KR200183072Y1

KR200183072Y1 - Wafer inspection apparatus

Info

Publication number: KR200183072Y1
Application number: KR2019970004036U
Authority: KR
Inventors: 신정근
Original assignee: 김광호; 삼성전자주식회사
Priority date: 1997-03-07
Filing date: 1997-03-07
Publication date: 2000-06-01
Also published as: KR19980060029U

Abstract

본 고안은, 웨이퍼의 표면검사를 위한 복수의 탐침이 장착된 프루브카드와, 상기 프루브카드의 지지를 위한 카드홀더를 갖는 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 상기 프루브카드의 판면방향을 따라 이동가능하며 상기 프루브카드의 측연에 접촉하는 조절가이드부재와, 상기 조절가이드부재를 상기 카드홀더에 고정하기 위한 고정부재를 갖는다. 이에 의해, 프루브카드의 이동을 방지하여 웨이퍼의 검사 정확도를 증대시킨 웨이퍼 검사장치가 제공된다.The present invention relates to a wafer inspection apparatus having a probe card equipped with a plurality of probes for inspecting a surface of a wafer, and a card holder for supporting the probe card, wherein the probe card is movable along the plate surface direction of the probe card. And an adjustment guide member in contact with the side edge of the probe card, and a fixing member for fixing the adjustment guide member to the card holder. This provides a wafer inspection apparatus which prevents the movement of a probe card and increases the inspection accuracy of the wafer.

Description

Wafer Inspection Device

본 고안은 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼를 검사하는 탐침을 갖는 프루브카드를 이용한 웨이퍼 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer inspection apparatus, and more particularly, to a wafer inspection apparatus using a probe card having a probe for inspecting a wafer.

고순도의 실리콘으로 제조되는 웨이퍼는, 산화, 도핑, 포토마스킹, 에칭등의 공정과정을 통해 회로를 형성하도록 가공된다. 가공을 마친 웨이퍼는 회로가 정상적으로 동작할 수 있는지를 확인하기 위해 전기적 기능의 검사과정을 거치게 된다. 이때, 웨이퍼는 웨이퍼 검사장치에 고정되어 회로의 입출력단자를 연결하는 탐침이 형성된 프루브카드에 의해 DC파라미터와 기능이 검사된다.Wafers made of high purity silicon are processed to form circuits through processes such as oxidation, doping, photomasking, and etching. Finished wafers are then inspected for electrical function to verify that the circuit can operate normally. At this time, the wafer is fixed to the wafer inspection apparatus and the DC parameters and functions are inspected by a probe card having a probe for connecting the input / output terminals of the circuit.

도 4는 종래의 웨이퍼 검사장치의 단면도이다. 웨이퍼 검사장치의 본체(100)내에는 웨이퍼(52)를 고정하는 척탑(59)이 설치되어 있으며, 척탑(59)은 웨이퍼(52)가 안착되도록 상부가 원판 형상으로 형성되어 있고, 웨이퍼(52)를 흡착고정하기 위한 다수의 흡입공(미도시)이 형성되어 있다.4 is a cross-sectional view of a conventional wafer inspection apparatus. In the main body 100 of the wafer inspection apparatus, a chuck tower 59 for fixing the wafer 52 is provided. The chuck tower 59 is formed in a disc shape at an upper portion thereof so that the wafer 52 is seated. ), A plurality of suction holes (not shown) are formed to secure the adsorption.

한편, 프루버카드(51)가 장착되는 원판형상의 카드홀더(53)는, 본체(100)의 상부에 설치되며, 본체(100)의 상부에는 카드홀더(53)가 안착되도록 안착부(61)가 형성되어 있다. 이에 따라, 카드홀더(53)에는 안착부(61)에 대응되는 플랜지부(54)가 안착부(61)를 따라 절곡되어 형성되어 있고, 카드홀더(53)의 중앙영역이 상호 대응하는 현을 이루도록, 플랜지부(54)의 내측이 반경방향 내측으로 연장되어 있다. 그리고, 상호 대응되는 내측단부는 하향절곡되어 장착부(56)를 형성하며, 장착부(56)의 말단은 반경방향 내측으로 돌출하여 프루브카드(51)가 안착되는 장착돌기(73)를 형성한다. 한편, 카드홀더(53)의 상면(55)에는, 상면(55)의 중앙영역에서부터 내측단부를 향해 연장되어 하향절곡된 ㄱ자 형상의 고정판(57)이 설치되어 있다. 카드홀더(53)의 상면(55)과 접하는 각 고정판(57)의 상부에는 고정판(57)을 고정시키키 위한 복수의 고정나사(58)가 설치되어 있다.On the other hand, the disk-shaped card holder 53, on which the probe card 51 is mounted, is installed on the upper part of the main body 100, and the seating portion 61 is mounted on the upper part of the main body 100 so that the card holder 53 is seated. ) Is formed. Accordingly, in the card holder 53, a flange portion 54 corresponding to the seating portion 61 is bent along the seating portion 61, and the center regions of the card holder 53 correspond to each other. To achieve this, the inside of the flange portion 54 extends radially inward. The inner ends corresponding to each other are bent downward to form a mounting portion 56, and the ends of the mounting portions 56 protrude radially inward to form mounting protrusions 73 on which the probe card 51 is seated. On the other hand, the upper surface 55 of the card holder 53 is provided with an L-shaped fixing plate 57 extending downward from the central region of the upper surface 55 toward the inner end portion. A plurality of fixing screws 58 for fixing the fixing plate 57 are provided on an upper portion of each fixing plate 57 in contact with the upper surface 55 of the card holder 53.

이러한 웨이퍼 검사장치는, 먼저 카드홀더(53)의 장착돌기(73)와 고정판(57) 사이로 프루브카드(51)를 판면방향으로 가압하여 장착하고, 고정판(57)의 고정나사(58)를 조여 프루브카드(51)가 카드홀더(53)에 고정되도록 한다. 그런 다음, 척탑(59)에 웨이퍼(52)를 안착시키고, 전원을 인가하면 웨이퍼(52)는 흡입공에서의 공기흡입에 의해 척탑(59)에 밀착고정되게 된다. 이렇게 웨이퍼(52)가 고정되면, 척탑(59)의 자동이동에 의해 프루브카드(51)의 탐침(60)이, 웨이퍼(52)의 판면에 형성된 회로의 입출력단자에 접촉하여 웨이퍼(52)의 전기적 기능을 검사하게 된다.In such a wafer inspection apparatus, first, the probe card 51 is mounted by pressing the probe card 51 in the plate direction between the mounting protrusion 73 and the fixing plate 57 of the card holder 53, and tightening the fixing screw 58 of the fixing plate 57. The probe card 51 is fixed to the card holder 53. Then, when the wafer 52 is seated on the chuck tower 59 and power is applied, the wafer 52 is fixed to the chuck tower 59 by air suction in the suction hole. When the wafer 52 is fixed in this manner, the probe 60 of the probe card 51 contacts the input / output terminal of the circuit formed on the plate surface of the wafer 52 by the automatic movement of the chuck tower 59. The electrical function is checked.

그런데, 이러한 종래의 웨이퍼 검사장치는, 프루브카드(51)를 카드홀더(53)에 장착할 때, 프루브카드(51)의 제작공정상 발생하는 프루브카드(51) 폭의 오차로 인하여, 프루브카드(51)가 카드홀더(53)에 밀착고정되지 못하여 프루브카드(51)가 좌우로 이동하는 경우가 발생하였다. 이에 따라, 탐침(60)의 위치가 이동하여 웨이퍼(52)의 입출력단자를 정확히 연결하지 못함으로써, 웨이퍼(52) 기능검사의 정확성이 저하되는 문제점이 발생하였다.By the way, in the conventional wafer inspection apparatus, when the probe card 51 is mounted on the card holder 53, the probe card 51 has an error in the width of the probe card 51 generated in the manufacturing process of the probe card 51. When the 51 was not fixed to the card holder 53, the probe card 51 moved left and right. As a result, the position of the probe 60 is moved so that the input and output terminals of the wafer 52 cannot be accurately connected, thereby causing a problem in that the accuracy of the functional inspection of the wafer 52 is lowered.

따라서 본 고안의 목적은, 프루브카드가 이동하지 아니하도록 하여 웨이퍼 검사의 정확성을 향상시킨 웨이퍼 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a wafer inspection apparatus which improves the accuracy of wafer inspection by preventing the probe card from moving.

도 1은 본 고안에 따른 웨이퍼 검사장치의 단면도,1 is a cross-sectional view of the wafer inspection apparatus according to the present invention,

도 2는 도 1의 요부 확대단면도,2 is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. 1;

도 3은 도 1의 저면도,3 is a bottom view of FIG. 1,

도 4는 종래의 웨이퍼 검사장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a conventional wafer inspection apparatus.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 프루브카드 2 : 웨이퍼1: probe card 2: wafer

3 : 카드홀더 4 : 플랜지부3: card holder 4: flange

5 : 상면 7 : 고정판5: upper surface 7: fixing plate

8 : 고정나사 9 : 척탑8: set screw 9: chuck tower

10 : 탐침 11 : 안착부10: probe 11: seating part

20 : 조절가이드부재 21 : 나사공20: adjustment guide member 21: screw hole

22 : 체결공 23 : 장착돌기22: fastener 23: mounting projection

상기 목적은, 본 고안에 따라, 웨이퍼의 표면검사를 위한 복수의 탐침이 장착된 프루브카드와, 상기 프루브카드의 지지를 위한 카드홀더를 갖는 웨이퍼 검사장치에 있어서, 상기 프루브카드의 판면방향을 따라 이동가능하며 상기 프루브카드의 측연에 접촉하는 조절가이드부재와, 상기 조절가이드부재를 상기 카드홀더에 고정하기 위한 고정부재를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사장치에 의해 제공된다.The above object is, according to the present invention, a wafer inspection apparatus having a probe card equipped with a plurality of probes for inspecting the surface of the wafer, and a card holder for supporting the probe card, according to the plate surface direction of the probe card. It is provided by a wafer inspection apparatus, characterized in that it has a movable guide member and a control member for contacting the side edge of the probe card, and a fixing member for fixing the control guide member to the card holder.

여기서, 상기 고정부재는 상기 카드홀더에 형성된 나사공에 체결가능한 고정볼트이며, 상기 조절가이드부재는 상기 고정부재의 관통을 위한 장공을 갖는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 고정부재는 상호 대항하여 적어도 한 쌍이 설치되어 있는 것이 바람직하다.Here, the fixing member is a fixing bolt that can be fastened to the screw hole formed in the card holder, the adjustment guide member preferably has a long hole for the penetration of the fixing member. In addition, the fixing member is preferably provided with at least one pair against each other.

이하, 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 고안에 따른 웨이퍼 검사장치의 단면도이고, 도 2는 도 1의 요부 확대단면도이고, 도 3은 도 1의 저면도이다. 웨이퍼 검사장치는, 본체(50)내에 웨이퍼(2)를 고정하는 원판 형상의 척탑(9)이 설치되어 있고, 본체(50)의 상부에는 웨이퍼(2)를 검사하는 탐침(10)이 부착된 프루브카드(1)가 장착되는 카드홀더(3)가 설치되어 있다. 척탑(9)의 판면에는 동심원을 이루는 그루브(미도시)가 형성되어 있으며, 그루브상에는 웨이퍼(2)를 흡착고정하기 위한 다수의 흡입공(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 판면에 수직으로 복수의 다리부(미도시)가 상하이동 가능하도록 설치되어 웨이퍼(2)가 안착되게 된다.1 is a cross-sectional view of a wafer inspection apparatus according to the present invention, Figure 2 is an enlarged cross-sectional view of the main portion of Figure 1, Figure 3 is a bottom view of FIG. The wafer inspection apparatus is provided with a disk-shaped chuck tower 9 for fixing the wafer 2 in the main body 50, and a probe 10 for inspecting the wafer 2 is attached to the upper part of the main body 50. The card holder 3 to which the probe card 1 is mounted is provided. Grooves (not shown) forming a concentric circle are formed on the plate surface of the chuck tower 9, and a plurality of suction holes (not shown) are formed on the grooves for adsorbing and fixing the wafer 2. Then, a plurality of legs (not shown) are installed vertically perpendicular to the plate surface so that the wafer 2 is seated.

한편, 본체(50) 상부에는 카드홀더(3)가 안착되는 안착부(11)가 형성되어 있으며, 원형을 이루는 카드홀더(3)의 연부에는 안착부(11)와 대응되도록 안착부(11)를 따라 절곡된 플랜지부(4)가 형성되어 있다. 그리고, 카드홀더(3)는 카드홀더(3)의 중앙영역이 상호 대응하는 현을 이루도록, 플랜지부(4)의 내측부가 반경방향 내측으로 연장되어 있다. 또한, 카드홀더(3)의 상면(5)에는, 상면(5)의 중앙영역에서부터 내측단부를 향해 연장되어 하향절곡된 ㄱ자 형상의 고정판(7)이 설치되어 있다. 이 고정판(7)의 카드홀더(3)의 상면(5)과 접하는 상부에는, 고정판(7)을 결합시키기 위한 복수의 고정나사(8)가 설치되어 있다. 한편, 상호 대응하는 상면(5)의 단부 하측에는 저면에서 상측을 향해 암나사부가 형성된 복수의 나사공(21)이 각각 형성되어 있고, 상면(5)의 연부영역의 저부에는 프루브카드(1)가 장착지지되는 조절가이드부재(20)가 설치되어 있다.On the other hand, the upper part of the main body 50 is formed with a seating portion 11 for mounting the card holder 3, the seating portion 11 so as to correspond to the seating portion 11 on the edge of the card holder (3) forming a circle The flange portion 4 bent along the side is formed. In the card holder 3, the inner portion of the flange portion 4 extends radially inward so that the center regions of the card holder 3 correspond to each other. In addition, an upper surface 5 of the card holder 3 is provided with an L-shaped fixing plate 7 extending downward from the central region of the upper surface 5 toward the inner end portion. A plurality of fixing screws 8 for engaging the fixing plate 7 are provided at an upper portion of the fixing plate 7 in contact with the upper surface 5 of the card holder 3. On the other hand, a plurality of threaded holes 21 each having a female threaded portion are formed below the end of the upper surface 5 corresponding to each other, and a probe card 1 is formed at the bottom of the edge region of the upper surface 5. The adjusting guide member 20 to be mounted is supported.

조절가이드부재(20)는 플랜지부(6)의 단부방향을 따라 긴 막대형상으로 형성되며, 조절가이드부재(20)의 말단에는 카드홀더(3)의 중앙을 향해 내측으로 돌출하여 프루브카드(1)가 안착되는 장착돌기(23)가 형성되어 있다. 그리고, 각 조절가이드부재(20)에는 상면(5)의 나사공(21)에 대응하는 복수의 체결공(22)이 형성되어 있고, 체결공(22)은 조절가이드부재(20)가 가로방향으로 소정의 폭만큼 이동가능하도록 나사공(21)의 지름보다 약간 크게 형성되어 있다. 또한, 체결공(22)은 나사의 머리부가 수용될 수 있도록 하부를 향한 입구영역이 소정 크게 형성되어 있다. 이 체결공(22)과 나사공(21)은 나사에 의해 고정되며, 이에 따라 조절가이드부재(20)가 카드홀더(3)에 결합되게 된다.The adjustment guide member 20 is formed in a long rod shape along the end direction of the flange portion 6, the protruding card (1) protrudes inward toward the center of the card holder (3) at the end of the adjustment guide member (20) Mounting protrusions 23 are formed. In addition, a plurality of fastening holes 22 corresponding to the screw holes 21 of the upper surface 5 are formed in each of the adjustment guide members 20, and the fastening holes 22 have the adjustment guide member 20 in the horizontal direction. It is formed slightly larger than the diameter of the screw hole 21 so as to be movable by a predetermined width. In addition, the fastening hole 22 is formed with a predetermined large inlet area toward the lower portion to accommodate the head of the screw. The fastening hole 22 and the screw hole 21 are fixed by a screw, so that the adjustment guide member 20 is coupled to the card holder (3).

이러한 구성에 의하여, 조절가이드부재(20)의 장착돌기(23)에 프루브카드(51)를 판면 방향을 따라 가압하여 장착한 다음, 조절가이드부재(20)의 나사를 약간 풀어서 조절가이드부재(20)가 프루브카드(1)의 측연에 밀접하게 접촉하도록 이동시키고 다시 나사를 조인다. 그리고, 프루브카드(1)의 상측 연부에 접하는 고정판(7)의 고정나사(8)를 조여 프루브카드(1)가 고정되도록 한다. 그런 다음, 척탑(9)의 다리부에 웨이퍼(2)를 안착시키고, 전원을 인가하면 다리부가 하향이동하여 판면에 웨이퍼(2)가 접촉하게 된다. 이때, 판면의 흡입공을 통해 공기가 흡입되어 웨이퍼(2)가 판면에 밀착되어 고정된다. 웨이퍼(2)가 판면에 고정되면 탐침(10)의 접촉에 의해 웨이퍼(2)의 회로를 검사할 수 있도록 척탑(9)이 자동적으로 이동하게 된다.By this configuration, the probe card 51 is mounted to the mounting protrusion 23 of the adjustment guide member 20 along the plate direction, and then the screw of the adjustment guide member 20 is slightly loosened to adjust the adjustment guide member 20. ) Is moved in close contact with the side edge of the probe card (1) and tighten the screw again. Then, the probe card 1 is fixed by tightening the fixing screw 8 of the fixing plate 7 in contact with the upper edge of the probe card 1. Then, the wafer 2 is seated on the leg of the chuck tower 9, and when the power is applied, the leg moves downward so that the wafer 2 comes into contact with the plate surface. At this time, air is sucked through the suction hole of the plate surface, and the wafer 2 is tightly fixed to the plate surface. When the wafer 2 is fixed to the plate surface, the chuck tower 9 is automatically moved so that the circuit of the wafer 2 can be inspected by the contact of the probe 10.

이에 의해, 웨이퍼 검사장치에서 카드홀더(3)에 프루브카드(1)를 장착할 때, 프루브카드(1)의 폭에 따라 조절가이드부재(20)를 조절하여 프루브카드(1)를 카드홀더(3)에 밀착시킬 수 있게 된다. 따라서, 웨이퍼의 기능검사시, 제작공정상 발생하는 프루브카드(1)의 폭 오차로 인하여 프루브카드(1)가 이동하는 것을 방지할 수 있다.As a result, when the probe card 1 is mounted on the card holder 3 in the wafer inspection apparatus, the adjustment guide member 20 is adjusted according to the width of the probe card 1 so that the probe card 1 is moved to the card holder ( 3) can be in close contact. Therefore, during the functional inspection of the wafer, the probe card 1 can be prevented from moving due to the width error of the probe card 1 generated in the manufacturing process.

상술 및 도시한 실시예에서는, 카드홀더(3)의 상면(5)의 양측 하부에 조절가이드부재(20)를 설치하였으나, 상면(5)의 일측 하부에만 조절가이드부재(20)를 설치하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 조절가이드부재(20)에 형성된 체결공(22)의 지름을 나사공(21)보다 약간 크게 형성하였으나, 체결공(22)을 조절가이드부재(20)의 가로방향으로 긴 장공으로 형성하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다.In the above-described and illustrated embodiment, the adjustment guide member 20 is installed on both lower sides of the upper surface 5 of the card holder 3, but the adjustment guide member 20 is provided only on one lower side of the upper surface 5. The same effect can be obtained. In addition, although the diameter of the fastening hole 22 formed in the adjustment guide member 20 is slightly larger than that of the screw hole 21, the fastening hole 22 is formed as a long long hole in the horizontal direction of the adjustment guide member 20 by The same effect can be obtained.

이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따르면, 프루브카드의 이동을 방지하여 웨이퍼의 검사정확도를 증대시킨 웨이퍼 검사장치가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a wafer inspection apparatus in which the movement of the probe card is prevented to increase the inspection accuracy of the wafer.

Claims

In a wafer inspection apparatus having a probe card equipped with a plurality of probes for inspecting the surface of a wafer, and a card holder for supporting the probe card,

A long hole is formed through the fixing bolt to be fixed to the card holder to be accessible and spaced apart from the probe card, characterized in that it comprises an adjustment guide member for supporting the probe card in contact with the side edge of the probe card Wafer Inspection Device.

The method of claim 1,

And at least one pair of the adjustment guide member and the fixing member are provided to face each other.