KR200195110Y1 - 반도체 제조용 번인핸들러 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조용 번인핸들러에 관한 것으로, 종래에는 디바이스가 삽입되어 별도의 체크장비로 옮겨진 번인보드를 작업자가 수작업으로 디바이스 및 소켓 등을 일일이 빼내야 하므로 공정시간이 길어지게 되어 생산성이 저하되거나, 또는 상기 핸들러의 양측에 각각 로딩 및 언로딩용 번인보드스토커가 별개로 구비되어야 하는 것은 물론 별도의 체크장비 및 교정작업에 필요한 공간이 확충되어야 하므로, 작업공간이 비대해지게 되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 소정의 작업대와, 그 작업대의 일측에 설치되어 번인보드가 적치되는 로딩 겸 언로딩의 번인보드스토커와, 상기 번인보드에 삽입될 디바이스가 수납되어 작업대의 다른 일측에 배치되는 트레이와, 그 트레이로부터 디바이스를 집어 번인보드로 이송 삽입시키는 삽입용 헤드조립체가 구비된 제1 로봇과, 그 제1 로봇에 의해 번인보드에 삽입된 디바이스중에서 삽입불량된 디바이스를 가려내기 위한 체크 유니트와, 그 체크 유니트에 의해 가려진 디바이스를 교정하는 취출 및 재삽입용 헤드조립체가 구비된 제2 로봇을 포함하여 구성함으로써, 체크장비를 별도로 설치할 필요가 없게 되어 공간활용도가 향상되는 것은 물론, 디바이스의 삽입공정과 함께 번인보드의 각 소켓에 삽입된 디바이스의 삽입불량을 자동으로 취출 및 재삽입공정을 동시에 실시하게 되므로 공정시간을 최소한으로 줄여 생산성을 향상시키게 되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조용 번인핸들러

본 고안은 반도체 제조용 번인핸들러에 관한 것으로, 특히 번인보드의 디바이스 삽입정도를 감지하는 체크 유니트를 핸들러에 내장시킴은 물론 삽입불량된 디바이스를 자동으로 취출 및 재삽입하기 위한 별도의 4축 로봇을 장착한 반도체 제조용 번인핸들러에 관한 것이다.

일반적으로 디바이스의 번인(Burn_-in)공정에서는 통상 48~96개 정도의 테스트용 소켓이 장착된 번인보드에 각각의 디바이스를 하나씩 삽입시킨 이후, 그 삽입상태를 확인하는 소정의 검사를 진행한 다음에, 소켓 또는 디바이스 및 보드불량 등을 구분하여 취출 및 교체 등의 적절한 조치를 취하게 된다.

도 1은 상기 테스트용 소켓에 디바이스를 삽입시키기 위한 종래의 번인 핸들러를 개략적으로 보인 평면도로서 이에 도시된 바와 같이, 종래의 번인 핸들러는 소정의 디바이스 삽입작업이 이루어지는 단층의 작업대(1)와, 그 작업대(1)의 양측에 각각 설치되어 번인보드(B)가 적치되는 로딩용 번인보드스토커(Stocker)(2) 및 언로딩용 번인보드스토커(3)와, 상기 작업대(1)의 일측에 배치되어 삽입될 디바이스(미도시)가 다수개 수납되어 있는 트레이(4) 및 트레이 지지대(5)와, 상기 트레이(4)로부터 디바이스를 번인보드(B)로 이송,삽입시키기 위한 4축 로봇(6)과, 상기 번인보드 및 소켓 등에 대한 초기불량을 검사하기 위한 아이디체커(I/D Checker)(7)등으로 구성되어 있다.

상기 4축 로봇(6)에는 디바이스를 하나씩 흡착하여 적정위치로 이송 삽입시키기 위한 삽입용 헤드(8)가 장착되어 있다.

상기와 같이 구성된 종래의 번인 핸들러는 다음과 같이 동작된다.

즉, 상기 로딩용 번인보드스토커(2)로부터 하나의 번인보드(B)가 작업대(1)로 이송되면, 상기 아이디체커(7)에 의해 초기불량을 검사한 후에 4축 로봇(6)이 삽입용 헤드(8)를 트레이(4)쪽으로 이동시키게 되고, 그 트레이(4)에서 디바이스 하나를 흡착한 헤드(8)는 다시 4축 로봇(6)에 의해 번인보드(B)의 삽입위치로 이동하게 되며, 그 번인보드(B)의 삽입위치로 이동한 헤드(8)가 디바이스를 번인보드(B)에 삽입시키는 일련의 과정을 반복하여 상기 번인보드(B)에 디바이스가 모두 삽입된 이후에, 이 번인보드(B)는 상기 작업대(1)에 의해 언로딩용 번인보드스토커(3)로 전송되게 된다.

이렇게 하여, 디바이스의 삽입작업을 마친 번인보드(B)는 작업자가 직접 통상적인 체크장비(미도시)로 옮겨 디바이스가 소켓에 정확하게 삽입되었는지 또는 소켓불량은 없는지 등을 검사한 후에 불량이 발생되는 경우에 작업자의 수작업으로 디바이스 및 소켓 등을 들어내게 되는 것이었다.

그러나, 상기와 같은 종래의 번인 핸들러에 있어서는, 디바이스가 삽입되어 별도의 체크장비로 옮겨진 번인보드(B)를 작업자가 수작업으로 디바이스 및 소켓 등을 일일이 빼내야 하므로 공정시간이 길어지게 되어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 상기 핸들러의 양측에 각각 로딩용 번인보드스토커(2) 및 언로딩용 번인보드스토커(3)가 구비되어야 하는 것은 물론 별도의 체크장비 및 교정작업에 필요한 공간이 확충되어야 하므로, 작업공간이 비대해지게 되는 문제점도 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 종래의 번인 핸들러가 가지는 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 디바이스가 삽입된 번인보드를 별도의 체크장비로 옮기지 않고 곧바로 번인보드에 대한 불량여부를 체크하여 불량한 디바이스를 자동으로 취출 및 재삽입할 수 있는 반도체 제조용 번인핸들러를 제공하려는데 본 고안의 목적이 있다.

도 1은 종래 번인 핸들러를 개략적으로 보인 평면도.

도 2는 본 고안에 의한 번인 핸들러를 개략적으로 보인 평면도.

도 3은 본 고안에 의한 번인 핸들러에 있어서, 취출 및 재삽입용 헤드를 개략적으로 보인 종단면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 작업대 20 : 번인보드 스토커

30,40 : 제1,제2 로봇 31 : 삽입용 헤드

41 : 취출 및 재삽입용 헤드 41a : 에어실린더

41b : 진공체 41c : 엘엠실린더

41d : 소켓 오프너 51,53 : 아이디체커

52 : 콘트롤러

이러한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 복수층의 컨베이어로 이루어지는 작업대와, 그 작업대의 일측에 설치되어 다수개의 번인보드가 랙에 수납되어 적치되는 번인보드 스토커와, 그 번인보드 스토커로부터 번인보드가 하나씩 연속적으로 탑재되는 상층작업대의 상측에서 4축으로 이동하면서 디바이스를 하나씩 집어 해당 번인보드로 이송 삽입시키도록 삽입용 헤드가 구비된 제1 로봇과, 그 제1 로봇에 의해 번인보드에 삽입된 디바이스중에서 삽입불량의 디바이스를 교정하도록 취출 및 재삽입용 헤드가 구비된 제2 로봇과, 그 제2 로봇을 거친 양품의 번인보드를 번인보드 스토커로 되돌려보내는 하층작업대로 하강시키는 번인보드 승강대와, 상기 제1 로봇의 삽입작업이 정확한지를 검사하여 교정여부 및 교정명령을 제2 로봇에 전달하는 체크 유니트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 번인핸들러가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 번인 핸들러를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 의한 번인 핸들러를 개략적으로 보인 평면도이고, 도 3은 본 고안에 의한 번인 핸들러에 있어서, 취출 및 재삽입용 헤드를 개략적으로 보인 종단면도이다.

이에 도시된 바와 같이 본 고안에 의한 번인 핸들러는, 복수층의 컨베이어로 이루어지는 작업대(10)와, 그 작업대(10)의 일측에 설치되어 다수개의 번인보드(B)가 랙(미도시)에 수납되어 적치되는 번인보드 스토커(20)와, 그 번인보드 스토커(20)로부터 번인보드(B)가 하나씩 연속적으로 탑재되는 상층작업대(미부호)의 상측에서 4축으로 이동하면서 디바이스를 하나씩 집어 해당 번인보드(B)로 이송 삽입시키도록 삽입용 헤드(31)가 구비된 제1 로봇(30)과, 그 제1 로봇(30)에 의해 번인보드(B)에 삽입된 디바이스중에서 삽입불량의 디바이스를 교정하도록 취출 및 재삽입용 헤드(41)가 구비된 제2 로봇(40)과, 그 제2 로봇(40)을 거친 양품의 번인보드(B)를 번인보드 스토커(20)로 되돌려보내는 하층작업대(미부호)로 하강시키는 번인보드 승강대(미도시)와, 상기 제1 로봇(30)의 삽입작업이 정확한지를 검사하여 교정여부 및 교정명령을 제2 로봇(40)에 전달하는 체크 유니트(50)를 포함하여 구성된다.

상기 취출 및 재삽입용 헤드조립체(41)는 도 3에 도시된 바와 같이, 에어실린더(41a)와, 그 에어실린더(41a)에 의해 승강하면서 디바이스를 흡착하는 진공체(41b)와, 상기 에어실린더(41a)의 일측부에 부착되는 엘엠실린더(41c)와, 그 엘엠실린더(41c)에 결합되어 승강하면서 번인보드에 실장된 테스트용 소켓의 누룸판을 눌러 개폐시키는 소켓 오프너(41d)로 이루어진다.

상기 체크 유니트(50)는 제1 로봇(30)에 의한 디바이스의 삽입정도를 검사하는 제1 아이디체커(51)와, 그 제1 아이디체커(51)에 의한 자료를 취합하여 제2 로봇(40)에 전달하는 콘트롤러(52)와, 그 콘트롤러(52)에 의해 입수된 자료에 의해 디바이스가 취출 및 재삽입된 번인보드의 패키지 불량 또는 소켓불량을 점검하는 제2 아이디체커(53)로 이루어진다.

도면중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하였다.

도면중 미설명 부호인 60은 다수개의 디바이스가 수납되는 트레이이다.

상기와 같이 구성되는 본 고안에 의한 번인 핸들러는 다음과 같이 동작된다.

먼저, 다수개의 번인보드(B)가 랙(미도시)에 수납되어 번인보드 스토커(20)에 적치되었다가 그 중의 번인보드(B) 하나가 상층작업대로 이송되면, 제1 아이디체크(51)에 의해 초기불량을 검사한 후에 제1 로봇(30)이 삽입용 헤드(31)를 트레이(60)쪽으로 이동시키게 되고, 그 트레이(60)에서 디바이스 하나를 흡착한 헤드(31)는 다시 제1 로봇(30)에 의해 번인보드(B)의 삽입위치로 이동하게 되며, 그 번인보드(B)의 삽입위치로 이동한 헤드(31)가 디바이스를 번인보드(B)에 삽입시키는 일련의 과정을 반복하여 상기 하나의 번인보드(B)에 디바이스가 모두 삽입된 이후에, 이 번인보드(B)는 제1 아이디체커(51)에 의해 디바이스의 삽입정도를 점검받게 됨과 동시에 새로운 번인보드(B)가 상층작업대로 이송된다.

상기 제1 아이디체커(51)에 의해 검사된 자료는 콘트롤러(52)에 위치자료로 취합되어 그 자료가 제2 로봇(40)에 전달되고, 그 자료를 입수한 제2 로봇(40)은 취출 및 재삽입용 헤드(41)를 이동시켜 상기 번인보드(B)에서 삽입불량된 디바이스를 취출하여 재삽입하게 된다.

여기서, 상기 취출 및 재삽입용 헤드는 다음과 같이 동작된다.

즉, 교정할 소켓(미도시)의 상측으로 이동된 상태에서 엘엠실린더(41c)에 의해 소켓 오프너(41d)가 하강하여 해당소켓의 누룸판(미도시)을 눌러주게 되면, 그 누룸판이 열리면서 디바이스가 노출되게 되고, 이어서 에어실린더(41a)에 의해 진공체(41b)가 하강하여 그 디바이스의 상면에 근접한 다음에는 진공패드(미부호)가 해당디바이스를 흡착하여 취출하였다가 정확한 위치에 재삽입하는 것이다.

이렇게 하여, 디바이스의 삽입 및 교정공정을 마친 번인보드(B)는 다시 제2 아이디체커(53)에 의해 패키지 불량 및 소켓불량 등을 검사한 다음에 번인보드 승강대(미도시)에 의해 하층작업대로 이동하게 되고, 그 하층작업대로 이동한 번인보드(B)는 번인보드 스토커(20)에 적치된 랙(미도시)의 빈자리에 재수납되는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 제조용 번인핸들러는, 소정의 작업대와, 그 작업대의 일측에 설치되어 번인보드가 적치되는 번인보드 스토커와, 상기 번인보드에 삽입될 디바이스가 수납되어 작업대의 다른 일측에 배치되는 트레이와, 그 트레이로부터 디바이스를 집어 번인보드로 이송 삽입시키는 삽입용 헤드조립체가 구비된 제1 로봇과, 그 제1 로봇에 의해 번인보드에 삽입된 디바이스중에서 삽입불량된 디바이스를 가려내기 위한 체크 유니트와, 그 체크 유니트에 의해 가려진 디바이스를 교정하는 취출 및 재삽입용 헤드조립체가 구비된 제2 로봇을 포함하여 구성함으로써, 체크장비를 별도로 설치할 필요가 없게 되어 공간활용도가 향상되는 것은 물론, 디바이스의 삽입공정과 함께 번인보드의 각 소켓에 삽입된 디바이스의 삽입불량을 자동으로 취출 및 재삽입공정을 동시에 실시하게 되므로 공정시간을 최소한으로 줄여 생산성을 향상시키게 되는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 복수층의 컨베이어로 이루어지는 작업대와, 그 작업대의 일측에 설치되어 다수개의 번인보드가 랙에 수납되어 적치되는 번인보드 스토커와, 그 번인보드 스토커로부터 번인보드가 하나씩 연속적으로 탑재되는 상층작업대의 상측에서 4축으로 이동하면서 디바이스를 하나씩 집어 해당 번인보드로 이송 삽입시키도록 삽입용 헤드가 구비된 제1 로봇과, 그 제1 로봇에 의해 번인보드에 삽입된 디바이스중에서 삽입불량의 디바이스를 교정하도록 취출 및 재삽입용 헤드가 구비된 제2 로봇과, 그 제2 로봇을 거친 양품의 번인보드를 번인보드 스토커로 되돌려보내는 하층작업대로 하강시키는 번인보드 승강대와, 상기 제1 로봇의 삽입작업이 정확한지를 검사하여 교정여부 및 교정명령을 제2 로봇에 전달하는 체크 유니트를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 번인핸들러.
2. 제1항에 있어서, 상기 취출 및 재삽입용 헤드조립체는 에어실린더와, 그 에어실린더에 의해 승강하면서 디바이스를 흡착하는 진공체와, 상기 에어실린더의 일측부에 부착되는 엘엠실린더와, 그 엘엠실린더에 결합되어 승강하면서 번인보드에 실장된 테스트용 소켓을 눌러 개폐시키는 소켓 오프너로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 번인핸들러.