KR200163015Y1 - 웨트스테이션 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼를 초순수를 세척하는 웨트 스테이션(Wet Station)장치에 관한 것으로, 회수관상에 조절밸브를 설치하고 조절밸브와 세척장비내의 초순수 공급을 조절하는 다수개의 밸브와 서로 연결하여 밸브 상호간의 동작이 세척장비내의 밸브중 어느 하나라고 열려 있을 때는 조절밸브가 닫혀 순도가 떨어진 회수관내의 초순수가 역류하는 것을 방지하고, 세척장비내의 밸브가 모두 닫힌 경우에는 조절밸브가 열려 배관내의 초순수가 정체되지 않고 계속적으로 흐를 수 있도록 함으로써 초순수의 정체로 인한 박테이라 생성을 방지할 수 있게 한 장치이다.

Description

웨트 스테이션(Wet Station)장치

제 1 도는 종래의 웨트 스테이션 장치와 웨트 스테이션 장치내에 설치된 배관상태를 도시한 개략도.

제 2 도는 본 고안에 따른 웨트 스테이션 장치와 웨트 스테이션 장치내에 설치된 배관상태를 도시한 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨트 스테이션(Wet Station) 2 : 공급관

3 : 회수관 4,5,6 : 밸브

7 : 초순수 용기 8 : 폐기관

9,10,11 : 세척장비 12 : 조절밸브

13 : 제어수단

본 고안은 웨이퍼를 초순수로 세척하는 웨트 스테이션(Wet Station)장치에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼를 세척하는데 사용하는 초순수가 배관내에서 정체되어 박테리라등의 미생물이 발생하는 것을 방지하도록 배관 시스템을 개선한 웨트 스테이션 장치에 관한 것이다.

반도체 제조공정에 있어서, 산(Acid)이나 알칼리, 기타 유기용제등의 화공약품을 사용한 후에는 일반적을 웨이퍼상에 묻어있는 상기 화공약품을 씻어내기 위해 초순수를 공급하여 새척을 하게된다.

제 1 도는 종래의 웨트 스테이션 장치와 웨트 스테이션 장치내에 설치된 배관상태를 도시한 개략도이다.

상기 초순수를 공급하여 웨이퍼를 세척하는 종래의 웨트 스테이션 장치(1)는 그 배관이 웨트 스테이션(1)내로 초순수를 공급하는 공급관(2)과, 상기 공급관(2)으로부터 나오는 초순수를 웨이퍼가 담겨져 세척이 실시되는 초순수 용기(7)에 상기 초순수를 공급하거나 차단시키는 밸브(4,5,6,)와, 상기 공급관(2)으로부터 공급되어 세척장비(9,10,11)내로 유입되지 않고 남은 초순수 즉, 세척에 사용되지 않은 초순수가 회수되는 회수관(3)으로 크게 구성되어있다. 이때, 밸브(4,5,6)을 통해 세척장비(9,10,11)내로 유입되어 웨이퍼 세척에 사용된 초순수는 세척장비(9,10,11)의 바닥면에 모여 그 하부에 연결된 폐수관(8)을 통해 정화조(미도시)로 빠져 나간다.

상기 회수관(3)은 초순수가 관내에서 정체될 경우 그 순도가 떨어지고 또한 초순수속에 박테리아등의 미생물이 증식하여 웨이퍼 세척시 그 품질에 악영향을 끼칠 우려가 있으므로, 초순수가 정체되는 것을 방지하기 위하여 웨트 스테이션 내의 세척장비(9,10,11)에서 초순수가 사용되지 않을 경우에도 공급관(2)으로부터 공급되는 초순수가 계속 흐를 수 있도록 하며, 이때 웨이퍼 세척에 사용되지 않고 회수관(3)으로 회수된 초순수는 다시 웨이퍼 세척을 위해 재사용되지 않고 다른 용수로 활용된다.

상기와 같이 구성된 종래의 웨트 스테이션 장치에 있어서, 특히, 초순수를 공급하는 공급관(2)내의 압력이 낮아지게 되면, 회수관(3)으로부터 순도가 떨어진 초순수가 역류하여 웨이퍼 세척에 사용되는 초순수와 섞이거나 섞여진 초순수가 웨이퍼 세척에 사용됨을 인해 웨이퍼의 세정품질을 떨어 뜨리게 되는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 공급관내의 초순수의 압력이 낮은 경우에도 초순수가 회수관으로부터 역류하여 들어오는 것을 방지하는 웨이퍼 스테이션 장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 장치내부로 초순수를 공급하는 공급관과, 상기 공급관으로부터 공급되는 초순수를 웨이퍼가 담겨져 세척이 실시되는 초순수 용기에 상기 초순수를 공급하거나 차단시키는 밸브와, 상기 공급관으로부터 공급되어 다수개의 세척장비내로 유입되지 않고 남은 초순수가 회수되는 회수관으로 이뤄져 웨이퍼를 세척하는 웨트 스테이션 장치에 있어서,

상기 회수관상에 조절밸브가 설치되고, 상기 조절밸브와 웨트 스테이션 내부에 위치한 세척장비에 설치된 밸브가 서로 연결되어, 웨트 스테이션내의 세척장비에 설치된 다수개의 밸브중 어느 하나가 열린 때는 조절밸브가 닫히고, 다수개의 밸브 모두가 닫힌 경우에는 조절밸브가 열리도록 제어하는 제어수단이 구비된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 상세한 설명을 하기로 한다.

제 2 도는 본 고안에 따른 웨트 스테이션 장치와 웨트 스테이션 장치내에 설치된 배관상태를 도시한 개략도이다.

본 고안에 따른 웨트 스테이션 장치에 있어서는, 상기 공급관(2) 내에서의 초순수 압력이 낮은 경우에도 회수된 초순수가 역류하는 것을 방지하기 위하여 회수관(3)상에 조절밸브(12)를 설치하고, 상기 조절밸브(12)와 세척장비(9,10,11)내로 초순수의 공급을 조절하는 밸브(4,5,6)를 서로 연결하여 세척장비(9,10,11)내의 밸브(4,5,6)와 반대로 작동하도록 하였다. 즉, 웨이퍼를 세척하기 위하여 세척장비(9,10,11)내의 밸브(4,5,6)중 어느 하나의 밸브가 열리면 회수관(3)에 설치된 조절밸브(12)는 닫혀 초순수가 역류되는 것을 방지하고, 세척장비(9,10,11)내의 밸브(4,5,6) 모두가 닫히면 회수관(3)에 설치된 조절밸브(12)는 열려 초순수가 배관내에서 정체되지 않고 흐르는 상태가 되도록 한다.

상기 본 고안에 사용되는 밸브는 모두 자동밸브가 사용되는데, 세척장비(9,10,11)내의 밸브(4,5,6)는 입력신호가 가해지면 열리는 밸브를 사용하고 회수관(3)에 설치되는 조절밸브(12)는 입력신호가 없는 경우에만 열리는 밸브를 설치한다.

상기 세척장비(9,10,11)내의 밸브(4,5,6)와 회수관(3)에 설치되는 조절밸브(12)를 서로 연결하여 서로 반대로 작동하도록 하는 제어수단은 일 예로서, 웨트 스테이션(1)내의 세척장비(9,10,11)에 설치된 다수개의 밸브(4,5,6)가 개폐되는 개폐상태를 입력신호로 하고, 출력이 회수관(3)에 설치된 조절밸브(12)에 전달되는 Nor Gate 비교기(13)를 사용할 수 있다.

이상에서 설명한 바와같이 본 고안에 따른 웨트 스테이션 장치는 회수관상에 조절밸브를 설치하고 조절밸브와 세척장비내의 초순수 공급을 조절하는 다수개의 밸브와 서로 연결하여 그 동작이 세척장비내의 밸브 중 어느 하나라도 열려 초순수가 공급되고 있을 때는 회수관상에 설치된 조절밸브가 닫혀 순도가 떨어진 회수관내의 초순수가 역류하는 것을 방지하고, 세척장비내의 밸브가 모두 닫혀 초순수가 공급되지 않을 때는 회수관상에 설치된 조절밸브가 열려 배관내의 초순수가 정체되지 않고 계속적으로 흐를 수 있도록 함으로써 초순수의 정체로 인한 박테리아 생성을 방지할 수 있다.

Claims (2)

1. 장치내부로 초순수를 공급하는 공급관과, 상기 공급관으로부터 공급되는 초순수를 웨이퍼가 담겨져 세척이 실시되는 초순수 용기에 상기 초순수를 공급하거나 차단시키는 밸브와, 상기 공급관으로부터 공급되어 다수개의 세척장비내로 유입되지 않고 남은 초순수가 회수되는 회수관으로 이뤄져 웨이퍼를 세척하는 웨트 스테이션 장치에 있어서,

   상기 회수관상에 조절밸브가 설치되고, 상기 조절밸브와 웨트 스테이션 내부에 위치한 세척장비에 설치된 밸브가 서로 연결되어, 웨트 스테이션내의 세척장비에 설치된 다수개의 밸브중 어느 하나가 열린 때는 조절밸브가 닫히고, 다수개의 밸브 모두가 닫힌 경우에는 조절밸브가 열리도록 제어하는 제어수단이 구비된 것을 특징으로 하는 웨트 스테이션 장치.
2. 제 1 항에 있어서

   상기 제어수단은 웨트 스테이션내의 세척장비에 설치된 다수개의 밸브가 개폐되는 개폐상태를 입력신호로 하고 출력이 회수관에 설치된 조절밸브에 전달되는 Nor Gate의 비교기인 것을 특징으로 하는 웨트 스테이션 장치.