하고 있다.
상기한 도면에서 IC 디바이스(D)는 소폭단부(D1) 즉, 리드(Lead)가 없는 자유단부와 리드가 설치되어 있는 리드부(D2)를 포함하고 있다.
본 고안의 클램핑 장치(CA)는 이러한 디바이스(D)를 4개씩 파지할 수 있도록 하고 있으며, 상부의 베이스 플레이트(1)는 인덱스 테이블(IT) 위에 안착고정되고, 이 베이스 플레이트(1)의 하부에는 하우징(2, 도시예에서는 상부 하우징(2a)과 하부 하우징(2b)으로나뉘어져 있음)이 결합되어 있다.
상기 상부 하우징(2a) 내측에는 각각 4쌍의 클램핑 조오(10)와 리드 조오(20)가 설치되어 디바이스(D)를 파지하게 되는 바, 각 쌍의 클램핑 조오(10)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각각 상부 하우징(2a) 내측을 횡단하는 두 개의 안내축(14)에 디바이스(D)의 양측 소폭단부(D1)를 파지하는 방향으로 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재(15)에 의하여 디바이스(D) 파지방향으로 탄발지지된다.
상기 각 쌍의 리드 조오(20)는, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 디바이스(D)의 리드부(D2)를 파지하도록 상기 클램핑 조오(10)에 직교하는 방향으로 상부 하우징(2a) 내측의 직교축(35)에 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재(36)에 의하여 디바이스(D) 파지방향으로 탄발지지된다.
상기한 클램핑 조오(10)와 리드 조오(20)의 상단부는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 각각 베이스 플레이트(1)에 형성된 통공(2a)(2b)을 관통하고 있으며, 디바이스(D)는 통공(2a)(2b)으로 둘러싸여진 베이스 플레이트(1) 위에 그 바닥면이 안착되게 된다.
그리고, 상기한 클램핑 조오(10)와 리드 조오(20)는 각각의 작동수단에 의하여 디바이스(D)를 파지하는 방향과 파지를 해제하는 방향으로 확장 또는 축소이동되는데, 이의 클램핑 조오(10) 작동수단으로서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 각 쌍의 클램핑 조오(10) 하부의 마주보는 면에 경사면(11)이 종방향으로 대칭적으로 형성되어 있고, 이 경사면(11)의 아래쪽에는 수직축(40)이 상부 하우징(2a)의 하단에 수직방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 이 수직축(40)은 그 상단부 양측이 상기 클램핑 조오(10)의 두 경사면(11)에 롤러(41)를 통하여 동시 접촉하고 있으며, 이에 수직축(40)의 상승 또는 하강시 클램핑 조오(10)가 확장 또는 축소작동되도록 하고 있다. 또한, 상기 수직축(40)의 아래쪽에는 승강판(52)이 설치되어 있고, 이 승강판(52)은 작동축(50)에 결합되어 있으며, 이 작동축(50)은 하부 하우징(2a)의 하단에 수직방향으로 슬라이딩가능하게 설치됨과 아울러 탄성부재(51)에 의하여 하향 탄발지지 되어서 도면부호 "3"으로 표시된 유압 또는 공압실린더 또는 특정한 기구적 장치로 이루어진 별도의 "승강수단"에 의하여 상승하여 상기 수직축(40)의 하단을 밀어 상승시키도록 하고 있다.
또한, 상기 리드 조오(20)는 특히 도 3의 아래쪽에 상세하게 도시한 바와 같이 4쌍의 리드 조오(20)의 작동을 정확하게 수행하기 위하여 인접한 두 개의 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)가 각각 일체로 이루어져 있고, 이 두 개의 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)와 짝을 이루는 내측의 두 리드 조오(25)(26),(27)(28)들은 각각 다른짝을 이루는 바깥쪽 리드 조오(23)(24),(21)(22)와 연결부재(32) 및 볼트(33)에 의하여 일체로 결합되어 동일방향으로 연동되도록 이루어져 있다.
이러한 리드 조오(20) 작동수단으로서는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 각각의 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)로부터 하향연장되는 가이드판(30)을 마련하고 있고, 이 가이드판(30)의 하부에는 승강축(60)이 상부 하우징(2a)의 하단에 수직방향으로 슬라이딩가능하게 설치됨과 동시에 탄성부재(62)에 의하여 하향 탄발지지되어서 상기 작동축(50) 및 승강판(52)에 의하여 상승 또는 하강되도록 하고 있다. 또한, 상기 승강축(60)의 상단에는 경사면(61)이 형성되어 있고, 상기 가이드판(30)의 하단 내측에는 롤러(31)가 구비되어서 상기 승강축(60)의 상승시 승강축(60)의 경사면(61)이 가이드판(30)의 내측 롤러(31)에 경사접촉되어 리드 조오(20)를 확장시키게 된다.
또한, 본 고안에서는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 클램핑 조오(10)의 안정적인 클램핑 작용 즉, 디바이스(D)의 클램핑 후 이의 미세한 유동도 방지하기 위하여 수직축(40)의 하강시 이 수직축(40)과 클램핑 조오(10)가 탄성적으로 맞물려지도록 하고 있는 바, 상기 각 쌍의 클램핑 조오(10)의 하부에는 그 단부에 경사면(13)을 갖는 경사단부(12)가 대향 형성되어 있고, 상기 수직축(40)의 양측에는 각각 상기 경사단부(12)의 경사면(13)에 면접촉가능한 경사면(42)이 형성되어 있다. 이러한 수직축(40)은 탄성부재(43)에 의해 하향 탄발지지되고 있으며, 이에 각 수직축(40)과 클램핑 조오(10)의 경사면(42)(13)이 접촉할 시, 클램핑 조오(10)를 축소방향으로 탄발지지하는 탄성부재(15)와 힘의 적절한 배분에 의하여 클램핑 조오(10)가 흔들리지 않도록 하고 있다.
도면 중 미설명 부호 "16","34","44","53","63"은 "부쉬(Bush)"로서 각종 축의 원활한 운동을 돕게 된다.
이와 같이 이루어진 본 고안은 특히 클램핑 조오(10)와 리드 조오(20)가 모두 동시에 확장 및 축소가능하게 하여 클램핑되는 디바이스(D)의 중심위치가 변화되지 않아 다양한 기종의 디바이스(D)를 클램핑 가능하게 하고 있으며, 또한 이들의 동작이 정확하고 안정적으로 수행되도록 한 것으로, 도 1 및 도 2에서 로딩로봇(LR)이 트레이(T)로부터 디바이스(D)를 흡착하여 인덱스 테이블(IT) 상의 클램핑 장치(CA)로 공급하기 위한 작동을 수행할 시, 도 4 및 도 5의 우측부분과 같이 승강수단(3)도 함께 상승시키게 된다. 이에 상기 승강수단(3)이 작동축(50)을 상승시키고 작동축(50)에 일체로된 승강판(52)이 상승하여 수직축(40)과 승강축(60)을 상승시킨다.
이러한 과정에서 (도 4 참조)수직축(40)의 상단 양측의 롤러(41)가 각 쌍의 클램핑 조오(10) 경사면(11)에 접촉함과 아울러 계속 상승함으로써 클램핑 조오(10)가 탄성부재(15)의 탄발력을 극복하고 안내축(14)상을 이동하여 확장되게 되어 디바이스(D)를 수용할 준비를 하며, 이와 함께 (도 5 참조)승강축(60)도 상승되어 그 상단의 경사면(61)이 가이드판(30)의 내측 롤러(31)에 경사접촉함에 따라 탄성부재(36)의 탄발력을 극복하여 가이드판(30) 및 이와 일체로된 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)가 직교축(35)상을 슬라이딩하게 되고, 동시에 이 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)들과 연결부재(32)로 연결된 각각의 내측 리드 조오(27)(28),(25)(26)도 직교축(35)상을 동시 이동하여 확장됨으로써 디바이스(D)를 수용할 준비가 완료된다.
이러한 상태에서 로딩로봇(LR)이 디바이스(D)를 클램핑 장치에 공급하면 디바이스(D)의 저면이 베이스 플레이트(1)위에 안착된다. 다음, 디바이스(D) 클램핑을 위하여 승강수단(3)을 하강시키면, 작동축(50)과 수직축(40) 및 승강축(60)이 각각의 탄성부재(51)(43)(62)에 의하여 하강되게 된다. 이에 각 쌍의 리드 조오(20)와 클램핑 조오(10)는 각각의 탄성부재(36)(15)에 의하여 수축되는 방향으로 이동하고, 이의 이동 말기에 가서는 디바이스(D)의 리드부(D2)와 소폭단부(D1)를 각각 파지하게 된다. 한편, (도 4 참조)상기 클램핑 조오(10)가 디바이스(D)를 파지하는 과정에서 수직축(40)의 경사면(42)이 클램핑 조오(10)에 마련된 경사단부(12)의 경사면(13)에 면접촉하게 됨에 따라 클램핑 조오(10)의 위치가 항상 정확하게 즉, 다비이스(D)의 클램핑 위치가 항상 정확하게 유지되게 된다. 또한, 이와함께 수직축(40)이 탄성부재(43)에 의하여 하향으로 탄발지지됨에 따라 이 수직축(40)의 탄성부재(43)와 클램핑 조오(10)의 탄성부재(15)가 적절한 힘의 균형을 이루게 되고, 이로써 디바이스(D)를 파지한 상태에서는 클램핑 조오(10)가 흔들리지 않게된다.
여기서, 상기 클램핑 조오(10)와 리드 조오(20)가 디바이스()를 파지하는 시기에 적당한 시차를 두는 것이 바람직한데, 더욱 바람직하게는 리드 조오(20)가 디바이스(D)의 리드부(D2)를 먼저 파지하게 한 이후에 클램핑 조오(10)가 소폭단부(D1)를 나중에 파지하도록 하면 리드부(D2)의 손상도 줄일 수 있다.
상기와 같이 하여 클램핑 장치(CA)에 디바이스(D)의 클램핑이 완료되면, 인덱스 테이블(IT)이 회전하여 각 공정을 순차적으로 거치면서 디바이스(D)에 레이저 마킹을 실시하게 되며, 이후 언로딩부(UP)에 가서는 다시 전술한 바와 같이 승강수단(3)을 상승시켜 클램핑 조오(10)와 리드 조오(20)를 확장시키고, 이에 클램핑 해제된 디아비스(D)를 언로딩로봇(UR)이 흡착하여 이송콘베어(FC)상의 빈 트레이(T)에 적하함으로써 레이저 마킹 공정이 완료되게 된다.
이상 설명한 바에 따르면, 본 고안의 클램핑 장치는 각 쌍의 클램핑 조오(10) 및 각 쌍의 리드 조오(20)가 동시에 확장 및 축소동작함에 따라 클램핑되는 디바이스(D)의 중심위치가 변화되지 않아 다양한 기종(크기)의 디바이스(D)를 클램핑 가능하며, 나아가 클램핑 조오(10)의 경사면(11)의 경사각도 또는 경사면(11)의 높이 및 수직축(40)과의 접촉관계를 적절하게 하면 하나의 클램핑 장치로써 사이즈의 변화폭이 보다 큰 매우 다양한 기종의 디바이스(D)를 거의 다 클램핑할 수도 있는 잇점이 있다.
또한, 동일방향으로 이동하는 리드 조오(20)들을 일체로 연결하여 동시동작 되도록 하고 있음과 아울러 디바이스(D) 클램핑시 클램핑 조오(10)의 경사단부(12)와 수직축(40)의 경사면(42)이 밀착되게 되므로 보다 안정적인 동작을 수행할 수 있고, 이에 디바이스(D)의 중심위치를 매우 정확하게 유지할 수 있게 된다.

Claims (4)

  1. 수행될 레이저 마킹 공정에 따라 순차적으로 스텝회전하는 인덱스 테이블(IT)상에 베이스 플레이트(1) 및 하우징(2)을 통하여 방사상으로 장착되어서 IC 디바이스(D)를 클램핑하는 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치에 있어서,
    상기 하우징(2) 내측의 안내축(14)에 각각 상기 디바이스(D)의 양측 소폭단부(D1)를 파지하는 방향으로 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재(15)에 의하여 디바이스(D) 파지방향으로 탄발지지되어 연동되는 4쌍의 클램핑 조오(10)와,
    상기 하우징(2)내에 설치되어 상기 각쌍의 클램핑 조오(10)를 디바이스(D) 파지 또는 해제방향으로 확장 또는 수축이동시키는 클램핑 조오 작동수단과,
    각각 상기 디바이스(D)의 리드부(D2)를 파지하도록 상기 클램핑 조오(10)에 직교하는 방향으로 하우징(2) 내측의 직교축(35)에 슬라이딩가능하게 대향설치되며, 탄성부재(36)에 의하여 디바이스(D) 파지방향으로 탄발지지되어 연동되는 4쌍의 리드 조오(20)와,
    상기 하우징(2)내에 설치되어 상기 각쌍의 리드 조오(20)를 디바이스(D) 파지 또는 해제방향으로 확장 또는 수축이동시키는 리드 조오 작동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 클램핑 조오 작동수단은 각쌍의 클램핑 조오(10) 하부의 마주보는 면에 종방향으로 대칭적으로 형성되는 경사면(11)과,
    각쌍의 클램핑 조오(10)에 대응하여 상기 하우징(2)의 내측에 수직방향으로 슬라이딩가능하게 설치되되, 그 상단부 양측이 두 경사면(11)에 동시 접촉하여 상승 또는 하강함으로써 클램핑 조오(10)를 확장 또는 축소작동시키는 수직축(40)과,
    상기 수직축(40)의 하단을 밀어 상승시키기 위하여 상기 하우징(2)의 하부에 수직방향으로 슬라이딩가능하게 설치됨과 아울러 탄성부재(51)에 의하여 하향 탄발지지 되는 작동축(50) 및 이의 상단에 고정된 승강판(52)을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 리드 조오(20)는 인접한 두 개의 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)가 각각 일체로 이루어지고, 이 두 개의 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)와 짝을 이루는 내측의 두 리드 조오(25)(26),(27)(28)들은 각각 다른짝을 이루는 바깥쪽 리드 조오(23)(24),(21)(22)와 일체로 연결되어 동일방향으로 연동되며,
    상기 리드 조오 작동수단은 각각의 바깥쪽 리드 조오(21)(22),(23)(24)로부터 하향연장되는 가이드판(30)과, 이 가이드판(30)에 대응하여 하우징(2)의 내측에 수직방향으로 슬라이딩가능하게 설치됨과 동시에 탄성부재(62)에 의하여 하향 탄발지지되되, 그 상단이 상기 가이드판(30)의 내측에 경사면(61)으로 접촉되어서 상기 작동축(50) 및 승강판(52)에 의하여 상승 또는 하강함으로써 리드 조오(20)를 확장 또는 축소작동시키는 승강축(60)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 수직축(40)의 하강시 이 수직축(40)과 클램핑 조오(10)가 맞물려지도록 하기 위하여 상기 각 쌍의 클램핑 조오(10)의 하부에는 그 단부에 경사면(13)을 갖는 경사단부(12)가 대향 형성되어 있고, 상기 수직축(40)의 양측에는 각각 상기 경사단부(12)의 경사면(13)에 면접촉하는 경사면(42)이 형성되어 있으며, 상기 수직축(40)은 탄성부재(43)에 의해 하향 탄발지지되고 있는 것을 특징으로 하는 레이저 마킹 시스템의 디바이스 클램핑 장치.
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