KR20010091234A - 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법 - Google Patents

유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20010091234A
KR20010091234A KR1020000012726A KR20000012726A KR20010091234A KR 20010091234 A KR20010091234 A KR 20010091234A KR 1020000012726 A KR1020000012726 A KR 1020000012726A KR 20000012726 A KR20000012726 A KR 20000012726A KR 20010091234 A KR20010091234 A KR 20010091234A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
display panel
electroluminescent display
organic electroluminescent
organic
Prior art date
Application number
KR1020000012726A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100357102B1 (ko
Inventor
김성태
Original Assignee
구자홍
엘지전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 구자홍, 엘지전자주식회사 filed Critical 구자홍
Priority to KR1020000012726A priority Critical patent/KR100357102B1/ko
Publication of KR20010091234A publication Critical patent/KR20010091234A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100357102B1 publication Critical patent/KR100357102B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/10—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of paper or cardboard
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/308—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising acrylic (co)polymers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
    • B32B2307/306—Resistant to heat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/70—Other properties
    • B32B2307/71—Resistive to light or to UV

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법에 관한 것으로, 투명 기판 위에 형성된 제 1전극 및 제 2전극과, 그들 사이에 형성된 적어도 하나 이상의 유기 발광층들로 이루어진 다수 개의 화소들을 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서, 기판 위에 제 1전극을 형성하는 제 1단계와, 제 1전극 위에 제 1새도우 마스크를 이용하여 적어도 하나 이상의 유기 발광층을 순차적으로 형성하는 제 2단계와, 유기발광층 위에 제 2새도우 마스크를 이용하여 제 2전극을 형성하는 제 3단계와, 건식 식각법으로 인접하는 화소들 간의 전기적 절연을 위하여 패터닝하는 제 4단계로 이루어진다. 여기서, 제 1단계 후, 상기 제 1전극 위에 적어도 하나 이상의 스페이서를 형성할 수도 있다. 또한, 건식 식각법은 레이저빔, 이온빔, 플라즈마 중 어느 하나를 이용한다. 본 발명에 따르면 새도우 마스크와 건식 식각법을 이용하기 때문에 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조방법이 단순하고 제조 수율을 높일 수 있다.

Description

유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법{fabrication method of organic electroluminescent display panel}
본 발명은 디스플레이 소자에 관한 것으로, 특히 유기 전계발광 디스플레이 패널(organic electroluminescent display panel) 제조방법에 관한 것이다.
최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면표시소자 중 하나로서 전계발광소자가 주목되고 있다.
이 전계발광소자는 사용하는 재료에 따라 무기 전계발광소자와 유기 전계발광소자로 크게 나뉘어지는데, 이 중 유기 전계발광소자는 전자주입전극(cathode)과 정공주입전극(anode) 사이에 형성된 유기 발광층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)이나 무기 전계발광소자 디스플레이에 비해 낮은 전압(5∼10V)으로 구동할 수 있다는 장점이 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다.
또한, 유기 전계발광소자는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로, 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면광원(surface light source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 플라스틱 같이 휠 수 있는(flexible) 투명 기판 위에도 소자를 형성할 수 있고, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합한 소자이다.
도 1은 이러한 용도를 갖는 단순 매트릭스 방식의 유기 전계발광 디스플레이패널의 평면도이다.
투명 기판(1) 위에 띠(stripe)형태로 형성된 제 1전극(2)들과, 제 1 전극(2)들 위에 진공증착법으로 형성된 유기 발광층(4)들과, 제 2전극(3)들로 이루어진다.
유기 발광층(4)은 제 1전극(2) 위에 형성되는 정공 주입층(Hole Injecting Layer:HIL) 그리고/또는 정공 수송층(Hole Transporting Layer:HTL)과, 정공 주입층 또는 정공 수송층 위에 형성되는 유기 발광층과, 유기 발광층 위에 형성되는 전자 수송층(electron transporting layer:ETL) 그리고/또는 전자 주입층(electron injection layer:EIL)으로 이루어진다.
이와 같이 형성되는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제 2전극(3)은 유기 발광층(4)의 전자 주입층 및/또는 전자 수송층을 통해 유기 발광층에 전자를 주입시켜주는 기능을 하고, 제 1전극(2)은 정공 주입층 및/또는 정공 수송층을 통해 유기 발광층에 정공을 주입시켜 주는 기능을 한다.
그러나, 이와 같은 유기 전계발광 디스플레이 패널은 제작시에 많은 어려움이 있는데, 그 중에서 가장 어려운 공정이 픽셀레이션(pixelation) 또는 패터닝(patterning)공정이다.
즉, 제 1전극(2) 띠로 흔히 쓰이는 ITO(Indium Tin Oxide)는 반도체 제조 공정에서 일반적으로 쓰이는 포토리소그래피(photolithogaphy) 공정을 이용하여 쉽게 정교한 패터닝을 할 수 있지만, 제 2전극의 패터닝은 그리 간단하지 않다.
그 이유는 제 2전극(3) 밑에 이미 형성되어 있는 유기 발광층(4)이 포토리소그래피 공정 중 물이나 솔벤트(solvent)에 노출될 경우 그 특성이 열화하기 때문에일반적인 포토리소그래피 공정을 사용하기 어렵다.
도 2는 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 종래 기술의 제 1실시 예에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도로서, 투명 기판(1) 상에 제 1전극(2)과 유기 발광층(4)을 형성하고, 새도우 마스크(5)를 이용하여 제 2전극(3)을 형성하는 방법을 도시하고 있다.
그리고, 도 3은 종래 기술의 제 2실시 예에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도로서, 투명 기판(1) 상에 제 1전극(2)을 형성한 후, 버퍼층(7)을 형성하고, 형성된 버퍼층(7) 상에 포토레지스트로 격벽(6)을 형성한 후, 전면에 유기 발광층(4)을 형성하고, 다시 제 2전극(3)을 형성하여 유기 발광층(4) 및 제 2전극(3)을 패턴 분리하는 방법을 도시하고 있다.
그러나, 위의 방법들을 이용하면 단색(monochrome) 유기 전계발광 디스플레이 패널을 제작하는 것은 가능하지만, 다색 유기 전계발광 디스플레이 패널을 제작하기 위해서는 단색 유기 전계발광 디스플레이 패널을 제작하는 방법에 다른 기술들을 추가로 필요로 하기 때문에, 단색 유기 전계발광 디스플레이 패널을 제작하는 것에 비해 다소 복잡하다.
다색 유기 전계발광 디스플레이 패널을 제작하기 위한 종래의 기술들로는 다음과 같은 방법들을 들 수 있다.
백색광 및 컬러 필터와 청색광 및 컬러 변환 물질(Color Changing Medium:CCM)을 쓰는 방법과, 격벽과 새도우 마스크를 이용하는 방법과 건식 식각을 이용하는 방법 등을 고려할 수 있다.
여기서, 백색 광이나 청색 광을 각각 컬러 필터 또는 컬러 변환 물질에 입사시켜, 적색, 청색, 녹색의 3색을 얻는 방법은 후속 공정이 간단하다는 아주 중요한 장점에도 불구하고 강한 백색 광이나 청색 광을 내는 유기물, 그리고 효율이 높은 색 변환 물질 특히 적색 물질을 구하기 어렵다는 결정적인 문제점들이 있다.
그리고, 컬러 변환 물질이나 컬러 필터를 사용함으로서 여타 공정이 아주 복잡해져 가격 측면에서 보면 격벽과 새도우 마스크를 동시에 이용하는 방법이 가장 간단하여 선호되고 있다.
도 4는 종래 기술의 제 3실시 예에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도로서, 격벽과 새도우 마스크를 동시에 이용한 다색 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정을 도시하고 있다.
즉, 도 4a 내지 도 4d에 도시한 바와 같이, 새도우 마스크를 사용하여 적색(Red), 녹색(Green), 청색(Blue) 빛을 발하는 유기 발광층을 따로따로 증착시키는 방법이다.
먼저, 도 4a에 도시한 바와 같이, 투명 기판(1) 위에 제 1전극(2) 띠들을 형성하고, 기판 위에 제 2전극 띠를 형성하기 위해 미리 격벽(6)들을 형성한다.
그리고, 적색, 청색, 녹색의 3색을 위해 각각 준비된 새도우 마스크를 순차적으로 사용하여 각각의 색을 내는 유기 발광층(emitting layer)을 형성한다.
예를 들어, 녹색 발광층을 형성하는 동안에는 적색 및 청색을 내는 띠는 새도우 마스크에 의해 가려져 그 부분에 녹색 발광 물질이 입혀지지 않도록 한다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 적색 화소 부분만 뚫려있는 새도우 마스크(5)를이용하여 격벽(6) 세 개 건너뛰어서 하나의 적색 발광 물질(red emitting material)층(4-1)을 형성한다.
이어, 도 4b 및 도 4c에 도시한 바와 같이, 적색 발광 물질층(4-1)을 형성하는 방법과 마찬가지로 새도우 마스크(5)를 옆으로 한 칸씩 이동하면서 녹색 발광 물질층(4-2) 및 청색 발광 물질층(4-3)을 형성한다.
그리고 나서, 도 4d에 도시한 바와 같이, 새도우 마스크를 제거한 상태에서 전면에 제 2전극(3)을 형성하면 격벽(6)에 의해 제 2전극(3)의 분할이 일어나 다색 유기 전계발광 디스플레이 패널이 제작된다.
그러나, 새도우 마스크와 격벽을 동시에 이용하는 방법은 격벽을 만드는 공정이 복잡해서 생산성을 떨어뜨리는 요인이 될 수 있는 단점이 있다.
또한, 격벽 및 오버행은 보통 약한 포토레지스트로 이루어져 있으므로, 새도우 마스크를 순차적으로 이동시켜 적색, 청색, 녹색 발광층을 형성할 때, 새도우 마스크와 격벽의 마찰에 의하거나, 증착 과정중의 기판 이송 시에 새도우 마스크의 진동에 의해 오버행부가 무너지거나 격벽 자체가 파손되어 그 이후에 증착하는 제 2전극의 분할 역할을 하지 못해 제 2전극이 여러선 묶이거나, 제 1전극과 제 2전극간에 쇼트(short)를 일으켜 구동 시 치명적인 누화(crosstalk)를 일으킨다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 새도우 마스크를 이용하여 유기 발광층을 분리 증착하고, 건식 식각법을 이용하여 제 2전극의 패터닝을 수행함으로서, 공정이 단순하며 수율이 높은 다색 유기 전계발광 디스플레이패널의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술의 단순 매트릭스 방식에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 평면도.
도 2는 종래 기술의 제 1실시 예에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도.
도 3은 종래 기술의 제 2실시 예에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도.
도 4는 종래 기술의 제 3실시 예에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도.
도 5는 본 발명에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정단면도.
도 6은 본 발명에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정평면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
501 : 투명 기판 506 : 녹색 유기 발광층
502 : 제 1전극 508 : 청색 유기 발광층
503 : 버퍼층 505, 510 : 새도우 마스크
504 : 적색 유기 발광층 511 : 제 2전극
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 특징은 투명 기판 위에 형성된 제 1전극 및 제 2전극과, 그들 사이에 형성된 적어도 하나 이상의 유기 발광층들로 이루어진 다수 개의 화소들을 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서, 기판 위에 제 1전극을 형성하는 제 1단계와, 제 1전극 위에 제 1새도우 마스크를 이용하여 적어도 하나 이상의 유기 발광층을 순차적으로 형성하는 제 2단계와, 유기발광층 위에 제 2새도우 마스크를 이용하여 제 2전극을 형성하는 제 3단계와, 건식 식각법으로 인접 화소의 분리를 전기적 절연을 위하여 패터닝하는 제 4단계로 이루어지는데 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 제 1단계 후, 상기 제 1전극 위에 적어도 하나 이상의 스페이서를 형성할 수도 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 건식 식각법은 레이저빔, 이온빔, 플라즈마 중 어느 하나를 이용하는데 있다. 또한, 플라즈마를 이용하여 에칭하는 경우, 제 2전극을 형성한 후, 평탄화 공정을 추가하여 수행하는데 있다.
본 발명에 따르면 새도우 마스크와 건식 식각법을 이용하기 때문에 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조방법이 단순하고 제조 수율을 높일 수 있다.
본 발명의 다른 목적, 특성 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시 예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.
본 발명에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조방법의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 5a에 도시한 바와 같이, 투명 기판(501) 위에 제 1전극 패턴과 패드 패턴(502)을 형성한 후 그 위에 전기적 절연재로 버퍼층(buffer layer)(503)을 형성한다.
여기서, 버퍼층(503)으로는 유기물질 또는 무기 물질이 사용될 수 있는데, 예를 들면 포토레지스트(photoresist), 산화규소, 질화규소 등이 있다.
도 5b에 도시한 바와 같이, 이러한 버퍼층은 스핀 코팅(spin coating), 닥터 블레이드(Dr. Blade)법, 열증착(thermal evaporation)법, 전자선 증착(e-beam evaporation)법, 스퍼터링(sputtering)법, 화학기상증착(chemical vapor deposition)법 등으로 형성된다.
도 5b에 도시한 바와 같이, 발광 화소가 될 부분과 패드 연결부 위의 버퍼층(503)을 식각하여 제 1전극(502)을 노출시킨다.
이어서, 적어도 하나 이상의 스페이서를 형성할 수 있다.
여기서, 스페이서는 유기물 또는 무기물로 형성되는데, 예를 들어, 포토레지스트, 산화규소, 질화규소 중 어느 하나로 형성된다.
도 5c에 도시한 바와 같이, 제 1새도우 마스크(505)를 이용하여 적색 유기 발광층(504)을 형성한다.
이어서, 도 5d와 도 5e에 도시한 바와 같이, 제 1새도우 마스크(505)를 이동해 가며 녹색 유기 발광층(506)과 청색 유기 발광층(508)을 순차적으로 형성한다.
이 때, 각 픽셀에 공통적으로 필요한 유기물 또는 무기물, 예를 들어 전하주입층 및 전하수송층 등은 동시에 형성할 수도 있다.
도 5f에 도시한 바와 같이, 유기 발광층의 형성이 끝난 후, 제 2새도우 마스크(510)를 이용하여 제 2전극(511)을 증착한다.
이렇게 형성된 제 2전극(510)은 인접 전극간에 전기적 단락이 발생할 가능성이 있으므로, 건식 식각법을 써서 화소를 분리한다.
건식 식각법으로는 레이저빔, 이온빔, 플라즈마 등을 쓸 수 있다.
플라즈마를 이용하여 식각하는 경우에는 제 2전극을 형성한 후에 평탄화 공정을 더 수행하고, 평탄화 공정을 위해 유기물 또는 무기물을 코팅한다.
도 6은 본 발명에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널의 공정평면도로서, 건식 식각법을 도시하고 있다.
도 6에 도시한 바와 같이, A-A' 방향으로 제 2전극을 건식 식각한다.
마지막으로, 소자 위에 유, 무기물로 된 보호막을 입힌 후 불활성 기체 분위기에서 소자를 실링한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 유기 전계발광 디스플레이 패널은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 포토리소그래피 공정을 사용하지 않으므로, 소자에 치명적인 솔벤트에 대한 영향을 받지 않는다.
둘째, 격벽 공정을 생략할 수 있으므로, 공정이 간단하고 생산성이 향상되며, 불량률을 현저히 줄일 수 있다.
셋째, 건식 식각법을 사용하므로, 식각 폭이나 깊이를 조절할 수 있으며, 넓은 면적의 패널들을 간단하고 신속하게 처리할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시 예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.

Claims (10)

  1. 투명 기판 위에 형성된 제 1전극 및 제 2전극과, 그들 사이에 형성된 적어도 하나 이상의 유기 발광층들로 이루어진 다수 개의 화소들을 갖는 유기 전계발광 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서,
    상기 기판 위에 제 1전극을 형성하는 제 1단계;
    상기 제 1전극 위에 제 1새도우 마스크를 이용하여 적어도 하나 이상의 유기 발광층을 순차적으로 형성하는 제 2단계;
    상기 유기발광층 위에 제 2새도우 마스크를 이용하여 제 2전극을 형성하는 제 3단계;
    건식 식각법으로 상기 인접하는 화소들 간의 전기적 절연을 위하여 패터닝하는 제 4단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1단계 후, 상기 제 1전극 위에 적어도 하나 이상의 스페이서를 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 스페이서는 유기 또는 무기물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 스페이서는 포토레지스트, 산화규소, 질화규소 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 1단계 후, 상기 제 1전극 위에 전기적으로 절연성을 띠는 버퍼층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 버퍼층은 포토레지스트, 산화규소, 질화규소 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조 제조방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 버퍼층은 스핀 코팅(spin coating), 닥터 블레이드(Dr. Blade)법, 열증착(thermal evaporation)법, 전자선 증착(e-beam evaporation)법, 스퍼터링(sputtering)법, 화학기상증착(chemical vapor deposition)법 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 건식 식각법은 레이저빔, 이온빔, 플라즈마 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 플라즈마를 이용하여 식각하는 경우, 상기 제 2전극을 형성한 후, 평탄화 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 평탄화 공정을 위해 유기물 또는 무기물을 코팅하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법.
KR1020000012726A 2000-03-14 2000-03-14 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법 KR100357102B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000012726A KR100357102B1 (ko) 2000-03-14 2000-03-14 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000012726A KR100357102B1 (ko) 2000-03-14 2000-03-14 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010091234A true KR20010091234A (ko) 2001-10-23
KR100357102B1 KR100357102B1 (ko) 2002-10-19

Family

ID=19654933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000012726A KR100357102B1 (ko) 2000-03-14 2000-03-14 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100357102B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100861267B1 (ko) * 2002-04-29 2008-10-01 엘지디스플레이 주식회사 메탈 마스크

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100579182B1 (ko) * 2002-10-30 2006-05-11 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3401356B2 (ja) * 1995-02-21 2003-04-28 パイオニア株式会社 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルとその製造方法
KR100281045B1 (ko) * 1997-12-29 2001-02-01 구자홍 유기전계발광소자
KR100282392B1 (ko) * 1998-06-12 2001-02-15 구자홍 풀-컬러유기전계발광소자및그제조방법
JP2918037B1 (ja) * 1998-06-18 1999-07-12 日本電気株式会社 カラー有機ｅｌディスプレイとその製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100861267B1 (ko) * 2002-04-29 2008-10-01 엘지디스플레이 주식회사 메탈 마스크

Also Published As

Publication number Publication date
KR100357102B1 (ko) 2002-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3698405B2 (ja) 有機エレクトロルミネセンス表示パネル及びその製造方法
US6016033A (en) Electrode structure for high resolution organic light-emitting diode displays and method for making the same
US7872256B2 (en) Organic light emitting display and fabrication method of the same
KR100798175B1 (ko) 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법 및반전 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법
EP1826738A1 (en) Display device and display device manufacturing method
WO2020233284A1 (zh) 显示面板及其制作方法、显示装置
JP6837410B2 (ja) 発光領域を含むディスプレイ装置
JPH10208883A (ja) 発光装置とその製造方法
JPH1167454A (ja) マルチカラー有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法
KR100294669B1 (ko) 대면적유기전계발광(el)디스플레이패널및그제조방법
JPH10106752A (ja) 有機薄膜電界発光素子およびその製造方法
KR100323700B1 (ko) 다색유기이엘(el)소자제조방법
KR100623731B1 (ko) 유기전계발광표시장치 및 그의 제조 방법
JP2002151258A (ja) 有機発光ダイオードの製造方法およびその構造
KR100269390B1 (ko) 유기전계발광 디스플레이 패널 및 그 제조방법
JP2000021578A (ja) 有機ｅｌ素子およびその製造方法
KR100357102B1 (ko) 유기 전계발광 디스플레이 패널 제조방법
KR100360328B1 (ko) 유기 전계발광 표시소자
JP2009170336A (ja) 表示装置の製造方法
KR100282392B1 (ko) 풀-컬러유기전계발광소자및그제조방법
KR100351822B1 (ko) 유기 ｅｌ 소자의 제조방법
KR100417921B1 (ko) 캔리스 유기 전계 발광 디스플레이
KR20000073038A (ko) 유기ｅｌ 디스플레이 소자 제조방법
KR100692856B1 (ko) 유기 전계발광 표시소자 및 그 제조방법
KR20030021580A (ko) 유기 전계발광 소자 및 그의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080926

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee