KR200173009Y1

KR200173009Y1 - 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버

Info

Publication number: KR200173009Y1
Application number: KR2019970032738U
Authority: KR
Inventors: 우종식
Original assignee: 김영환; 현대반도체주식회사
Priority date: 1997-11-19
Filing date: 1997-11-19
Publication date: 2000-03-02
Also published as: KR19990019399U

Abstract

본 고안은 웨이퍼 스크러버의 척에 웨이퍼를 장착하기 위한 에어실린더를 형성하여 에어의 작용에 의하여 웨이퍼를 흡착 및 탈착하는 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버에 관한 것으로 종래의 웨이퍼 스크러버는 힘을 균일하게 조절하기 어려운 스프링을 사용하여 가이드 턱을 압착하므로 스프링의 압축력이 크면 웨이퍼가 가이드 턱과 결합된 부위에 집중적으로 힘이 가해져 웨이퍼가 파손되거나 반대로 스프링의 압축력이 적으면 척이 고속으로 회전하는 도중 가이드 턱에서 웨이퍼가 이탈되어 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있었던바 본 고안은 힘의 조절이 용이한 에어 실린더를 사용하여 웨이퍼를 척에 고정하는 힘을 적절하게 유지하므로써 웨이퍼의 탈착시 발생하는 웨이퍼의 손상을 방지하는 한편 고속회전을 가능케하여 불순물 및 파티클 제거를 향상시키는 잇점이 있는 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버이다.

Description

반도체 제조용 웨이퍼 스크러버

본 고안은 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버(Scrubber)에 관한 것으로 더욱 상세하게는 웨이퍼 스크러버의 척에 웨이퍼를 장착하기 위한 에어실린더를 형성하여 에어의 작용에 의하여 웨이퍼를 흡착 및 탈착하는 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버에 관한 것이다.

일반적으로 양질의 웨이퍼를 생산하기 위해서는 웨이퍼의 각 제조 공정 전·후에 웨이퍼의 표면에 잔류하는 불순물이나 파티클을 제거하는 작업이 선행되어야 한다.

이와같이 웨이퍼를 세정하기 위한 장비로 웨이퍼 스크러버가 사용된다.

종래의 웨이퍼 스크러버는 도 1에서 도시된 바와같이 웨이퍼(3)를 상부면에 안착하는 척(1)과, 상기 척(1)의 외주연에 수직으로 형성되어 웨이퍼(3)의 테두리면과 상호 면접되는 가이드 턱(5)과, 상기 척(1)의 내부 중심에 일측단이 연결되고 타측단은 상기 가이드 턱(5)에 연결되어 탄지하는 스프링(7)과, 상기 척(1)의 저면에 형성되어 질소가스를 분사하는 질소가스관(9)과, 상기 척(1)을 지지하며 모터(13)에 의하여 일정한 속도로 회전하는 중심축(11)과, 상기 척(1)의 상부면에 위치하여 탈이온수를 웨이퍼(3)에 분사하는 노즐(15)로 구성된다.

상기와 같은 종래의 웨이퍼 스크러버는 도면에서 도시된 바와같이 척(1)의 상부면에 웨이퍼(3)를 안착하여 양측단의 가이드 턱(5) 내측면과 상기 웨이퍼(3)의 테두리가 상호 맞물린 상태에서 고정시킨다.

이때 상기 가이드 턱(5)은 내측으로 압축되는 스프링(7)에 의하여 탄지되어 웨이퍼(3) 테두리에 일정한 압력을 가하므로써 척(1)에 웨이퍼(3)를 고정시킨다.

이렇게 척(1)에 웨이퍼(3)가 장착된 상태에서 척(1)의 중심축(11)에 연결된 모터(13)를 작동시켜 척(1)을 일정한 속도로 회전시키고 이러한 상태에서 상기 척(1)의 상부에 위치한 노즐(15)을 통하여 탈이온수를 분사하여 웨이퍼(3)를 세정한다.

웨이퍼(3)가 세정된 후에는 상기 척(1)의 저부에 형성된 질소가스관(9)에서 질소를 분사하여 척(1)에 장착된 웨이퍼(3)의 후면에 일정한 압력을 가하므로써 척(1)에서 웨이퍼(3)를 탈거한다.

그러나, 종래의 웨이퍼 스크러버는 힘을 균일하게 조절하기 어려운 스프링을 사용하여 가이드 턱을 압착하므로 스프링의 압축력이 크면 웨이퍼가 가이드 턱과 결합된 부위에 집중적으로 힘이 가해져 웨이퍼가 파손되거나 반대로 스프링의 압축력이 적으면 척이 고속으로 회전하는 도중 가이드 턱에서 웨이퍼가 이탈되어 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있다.

본 고안의 목적은 힘의 조절이 용이한 에어 실린더를 사용하여 웨이퍼를 척에 고정하는 힘을 적절하게 유지하므로써 웨이퍼의 탈착시 발생하는 웨이퍼의 손상을 방지하는 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버를 제공하는 데 있다.

따라서, 본 고안은 상기의 목적을 달성하고자, 웨이퍼가 상부면에 장착되는 척과, 상기 척의 외주연 양측단에 힌지체결되어 안쪽으로 회동하며 상기 웨이퍼의 테두리를 고정하는 가이드 턱과, 상기 가이드 턱의 저면과 연통되는 에어라인과, 상기 에어라인에 연결되어 가이드 턱을 작동시키는 에어 실린더와, 상기 척의 상부면에 위치하여 탈이온수를 웨이퍼에 분사하는 노즐과, 상기 척을 지지하는 중심축을 회전시키는 모터로 구성되는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래의 웨이퍼 스크러버를 도시한 구성도이고,

도 2는 본 고안의 웨이퍼 스크러버를 도시한 구성도이고,

도 3은 본 고안의 가이드 턱을 도시한 요부상세도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1, 101 : 척, 3 : 웨이퍼,

5, 105 : 가이드 턱, 7 : 스프링,

9 : 질소가스관, 11, 113 : 중심축,

13, 115 : 모터, 15, 111 : 노즐,

103 : 힌지, 107 : 에어라인,

109 : 에어 실린더.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 설명하면 다음과 같다.

도 2과 도 3은 본 고안의 웨이퍼 스크러버를 도시한 구성도와 가이드 턱을 도시한 요부상세도이다.

상부면에는 웨이퍼(3)가 안착되고 외주연 양끝단 소정부위에는 각각 힌지(103)로 체결되어 회동하는 가이드 턱(105)을 형성하는 척(101)의 중앙이 수직으로 형성되는 중심축(113)과 상호 일체로 형성되어 설치된다. 이러한 중심축 (113)일단에는 모터(115)가 형성되어 상기 척(101)을 임의속도로 회동시킨다.

상기 가이드 턱(105)의 저면에는 각각 에어라인(107)이 연통되고 이러한 에어라인(107)은 작동력을 발생하는 에어 실린더(109)와 연결된다. 따라서 에어 실린더(109)내에서 압축된 에어는 에어라인(107)을 거쳐 가이드 턱(105)에 작용하여 힌지회동시킨다.

이때 상기 가이드 턱(105)은 중단이 절곡된 형태로 이루어져 웨이퍼(3)를 안착하는 면을 형성하는 동시에 수직으로 절곡된 면에 의하여 웨이퍼(3)의 가장자리에 힘을 가하도록 형성된다.

상기 척(101)의 상부에는 탈이온수를 분사하는 노즐(111)이 형성되어 척(101)에 장착된 웨이퍼(3)를 세정한다. 이때 상기 중심축(113)에 형성된 모터(115)에 의하여 임의속도로 척(101)이 회전하며 웨이퍼(3)를 세정하도록 구성된다.

본 고안의 웨이퍼 스크러버의 작동과정을 알아보면 다음과 같다.

도면을 참조하면 웨이퍼 스크러버의 상부면에 웨이퍼(3)를 장착하기 위해서는 척(101)의 양측단에 형성된 가이드 턱(105)을 수직방향으로 형성한 상태에서 웨이퍼(3)를 척(101)의 상부면에 안착한다.

이러한 상태에서 가이드 턱(105)의 하부에 형성된 에어라인(107)을 따라 에어 실린더(109)에서 압축된 에어가 유입되면서 가이드 턱(105)의 저면을 밀어 힌지회동시킨다.

따라서 상기 가이드 턱(101)은 힌지(103)를 축으로 안쪽으로 회동하면서 웨이퍼(3)의 양측단에 임의의 압력을 가하여 웨이퍼(3)를 고정한다.

이렇게 웨이퍼(3)가 척(101)에 고정된 상태에서 중심축(113)에 형성된 모터(115)를 작동시켜 척(101)을 임의속도로 회전시킨 상태에서 상부면에 형성된 노즐(111)에서 탈이온수를 분사하여 웨이퍼(3)를 세정한다. 이때 상기 웨이퍼(3)를 척(101)에 고정하는 가이드 턱(105)의 힘이 에어 실린더(109)에서 임의로 조절이 가능하므로써 척(101)을 고속으로 회전시켜 웨이퍼(3)에 대한 세정력을 보다 향상시킬 수 있음은 물론이다.

한편 웨이퍼(3)를 탈거하기 위해서는 웨이퍼(3)가 안착된 상태에서 에어 실린더(109)를 작동시켜 에어를 흡입하므로써 가이드 턱(105)을 원위치시킨다.

즉, 웨이퍼(3)의 가장자리를 압축하던 가이드 턱(105)을 힌지회동시켜 상부면을 수직방향으로 위치시키므로써 웨이퍼(3)를 압축하던 힘이 제거된다. 따라서 웨이퍼(3)의 탈거가 가능해진다.

상기에서 상술된 바와 같이, 본 고안은 힘의 조절이 용이한 에어 실린더를 사용하여 웨이퍼를 척에 고정하는 힘을 적절하게 유지하므로써 웨이퍼의 탈착시 발생하는 웨이퍼의 손상을 방지하는 한편 고속회전을 가능케하여 불순물 및 파티클 제거를 향상시키는 잇점이 있다.

Claims

웨이퍼(3)가 상부면에 장착되는 척(101)과;

상기 척(101)의 외주연 양측단에 힌지(103)로 체결되어 안쪽으로 회동하며 상기 웨이퍼(3)의 테두리를 고정하는 가이드 턱(105)과;

상기 가이드 턱(105)의 저면과 연통되는 에어라인(107)과;

상기 에어라인(107)에 연결되어 가이드 턱(105)을 작동시키는 에어 실린더(109)와;

상기 척(101)의 상부면에 위치하여 탈이온수를 웨이퍼(3)에 분사하는 노즐(111)과;

상기 척(101)을 지지하는 중심축(113)을 회전시키는 모터(115)로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 웨이퍼 스크러버.