KR200179418Y1 - 반도체패캐이지 - Google Patents
반도체패캐이지 Download PDFInfo
- Publication number
- KR200179418Y1 KR200179418Y1 KR2019970017180U KR19970017180U KR200179418Y1 KR 200179418 Y1 KR200179418 Y1 KR 200179418Y1 KR 2019970017180 U KR2019970017180 U KR 2019970017180U KR 19970017180 U KR19970017180 U KR 19970017180U KR 200179418 Y1 KR200179418 Y1 KR 200179418Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- package
- chip
- semiconductor package
- via hole
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 16
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 6
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 3
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/484—Connecting portions
- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
- H01L2224/48465—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
1. 청구범위에 기재된 고안이 속한 기술분야
본 고안은 반도체 패캐이지에 관한 것으로서, 특히 소자의 전기적 특성을 향상시키고 소자의 크기를 최소화할 수 있는 반도체 패캐이지에 관한 것이다.
2. 고안이 해결하고자 하는 기술적 과제
리드 프레임의 형성 높이와 성형제로 형성된 패캐이지의 바디(body) 높이로 인하여 패캐이지의 두께를 낮출 수 없어 소자의 크기를 증가시키는 문제점을 해결하기 위함.
3. 고안의 해결의 요지
본 고안은 기판의 비아 홀에 금속패턴을 형성하여 비아 홀을 외부리드로 사용한 것을 요지로 한다.
4. 고안의 중요한 용도
본 고안은 반도체 패캐이지의 소형화에 이용된다.
Description
본 고안은 반도체 패캐이지에 관한 것으로서, 특히 그 크기를 최소화할 수 있는 반도체 패캐이지에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 외부와의 신호경로 로서 리드(lead) 또는 볼(ball)상을 이용하게 되며, 리드를 이용한 일반적인 패캐이지와 볼을 이용한 패캐이지를 설명하면 다음과 같다.
도 1(a)는 리드 프레임을 이용하여 구성된 일반적인 패캐이지의 단면도로서, 패캐이지를 제조하기 위해서는 먼저 리드 프레임의 패드(11) 표면에 칩(10)을 부착시킨 후 칩(10)과 리드 프레임의 각 내측 리드(12a)를 와이어(13)로 연결하는 와이어 본딩(wire bonding) 공정을 실시하게 된다. 와이어 본딩 공정 이후 리드 프레임 상하부에 성형제(14)를 형성하는 몰딩공정을 실시하게 되며, 몰딩공정 이후 성형제(14) 외부로 노출된 외측리드(12b)에 대한 트리밍(trimming) 공정 및 기판으로의 실장을 위하여 외측 리드(12b)를 절곡하는 포밍(forming)공정을 실시하므로서 패캐이지가 완성된다.
도 1(b)는 일반적인 볼 그리드 어레이 패캐이지(ball grid array package; 이하 편의상 "BGA 패캐이지"라 칭함)의 단면도로서, 다수의 리드들이 칩과 회로기판과의 전기적 연결기능을 수행하는 패캐이지와는 달리 패턴 형성된 기판(1)상에 칩(2)을 부착시킨 후 칩(2)과 기판(1)상의 접점이 와이어(3)로 연결된 구성을 가지고 있다. 그리고 기판(1) 하부에는 패턴의 각 접점과 연결되어 전기적으로 통하는 다수의 솔더 볼(4)이 고정되어 있으며, 기판(1)의 상부에는 칩(2) 및 와이어(3)의 보호를 위한 성형제(5)가 몰딩된다.
그러나 상기와 같은 구성을 갖는 패캐이지는 리드 프레임의 형성 높이와 성형제로 형성된 패캐이지(도 1a)의 바디(body) 높이로 인하여 패캐이지의 두께를 낮추는데 제약적 요소가 된다. 또한 와이어(13 및 3)의 높이로 인하여 성형제(14 및 5)는 어느정도 높이를 가져야 한다. 따라서 기판에 실장했을때 시스템의 크기를 크게 하는 요소가 되고, 소형 경박화(輕薄化)에 적합하지 않다.
따라서, 본 고안은 전기적 특성이 향상되고 제품의 두께를 얇게하여 실장할수 있는 반도체 패캐이지를 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반도체 패캐이지는 금속으로 도금된 비아 홀이 형성되고, 상기 비아 홀과 연결된 회로 패턴이 형성된 기판과, 상기 기판의 일 면에 부착되며, 상부에 범프를 가지는 칩과, 상기 칩의 범프와 상기 기판의 회로패턴을 연결하는 와이어와, 상기 칩 측면에 형성되는 댐과, 상기 칩의 상부에 형성되는 인캡슐레이션으로 구성된 것을 특징으로 한다.
도 1(a) 및 도 1(b)는 일반적인 패캐이지의 단면도.
도 2는 본 고안에 이용된 반도체 기판의 정면도.
도 3(a) 내지 3(c)는 본 고안의 기판이 완성되는 단계를 나타낸 평면도.
도 4(a) 및 4(b)는 본 고안에 의하여 완성된 패캐이지의 단면도.
도 4(c)는 본 고안의 일부 사시도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1, 1a : 기판 1b : 비아 홀
1c : 상부 구리패턴 1d : 하부 구리패턴
1e : 폴리마이드층
2, 2a, 10: 칩 11: 패드
12a : 내측리드 12b : 외측리드
13 : 와이어 14 : 성형제
15 : 인캡슐레이션(encapsulation) 17 : 댐(dam)
30 : 포지셔닝 홀(positioning hole) 32 : 라우팅 라인
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.
도 2은 본 고안에 이용된 반도체 기판의 정면도로서, 기판(1a)의 구조는 일반적인 기판의 구조와 동일하나, 폴리마이드층(1e) 상의 회로패턴이 형성될 상부 구리(copper)패턴(1c)은 1/2oz(17.5㎛)의 두께로 형성하고, 폴리마이드층(1e) 저부의 하부 구리패턴(1d)은 1-2oz(35-70㎛)의 두께로 형성한다. 이와 같은 양면 기판의 상부 구리패턴(1c)과 하부 구리패턴(1d)의 두께는 일반적인 기판보다 두껍게 형성된다. 구리 패턴을 두껍게 형성하는 이유는 패캐이지를 실장할 경우에 이 부분을 외부리드로 이용하기 위한 것이다. 상기와 같이 상 하부에 구리패턴을 형성한 다음에는 상부 구리패턴(1c) 상에 회로 패턴을 형성한다.
도 3a는 기판상에 비아 홀(1b)을 보이는 도면이고, 도 3b는 밀링가공한 도면이며, 도 3c는 도 3b를 라우팅(roughting)한 도면이다. 우선 기판상에 비아(via)홀(1b)을 가공한다. 이후 비아홀(1b)과 비아홀(1b)사이를 밀링(milling)가공하여 하나로 연결하고, 연결된 비아 홀을 금속으로 도금한다. 도금이 완료된 후에는 개별 제품화 시에 필요한 절단라인을 기판에 라우팅 한다. 라우팅이라 함은 패캐이지를 완성한 후에, 기판상에 실장하기 위하여 패캐이지의 크기에 맞추어 라우팅 라인(32:절단라인)을 형성하는 것을 뜻한다. 절단라인은 손으로도 손쉽게 절단될 정도로 형성되어 있다. 포지셔닝 홀(30:positioning hole)은 각 유니트의 모서리에 위치하여 트리밍이 용이하게 하며, 마스크 얼라이먼트 등 위치 설정에 필요하다.
도 4a는 도 3c와 같이 형성된 기판상에 접착제를 이용하여 칩(2a)을 부착하고 칩(2a)의 상부에 범프(2b)를 형성한다. 이후 범프(2b)와 기판상부의 구리 패턴(1c)을 와이어(13)를 이용하여 연결하는 와이어 본딩 공정을 실시하게 된다. 와이어 본딩 공정 이후 칩(2a)과 와이어(13)를 보호하기 위하여 인캡슐레이션(15:encapsulation)을 형성하게 된다. 인캡슐레이션을 형성한 이후 인캡슐레이션과 기판이 접하는 부분에 댐(17:dam)을 형성하여 인캡슐레이션이 누설되는 것을 방지한다.
도 4b는 도 4a의 A부분을 확대한 도면으로서, 와이어(13)가 기판상부 구리 패턴(1c)과 연결되어 있으며, 상부 구리 패턴(1c)과 비아 홀(1b)에 형성되어 있는 금속패턴 그리고 기판하부 구리 패턴(1d)이 모두 연결되어 전기적으로 통하고 있음을 보여주고 있다. 여기서, 비아 홀(1b)에 형성되어 있는 금속 패턴은 칩과 외부가 전기적으로 통하도록 하는 외부리드의 역할을 하고 있음을 보여주고 있다. 도 4c는 본 고안의 일부 사시도로서, 인캡슐레이션(15), 댐(17), 비아 홀(1b)에 형성된 금속패턴을 도시하고 있다.
상술한 바와 같이 본 고안은 기판상의 비아 홀에 금속패턴을 형성하여 외부리드로 사용하므로서, 다음과 같은 우수한 효과가 있다.
첫째, 외부리드를 사용하지 않으므로 신호경로가 짧아지게 되고 전기적 특성이 향상된다. 또한 양면기판을 사용하므로서 원가절감의 효과를 거둘수 있다.
둘째, 패캐이지의 두께를 얇게하므로서 패캐이지의 박형화에 기여하며, 이에 따라, 칩사이즈 패캐이지(chip size package)의 제작이 용이해 지게 된다.
Claims (3)
- 금속으로 도금된 비아 홀이 형성되고, 상기 비아 홀과 연결된 회로 패턴이 형성된 기판과,상기 기판의 일 면에 부착되며, 상부에 범프를 가지는 칩과,상기 칩의 범프와 상기 기판의 회로패턴을 연결하는 와이어와,상기 칩 측면에 형성되는 댐과,상기 칩의 상부에 형성되는 인캡슐레이션으로 구성된 것을 특징으로 하는 패캐이지.
- 제 1항에 있어서, 상기 기판은 상 하부에 구리패턴이 형성되어 있는 양면기판인 것을 특징으로 하는 반도체 패캐이지.
- 제 1항에 있어서, 상기 기판의 상부 구리패턴은 1/2 oz(17.5??m)의 두께로 형성하고, 상기 하부 구리패턴은 1-2 oz(35-70??m)의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 패캐이지.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019970017180U KR200179418Y1 (ko) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 반도체패캐이지 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019970017180U KR200179418Y1 (ko) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 반도체패캐이지 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR19990003582U KR19990003582U (ko) | 1999-01-25 |
KR200179418Y1 true KR200179418Y1 (ko) | 2000-05-01 |
Family
ID=19504871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2019970017180U KR200179418Y1 (ko) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 반도체패캐이지 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR200179418Y1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101366418B1 (ko) * | 2012-04-25 | 2014-02-25 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 디바이스 |
-
1997
- 1997-06-30 KR KR2019970017180U patent/KR200179418Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR19990003582U (ko) | 1999-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6489182B2 (en) | Method of fabricating a wire arrayed chip size package | |
KR100294719B1 (ko) | 수지밀봉형 반도체장치 및 그 제조방법, 리드프레임 | |
JP5135493B2 (ja) | 集積回路パッケージ | |
US20040136123A1 (en) | Circuit devices and method for manufacturing the same | |
JP2002158312A (ja) | 3次元実装用半導体パッケージ、その製造方法、および半導体装置 | |
KR20020062820A (ko) | 적층된 다수개의 칩모듈 구조를 가진 반도체장치 | |
KR20000070837A (ko) | 수지봉입형 반도체장치 및 그 제조방법 | |
US6483187B1 (en) | Heat-spread substrate | |
KR20040040348A (ko) | 회로 장치, 회로 모듈 및 회로 장치의 제조 방법 | |
JP3660663B2 (ja) | チップパッケージの製造方法 | |
JPH10335337A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR0179802B1 (ko) | 반도체 패키지 | |
JP2004207276A (ja) | 回路装置およびその製造方法 | |
KR100649878B1 (ko) | 반도체 패키지 | |
KR100658120B1 (ko) | 필름 기판을 사용한 반도체 장치 제조 방법 | |
JPH08306817A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
KR200179418Y1 (ko) | 반도체패캐이지 | |
JP2005079365A (ja) | 基板フレーム及びこれを用いた半導体装置の製造方法 | |
KR20000043575A (ko) | 캐패시터 내장형 칩 사이즈 패키지 및 그의 제조방법 | |
JPH1070211A (ja) | テープキャリア及びその製造方法 | |
KR100320447B1 (ko) | 반도체 패키지의 제조방법 | |
JP2652222B2 (ja) | 電子部品搭載用基板 | |
JPH10150065A (ja) | チップサイズパッケージ | |
KR200159861Y1 (ko) | 반도체 패키지 | |
KR100427541B1 (ko) | 패턴 필름 제조 방법 및 이를 이용한 칩 모듈 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
REGI | Registration of establishment | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20050124 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |