KR200187482Y1 - 반도체 비지에이 패키지 - Google Patents

반도체 비지에이 패키지 Download PDF

Info

Publication number
KR200187482Y1
KR200187482Y1 KR2019980002377U KR19980002377U KR200187482Y1 KR 200187482 Y1 KR200187482 Y1 KR 200187482Y1 KR 2019980002377 U KR2019980002377 U KR 2019980002377U KR 19980002377 U KR19980002377 U KR 19980002377U KR 200187482 Y1 KR200187482 Y1 KR 200187482Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
circuit board
printed circuit
bare chip
package
metal wire
Prior art date
Application number
KR2019980002377U
Other languages
English (en)
Other versions
KR19990036491U (ko
Inventor
구자용
Original Assignee
김영환
현대반도체주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김영환, 현대반도체주식회사 filed Critical 김영환
Priority to KR2019980002377U priority Critical patent/KR200187482Y1/ko
Publication of KR19990036491U publication Critical patent/KR19990036491U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200187482Y1 publication Critical patent/KR200187482Y1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
    • H01L23/49816Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/4824Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73215Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

본 고안은 반도체 비지에이 패키지에 관한 것으로, 종래에는 단품의 패키지를 서로 적층하기가 용이하지 못하여 고집적화에 부적합하게 됨은 물론, 설사 적층을 하더라도 하나의 패키지마다에 일정 넓이와 두께를 갖는 서브스트레이트가 구비되어 경박단소화에 한계가 있는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 소정의 패턴이 양면에 형성되는 인쇄회로기판과, 그 인쇄회로기판의 양면에 각각 부착되는 베어칩과, 각 베어칩의 패드를 인쇄회로기판의 패턴에 전기적으로 연결하는 금속와이어와, 상기 인쇄회로기판의 일부를 제외하고 각 베어칩 및 금속와이어를 감싸는 몰딩부와, 상기 인쇄회로기판에서 몰딩되지 않은 부위의 랜드에 부착되는 솔더볼로 구성함으로써, 적층이 용이할 뿐만 아니라 그 적층두께가 얇아 경박단소화를 실현할 수 있다.

Description

반도체 비지에이 패키지
본 고안은 반도체 패키지에 관한 것으로, 특히 적층이 용이할 뿐만 아니라 경박단소화가 가능한 반도체 비지에이 패키지에 관한 것이다.
일반적인 비지에이(BGA : Ball Gride Package)는 주어진 면적에서 다핀을 실현할 수 있고, 외부단자가 짧아서 외부충격으로부터 휨발생이 방지되며, 전기적인 신호의 전달은 물론 패키지의 실장이 용이하여 널리 이용되고 있는 바, 도 1은 이러한 비지에이 패키지의 일례를 보인 종단면도이다.
이에 도시된 바와 같이 종래의 비지에이 패키지는, 다층회로기판인 서브스트레이트(substrate)(1)와, 그 서브스트레이트(1)의 상면 중앙에 절연접착재(2)로 고정 부착되는 반도체 칩(3)과, 그 칩(3)의 상면에 형성된 각 칩패드(chip pad)(3a)를 서브스트레이트(1)의 패턴(pattern)(미도시)에 전기적으로 연결하는 금속와이어(4)와, 상기 칩(3) 및 금속와이어(4)를 감싸는 몰딩부(5)와, 상기 서브스트레이트(1)의 저면에 부착되는 외부단자용 솔더볼(solder ball)(6)로 이루어져 있다.
상기와 같은 종래의 비지에이 패키지의 제조과정은 다음과 같다.
먼저, 상기 서브스트레이트(1)의 상면 중앙에 접착재(2)를 이용하여 반도체 칩(3)을 고정 부착하는 다이본딩을 실시하고, 그 반도체 칩(3)의 상면에 형성되어 있는 각 칩패트(3a)를 서브스트레이트(1)의 패턴(미도시)에 금속와이어(4)로 연결하는 와이어본딩을 실시하며, 상기 칩(3) 및 금속와이어(4)가 본딩된 서브스트레이트(1)를 소정의 금형(미도시)에 넣고 에폭시로 몰딩부(5)를 형성하며, 이후 상기 몰딩부(5)가 경화된 다음에는 금형을 제거하고 서브스트레이트(1)의 저면에 솔더볼(6)을 부착하는 솔더볼 어태치 및 타이바(tie bar)에 대한 절단공정을 통해 단품의 패키지를 완성하는 것이었다.
그러나, 상기와 같은 종래의 비지에이 패키지는, 단품의 패키지를 서로 적층하기가 용이하지 못하여 고집적화에 부적합하게 됨은 물론, 설사 적층을 하더라도 하나의 패키지마다에 일정 넓이와 두께를 갖는 서브스트레이트(1)가 구비되어 경박단소화에 한계가 있는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 비지에이 패키지가 가지는 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 적층이 용이할 뿐만 아니라 그 적층두께가 얇아 경박단소화를 실현할 수 있는 반도체 비지에이 패키지를 제공하려는데 본 고안의 목적이 있다.
도 1은 종래 비지에이 패키지의 일례를 보인 종단면도.
도 2는 본 고안에 의한 비지에이 패키지를 보인 종단면도.
도 3a 내지 3e는 본 고안에 의한 비지에이 패키지의 제조과정을 보인 종단면도.
***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***
11 : 인쇄회로기판 11a : 패턴
12 : 절연접착재 13A,13B : 베어칩
14A,14B : 금속와이어 15 : 몰딩부
16 : 솔더볼 21,22 : 금형의 상,하형
이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 소정의 패턴이 양면에 형성되는 인쇄회로기판과, 그 인쇄회로기판의 양면에 각각 부착되는 베어칩과, 각 베어칩의 패드를 인쇄회로기판의 패턴에 전기적으로 연결하는 금속와이어와, 상기 인쇄회로기판의 일부를 제외하고 각 베어칩 및 금속와이어를 감싸는 몰딩부와, 상기 인쇄회로기판에서 몰딩되지 않은 부위의 랜드에 부착되는 솔더볼로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 비지에이 패키지가 제공된다.
이하, 본 고안에 의한 반도체 비지에이 패키지를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 고안에 의한 비지에이 패키지를 보인 종단면도이고, 도 3a 내지 3e는 본 고안에 의한 비지에이 패키지의 제조과정을 보인 종단면도이다.
이에 도시된 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 비지에이 패키지는, 소정의 패턴(11a)이 양측 표면에 노출되게 형성되는 인쇄회로기판(11)과, 그 인쇄회로기판(11)의 양면에 절연접착재(12)를 이용하여 각각 엇갈리게 부착되는 제1,제2 베어칩(13A,13B)과, 그 제1,제2 베어칩(13A,13B)의 각 패드(미도시)를 인쇄회로기판(11)의 일측 패턴(11a)에 전기적으로 연결하는 금속와이어(14A,14B)와, 상기 인쇄회로기판(11)의 일부(정확하게는, 후술할 솔더볼이 부착될 위치)를 제외하고 각 베어칩(13A,13B) 및 금속와이어(14A,14B)를 외부의 충격으로부터 보호하기 위하여 감싸는 몰딩부(15)와, 상기 인쇄회로기판(11)에서 몰딩되지 않은 부위의 랜드(미도시)에 각각 부착되는 다수개의 외부단자용 솔더볼(16)로 구성된다.
상기 제1 베어칩(13A)은 인쇄회로기판(11)의 상면 중앙에 부착되는 반면, 제2 베어칩(13B)은 인쇄회로기판(11)의 저면 일측에 돌출되게 부착되는 것이 금속와이어(14B)를 본딩하는 것은 물론 몰딩부를 얇게 형성하는데 유리하다.
도면중 미설명 부호인 21,22는 상형 및 하형이다.
상기와 같이 구성되는 본 고안에 의한 비지에이 패키지는 다음과 같은 과정을 통해 제조된다.
즉, 소정의 패턴(11a)이 양면에 형성된 인쇄회로기판(11)의 각 면에 양면 절연접착재(12)를 이용하여 베어칩(13A,13B)을 어긋나게 부착하는 다이본딩을 실시하고, 그 각 베어칩(13A,13B)의 칩패트(미도시)를 인쇄회로기판(11)의 패턴(미도시)에 전기적으로 연결하는 와이어본딩을 실시하며, 이렇게 베어칩(13A,13B)과 금속와이어(14A,14B)가 부착된 인쇄회로기판(11)을 소정형상의 금형(21,22)에 넣어 에폭시(15)로 몰딩하는 인캡슐레이션을 실시하는데, 이때 상기 하형(22)의 캐비티(미부호)는 인쇄회로기판(11)의 저면 일측(정확하게는, 저면측 패턴)이 외부로 노출되도록 형성되어 그 인쇄회로기판(11)의 일부가 몰딩되지 않고 노출된다.
이후, 일정시간을 경과시켜 상기 에폭시(15)가 경화되도록 한 다음에는 금형(21,22)을 제거하고, 상기 인쇄회로기판(11)의 노출된 패턴(11a)부위에 외부단자용 솔더볼(16)을 얹어 부착시키는 리플로우를 실시하여 단품의 비지에이 패키지를 완성하는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 비지에이 패키지는, 소정의 패턴이 양면에 형성되는 인쇄회로기판과, 그 인쇄회로기판의 양면에 각각 부착되는 베어칩과, 각 베어칩의 패드를 인쇄회로기판의 패턴에 전기적으로 연결하는 금속와이어와, 상기 인쇄회로기판의 일부를 제외하고 각 베어칩 및 금속와이어를 감싸는 몰딩부와, 상기 인쇄회로기판에서 몰딩되지 않은 부위의 랜드에 부착되는 솔더볼로 구성함으로써, 패키지의 적층이 용이할 뿐만 아니라 그 적층두께가 얇아 경박단소화를 실현할 수 있다.

Claims (1)

  1. 소정의 패턴이 양면에 형성되는 인쇄회로기판과, 그 인쇄회로기판의 양면에 각각 부착되는 베어칩과, 각 베어칩의 패드를 인쇄회로기판의 패턴에 전기적으로 연결하는 금속와이어와, 상기 인쇄회로기판의 일부를 제외하고 각 베어칩 및 금속와이어를 감싸는 몰딩부와, 상기 인쇄회로기판에서 몰딩되지 않은 부위의 랜드에 부착되는 솔더볼로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 비지에이 패키지.
KR2019980002377U 1998-02-23 1998-02-23 반도체 비지에이 패키지 KR200187482Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019980002377U KR200187482Y1 (ko) 1998-02-23 1998-02-23 반도체 비지에이 패키지

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019980002377U KR200187482Y1 (ko) 1998-02-23 1998-02-23 반도체 비지에이 패키지

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990036491U KR19990036491U (ko) 1999-09-27
KR200187482Y1 true KR200187482Y1 (ko) 2000-07-15

Family

ID=19532158

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019980002377U KR200187482Y1 (ko) 1998-02-23 1998-02-23 반도체 비지에이 패키지

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200187482Y1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990036491U (ko) 1999-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7618849B2 (en) Integrated circuit package with etched leadframe for package-on-package interconnects
CN100490140C (zh) 双规引线框
JP5598787B2 (ja) 積層型半導体装置の製造方法
US9130064B2 (en) Method for fabricating leadframe-based semiconductor package with connecting pads top and bottom surfaces of carrier
US11842948B2 (en) SMDs integration on QFN by 3D stacked solution
US6285086B1 (en) Semiconductor device and substrate for semiconductor device
US7105919B2 (en) Semiconductor package having ultra-thin thickness and method of manufacturing the same
KR101056747B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조 방법
US7579676B2 (en) Leadless leadframe implemented in a leadframe-based BGA package
US8592962B2 (en) Semiconductor device packages with protective layer and related methods
KR100475337B1 (ko) 고전력칩스케일패키지및그제조방법
KR20020080232A (ko) 베이스 배선 기판 및 그 제조방법과 반도체 장치 및 그제조방법
KR200187482Y1 (ko) 반도체 비지에이 패키지
JPH10256473A (ja) 半導体装置
KR100907730B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조 방법
KR100520443B1 (ko) 칩스케일패키지및그제조방법
JPH10256469A (ja) 半導体装置
KR100206969B1 (ko) 버텀 리드형 반도체 패키지 및 그 제조방법
KR19990065599A (ko) 반도체 패키지와 그 제조방법 및 그 적층방법
KR20050059791A (ko) 적층패키지의 제조방법
KR101319393B1 (ko) 멀티 칩이 실장된 기판의 제조방법 및 멀티 칩이 실장된기판
KR100355747B1 (ko) 반도체 패키지 및 이것의 제조방법
KR19990055508A (ko) 에리어 어레이 패키지 및 그 제조방법
KR20040045696A (ko) 반도체 패키지 제조 방법
KR19990057570A (ko) 비지에이 패키지 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110325

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee