CN216773200U - 一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，包括料盒放置平台、上下移动机构、料盒开盖装置、晶圆检测装置和控制系统，料盒放置平台包括料盒放置平板、料盒检测装置、料盒锁死装置和料盒平台移动装置。该带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置中，解决了料盒装载装置对多种晶圆传输料盒之间的兼容性，同时增加了晶圆盒内晶圆的斜插、叠插、突出等影响晶圆安全的检测，从而在保证兼容性的同时又增加了晶圆的安全性，该装置可以加装到不同的晶圆生产机器上，实现不同机器之间可以使用统一的前开式晶圆传送盒，可以实现前开式晶圆传输盒的锁死，同时可以在生产时自动把料盒的盖子打开方便取放晶圆。

Description

一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体地说，涉及一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置。

背景技术

现在半导体技术发展很快，对产品的性能要求越来越高。随着晶圆尺寸、产量及单个晶圆成本逐渐增大，通过降低因不同工艺步骤产生的晶圆污染与损失而提高产量的压力越来越大，由此产生了1款被业界普遍接受的、应用最广的前开式的晶圆传送盒，它是一种专门的塑料外壳，设计用于在受控环境中安全可靠地固定硅片，保持晶圆传送过程的洁净度，并允许晶片在机器之间转移以进行处理或测量；它最重要的功用是确保每25片的晶圆在它的保护下避免在每一台生产机台之间的传送被外部环境中的微尘污染，进而影响到良率。是先进的12时晶圆厂重要的生产工具；每个前开式晶圆传送盒都有各种连接板，销和孔，以便前开式晶圆传送盒位于装载端口上，并由AMHS(自动物料搬运系统)操纵。FOUP也可能包含RFID标签，允许读者通过工具，AMHS等识别它们；有了标准的前开式晶圆传输盒，那在半导体制程中不同工艺设备之间就需要统一的前开式晶圆传输盒装载装置以打通不同工艺设备之间的衔接，实现产业的标准化和自动化。

但是目前市场上的前开式晶圆传输盒装载装置都是由欧美日等外资公司垄断，国内还没有相类似的晶圆盒装载装置。但欧美日的晶圆传输盒装载装置设计的兼容性不强，都是只能覆盖某种固定的晶圆传输盒，而且不能检测晶圆的斜插、叠插等安全隐患。另外，不同的晶圆制造厂因为使用历史传统的不同、工艺的不同、机器设备的不同而使用的晶圆传送盒也不同。而一个晶圆测试厂、晶圆封装厂的来料很多品种是从不同的晶圆制造厂出来到的，晶圆传输料盒不同，造成目前国内市场上同一个晶圆测试厂、封装厂使用的晶圆传输盒种类很多，如果不同种类的晶圆传输盒不能互相兼容在同一个工厂的不同设备上，就使得晶圆测试厂、封装厂在收到不同客户传送过来的晶圆传输盒后要把不同的晶圆传输盒转换成统一的晶圆料盒才能在自己的设备上生产，这样就增加了1道工序，从而增加了晶圆的传输流程，降低了晶圆的安全性，也增加了工厂的运营成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，包括料盒放置平台、上下移动机构、料盒开盖装置、晶圆检测装置和控制系统，所述料盒放置平台包括料盒放置平板、料盒检测装置、料盒锁死装置和料盒平台移动装置。

作为优选，所述料盒放置平板上有料盒定位装置，料盒定位装置由3个定位柱构成，3个所述定位柱对应料盒上的3个定位凹槽。

作为优选，所述定位柱能够灵活移动。

作为优选，所述料盒检测装置由传感器和弹性压片组成，弹性压片装在料盒放置平板上，传感器装在弹性压片的下方。

作为优选，所述料盒锁死装置安装在料盒放置平板的下方，料盒锁死装置包括气缸和钩子，气缸收缩时就通过锁钩子钩住料盒，使料盒固定，气缸伸张时就可以释放料盒。

作为优选，所述料盒平台移动装置由水平移动气缸、水平导轨组成，通过所述水平移动气缸的伸缩使料盒放置平台前后移动。

作为优选，所述上下移动机构由马达、竖直导轨、丝杆组成，所述料盒开盖装置和晶圆检测装置都安装在上下移动机构上。

作为优选，所述料盒开盖装置包括前后移动装置，前后移动装置由4根前后导轨和1个前后移动气缸组成，所述料盒开盖装置上装有两个旋片，所述旋片由前后移动气缸带动可以旋转，所述料盒开盖装置上还装有2个真空吸盘。

作为优选，所述晶圆检测装置包括前后移动装置，前后移动装置由2根检测导轨和1个检测气缸组成，所述晶圆检测装置的上方装有2对对射的光电传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

该带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置中，解决了料盒装载装置对多种晶圆传输料盒之间的兼容性，同时增加了晶圆盒内晶圆的斜插、叠插、突出等影响晶圆安全的检测，从而在保证兼容性的同时又增加了晶圆的安全性，该装置可以加装到不同的晶圆生产机器上，实现不同机器之间可以使用统一的前开式晶圆传送盒，可以实现前开式晶圆传输盒的锁死(防止晶圆盒晃动，或者其他触碰使料盒倾倒而威胁到晶圆的安全)，同时可以在生产时自动把料盒的盖子打开方便取放晶圆，并且可以实现料盒内晶圆的自检测，可以检测料盒内晶圆的数量、斜插、叠插、突出等影响晶圆后续传送安全的隐患。

附图说明

图1为本实用新型的俯视结构示意图；

图2为本实用新型的正视结构示意图；

图3为本实用新型的侧视结构示意图。

图中各个标号意义为：

1、料盒放置平台；11、料盒放置平板；12、料盒检测装置；13、料盒锁死装置；14、料盒平台移动装置；141、水平移动气缸；142、水平导轨；15、定位柱；2、上下移动机构；21、马达；22、竖直导轨；23、丝杆；3、料盒开盖装置；31、真空吸盘；32、前后导轨；33、前后移动气缸；34、旋片；4、晶圆检测装置；41、光电传感器；42、检测导轨；43、检测气缸；5、控制系统；6、RFID读写器；7、指示灯。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

本实用新型提供一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，如图1-图3所示，包括料盒放置平台1、上下移动机构2、料盒开盖装置3、晶圆检测装置4和控制系统5，料盒放置平台1包括料盒放置平板11、料盒检测装置12、料盒锁死装置13和料盒平台移动装置14。

本实施例中，料盒放置平板11上有料盒定位装置，料盒定位装置由3个定位柱15构成，3个定位柱15对应料盒上的3个定位凹槽，以实现料盒的定位。

具体的，定位柱15能够灵活移动定位柱15能够在料盒放置平板11上移动，并通过螺栓固定，因不同的料盒定位槽的位置不同，所以本实用新型设计了可移动的定位柱15，以实现不同料盒的放置。

进一步的，料盒检测装置12由传感器和弹性压片组成，弹性压片装在料盒放置平板11上，传感器装在弹性压片的下方，当料盒放置到料盒放置平板11上时，料盒压到弹性压片，弹性压片会向下移动，触发传感器，传感器就会检测到料盒，设置不同的传感器和弹性压片的位置，就可以检测不同的料盒。

进一步的，料盒锁死装置13安装在料盒放置平板11的下方，料盒锁死装置13包括气缸和钩子，气缸收缩时就通过锁钩子钩住料盒，使料盒固定，气缸伸张时就可以释放料盒。

进一步的，料盒平台移动装置14由水平移动气缸141、水平导轨142组成，通过水平移动气缸141的伸缩使料盒放置平台1前后移动。

进一步的，上下移动机构2由马达21、竖直导轨22、丝杆23组成，料盒开盖装置3和晶圆检测装置4都安装在上下移动机构2上。

进一步的，料盒开盖装置3包括前后移动装置，前后移动装置由4根前后导轨32和1个前后移动气缸33组成，料盒开盖装置3上装有两个旋片34，旋片34由前后移动气缸33带动可以旋转，料盒开盖装置3上还装有2个真空吸盘31。

实施例2

为了进一步方便对晶圆的检测，在实施例1的基础上，晶圆检测装置4包括前后移动装置，前后移动装置由2根检测导轨42和1个检测气缸43组成，晶圆检测装置4的上方装有2对对射的光电传感器41，对射的光电传感器41可以检测料盒里晶圆的数量、同时检测料盒里晶圆的斜插、叠插等异常，确保晶圆的安全。

本实用新型的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置在使用时，首先将料盒放置到料盒放置平板11上，3个定位柱15定位后，弹性压片压到料盒检测装置12的传感器上，检测判断出所使用的料盒种类，料盒开盖装置3和晶圆检测装置4通过上下移动机构2移动到要开盖的高度，然后料盒开盖装置3前移到开盖位置，然后装载平台携带着盖着盖子的晶圆料盒向料盒开盖装置3移动靠近，到位后料盒开盖装置3上的旋片34插入料盒盖子上的开盖孔，旋片旋转使盖子打开，同时料盒开盖装置3上的真空吸盘31吸附固定住盖子，然后料盒开盖装置3带动盖子后退，晶圆检测装置4前伸，上下移动机构2带动晶圆检测装置4扫描晶圆盒里的晶圆，通过2组对射的光电传感器41检测晶圆盒里晶圆的数量、同时检测料盒里晶圆的斜插、叠插等异常，确保晶圆的安全。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (9)

1.一种带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：包括料盒放置平台(1)、上下移动机构(2)、料盒开盖装置(3)、晶圆检测装置(4)和控制系统(5)，所述料盒放置平台(1)包括料盒放置平板(11)、料盒检测装置(12)、料盒锁死装置(13)和料盒平台移动装置(14)。

2.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述料盒放置平板(11)上有料盒定位装置，料盒定位装置由3个定位柱(15)构成，3个所述定位柱(15)对应料盒上的3个定位凹槽。

3.根据权利要求2所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述定位柱(15)能够灵活移动。

4.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述料盒检测装置(12)由传感器和弹性压片组成，弹性压片装在料盒放置平板(11)上，传感器装在弹性压片的下方。

5.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述料盒锁死装置(13)安装在料盒放置平板(11)的下方，料盒锁死装置(13)包括气缸和钩子，气缸收缩时就通过钩子钩住料盒，使料盒固定，气缸伸张时就可以释放料盒。

6.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述料盒平台移动装置(14)由水平移动气缸(141)、水平导轨(142)组成，通过所述水平移动气缸(141)的伸缩使料盒放置平台(1)前后移动。

7.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述上下移动机构(2)由马达(21)、竖直导轨(22)、丝杆(23)组成，所述料盒开盖装置(3)和晶圆检测装置(4)都安装在上下移动机构(2)上。

8.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述料盒开盖装置(3)包括前后移动装置，前后移动装置由4根前后导轨(32)和1个前后移动气缸(33)组成，所述料盒开盖装置(3)上装有两个旋片(34)，所述旋片(34)由前后移动气缸(33)带动可以旋转，所述料盒开盖装置(3)上还装有2个真空吸盘(31)。

9.根据权利要求1所述的带扫描及自动开盖功能的新型晶圆料盒放置装置，其特征在于：所述晶圆检测装置(4)包括前后移动装置，前后移动装置由2根检测导轨(42)和1个检测气缸(43)组成，所述晶圆检测装置(4)的上方装有2对对射的光电传感器(41)。

Images