KR200177308Y1 - 반도체의 타블렛 공급장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체의 타블렛 공급장치에 관한 것으로, 종래에는 이동중이나 보관중에깨진 불량 타블렛이 걸러지지 않고 몰딩장치까지 이송되어 미충진을 발생시키는 문제점이 있었던바, 본 고안의 반도체의 타블렛 공급장치는 타블렛 이송 경로에 불량 타블렛을 걸러낼 수 있도록 그물망 경사면과 디지탈 미터 게이지 등을 설치하여 반도체 칩 몰딩 공정에서 타블렛의 깨짐 현상에 따른 불량 타블렛의 로딩으로 발생하는 미충진을 방지하도록 한 것이다.

Description

반도체의 타블렛 공급장치

본 고안은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 어셈블리 공정 중 칩 몰딩 공정에서 사용되는 타블렛 공급장치에 관한 것이다.

반도체의 몰딩 장비에서, 몰딩 공정이 진행되는 몰딩 프레스(molding press) 장치에 타블렛과 칩을 이송시키기 위한 로더 유니트(loader unit)에 타블렛을 자동으로 이송시키는 장치가 타블렛 유니트(tablet unit)이다.

종래의 타블렛 유니트는, 도 1에 도시한 바와 같이, 타블렛이 저장된 타블렛 박스(tablet box)(미도시)에서 타블렛을 타블렛 유니트(10)에 옮겨주는 타블렛 스토커(tablet stocker)(4)가 설치되어 있고, 이 타블렛 스토커(4)의 하부에는 타블렛을 진동에 의해 이송시키는 호퍼(hopper)(6)가 설치되어 있다.

이 호퍼(6)의 일측에는 타블렛을 보울 피더(bowl feeder)(1)로 이송시키도록 경사판(2)이 설치되어 있고, 이 보울 피더(1)에는 타블렛이 이송되는 경로가 되는 타블렛 이송 경로(7)가 연결되어 있다.

이 타블렛 이송 경로(7)의 끝단에는 피딩된 타블렛이 로더 유니트(미도시)에 장착될 수 있도록 타블렛을 일정한 형태로 구별해서 셋팅(setting)하는 타블렛 홀더 블록(3)이 설치되어 있다.

이 타블렛 홀더 블록(3)의 전면에는 타블렛의 투입을 감지하는 광 센서(미도시)가 설치되어 있다.

로더 유니트는 이송된 타블렛과 칩이 부착된 리드 프레임을 금형에 이송시켜 몰딩 작업을 실시하는 장치이다.

상기와 같은 구성의 반도체의 타블렛 공급장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

작업자가 타블렛 스토커(4)를 열면 타블렛이 호퍼(6)로 떨어진 후 상기 호퍼(6)의 진동에 의해 상기 경사판(2)을 거쳐 보울 피더(1)로 이송된다.

상기 보울 피더(1)로 떨어진 타블렛은 진동에 의해 피딩 경로(7)를 따라 열을 지어 움직이면서 이송된다.

상기와 같이 피딩 경로(7)를 따라 타블렛이 계속 움직이면서 일정 위치에 도달하면 스토퍼(미도시)에 의해 멈춘 후 트랜스퍼(transfer)(8)에 의해 타블렛을 수직으로 집어 타블렛 홀더 블록(3)에 넣어주게 된다.

이때, 타블렛의 높이를 일정 높이로 셋팅한 광 센서가 타블렛의 높이를 감지한 후 패스(pass)와 리젝트(reject)를 실시하게 된다.

이때, 리젝트된 타블렛은 타블렛 리젝트 박스(9)로 보내진다.

광 센서의 감지에 의해 통과된 타블렛은 타블렛 홀더 블록(3)으로 이송되고, 로더 유니트에 타블렛을 연결이송하면 타블렛 유니트의 사이클이 완료하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 반도체의 타블렛 공급장치는 상기 타블렛 박스에서 타블렛 스토커(4)에 타블렛을 배분하거나 호퍼(6)에서 타블렛이 경사판(2)을 따라 보울 피더(1)로 떨어지는 과정에서 충격에 의해 타블렛이 깨지는 현상이 발생하였다.

첨부한 도 2a 내지 도 2d는 불량 타블렛의 유형을 도시한 사시도로서, 이와 같이 깨진 타블렛이 계속 이동하여 타블렛 이송 경로(7)를 지나게 되고 상기 광 센서에 의해 걸러지지 않으면 그대로 로더 유니트에 이송되어 몰딩 공정에서의 미충진이 발생하는 문제점이 있었다.

상기 광 센서는 일정하게 셋팅된 타블렛의 높이를 감지하는 것이므로 여러 가지 형상으로 깨진 타블렛을 모두 걸러낼 수 없는 문제점이 있었다.

또한, 깨진 타블렛은 분진가루를 만들게 되고, 이 분진은 타블렛 유니트에 그대로 유입되어 로딩성을 저하시키는 문제점이 있었던바, 이에 대한 보완이 요구되어 왔다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 반도체 칩 몰딩 공정에서 타블렛의 깨짐 현상에 따른 불량 타블렛을 제거하여 미충진을 방지하도록 하는 반도체의 타블렛 공급장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 타블렛을 공급하는 타블렛 유니트를 개략적으로 도시한 사시도.

도 2a 내지 도 2d는 불량 타블렛의 유형을 도시한 사시도.

도 3은 본 고안의 스토퍼와 디지탈 미터 게이지를 이용하여 타블렛의 크기를 체크하는 방법을 개념적으로 도시한 개략도.

도 4는 종래의 타블렛 이송 경로를 도시한 사시도.

도 5는 본 고안의 터닝 블록이 형성된 타블렛 이송 경로를 도시한 사시도.

도 6은 종래의 타블렛이 장착되는 로더 유니트의 일부분을 도시한 종단면도.

도 7은 본 고안에 따른 로더 유니트의 핀 실린더를 도시한 종단면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

11; 제1 스토퍼 12; 디지탈 미터 게이지

13; 터닝 블록 20; 핀 실린더

21; 스프링 22; 피스톤

23,24,25; 센서 50; 푸셔

100; 타블렛

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 타블렛을 이송시키는 타블렛 이송 경로가 설치된 타블렛 공급장치에 있어서; 상기 타블렛 이송 경로에는 작은 크기의 타블렛을 제거할 수 있는 그물망 형상의 구간이 일부 형성되고, 타블렛의 이송을 중단시키는 스토퍼가 설치되고, 이 스토퍼에 의해 멈춘 타블렛의 크기를 측정할 수 있는 디지탈 미터 게이지가 설치되고, 이송되는 타블렛을 일정각도로 회전시킬 수 있는 터닝 블록이 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체의 타블렛 공급장치가 제공된다.

이하, 본 고안의 반도체의 타블렛 공급장치를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안의 반도체의 타블렛 공급장치의 전체적인 구성은 종래의 기술과 동일하며, 호퍼에서 보울 피더로 타블렛을 이송시키는 경사판은 작은 크기로 깨진 타블렛을 이송경로에서 제거하도록 작은 크기의 타블렛이 빠질 수 있는 그물망 형상으로 되어 있다.

그물망 밑에는 떨어진 타블렛을 받치는 받침대가 설치되어 있다.

본 고안의 보울 피더를 거쳐 이송되는 타블렛 이송 경로에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 타블렛의 이송을 잠시 중단시키는 제1 스토퍼(11)가 설치되어 있고, 이 제1 스토퍼(11)의 맞은 편에는 타블렛(100)이 스토퍼(11)와 접했을 때 평균 타블렛 길이와의 차이를 검사하는 디지탈 미터 게이지(12)가 설치되어 있다.

상기 제1 스토퍼(11)의 주위에는 상기 디지탈 미터 게이지(12)가 타블렛(100)의 크기를 점검할 수 있도록 상하로 2개의 센서(미도시)가 설치되어 있다.

이 디지탈 미터 게이지(12)의 검사에 의해 타블렛(100)은 패스(pass)와 리젝트(reject)를 결정된다.

상기 스토퍼(11)를 통과한 타블렛(100)은 타블렛 이송 경로를 따라 계속 이송되고, 이 타블렛 이송 경로에는 이송되는 타블렛(100)을 90°로 회전시킬 수 있는 터닝 블록(turning block)이 설치되어 있다.

첨부한 도 5는 본 고안의 터닝 블록이 설치된 타블렛 이송 경로를 도시한 사시도로서, 이 터닝 블록(13)의 후부에는 90°로 회전된 타블렛의 크기를 감지하도록 제2 스토퍼(미도시)와 디지탈 미터 게이지(미도시)가 설치되어 있다.

한편, 본 고안의 로더 유니트는 타블렛 홀더 블록에서 이송된 타블렛의 크기를 재감지하도록 하는 핀 실린더가 설치되어 있다.

첨부한 도 7은 본 고안에 따른 로더 유니트의 핀 실린더를 도시한 종단면도로서, 상기 핀 실린더(20)는 타블렛 홀더 블록(3)으로부터 유입된 타블렛(100)의 크기를 감지할 수 있도록 스프링(21)에 지지되는 피스톤(22)이 내부에 삽입되어 있고, 실린더(20)의 벽면에는 일정한 간격을 두고 다수개의 센서(23)(24)(25)가 설치되어 있다.

도면중 미설명부호 50은 타블렛(100)을 밀어주는 푸셔이다.

상기와 같은 구성의 반도체의 타블렛 공급장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

통상적으로 깨진 타블렛은, 도 2a 내지 도 2d에 도시한 바와 같이, 4개의 유형으로 구분될 수 있는데, 본 고안의 반도체의 타블렛 공급장치는 호퍼에서 보울 피더로 타블렛을 이송시키는 경사판이 그물망 구조로 되어 있기 때문에, 이 경사판을 지나면서 타블렛 박스 및 스토커에서 깨진 타블렛과 타블렛 미세 가루가 경사판을 통과하지 못하고 떨어지게 되어 1차적으로 불량 타블렛을 거를 수 있게 된다.

상기 경사판 밑에는 받침대가 설치되어 있으므로 그물망 밑으로 떨어진 타블렛은 상기 받침대에 모아지게 되어 도 2a에 도시한 형상의 타블렛을 제거할 수 있게 된다.

이 경사판을 통과하여 보울 피더로 계속 이송되는 타블렛(100)은 제1 스토퍼(11)에 걸리게 되고 타블렛(100)이 제1 스토퍼(11)에 도착하면 스토퍼(11) 부분에 상하로 설치된 2개의 센서가 동시에 온(on)되어 상기 디지탈 미터 게이지(12)에 의해 그 크기가 검사되는데, 보통의 크기보다 작은 도 2b에 도시한 형상의 타블렛은 이 디지탈 미터 게이지(12)에 의해 리젝트된다.

이후 타블렛(100)은 터닝 블록(13)을 통과하게 된다.

종래의 타블렛 이송 경로는, 도 4에 도시한 바와 같이, 타블렛(100)이 전면으로 이송되도록 타블렛의 형상에 맞는 반원의 형상으로 되어 있었으나, 본 고안의 터닝 블록은, 도 5에 도시한 바와 같이, 타블렛이 전면으로 이송되면서 회전할 수 있도록 진행 방향에서 일정한 각도로 절곡된 형상이다.

따라서, 타블렛은 이 터닝 블록(13)을 통과하면서 약 90°로 회전하게 되고, 이어 제2 스토퍼에 장착된 센서를 동시에 온(on)시킨 후 디지탈 미터 게이지로 검사되어 패스(pass)와 리젝트(reject)를 재실시한다.

이때, 도 2c에 도시한 형상의 타블렛이 제거되며, 본 고안은 2단계의 디지탈 미터 게이지를 통하여 다양한 형태의 불량 타블렛을 제거하게 된다.

이후 타블렛 홀더 블록에 타블렛이 셋팅 되기전 타블렛이 타블렛 홀더 블록에 들어가는지 판별하도록 하는 광 센서에 의해 재감지된다.

만일 타블렛을 이송시켰는데도 타블렛이 감지되지 않으면 다시 타블렛을 밀어 넣는 동작이 반복된다.

셋팅된 타블렛은 로더 유니트에 이송되고, 로더 유니트에 설치되어 있는 핀 실린더(20)에 투입된다.

첨부한 도 6은 종래의 타블렛이 장착되는 로더 유니트의 일부분을 도시한 종단면도로서, 타블렛 홀더 블록(3)에서 로더 유니트(40)로 타블렛(100)을 밀어주는 푸셔(50)가 설치되어 있었으나, 본 고안의 로더 유니트에는 핀 실린더(20)가 설치되어 있어서, 타블렛(100)이 핀 실린더(20)에 투입되면 내부의 피스톤(22)을 밀게 되고, 이 피스톤(22)은 스프링(21)의 지지를 받으면서 상승하여 상기 상기 실린더(20) 벽면에 설치된 센서(23)(24)(25)에 의해 감지된다.

이때 보통의 타블렛 크기보다 큰 타블렛이 감지되면 제1 센서(23)가 오프(off)되거나 제2 센서(24)가 온(on)되고, 이 경우 셋팅된 모든 타블렛을 리젝트 시킨 후 타블렛 홀더로부터 재공급받는다.

본 고안의 반도체의 타블렛 공급장치에 의하면 타블렛 분진 및 미소 알갱이의 깨진 타블렛을 제거하여 보울 피더 상에 타블렛 피딩 능력을 향상시킨다.

또한, 타블렛이 2중으로 들어간 경우를 방지하고 깨진 타블렛이 로더 유니트에 공급되는 것을 방지하므로 미충진을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 타블렛을 이송시키는 타블렛 이송 경로가 설치된 타블렛 공급장치에 있어서; 상기 타블렛 이송 경로에는 작은 크기의 타블렛을 제거할 수 있는 그물망 형상의 구간이 일부 형성되고, 타블렛의 이송을 중단시키는 스토퍼가 설치되고, 이 스토퍼에 의해 멈춘 타블렛의 크기를 측정할 수 있는 디지탈 미터 게이지가 설치되고, 이송되는 타블렛을 일정각도로 회전시킬 수 있는 터닝 블록이 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체의 타블렛 공급장치.