KR200159194Y1 - 반도체 소자검사기용 트랜스퍼의 충돌방지장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 수평식핸들러의 로딩부 또는 언로딩부의 스택커에 차례로 적재된 고객트레이를 로딩부 또는 언로딩부의 각 스테이지(stage)로 이송시키는 트랜스퍼(transfer)에 관한 것으로 기기의 오동작으로 고객트레이 홀더판이 스택커에 적재된 최상측의 고객트레이 홀딩위치보다 더 하강하더라도 이들이 상호 충돌하지 않도록 한 것이다.

이를 위해, 제 1 실린더(9)의 구동으로 승강운동하는 승강블럭(10)에 복수개의 걸림편(18)이 회동가능하게 설치된 고객트레이 홀더판(8)을 설치하도록 된 것에 있어서, 제 1 실린더의 로드(9a)에 플랜지부(19a)를 갖는 가이드봉(19)을 고정하고 상기 가이드봉에 끼워지는 승강블럭(10)에는 절취부(10a)를 형성하여 절취부내에 위치하는 가이드봉(19)에 스프링(20)을 끼워 승강블럭(10)이 탄력설치적으로 결합되도록 구성하여서 된 것이다.

Description

반도체 소자검사기용 트랜스퍼의 충돌방지장치

본 고안은 수평식핸들러의 로딩부 또는 언로딩부의 스택커에 차례로 적재된 고객트레이를 로딩부 또는 언로딩부의 각 스테이지(stage)로 이송시키는 트랜스퍼(transfer)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 기기의 오동작으로 고객트레이 홀더판이 스택커에 적재된 최상측의 고객트레이 홀딩위치보다 더 하강하더라도 이들이 상호 충돌하지 않도록 한 것이다.

일반적으로 제조공정에서 생산완료된 디바이스(이하 소자라 함)중 TSOP, QFP 등과 같은 표면실자용 소자는 주로 수평식핸들러에서 성능검사를 실시하여 양품과 불량품으로 선별하게 된다.

이를 위해, 수평식핸들러에서 소자를 테스트하기 위해서는 소자를 플라스틱으로 만들어진 트레이(이하 고객트레이라 함)내에 담은 상태에서 적재부에 차례로 적재시켜 놓으면 이송수단인 트랜스퍼(transfer)가 상기 적재부에 적재된 고객 트레이를 차레 차례 1개씩 분리하여 로딩부로 이동시키므로써, 이송수단인 픽커(picker)가 로딩부에 위치된 고객트레이에서 소자를 흡착하여 금속재의 테스트트레이로 로딩시켜 주게 된다.

도 1 내지 도 3은 적재부에 적재된 고객트레이를 상부에서 차레로 홀딩하여 로딩부로 이송시키거나, 소자의 로딩이 완료된 빈고객트레이를 언로딩 적재부에 차레로 쌓아 놓을 수 있도록 출원인에 의해 개발되어 특허 95-8975호로 선출원된 기술로써, 이에 대한 구체적인 구성은 선출원된 명세서에 상세히 나타나 있으므로 생략하고 동작에 대해서만 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이 적재부(1)에 고객트레이(2)를 차례로 쌓아 놓기 위해 작업자가 스택커(3)의 잠금레버(4)를 푼 다음 상기 스택커를 전방으로 잡아 당겨 상기 스택커가 외부로 인출되도록 한다.

이러한 상태에서 상기 스택커의 상면에 소자가 담겨진 복수개의 고객트레이(2)를 차레로 쌓아 놓고, 전방으로 잡아 당겼던 스택커를 다시 초기상태로 밀어 넣은 다음 풀어 놓았던 잠금레버(4)를 잠가주므로서, 고객트레이(2)의 적재작업이 완료된다.

이와 같이 고객트레이(2)의 적재작업이 완료되면 리니어모터의 구동으로 엘리베이터판(5)이 상승하여 스택커(3)의 최상측에 위치된 고객트레이(2)를 트랜스퍼에 의해 이송될 지점에 위치시키고 리니어모터는 구동을 중단한다.

상기 적재부(1)의 최상측에 위치된 고객트레이가 트랜스퍼의 홀딩위치에 도달하면 슬라이드판(6)이 LM가이더(7)를 따라 스택커(3)에 적재된 고객트레이(2)의 직상부로 이송되는데, 이때 일측의 고객트레이 홀더판(8)이 고객트레이(2)와 일치되는 위치에서 슬라이드판(6)의 이동이 중단된다.

그후, 제 1 실린더(9)가 작동하여 승강블럭(10)을 잡아 당기면 상기 승강블럭이 수직 LM가이더(11)에 안내되어 하강하게 되는데, 상기 승강블럭은 절곡편(12)에 고정된 센서(13)가 최상부에 위치된 고객트레이(2)를 센싱할 때까지 하강하게 된다.

이러한 상태에서 고객트레이 홀더판(8)의 상면에 고정된 제 2 실린더(14)가 동작하여 슬라이더(15)를 잡아 당기면 상기 슬라이더의 양측에 결합된 제 1 링크(16)가 화살표방향으로 이동하면서 제 2 링크(17)를 회동시키게 되므로 고객트레이(2)에 형성된 걸림홈(2a)의 외측에 위치되어 있는 걸림편(18)이 내측으로 회동하여 스택커(3)의 최상부에 위치되어 있던 고객트레이(2)를 홀딩하게 된다.

이와 같이 스택커(3)의 최상부에 위치되어 있던 고객트레이(2)를 홀딩하고 제 1 실린더(9)가 동작하여 고객트레이 홀더판(8)을 상사점에 위치시키게 되므로 스택커(3)의 최상부의 위치되어 있던 고객트레이를 소자의 로딩위치로 이송시킬 수 있게 된다.

그러나 이러한 종래의 트랜스퍼는 수직 LM가이더(11)를 따라 승강하는 승강블럭(10)이 제 1 실린더(9)의 로드에 고정설치되어 있어 절곡편(12)에 고정된 센서(13)가 파손 또는 오동작하여 승강블럭(10)이 수직 LM가이더(11)에 안내되어 하강할 때 최상부에 위치된 고객트레이(2)를 센싱하지 못하거나, 프로그램의 입력이 잘못되어 고객트레이 홀더판(8)이 계속적으로 하강하면 상기 고객트레이 홀더판(8)이 고객트레이(2)와 충돌하여 소자에 충격을 가하게 되는 치명적인 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 고객트레이 홀더판이 설정된 지점보다 더 하강하더라도 고객트레이 홀더판이 고객트레이와 충돌되는 현상을 미연에 방지하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 제 1 실린더의 구동으로 승강운동하는 승강블럭에 복수개의 걸림편이 회동가능하게 설치된 고객트레이 홀더판을 설치하도록 된 것에 있어서, 제 1 실린더의 로드에 플랜지부를 갖는 가이드봉을 고정하고 상기 가이드봉에 끼워지는 승강블럭에는 절취부를 형성하여 절취부내에 위치하는 가이드봉에 스프링을 끼워 승강블럭이 탄력설치적으로 결합되도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기용 트랜스퍼의 충돌방지장치가 제공된다.

제1도는 종래의 트랜스퍼를 나타낸 평면도

제2도는 종래의 트랜스퍼가 동작하는 상태를 나타낸 종단면도

제3도는 제2도의 A-A선 단면도

제4a도 및 제4b도는 본 고안의 요부를 일부 절결하여 나타낸 측면도

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

8 : 고객트레이 홀더판 9 : 제 1 실린더

9a : 로드 10 : 승강블럭

10a : 절취부 19 : 가이드봉

19a : 플랜지부 20 : 스프링

이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 도 4a 및 도 4b를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4a 및 도 4b는 본 고안의 요부를 일부 절결하여 나타낸 측면도로써, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.

본 고안은 제 1 실린더(9)의 구동으로 승강운동하는 승강블럭(10)에 슬라이더(15)가 고정되어 있고 상기 슬라이더에는 고객트레이 홀더판(8)이 설치되어 있으며 상기 고객트레이 홀더판에는 고객트레이(2)의 네모서리부분을 홀딩하는 복수개의 걸림편(18)이 회동가능하게 설치되어 있다.

상기 제 1 실린더(9)의 로드(9a)에 플랜지부(19a)를 갖는 가이드봉(19)이 고정되어 있고 상기 가이드봉에 끼워지는 승강블럭(10)에는 절취부(10a)가 형성되어 있으며 절취부내에 위치하는 가이드봉(19)에는 승강블럭(10)이 탄력설치적으로 결합되도록 하는 스프링(20)이 끼워져 있다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 적재부(1)의 엘리베이터판(5)이 상승하여 최상측에 위치된 고객트레이(2)가 트랜스퍼의 홀딩위치에 도달하면 슬라이드판(6)이 LM가이더(7)를 따라 스택커(3)에 적재된 고객트레이(2)의 상부로 이송되므로 고객트레이 홀더판(8)이 고객트레이의 직상부에 위치된다.

이러한 상태에서 제 1 실린더(9)가 작동하여 승강블럭(10)을 잡아 당기면 상기 승강블럭이 수직 LM가이더(11)을 따라 하강하여 도 4a와 같이 제 2 실린더(14)의 구동에 따라 회동하는 걸림편(18)을 고객트레이(2)의 측면에 형성된 걸림홈(2a)의 일측에 위치시키게 되므로 로딩부의 최상측에 위치된 고객트레이(2)를 홀딩하여 이송시킬수 있게 된다.

그러나 상기한 바와 같은 동작시 고객트레이 홀더판(8)의 하강을 감지하여 제 1 실린더(9)의 구동을 중단시키는 센서(13)가 오동작하거나, 프로그램이 잘못 입력되어 고객트레이 홀더판(8)이 설정된 지점보다 더 하강할 경우에는 가이드봉(19)에 스프링(20)으로 탄력적으로 끼워진 승강블럭(10)이 도 4b와 같이 스프링(20)을 압축시키면서 설정된 지점보다 더 하강되는 거리만큼 상승하게 되므로 결국 고객트레이 홀더판(8)은 초기 설정된 지점, 즉 고객트레이(2)의 홀딩지점에 위치하게 되고, 이에 따라 고객트레이 홀더판이 고객트레이의 상면과 충돌하는 것을 미연에 방지하게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 고객트레이 홀더판(8)과 고정된 승강블럭(10)이 가이드봉(19)에 탄력설치되어 있어 상기 고객트레이 홀더판의 하강을 감지하는 센서(13)가 오동작하거나, 프로그램이 잘못 입력되어 고객트레이 홀더판이 설정된 지점보다 더 하강하더라도 고객트레이의 상면과 충돌하는 현상을 미연에 방지하게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (1)

1. 제 1 실린더(9)의 구동으로 승강운동하는 승강블럭(10)에 복수개의 걸림편(18)이 회동가능하게 설치된 고객트레이 홀더판(8)을 설치하도록 된 것에 있어서, 제 1 실린더의 로드(9a)에 플랜지부(19a)를 갖는 가이드봉(19)을 고정하고 상기 가이드봉에 끼워지는 승강블럭(10)에는 절취부(10a)를 형성하여 절취부내에 위치하는 가이드봉(19)에 스프링(20)을 끼워 승강블럭(10)이 탄력설치적으로 결합되도록 함을 특징으로 하는 반도체 소자검사기용 트랜스퍼의 충돌방지장치.