KR100798175B1 - 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법 및반전 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법 - Google Patents
수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법 및반전 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (3)
- 박막 캐소드(a thin cathode)를 갖는 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광(EL) 장치(a passive matrix pixelated organic electroluminescent device)를 제조하는 방법에 있어서,a) 기판상에 형성된 다수의 이격된 애노드(a plurality of spaced anodes) 및 전기 접속을 제공하기 위해 상기 기판의 에지로부터 안쪽으로 연장되는 다수의 이격된 캐소드 커넥터를 갖는 기판을 제공함으로써, 구동 전압이 선택된 애노드와 선택된 박막 캐소드 사이에 인가되어 상기 선택된 애노드와 상기 선택된 캐소드에 의해 형성된 장치의 픽셀로부터 광이 방출될 수 있게 하는 단계와,b) 상기 애노드에 수직한 방향으로 연장되는 다수의 이격된 전기 절연성 베이스층을 상기 이격된 캐소드 커넥터 각각의 일부 및 상기 애노드와 상기 기판에 형성하고, 상기 일부에서 상기 캐소드 커넥터에 연장되도록 상기 베이스층에 개구 또는 컷-아웃(an opening or a cut-out)을 형성하는 단계와,c) 전도성 캐소드 버스 금속층(a conductive cathode bus metal layer)을 상기 베이스층 각각의 일부상에 형성하는 단계 -상기 버스 금속층은 전기 접촉을 상기 이격된 캐소드 커넥터 각각에 제공하도록 적어도 상기 개구 또는 컷-아웃 내로 연장됨- 와,d) 전기 절연성 유기 캐소드 분리 섀도우 구조(an electrically insulative organic cathode separation shadowing structure)를 상기 베이스층 각각의 위에 형성하고, 적어도 하나의 유기 캐소드 버스 섀도우 구조를 상기 캐소드 버스 금속층 일부상에 형성하는 단계와,e) 유기 EL 매개층 및 상기 유기 EL 매개층 상에 전도성 캐소드를 증착하기 위한 증착 영역을 상기 기판상에 규정하는 마스크를 제공하는 단계와,f) 상기 기판으로 향하는 유기 EL 물질을 상기 증착 영역으로 기상 증착하여 상기 유기 EL 매개층을 제 1 증착하고 상기 단계 d)에서 형성된 상기 섀도우 구조들에 관한 상기 유기 EL 물질의 기상 증착의 방향성을 이용하여 상기 유기 EL 매개층이 상기 섀도우 구조들 각각의 베이스로부터 이격된 위치에서 종단되게 형성하는 단계와,g) 상기 유기 EL 매개층으로 향하는 전도성 캐소드 물질을 상기 증착 영역으로 기상 증착하여 전도성 박막 캐소드를 제 2 증착하고 상기 단계 d)에서 형성된 상기 섀도우 구조들에 관한 상기 전도성 물질의 기상 증착의 방향성을 이용하여 상기 유기 EL 매개층이 상기 적어도 하나의 캐소드 버스 섀도우 구조의 베이스로부터 이격된 위치에서 이격된 박막 캐소드 각각이 대응하는 캐소드 버스 금속층과 전기 접촉하는 다수의 이격된 박막 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법.
- 박막 캐소드를 갖는 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광(EL) 장치를 제조하는 방법에 있어서,a) 기판위에 형성된 다수의 이격된 애노드를 갖는 상기 기판을 제공하고, 상기 기판의 에지 및 상기 애노드에 수직한 방향으로 연장되는 다수의 이격된 전기 절연성 베이스층을 상기 애노드와 상기 기판상에 형성하는 단계와,b) 전도성 캐소드 버스 금속층을 상기 베이스층 각각의 일부상에 형성하는 단계 -상기 버스 금속층은 전기 접속을 제공하기 위해 상기 기판의 에지로 연장되어, 구동 전압이 선택된 애노드와 선택된 박막 캐소드 사이에 인가되어 상기 선택된 애노드와 상기 선택된 캐소드에 의해 형성된 장치의 픽셀로부터 광이 방출될 수 있게 함- 와,c) 전기 절연성 유기 캐소드 분리 섀도우 구조를 각각의 상기 베이스층상에 형성하고, 적어도 하나의 유기 캐소드 버스 섀도우 구조를 상기 캐소드 버스 금속층 일부상에 형성하는 단계와,d) 유기 EL 매개층 및 상기 유기 EL 매개층상에 전도성 캐소드를 증착하기 위한 증착 영역을 상기 기판상에 규정하는 마스크를 제공하는 단계와,e) 상기 기판으로 향하는 유기 EL 물질을 상기 증착 영역으로 기상 증착하여 상기 유기 EL 매개층을 제 1 증착하고, 상기 단계 c)에서 형성된 상기 섀도우 구조들에 관한 상기 유기 EL 물질의 기상 증착의 방향성을 이용하여 상기 유기 EL 매개층이 상기 섀도우 구조들 각각의 베이스로부터 이격된 위치에서 종단되게 형성하는 단계와,f) 상기 유기 EL 매개층으로 향하는 전도성 캐소드 물질을 상기 증착 영역으로 기상 증착하여 전도성 박막 캐소드를 제 2 증착하고, 상기 단계 c)에서 형성된 상기 섀도우 구조들에 관한 상기 전도성 물질의 기상 증착의 방향성을 이용하여 상기 유기 EL 매개층이 적어도 하나의 캐소드 버스 섀도우 구조의 베이스로부터 이격된 위치에서 이격된 박막 캐소드 각각이 대응하는 캐소드 버스 금속층과 전기 접촉하는 다수의 이격된 박막 캐소드를 형성하는 단계를 포함하는수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법.
- 광-전송 애노드를 갖는 반전(inverted) 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광(EL) 장치를 제조하는 방법에 있어서,a) 기판위에 형성된 다수의 이격된 캐소드를 갖는 상기 기판을 제공하고, 상기 기판의 에지 및 상기 캐소드에 수직한 방향으로 연장되는 다수의 이격된 전기 절연성 베이스층을 상기 캐소드와 상기 기판상에 형성하는 단계와,b) 전도성 애노드 버스 금속층을 상기 베이스층 각각의 일부상에 형성하는 단계 -상기 버스 금속층은 전기 접속을 제공하기 위해 상기 기판의 에지로 연장되어, 구동 전압이 선택된 캐소드와 선택된 광-전송 애노드 사이에 인가되어 상기 선택된 캐소드와 상기 선택된 애노드에 의해 형성된 장치의 픽셀로부터 광이 방출될 수 있게 함- 와,c) 전기 절연성 유기 애노드 분리 섀도우 구조를 각각의 상기 베이스층상에 형성하고, 적어도 하나의 유기 애노드 버스 섀도우 구조를 상기 애노드 버스 금속층 일부상에 형성하는 단계와,d) 유기 EL 매개층 및 상기 유기 EL 매개층상에 전도성 광-전송 애노드를 증착하기 위한 증착 영역을 상기 기판상에 규정하는 마스크를 제공하는 단계와,e) 상기 기판으로 향하는 유기 EL 물질을 상기 증착 영역으로 기상 증착하여 상기 유기 EL 매개층을 제 1 증착하고, 상기 단계 c)에서 형성된 상기 섀도우 구조들에 관한 상기 유기 EL 물질의 기상 증착의 방향성을 이용하여 상기 유기 EL 매개층이 상기 섀도우 구조들 각각의 베이스로부터 이격된 위치에서 종단되게 형성하는 단계와,f) 상기 유기 EL 매개층으로 향하는 전도성 애노드 물질을 상기 증착 영역으로 기상 증착하여 전도성 광-전송 애노드를 제 2 증착하고, 상기 단계 c)에서 형성된 상기 섀도우 구조들에 관한 상기 전도성 물질의 기상 증착의 방향성을 이용하여 상기 유기 EL 매개층이 상기 적어도 하나의 애노드 버스 섀도우 구조의 베이스로부터 이격된 위치에서 이격된 광-전송 애노드 각각이 대응하는 애노드 버스 금속층과 전기 접촉하는 다수의 이격된 광-전송 애노드를 형성하는 단계를 포함하는반전 수동 매트릭스 픽셀화 유기 전자발광 장치 제조 방법.
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