KR20010092088A

KR20010092088A - 세정 기능을 갖는 퀵 커플러 보관 장치

Info

Publication number: KR20010092088A
Application number: KR1020000014025A
Authority: KR
Inventors: 김수련; 김승언
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 2000-03-20
Filing date: 2000-03-20
Publication date: 2001-10-24

Abstract

세정 기능을 갖는 퀵 커플러(quick coupler) 보관 장치를 개시한다. 본 발명의 퀵 커플러 보관 장치 일 관점은 퀵 커플러가 삽입되는 내측 컨테이너(container)과, 내측 컨테이너에 삽입되는 퀵 커플러의 하면에 대향되게 내측 컨테이너에 도입되어 하면에 세정제를 분사할 수 있는 분사공을 구비하여 상기 퀵 커플러를 세정하는 세정관, 상기 세정관에 연결되어 세정제를 공급하는 세정제 소오스, 및, 내측 컨테이너를 둘러싸며 퀵 커플러의 세정에 의해 발생된 부산물을 배출하는 배출구를 갖는 외측 컨테이너를 포함한다.

Description

세정 기능을 갖는 퀵 커플러 보관 장치{Quick coupler storage apparatus having cleaning function.}

본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 특히, 케미컬(chemical) 공급 용기의퀵 커플러(quick coupler) 보관 장치에 관한 것이다.

반도체 산업 뿐만 아니라 다양한 산업 분야에서 케미컬을 사용하는 공정이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬을 사용하는 공정 대부분이 점차 복잡해지고 단위 공정에 대한 관리가 엄격해지고 있다. 이에 따라, 각각의 공정에 사용되는 케미컬의 순도 관리가 보다 엄격하게 수행되고 있다. 예를 들어, 케미컬 공급 장치를 이루는 밸브(valve), 핏팅(fitting) 또는 배관의 청정도 관리가 점차 엄격해지고 있다. 또한, 대단위 공정이 개발되며, 케미컬 공급 용기 또한 대형화되고 있으며, 이에 따라, 케미컬 공급 용기에 퀵 커플러가 채용되고 있다.

도 1은 종래의 퀵 커플러 보관 장치를 개략적으로 나타낸다.

구체적으로, 퀵 커플러(10)는 케미컬 공급 용기(도시되지 않음)에서 두껑의 역할을 하는 것으로, 케미컬 공급 용기를 밀폐하여 케미컬 공급 용기에 담긴 케미컬이 외부로부터 오염되는 방지한다. 퀵 커플러(10)는 케미컬 공급 용기와 체결이 용이하게 이루어질 수 있도록 제작된 것으로, 케미컬과 직접 접촉되는 공급계의 주요 구성 요소 중의 하나이다. 퀵 커플러(10)에는 배관(15)이 연결되어 있어, 케미컬 공급 용기 내의 케미컬이 이러한 배관(15)을 통해서 케미컬이 요구되는 장비, 예컨대, 증착 장비에 공급된다.

케미컬 공급 용기 내의 케미컬이 다 소모되어 새로운 용기로 교환할 경우, 퀵 커플러(10)를 빼내었다 다시 체결해 주는 과정이 수반된다. 이때, 탈착된 퀵 커플러(10)는 임시 보관 장치(20)에 수납된다.

이때, 케미컬 공급 용기에 체결되어 케미컬과 접촉하는 부분인 퀵커플러(10)의 하면이 외부에 노출될 수 있다. 이에 따라, 외부의 오염원에 퀵 커플러(10)가 오염되어 결국 케미컬에 역오염을 발생시킬 수 있다. 이에 따라, 케미컬의 순도가 손상되는 불량이 발생할 수 있다. 그러나, 상기한 임시 보관 장치(20)는 원형 컨테이너(cup) 형태로 단순히 퀵 커플러(10)가 잠시 수납될 수 있는 구조를 하고 있다. 따라서, 퀵 커플러(10)가 오염된 경우에는 수작업으로만 세정이 가능하므로, 퀵 커플러(10)를 자동적으로 세정할 수 있는 보관 장치의 개발이 요구되고 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 퀵 커플러를 임시 보관할 때 퀵 커플러를 세정할 수 있는 퀵 커플러 보관 장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 퀵 커플러 보관 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명의 제1실시예를 따르는 퀵 커플러 보관 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면이다.

도 3은 본 발명의 제2실시예를 따르는 퀵 커플러 보관 장치를 설명하기 위해서 개략적으로 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부호에 대한 간략한 설명>

100; 퀵 커플러, 210; 내측 컨테이너,

250; 외측 컨테이너, 311; 분사공,

350; 세정관, 360; 세정제 소오스,

410; 배출구.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 퀵 커플러 보관 장치는, 퀵 커플러가 삽입되는 내측 컨테이너와, 상기 내측 컨테이너에 삽입되는 상기 퀵 커플러의 하면에 대향되게 상기 내측 컨테이너에 도입되어 상기 하면에 세정제를 분사할 수 있는 분사공을 구비하여 상기 퀵 커플러를 세정하는 세정관과, 상기 세정관에 연결되어 세정제를 공급하는 세정제 소오스, 및 상기 내측 컨테이너를 둘러싸며 상기 퀵 커플러의 세정에 의해 발생된 부산물을 배출하는 배출구를 갖는 외측 컨테이너를 포함한다. 상기 세정제로 질소 가스를 사용하거나, 순수를 사용한다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이며, 도면 상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 지칭한다.

본 발명의 실시예는 케미컬 공급 용기를 교체할 때 풀어놓는 퀵 커플러를 임시 보관할 수 있는 보관 장치를 제시한다. 이러한 보관 장치는 임시 보관되는 퀵 커플러를 세정할 수 있는 기능을 가진다. 이하, 본 발명을 도면을 인용하는 구체적인 실시예를 들어 상세하게 설명한다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 의한 퀵 커플러 보관 장치를 개략적으로 나타낸다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예를 따라는 퀵 커플러 보관 장치는 배관(150)에 연결된 퀵 커플러(100)를 담는 내측 컨테이너((210) 및 외측 컨테이너(250)을 구비한다. 케미컬 공급 용기(도시되지 않음), 예컨대, 드럼(drum)으로부터 탈착된 퀵 커플러(100)가 내측 컨테이너(210)로 삽입된다. 내측 컨테이너(210)의 내측에는 상기 삽입되는 퀵 커플러(100)의 하면(101)에 대향되는 분사공(311)을 가지는 세정관(350)이 도입된다. 세정관(350)의 분사공(311)은 노즐(nozzle) 형태로 다수 형성되는 것이 바람직하다.

퀵 커플러(100)는 상기한 탈착에 의해서 외부에 노출되므로, 외기에 의해서 오염될 수 있다. 이러한 오염을 제거하기 위해서 세정제 소오스(360)로부터 상기세정관(350)으로 공급된 세정제는 분사공(311)을 통해 퀵 커플러(100)에 분사되어 퀵 커플러(100)를 세정한다. 세정제로 질소 가스를 이용할 수 있으며, 분사공(311)들은 다양한 분출 각도로 질소 가스를 분출하도록 형성되며, 또한, 다양한 분출 압력으로 질소 가스를 분출하도록 형성된다. 이에 따라, 분출되는 질소 가스에 의해서 퀵 커플러(100)에 부착되거나 부착될 여지가 있는 파티클(particle)이 제거된다. 이와 같은 질소 가스의 분출은 상기한 퀵 커플러(100)가 상기한 내측 컨테이너(210)에 삽입되는 순간부터 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.

내측 컨테이너(210)을 둘러싸는 외측 컨테이너(250)은, 분출된 세정제, 예컨대, 질소 가스 또는 이러한 질소 가스의 불어줌에 따라 발생할 수 있는 케미컬 증기 등이 흩어지는 것을 방지하고 이들이 배출관(410)을 통해 배출되도록 유도한다. 외측 컨테이너(250)의 하단에는 배출관(410)이 연결되어, 사용된 질소 가스 또는 케미컬 증기 등이 배출된다.

이와 같이 본 발명의 퀵 커플러 보관 장치는 세정제의 분출에 의한 퀵 커플러(100)의 세정이 가능하므로, 퀵 커플러(100)가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 퀵 커플러(100)가 오염된 경우에도 상기한 질소 가스의 분출에 의해서 세정할 수 있어, 퀵 커플러(100)가 교체되는 케미컬 공급 용기(도시되지 않음)에 체결되더라도 케미컬 공급 용기내의 케미컬을 오염시키는 요인으로 작용하는 것을 방지할 수 있다.

부가적으로, 상기한 바와 같이 질소 가스의 분사만으로 세정이 어려울 경우, 예컨대, 케미컬이 산 또는 알칼리 케미컬일 경우, 질소 가스를 분사하기 이전에 순수를 플러싱(flushing)하여 1차 세정한 후 다시 질소 가스를 분사하여 제2세정함으로써 세정 효과를 극대화할 수 있다. 이와 같은 경우, 다수의 분사공(311)을 순수용 분사공과 질소 가스용 분사공으로 구분하여 구성하거나, 순수는 별도의 세정관에 의해서 공급되어 진다.

그러나, 유기 케미컬인 경우에는 순수 자체가 오염원으로 작용할 수 있어, 질소 가스에 의한 세정만을 수행하는 것이 바람직하다.

한편, 도 3을 참조하면, 상술한 바와 같은 세정에 의해서 사용된 질소 가스 또는 상기한 세정에 의해서 발생하는 케미컬 증기 등이 외측 컨테이너(250)에 연결된 배출구(410)로 원활히 배출하게 유도하기 위해서, 외측 컨테이너(250)에 상단에 두껑(255)이 더 설치될 수 있다. 이러한 뚜껑(255)은 케미컬 증기가 빠져나가지 못하게 하는 역할을 하며, 퀵 커플러(100)가 삽입되는 힘에 의해서 열리고 퀵 커플러(100)가 삽입된 후 닫힐 수 있도록 설치된다. 예를 들어, 조리개 형태 또는 휘장 형태로 뚜껑(255)이 설치될 수 있다.

그리고, 삽입된 퀵 커플러(100)가 내측 컨테이너(210)에 단단히 고정되도록 내측 컨테이너(210)의 상단에 체결 수단(215)이 형성될 수 있다. 이러한 체결 수단(215)으로는 내측 컨테이너(210)의 내부 둘레를 빙 둘러가면서 설치되는 구슬형 홀더를 이용할 수 있다.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.

상술한 본 발명에 따르면, 퀵 커플러가 내측 컨테이너에 삽입되었을 때, 세정관를 통해 질소 가스등과 같은 세정제를 퀵 커플러의 하면에 분출하여 퀵 커플러를 세정할 수 있다. 이에 따라, 퀵 커플러가 오염되는 것을 방지할 수 있고, 비록 퀵 커플러가 오염되었을지라도 세정할 수 있다. 따라서, 오염된 퀵 커플러에 의해서 케미컬 공급 용기 내의 케미컬이 오염되어 케미컬의 순도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Claims

퀵 커플러가 삽입되는 내측 컨테이너;

상기 내측 컨테이너에 삽입되는 상기 퀵 커플러의 하면에 대향되게 상기 내측 컨테이너에 도입되어 상기 하면에 세정제를 분사할 수 있는 분사공을 구비하여 상기 퀵 커플러를 세정하는 세정관;

상기 세정관에 연결되어 세정제를 공급하는 세정제 소오스; 및

상기 내측 컨테이너를 둘러싸며 상기 퀵 커플러의 세정에 의해 발생된 부산물을 배출하는 배출구를 갖는 외측 컨테이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 퀵 커플러 보관 장치.
제1항에 있어서, 상기 세정제는

질소 가스 또는 순수인 것을 특징으로 하는 퀵 커플러 보관 장치.
제1항에 있어서, 상기 내측 컨테이너는

상기 퀵 커플러를 단단히 고정시킬 수 있는 체결 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 퀵 커플러 보관 장치.