KR20010087199A - 피가공물 가공장치 및 가공방법 - Google Patents

Abstract

일방향으로 연장된 세라믹 바 등과 같은 피가공물에 대하여 복잡한 굴곡 변형 등을 가하고, 피가공물의 가공공정을 통하여 피가공물의 가공량을 감소시킬 수 있는 장치를 제공하기 위하여, 특히 피가공물을 보유하는 지그와 함께 상기 피가공물을 변형시키기 위한 수정 기구가 가공장치에 제공된다. 상기 수정 기구는 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 한 단부에 각각 핀을 가지는 복수의 레버, 레버를 회전 가능하게 지지하기 위하여 상기 베이스에 고정된 샤프트, 및 상기 샤프트에 관하여 레버를 선회시켜서 상기 핀을 선회시키기 위하여 레버의 다른 단에 결합된 복수의 수정 구동 수단을 포함한다. 상기 지그는 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부에 배열된 복수의 로드 수용부를 포함함으로써, 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 각 핀이 선회함에 따라 피가공물과 함께 변형된다.

Description

피가공물 가공장치 및 가공방법 {MACHINING APPARATUS FOR WORKPIECE AND METHOD THEREFOR}

본 발명은 복수의 자기 헤드가 배열된 피가공물을 연마 가공하기 위한 연마 가공 장치 및 연마 가공 방법에 관한 것으로서, 특히 가공 작업 중에 피가공물의 굴곡을 수정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

자기 디스크 장치 등에 사용되는 박막 자기 헤드는, 유도형 자기 변환 소자를 형성하는 자기 박막 등으로 제조된 다수의 소자 부품, 자기 저항(이하 MR이라 칭함) 소자 등이 하나의 면 상에 일렬로 형성되는 봉형 세라믹(이하, 세라믹 바라 칭함)을 가공함으로써 획득되는 부품들로 구성된다. 통상적으로, 박막 자기 헤드용 부품의 배치형 제조 공정에서, 복수의 소자부가 형성된 상기 세라믹 바가 연마되고, 각 소자부의 목부 높이 또는 MR 높이를 적정한 높이로 가공하는 공정이 실행된다. 일반적으로, 자기 디스크 장치에서, 자기 헤드로부터 출력 특성을 안정화시키기 위하여, 상기 자기 헤드의 자극 부분들 및 기록 매체의 표면 사이의 간격을극히 일정한 값으로 유지시킬 필요가 있다. 목부 높이 등의 수치는 이 간격을 한정하기 위한 중요한 변수로 사용된다.

다음 설명에서, 목부 높이는, 상기한 헤드 코어부, 즉 두 자극이 미세한 갭에서 서로 면하고 있는 부분에서의 자기 신호의 기록/재생을 실행하기 위한 자극의 팁 단부 길이(높이)를 의미한다. 또한, MR높이는 그 매체에 면한 측 상의 MR소자 단부로부터 반대 단부까지의 길이(높이)를 의미한다. 신호의 적절한 기록/재생을 실행할 수 있도록 하기 위하여, 목부 높이, MR높이 등의 값이 적절히 선택되어야 한다. 소정의 값을 얻기 위하여, 연마작업에 고정밀도가 필요하다.

세라믹 바는 이후 공정에서 개별 소자부들로 절단되게 된다. 각각의 소자부는 상기 자기 디스크 장치용 자기 헤드의 부분을 구성한다. 상기 자기 헤드가 자기 디스크 장치에 사용되는 경우, 상기 세라믹부는, 디스크의 회전에 의한 블로(blow) 압력에 의해 자기 디스크로부터 부상되게 되는 슬라이더가 된다. 상기 소자부는 디스크의 자기 신호를 기록 및/또는 재생시키기 위한 헤드 코어가 된다.

그러나, 일반적으로 상술된 세라믹 바는, 소자부의 형성이나 세라믹 기판으로부터의 절단 동작에 의해 발생되는 응력으로 인하여 스트레인 및 굴곡 등을 가진다. 따라서, 세라믹 바를 고정시키고 그 상부에 연마작업을 하는 것 만에 의하여 고 가공정밀도를 얻기는 어렵다. 이러한 이유로 인하여, 예를 들면, 미국 특허 제5,620,356호 등에서 설명된 바와 같이, 세라믹 바 형태의 고 정밀도 자기헤드 연마작업을 하기 위한 특별한 연마장치가 제안된 바 있다. 또한, 본 양수인도 몇가지 장치 및 방법을 제안하고 있다(일본 특허 출원 제11-162799호 등).

이하, 전술된 세라믹 바에 대한 실제 연마 방법이 기술될 것이다.

첫째, 연마면에 대향하는 세라믹 바의 피연마면은 접착제 등으로 지그에 고정되고, 세라믹 바의 피연마면은 지그를 통하여 연마 베이스의 연마면에 대해 압착하도록 하여 상기 피연마면에 대한 연마작업을 실행한다. 상기 지그는 빔구조를 가진다. 상기 지그의 외부로부터 상기 지그 상의 몇 개, 3 내지 7개의, 특정 지점에 로드가 가해지고 그에 따라 전체적으로 상기 지그에 변형이 발생된다. 또한, 이 빔 구조는, 세라믹 바에 고정된 부분이 상기 로드의 밸런스 조절에 의해 복잡하게 변형되도록 하며, 세라믹 바는 고정부와 동시에 굴곡되며 그로 인해 세라믹 바 자체에 의한 굴곡 등을 수정할 수 있게 된다.

연마작업시, 상기 지그에 고정된 상기 세라믹 바 상의 소정의 소자부에서, 목부 높이 등의 값이 광학적으로 또는 전기적으로 측정되고 그럼으로써 상기 측정값과 목표값 사이의 차이, 즉 측정에 필요한 피연마 부분의 양을 획득하게 된다. 복수의 지점에서의 로드는, 획득된 소정의 소자부 및 상기 소정의 소자부 근처의 부분에서 필요로 되는 연마량을 기초로 하여 조절되며, 상기 세라믹 바는 지그를 통하여 변형되면서 연마된다. 이 단계들이 반복되며 그럼으로써 상기 세라믹 바에서 형성되는 모든 소자들의 상기 목부 높이 등과 같은 값이 소정의 범위 내로 하락한다.

핀 등이 삽입되는 개구부는 상기 지그의 빔 부분 내에 형성된다. 상술된 공정에서 상기 지그에 대한 로드는, 저마찰 실린더 등과 같은 액츄에이터로 인하여, 이송부를 통하여 지그의 개구부 내로 삽입되는 핀에 대하여 로드를 이동시킴으로써주어진다. 상기 지그에 대한 로드의 조절은 이 액츄에이터로부터의 로드, 즉 상기 액츄에이터의 구동량을 조절함으로써 실행된다. 부가적으로, 본 출원인에 의해 제출된 일본 특허 출원 제10-178949호는 세라믹 바에 대한 로드 분배 또는 효과적 변형을 얻기 위한 특별한 지그의 예를 기술하고 있다.

현재 통용되고 있는 자기 디스크 장치에서의 기록 밀도는, 상술한 지그를 이용한 자기헤드의 가공방법에 의해 목부 높이 등과 같은 값을 어느 정도까지 허용가능한 범위 내로 떨어지게 할 수 있다. 그러나, 고 기록밀도가 가속화되고, 최근에는 목부 높이의 고 정밀도 또는 소자의 소형화가 현저하게 나타나고 있다. 상기 목부 높이 등과 같은 값을, 상기 세라믹 바의 전체 길이에 걸쳐 허용가능한 범위 내로 떨어지게 하기는 어렵다.

상기 목부 높이 등과 같은 값의 허용가능 범위가 좁아지는 경우, 이러한 문제점을 극복하기 위하여, 예를 들면, 상기 지그에 변형을 일으키는 로드의 적용 지점들을 증가시키는 방법이 있다. 그러나, 이것은 로드 또는 상기 로드의 이송부(적용지점)를 실제로 적용하는 액츄에이터의 총 수를 증가시키게 되므로, 종래의 장치에 액츄에이터 등이 필요한 경우, 연마장치의 구조를 고려할 때 액츄에이터 등을 장착할 공간이 현저하게 증가하기 때문에 이러한 방법을 실제로 실행하는 것은 어려운 일이다. 또한, 상기 지그 자체가 소자의 소형화에 따라 소형화되는 경우, 필요한 로드의 적용 지점에 로드를 적용시키기 위하여 필요한 수의 액츄에이터 등을 배열시키는 것이 어려워지는 문제점이 있다.

또한, 종래의 연마 방법에서, 연마면으로부터의 척력의 영향이 상기 로드의적용 지점 및 빔 사이에 또는 상기 적용 지점들 사이에 존재하기 때문에, 세라믹 바를 충분히 변형시키는 것은 불가능하다. 따라서, 종래의 몇몇 경우에서도, 목부 높이 등과 같은 값의 허용가능 범위에 따라, 변형되지 않은 상기 부분의 값이 허용가능 범위 내로 떨어질 수 없다. 이 문제에 대하여, 상기 로드의 적용지점의 수와 액츄에이터의 수를 증가시키는 방법이 시도되었지만 상술된 문제점으로 인하여 허용가능 범위 면에서 한계가 있다.

또한, 종래의 장치는 연마면에 세라믹 바를 압착하고 세라믹 바의 양 단부에 로드 밸런스를 조절하기 위하여 주 압력 적용용의 액츄에이터에 더하여 지그 변형용의 3 내지 7개의 액츄에이터를 가진다. 그러나, 실제적으로, 리테이너부를 필요한 수준으로 굴곡시키기 위해, 상기 3 내지 7개의 액츄에이터는 상기 필요한 굴곡 수준으로 인하여 큰 스트로크를 가져야 하며, 그러한 큰 스트로크를 가지고 상기 구조에서 큰 공간을 차지하는 액츄에이터들이 항상 종래의 경우에서와 같이 필요하게 된다. 또한 복잡한 굴곡을 줄 수 있도록 하기 위하여, 액츄에이터와 상호작용하는 핀이 삽입되는 상기 지그의 개구부는 상기 개구부에 관하여 수직 방향, 측 방향 및 회전 방향으로 모멘트를 주는 형태를 제공하기 위하여 증가된다. 또한, 각 액츄에이터에 대하여 복잡한 구동 제어를 실행할 필요가 있다. 따라서 종래의 장치는, 상기 세라믹 바의 바로 그 제한된 부분에 소정의 변형량을 부여함에 있어서 적절하지 않다.

전술한 사항을 고려하여, 본 발명의 목적은, 통상의 장치에 비하여 더 작은구동 스트로크를 가지는 액츄에이터를 사용함으로써 세라믹 바 등과 같은 피가공(피연마)물에 대하여 복잡한 굴곡 변형 등을 용이하게 부여하여 특정부에 압착력을 부여할 수 있게 함으로써 피가공(피연마)물의 가공(연마) 공정을 통하여 피가공(피연마)물의 가공(연마)량을 감소시킬 수 있는 장치를 제공하는 것이다.

이 목적 및 다른 목적을 해결하기 위하여, 본 발명에 따르면, 일방향으로 연장된 피가공물의 가공장치에 있어서, 회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며, 상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강 이동하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 포함하며, 상기 수정 기구는 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 한 단부에 각각 핀을 가지는 복수의 레버, 상기 레버를 회전 가능하게 지지하기 위하여 상기 베이스에 고정된 샤프트, 및 상기 샤프트에 관하여 레버를 선회시켜서 상기 핀을 선회시키기 위하여 레버의 다른 단에 결합된 복수의 수정 구동 수단을 포함하며, 상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 포함하며, 그리고 상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 선회운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 가공장치를 제공한다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 핀의 팁 단부가 대략 구형인 것이 바람직하다. 인접하는 레버는 각각 서로 다른 길이를 가지며, 복수의 수정 구동 수단 및 샤프트 사이의 간격이 상기 레버의 길이에 따라 서로 다른 것이 바람직하다. 또한, 상기 샤프트는 상기 핀의 근처 위치에서 레버를 지지하고 상기 수정 구동 수단은 REC 플런저인 것이 바람직하다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서, 회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 구비하며, 상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 포함하며, 상기 수정 기구는, 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 상기 베이스의 한 단부에 각각 고정된 복수의 수정 구동 수단, 상기 수정 구동 수단과 동축으로 결합된 샤프트, 및 상기 샤프트로부터 돌출 설치된 핀을 포함하며, 상기 지그는, 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 포함하며, 그리고 상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 가공장치가 제공된다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서, 회전 가능하게 구동되는 가공면을가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 구비하며, 상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 포함하며, 상기 수정 기구는, 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 상기 베이스의 한 단부에 각각 고정된 복수의 대략 프레임형 부재, 상기 대략 프레임형 부재의 중앙선 상에 고정된 복수의 수정 구동 수단, 및 상기 수정 구동 수단에 구동방향과 평행하게 연장되며 그 일단에 상기 대략 프레임형 부재가 결합되고 그 타단에 핀이 설치된 복수의 샤프트를 포함하며, 상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 포함하며, 그리고 상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 가공장치가 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 핀의 팁 단부가 대략 구형인 것이 바람직하고, 상기 인접하는 샤프트는 각각 서로 다른 길이를 가지며, 그리고 상기 수정 구동 수단 및 상기 핀 사이의 간격이 상기 샤프트의 길이에 따라 서로 다른 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 따르면, 상기 샤프트는 상기 수정 구동 수단과 동축으로 배열되고 상기 수정 구동 수단은 압전 소자 액츄에이터인 것이 바람직하다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 일방향으로 연장된피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서, 회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 구비하며, 상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 포함하며, 상기 수정 기구는 단부에 핀이 설치되고 상기 핀과는 다른 볼록부를 가지는 복수의 샤프트, 상기 볼록부의 양 측 상에 일렬로 배치되며 상기 볼록부를 클램프하는 한 쌍의 수정 구동 부재, 및 상기 한 쌍의 수정 구동 부재를 수용하는 오목부 및 상기 볼록부를 가지는 상하 이동부에 고정된 베이스를 포함하며, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재는, 상기 볼록부를 일직선으로 구동시켜 상기 샤프트 및 상기 핀을 상기 일직선에 평행하게 구동시키고, 상기 지그는, 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 포함하며, 그리고 상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 가공장치가 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 핀의 팁 단부는 대략 구형인 것이 바람직하고, 상기 인접하는 볼록부의 돌출부의 크기가 서로 다르며, 그리고 상기 오목부 내에 수용된 상기 수정 구동 부재의 배열 및 상기 오목부의 크기는 상기 볼록부의 크기에 따라 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 따르면, 상기 한 쌍의 수정구동 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 한 쌍의 피스톤을 가지고, 상기 베이스는 상기 한 쌍의 피스톤 각각의 후방부와 통하는 한 쌍의 압력 매체 도입 포트를 가지고, 상기 한 쌍의 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재 중 한 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 하나의 피스톤을 가지고, 다른 나머지 부재는 탄성부재로 형성되고, 상기 베이스는 상기 피스톤의 후방부와 통하는 압력 매체 도입 포트를 가지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 한 쌍의 인접한 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 압력 매체는 가압 공기인 것이 바람직하다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서, 회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 구비하며, 상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 포함하며, 상기 수정 기구는 샤프트, 단부에 핀이 설치되고 상기 핀과는 다른 부분에서 상기 샤프트에 의하여 회전가능하게 지지되는 선형부 및 볼록부를 가지며 단부가 상기 선형부와 결합된 피구동부로 구성된 복수의 레버, 상기 볼록부를 클램프하면서 상기 볼록부의 양 측 상에 선형으로 배치된 한 쌍의 수정 구동 부재, 및상기 한 쌍의 수정 구동 부재를 수용하는 오목부 및 상기 볼록부를 가지며 상기 상하 이동부에 고정된 베이스를 포함하며, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재는, 선형으로 구동하여 상기 클램프된 볼록부를 구동시키고, 그리하여 상기 레버 및 상기 핀은 상기 샤프트에 관하여 선회되고, 상기 지그는, 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 포함하며, 그리고 상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 선회 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 가공장치가 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 핀의 팁 단부는 대략 구형인 것이 바람직하고, 상기 인접하는 볼록부의 돌출부의 크기가 서로 다르며, 그리고 상기 오목부 내에 각각 수용된 상기 수정 구동 부재의 배열 및 상기 오목부의 크기는 상기 볼록부의 크기에 따라 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 한 쌍의 피스톤을 가지고, 상기 베이스는 상기 한 쌍의 피스톤 각각의 후방부와 통하는 한 쌍의 압력 매체 도입 포트를 가지는 것이 바람직하다. 상기 인접한 한 쌍의 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재 중 한 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 하나의 피스톤을 가지고, 다른 나머지 부재는 탄성부재로 형성되고, 상기 베이스는 상기 피스톤의 후부와 통하는 압력 매체 도입 포트를 가지는 것이 바람직하다. 상기 한 쌍의 인접한 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 압력 매체는 가압 공기이고, 상기 피스톤의 팁 단부는 대략 구형인 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 지그가 상기 피가공물 상에 형성된 전기 소자에 접속되는 전극을 가지며, 상기 수정 기구는 상기 전극과 접촉하게 되는 프로브 유닛을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 따르면, 상기 가공 헤드는 밸런싱 액츄에이터를 가지며, 상기 지그는 본체의 길이방향의 양단부 및 중앙부에 관통 구멍을 가지고, 상기 지그는 상기 중앙부의 관통 구멍을 통과하는 고정 핀에 의하여 상기 수정 기구를 이용하여 지지되며, 그리고 상기 지그는 상기 밸런싱 액츄에이터에 의하여 양단부에서 위치선정 핀을 통하여 상기 가공면을 향한 방향으로 압착되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 가공 헤드는 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의하여 지지되는 조절링을 통하여 상기 가공면과 접촉하여 지지되고, 상기 가공면에 면한 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 자기 헤드의 각은 상기 조절링에 의해 한정되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 가공 헤드는 상기 가공 헤드를 장착하기 위하여 레일에 회전가능하게 장착되는 것이 바람직하다. 추가로, 본 발명에 따른 장치는 가공 헤드 요동 수단을 추가로 포함하며, 여기서 상기 가공 헤드 요동 수단은 소정의 각 범위 내에서 상기 가공 헤드의 왕복 회전 운동을 실행하는 것이 바람직하다. 상기 피가공물은 복수의 자기 헤드가 설치된 봉형 세라믹인 것이 바람직하다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 일방향으로 연장된 피가공물을 지그에 보유하고, 회전가능하게 구동되는 가공 베이스에 형성된 가공면에 대해 상기 피가공물을 압착함에 의하여, 상기 피가공물을 가공하는 가공방법에 있어서, 상기 피가공물이 상기 가공면에 대하여 압착될 때 상기 피가공물의 복수의 위치에서 가공량을 측정하는 단계와, 단부에 핀을 가지는 복수의 레버를, 상기 지그 내에 수용된 팁 단부와 함께 핀이 회전됨에 의하여 상기 지그와 함께 상기 피가공물에 대해 소정의 변형을 부여하기 위하여, 상기 측정된 가공량을 기초로 하여 복수의 수정 구동 수단에 의하여 상기 핀과 함께 회전시키는 단계를 포함하는 가공방법이 제공된다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따라 일방향으로 연장된 피가공물을 지그에 보유하고, 회전가능하게 구동되는 가공 베이스에 형성된 가공면에 대해 상기 피가공물을 압착함에 의하여, 상기 피가공물을 가공하는 가공방법에 있어서, 상기 피가공물이 상기 가공면에 대하여 압착될 때 상기 피가공물의 복수의 위치에서 가공량을 측정하는 단계와, 그리고 복수의 수정 구동 수단과 동축으로 배치되고 핀을 가지는 복수의 샤프트를, 상기 지그 내에 수용된 팁 단부와 함께 상기 핀의 샤프트의 축을 따른 구동에 의하여 상기 지그와 함께 상기 피가공물에 대해 소정의 변형을 부여하기 위하여, 상기 측정된 가공량을 기초로 하여 구동시키는 단계를 포함하는 가공방법이 제공된다.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따라 일방향으로 연장된 피가공물을 지그에 보유하고, 회전가능하게 구동되는 가공 베이스에 형성된 가공면에 대해 상기 피가공물을 압착함에 의하여, 상기 피가공물을 가공하는 가공방법에 있어서, 상기 피가공물이 상기 가공면에 대하여 압착될 때 상기 피가공물의 복수의 위치에서 가공량을 측정하는 단계와, 상기 측정된 가공량을 기초로 하여 복수의 직선 상에 배치된 한 쌍의 수정 구동 수단에 의하여 핀을 가지는 복수의 샤프트를 선형으로 구동시키고, 그리고 상기 지그 내에 수용된 팁 단부와 함께 상기 직선 상에서의 구동에 의하여 상기 지그와 함께 상기 피가공물에 대해 소정의 변형을 부여하는 단계를 포함하는 가공방법이 제공된다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 헤드용 연마 장치의 정면도.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 헤드용 연마 장치의 평면도.

도3은 도1에 도시된 자기 헤드용 연마 장치에서 연마 헤드 등을 도시하는 정면도.

도4는 도3에 도시된 연마 헤드의 평면도.

도5는 도3에 도시된 연마 헤드의 측면도.

도6은 도3에 도시된 연마 헤드의 측단면도

도7은 본 발명에 따른 연마 헤드에 사용가능한 조절링의 저면도.

도8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 수정 기구의 평면도.

도9는 도8에 도시된 수정 기구의 정면도.

도10은 도8에 도시된 수정 기구의 측면도.

도11은 도9에 도시된 수정 기구의 선11-11을 따른 개략단면도.

도12는 본 발명의 실시예에 사용된 피연마물 장착 지그의 정면도.

도13은 본 발명의 실시예에 따른 연마량 제어와 관련한 블럭도.

도14는 도13에 도시된 측정 및 다중 송신 기판의 상세도.

도15는 도13에 도시된 마이크로 액츄에이터 구동 기판의 상세도.

도16은 본 발명의 제2 실시예에 따른 연마 헤드의 측단면도.

도17은 본 발명의 제2 실시예에 따른 수정 기구의 평면도.

도18은 도17에 도시된 수정 기구의 정면도.

도19는 도18에 도시된 수정 기구의 선19-19를 따른 개략단면도.

도20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 연마 헤드의 측단면도.

도21은 본 발명의 제3 실시예에 따른 수정 기구의 평면도.

도22는 도21에 도시된 수정 기구의 정면도.

도23은 도22에 도시된 수정 기구의 선23-23을 따른 개략단면도.

도24는 제3 실시예에서 인접한 가압 매체 도입 포트가 스태거 방식으로 배열된 수정 기구의 배면도.

도25는 도24에 도시된 수정 기구의 선25-25를 따른 개략단면도.

도26은 본 발명의 제4 실시예에 따른 연마 헤드의 측단면도.

도27은 본 발명의 제4 실시예에 따른 수정 기구의 평면도.

도28은 도27에 도시된 수정 기구의 정면도.

도29는 도28에 도시된 수정 기구의 선29-29를 따른 개략단면도.

도30는 제4 실시예에서 인접한 가압 매체 도입 포트가 스태거 방식으로 배열된 수정 기구의 배면도.

도31은 도30에 도시된 수정 기구의 선31-31를 따른 개략단면도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

2 : 연마 베이스 4 : 구동 모터

8 : 가이드 레일 12 : 연마 헤드 장착 프레임

20 : 연마 헤드 30 : 벨트 휠(풀리)

46 : 경사부 64 : 상하 이동부

92 : 피연마물 94 : 지그

108 : 브래킷 128 : 측정핀

(제1 실시예)

본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 헤드용 가공장치, 즉 연마장치가 이하에 수반되는 도면을 참조로 하여 설명될 것이다. 도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 헤드용 연마 장치의 전체 정면도이며, 도2는 평면도이다.

상기 자기 헤드용 연마 장치의 전체 구조가 도1 및 2를 참조하여 기술될 것이다. 상기 자기 헤드용 연마 장치는 베이스(1)를 구비하고 있다. 가공 베이스인 연마 베이스(2)는 베이스(1)에 의해 수평면에서 회전가능하게 지지된다. 또한, 연마 베이스(2)는, 베이스(1) 내에 설치된 회전식 구동 소스인 베이스 구동 모터(4)에 의해 벨트(6)를 통하여 회전하도록 구동된다.

또한, 수직 방향으로 서로 이격된 한 쌍의 가이드 레일은 수평 방향으로 연장되기 위해 베이스(1)의 상부에 의해 지지된다. 또한 측 방향 이동 슬라이더(10)는 상기 한 쌍의 가이드 레일(8)에 의해 수평 방향으로 미끄럼 가능하게 안내된다.가공헤드 장착 프레임인 연마 헤드 장착 프레임(12)은 수직 방향으로(높이 레벨의 조절을 위해 수직으로 구동되게) 이동할 수 있게 측방 이동 슬라이더(10)에 장착된다. 상기 측방 이동 슬라이더(10)의 구동은, 예를 들면, 상기 슬라이더(10) 측 상의 볼 스크류 너트를 가이드 레일(8)과 평행하게 볼 스크류 샤프트와 나사 체결하고 볼 스크류 샤프트를 모터에 의해 회전 구동시킴으로써 실행될 수 있다. 또한 상기 슬라이더(10) 및 상기 연마 헤드 장착 프레임(12)은 왕복 선형운동을 실행할 수 있다.

도3에 도시된 바와 같이, 회전식 지지부(16)는 연마 헤드 장착 프레임(12) 내부에서 환형 베어링부(14)를 통하여 회전가능하게 지지된다. 가공 헤드인 연마 헤드(20)는 고형 부재인 결합 부재(18)를 통하여 회전식 지지부(16) 상에 장착된다. 연마 헤드(20)는 바닥판(22) 및 상기 바닥판(22)에 서로 평행하게 수직으로 삽입 고정되는 수직 지지판(24)을 가진다. 도2 및 3에 도시된 바와 같이, 벨트 휠(풀리)(28)은 지지부(16)에 고정된다. 벨트 휠(풀리)(30)을 구동시키기 위한 연마 헤드 요동 모터(32)는 연마 헤드 장착 프레임(12)의 외부에 장착된다. 벨트(34)는 벨트 휠(28 및 30) 둘레에 놓여진다. 모터(32), 벨트 휠(28 및 30) 및 벨트(34)는 연마 헤드(20)의 왕복회전운동(요동운동)을 소정의 각 범위 내에서 실행시키기 위한 요동 수단으로서 기능한다.

부가적으로, 본 실시예에서, 고형 부재가 결합 부재로서 사용되며, 이 고형부재는 상기 연마 헤드(20)를 연마면(2a)에 대략 수직 방향으로 안정되게 유지할 수 있다. 그러나 연마 단계에서, 상기 연마면(2a)에 대해 안정적인 위치로 상기 연마 헤드를 유지하는 것이 어려운 경우, 결합 부재로서 스프링 또는 러버와 같은 탄성 부재를 사용할 수 있고, 추가로 상기 헤드의 위치를 안정화하기 위해 조절링을 사용할 수 있다. 이 경우, 상기 조절링(마모 패드)(26)은 연마 헤드(20)의 바닥판(22)의 바닥면에 고정되며, 연마 베이스(2)의 상단면인 연마면(2a)과 접촉되게 배치된다. 도7은 조절링의 예를 도시하는 저면도이다. 도7에 도시된 바와 같이, 조절링(26)은, 예를 들면, 내마모성 세라믹으로 만들어진 다수의 실린더 더미(dummy)(38)를 알루미늄으로 만들어진 링체(36)에 끼워넣음으로써 얻어지는 것이다. 실린더 더미(38)의 하단면들은 링체(36)로부터 약간 돌출한다. 상기 다수의 실린더 더미는 상기 조절링(26) 상에 놓여지도록 상기 연마 헤드(20)의 중량 밸런스에 따라 선택된다. 도7에 도시된 조절링(26)의 경우, 연마 베이스(2)와 접촉하는 조절링(26)의 아치형부(40 및 42) 중에서 아치형부(40)가 연마 헤드(20)의 더 많은 로드를 받기 때문에, 상기 실린더 더미(38)의 수는 증가된다.

도3 내지 6에 도시된 바와 같이, 연마 베이스(2)의 하부면에 평행한 경사 샤프트(44)는 연마 헤드(20)의 수직 지지판(24)의 상기 부분들 사이에 제공된다. 연마 헤드(20)에 경사질 수 있는 경사부(46)는 경사 샤프트(44)를 중심으로 선회된다.

도5 및 6에 도시된 바와 같이, 모터 장착 시트부(48)의 하부는 연마 헤드(20)의 수직 지지판(24)에서의 피벗 축(50)에서 회전가능하게 장착된다. 경사 모터(52)는 모터 장착 시트부(48)의 상부에 고정된다. 볼 스크류 샤프트(54)는 모터(52)의 회전식 구동 샤프트에 결합된다. 볼 스크류 샤프트(56)는 이 볼 스크류샤프트(54)에 체결된다. 다른 단에서 경사부(46)에 연결되는 아암(58)의 한단은 선회 샤프트(60)에서 볼 스크류 너트(56)에 결합된다. 피벗 축(50)으로부터 선회 샤프트(60) 까지의 기구는 소정의 각에서 수직면으로부터 연마 베이스(2)의 연마면(2a)까지 경사부(46)를 경사지게 하기 위한 경사부 구동수단을 구성한다.

상하이동부(64)는 경사부(46) 내의 슬라이더 베어링(크로스 롤러 가이드)을 통하여 경사부에 대하여 상승 및 하강 이동 가능하도록 장착된다. 상기 상하이동부(64)의 이동은 경사부(46)와 함께 실행되기 때문에, 경사부(46) 및 상하이동부(64)는 항상 평행상태로 유지된다는 점에 주의해야 한다. 배면기판(68)은 경사 샤프트(44)에 직교하고 연마 베이스(2)의 하부면과 평행하는 선회샤프트(66)에서 선회된다.

도3 및 5에 도시된 바와 같이, 밸런싱 액츄에이터들(70A 및 70B)은 브래킷(72)을 통하여 경사부(46)의 상부에 장착된다. 이 밸런싱 액츄에이터들(70A 및 70B)은 배면기판(68)(견인 압력의 적용)의 선회 샤프트(길이방향의 중앙부)의 우측 및 좌측을 상방으로 부상시키고, 배면기판(68)에 가해진 로드를 제어하기 위해 사용된다.

본 실시예에 도시된 밸런싱 액츄에이터들(70A 및 70B)은 전자기 REC 플런저이며, 프레임(74A 및 74B), 정지부를 형성하기 위해 상기 프레임(74A 및 74B) 내부에 장착되는 코일(76A 및 76B), 이동가능부를 형성하기 위해 상기 액츄에이터(70A 및 70B)의 중앙부에 장착되는 자석(78A 및 78B) 및 상기 자석(78A 및 78B)의 중앙에 일체로 장착되는 봉(80A 및 80B)으로 구성된다. 각각 L형 단면을 가지는 상하이동부재(82A 및 82B)는 봉(80A 및 80B)의 하단에서 프레임(74A 및 74B)에 장착된 슬라이더 베어링(84A 및 84B)을 따라 상승 및 하강 이동가능하도록 연결된다. 상하이동부재(82A 및 82B)의 하단측과 배면기판(68)의 우측 및 좌측은 결합링크(88A 및 88B)를 통해 서로 결합된다. 여기서 자석(78A 및 78B)의 이동방향 및 힘이 배면기판에 가해지는 방향이 서로 평행하다는 점에 주의해야 한다.

실제의 연마 작업에서, 피연마물(92)의 연마면(2a)에 대한 주 압착 로드의 조절은 밸런싱 액츄에이터들(70A 및 70B)에 의해 실행된다. 이와 동시에, 피연마물(92)의 길이방향에서의 상기 압착 로드의 대략적인 밸런스 조절이 실행된다. 본 실시예에서, 특히 피연마물(92)을 주로 상방으로 끌어 당기기 위한 힘(인력)은, 피연마물(92)의 길이방향에서의 피연마부 및 연마량의 크기 변화에 응답하여 액츄에이터(70A 및 70B)에 의해 가해진다. 그러나, 각 부분의 필요한 연마량에 응답하여 압착력(피연마물(92)이 연마면에 대해 압착되는 방향에서의 힘)을 부분적으로 가하는 것이 가능하다.

연마 작업시 지그(94)를 통하여 상기 피연마물(92)의 굴곡 등을 실제 수정하기 위한 수정 기구(100)이 배면기판(68)에 고정되고, 상기 수정 기구(100) 자체는 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)에 의하여 구동된다. 이하에, 상기 수정 기구(100)이 상세하게 기술될 것이다.

도8, 9 및 10는 각각 본 실시예에 따른 수정 기구(100)의 평면도, 정면도, 및 측면도이다. 베이스(101)는, 상기 수정 기구(200) 자체가 상기 배면기판(68)에 고정될 수 있도록, 스크류 등과 같은 결합수단에 의하여 배면기판(68)에 대략 평행하게 고정된다. 브래킷(103)은 상기 베이스(101)의 상부에 홀더(102)를 통하여 고정된다. 상기 브래킷(103)의 양 측면은 상기 배면기판(68)에 대략 평행하게 배열된다. 기판(104 및 105)은 상기 브래킷(103)의 양측면에 평행하게 고정된다. 상기 브래킷(103)은, 복수의 수정 구동 수단으로 구성된 수정 액츄에이터(106)가 소정의 위치에서 유지되도록, 상기 두 기판(104 및 105) 사이에서 클램프된다.

도11은 상기 수정 기구(100)의 구동부의 구조를 도시란 측면도이다. 도11에 도시된 바와 같이, 각 수정 액츄에이터(106)는, 그의 구동부에서, 조인트(118) 및 핀(117)을 통하여 그 구동방향에 대략 수직으로 연장되는 레버(113)의 일단에 연결된다. 또한, 레버(113)는 베이스(101)에 고정된 샤프트(111)에 의하여 베어링(112)을 통하여 회전가능하게 지지되고, 상기 수정 기구(106)의 구동에 의하여 샤프트(111)에 관하여 회전된다. 상기 레버(113)는, 상기 샤프트(111)에 관하여 회전되도록 상기 구동부를 가지는 상기 결합부의 타단에 핀(113a)이 설치된다.

이 실시예에서, 상기 샤프트(111)는 상기 레버(113)를 지지하는 핀(113a)의 근처에 설치됨으로써, 상기 수정 액츄에이터(106)로부터 획득된 구동력이 상기 레버 원리에 의하여 증폭되고, 상기 핀(113a)에 대한 미세 제어가 실행된다. 핀(113a)의 팁 단부는 구형으로 가공되고 상기 수정 액츄에이터(106)의 구동에 의하여 상기 액츄에이터의 구동방향에 대략 수직인 방향으로 (상기 연마면(2a)에 대략 수직방향으로) 구동된다.

부가적으로, 상기 인접하는 핀들(113a)의 팁 단부들 사이의 간격이 이 실시예에서 사용된 수정 액츄에이터(106)의 크기(이 경우 직경)보다 작기 때문에, 상기수정 액츄에이터(106)를 서로에 대해 평행한 상태로 간단히 배열시키는 것이 불가능하다. 그렇기 때문에, 도11에 도시된 바와 같이, 레버(113)의 길이는, 상기 수정 액츄에이터(106)가 스태거 방식으로 배열되어 상기 수정 액츄에이터(106)에 대하여 보유 공간을 제공하 수 있도록 그렇게 각 경우에 변화된다. 이 경우에, 상기 핀(113a)의 상기 팁 단의 구동량은 상기 레버(113)의 길이에서의 차이로 인하여 서로 다르다. 그러나, 본 실시예에 따르면, 상기 수정 액츄에이터(106)의 각 구동 스트로크는 각 구동 스트로크는 소정의 범위로 제한되고, 그와 동시에 상기 핀(113a)의 실구동량을 측정하기 위한 카운트 수는 서로 다르게 되고, 그리하여 상기 팁 단의 구동량을 일정하게 유지시킨다.

도6 또는 도9에 도시된 바와 같이, 상기 배면 기판(68)의 반대편 방향으로 돌출 설치된 한 쌍의 위치선정핀(107a) 및 고정핀(107)이 상기 베이스(101)의 하부에 길이방향의 양단부 및 중앙부에서 서로에 대해 평행하게 고정된다. 복수의 저항 측정 단자(128) 등으로 구성된 프로브 유닛(109 및 110)을 구비한 브래킷(108)이 상기 한 쌍의 위치선정핀(107a)을 사용함으로써 고정된다. 피연마물(92)을 보유하기 위한 상기 지그(94)는, 상기 고정핀(107) 및 위치선정핀(107a) 둘다를 사용함으로써 베이스(101)에 상기 브래킷(208)을 클램프하기 위하여 유지된다.

도12의 정면도에 도시된 바와 같이, 예를 들면, 상기 지그(94)는, 일방향으로 연장된 본체부(131), 상기 본체부(131)와 평행하게 배치된 본체부(131)의 길이와 대략 동일한 길이를 가지는 보유부(132), 및 길이방향 양 단부에서 본체부(131)와 보유부(132)를 결합하기 위한 조인트부(133 및 134)로 구성된 일체의 프레임 형상으로 형성되어 있다. 위치선정핀(107a) 및 고정핀(107)을 관통하는 홀(120a 및 120)이 본체부에 구비되며, 상기 본체부(131)는 상기 베이스(101)에 고정된다. 상기 보유부(132)에서, 복수의 로드수용부(145)는 프레임 내부의 부분에 길이방향으로 배열되며, 상기 보유부(132)는 피연마물(92)을 프레임 외부의 부분에 유지시킨다.

로드 수용 홀(146)은 각 로드 수용부(145)의 중심부에 형성된다. 상기 지그(94)가 베이스(101)에 고정될 때, 상기 핀(113a)의 팁 단에 있는 구형부는 로드 수용 홀(146) 내로 삽입된다. 수정 액츄에이터(106)이 구동됨에 따라, 상기 핀(113a)의 팁 단부는 로드 수용부(145)를 상승 및 하강 구동시키기 위해 로드 수용 홀(146)의 주변부를 압착한다. 이 로드 수용부(145)의 이동에 따라, 보유부(132)는 부분적으로 변형되며, 이와 동시에 피연마부(92)는 국부적으로 변형된다.

부가적으로, 상기 핀(113a)의 팁 단부는 선형 방식으로 상승 및 하강 이동되는 것이 아니라, 샤프트(11)를 중심으로 한 레버(113)의 아치형 회전에 따라 아치형 궤적을 그리면서 상승 및 하강 이동된다. 이러한 이유로, 상기 실시예에서, 상기 팁 단부는 상기 로드수용홀(146)의 주변부로 미끄러져 상기 팁 단부에 관하여 로드수용부(145)가 원활히 미끌어질 수 있도록, 상기 팁 단부는 구형으로 만들어진다.

보유부 본체(132)에 고정되는 피연마물(92)의 경우, 자기 박막 패턴으로 만들어진 다수의 자기 헤드의 소자부들은 상기의 연장된 직사각형 세라믹 바(박막 자기헤드의 슬라이더용 소자들로 분할됨) 상에 일렬로 배열된다. 이 소자부들의 자기 박막 패턴은 세라믹 바의 길이방향 일측면 상에 배열된다. 따라서, 세라믹 바의 바닥면은 상기 목부 높이 및 MR높이가 전술된 길이방향 측면에 형성되는 소자부에서 축소될 수 있도록 연마된다.

전술된 바와 같이, 피연마물(92)에는 스트레인, 뒤틀림 등이 존재한다. 피연마물(92)이 연마될 때, 스트레인 등을 수정한 후에 이것을 연마하는 것이 필요하다. 본 실시예에서, 피연마물(92)의 길이방향의 각 위치에서 필요로 하는 굴곡 변형량은, 필요량 만큼 길이방향 측면 지그(94)에서 형성된 각 로드수용부(145)를 상승 및 하강 구동시킴으로써 수정된다.

따라서, 연마작업시 로드수용부(145)의 필요한 구동량, 즉 피연마물(92)의 굴곡 변형량을 찾아낼 필요가 있다. 연마작업 동안 필요한 변형량을 찾아내고 그 찾은 값을 기초로 하여 수정 액츄에이터(106)를 구동시키는 것에 대한 특별한 예가 이하에 기술될 것이다. 본 실시예에서는, 추가 전극이, 상기 소자들에 추가하여 세라믹 바의 길이방향 측면 상에 제공된다. 상기 추가 전극은 상기 세라믹 바의 연마작업에 따라 상기 세라믹 바의 크기를 감소시키고 상기 저항값을 증가시킨다. 본 발명의 실시예에서는, 추가 전극의 저항값의 변화가 모니터되고 그 모니터링 시간에서의 연마량이 구해지고 그리하여 그 획득된 연마량을 기초로 하여 추가로 필요한 변형량을 구하는, 소위 패쇄회로 제어에 따른 연마작업이 피연마물(92)의 연마량을 제어하기 위하여 실행된다.

이러한 이유로, 와이어 본딩에 의해 추가 전극에 전기 접속된 상기 전극들은, 길이방향 측면 지그(94)의, 브래킷(108) 면 측 상의 한 면에 미리 형성된다. 스프링 등에 의해 바이어스된 측정핀(128)은 브래킷(108) 상의 프로브 유닛(109 및 110) 내에 삽입된다. 길이방향 측면 지그(94)가 상기 베이스(101)에 고정될 때, 상기 전극 및 측정핀(128)은 서로 접촉한 상태로 된다. 또한, 측정핀(128)은 저항값 측정수단(미도시)에 연결되고, 길이방향 측면 지그(94)는 그에 따라 추가 전극의 저항값을 측정하는 것이 가능하도록 베이스(101)에 고정된다.

액츄에이터(106)의 제어 수단 및 고유 저항값 측정수단의 구조가 이하에 기술될 것이다. 도13은, 상기 측정수단 및 제어수단을 포함하여, 측정된 추가전극의 저항값을 기초로 하여 수정 액츄에이터(106)를 구동하기 위한 제어 블록도이다. 도14는 측정 및 다중송신 기판(220)의 상세 블럭도이다. 도15는 액츄에이터 구동 기판의 상세 블록도이다. 부가적으로, 본 실시예에서는, 4단자 방법에 따라 측정되기 때문에, 복수의 측정핀(128)이 단일의 추가 전극(201)과 접촉하게 된다.

상기 측정 및 다중송신 기판(220)을 사용하여, 상기 측정핀(128)을 통해 상기 추가 전극(201)에 의해 얻어지는 전압은 공지된 4단자 측정시 사용되는 연산을 기초로 하여 저항값으로 변환된다. 또한, 이 값은 디지털 데이터로 변환 및 다중송신되며, 마이크로 컴퓨터(210)의 입력/출력 단자(211)에 입력된다. 또한 상기 컴퓨터(210)에 입력된 데이터를 이용하여, 피연마물(92)의 연마량이 연산되고 조작자에게 상기 연마량을 디스플레이한다.

상기 저항값의 측정으로부터 디지털 데이터의 출력까지의 상기 신호처리 공정은 도13을 참조하여 보다 상세히 기술될 것이다. 상기 측정 및 다중송신기판(220)에서는, 일정한 전원으로부터 상기 복수의 측정핀(128)으로의 전류공급, 각 핀들 사이의 전압 측정이, 그리고 연산부에서는, 수정 저항(222)의 값과 측정값의 비교에 기초한 수치연산이, 계속적으로 실행되어 추가 전극의 저항값이 얻어지게 된다. 얻어진 값은 A/D 변환기(224)에 의해 디지털 데이터로 변환된다.

피연마면(92a) 상에서 추가전극이 형성된 부분에서의 필요 연마량 및 그 근처에서의 필요 연마량이 구해진다. 그 후, 상기 필요 연마량으로 연마작업을 실행하기 위해, 각 로드수용부(145)에 필요한 구동량은 컴퓨터(210)에서 구동량 데이터로 구해진다. 상기 구동량 데이터는 컴퓨터(210)로부터 입력단자(211)를 통하여 액츄에이터 구동기판(230)으로 입력된다.

상기 데이터는 액츄에이터 구동기판(230)에서 제어신호로 변환된다. 구동전류는 제어신호를 수신한 구동전류 출력장치(232)로부터 각 수정 액츄에이터(106)로 출력된다. 그러한 출력에 응답하여, 각 수정 액츄에이터(106)는 길이방향 측면 지그(94)의 로드수용부(145)의 구동에 의해 피연마물(92)에 주어지는 변형량을 미세하게 조절하고 그에 따라 연마면(2a)에 관하여 길이 방향의 각 위치에서 피연마물(92)의 연마량의 로드 밸런스를 미세하게 조절한다.

전술한 바와 같이, 수정 액츄에이터(106)는, 연마량의 불균일성의 허용가능 범위가 더욱 작아지는 경우에 대처하도록 상기 연마량을 모니터하면서 상기 피연마물이 연마될 수 있도록, 상기 폐쇄회로를 통하여 제어된다. 부가적으로, 실제 소자의 저항으로부터 연마량을 구할 수 있으며, 예를 들면 추가전극을 사용하는 것 없이 MR 값을 구하는 것이 가능하다.

본 발명의 상기 실시예에 따른 실제 장치의 동작 및 그 연마방법이 기술될 것이다. 먼저, 도1 및 2에 도시된 바와 같이 상기 연마 헤드(20)가 연마 베이스(2)와 떨어져 있는 위치에서, 복수의 박막 자기 헤드용 소자들이 배열되는 피연마물 보유용 길이방향 측면지그(94)가, 고정핀(107) 및 위치선정핀(107a)을 사용함으로써 베이스(101)에 고정된다. 이 때, 길이방향 측면지그(94)의 측면(94a) 상에 제공된 추가 전극 및 전극들은 이미 와이어 본딩되어 있고, 측정핀(128)은 상기 전극과 접촉되게 된다.

각 레버(113)의 핀(113a)의 상기 모든 팁 단부는 상기 지그(94)의 로드수용홀(146) 내로 삽입된다. 그 후, 연마 헤드(20)에 관한 배면기판(68)의 경사각은 초기 단계에 0으로 설정된다(조절링이 사용되는 경우, 조절링(26)의 바닥면에 대하여 수직 위치, 즉 연마 베이스(2)에 대하여 수직 위치).

여기서, 피연마물의 구조에 따라, 예를 들면 피연마물 상의 배열 내에 상기 소자 등이 형성되어 소정의 목부 높이를 획득하는데 매우 큰 연마량을 필요로 하는 경우, 상기 장착 작업 전에 또다른 장치에 의해 대강의 연마작업이 미리 실행되는 몇몇 경우가 있다. 본 실시예에서는, 이 경우, 이 대강의 연마작업이 피연마물(92)이 길이방향 측면지그(94) 내에 보유된 상태 하에서 실행되는 것이 아니라 피연마물(92)이 또 다른 지그(미도시)에 고정된 상태 하에서 실행된다. 그러나 상기의 대강의 연마작업은 길이방향 측면지그(94)를 사용함으로써 실행될 수도 있다. 상기 대강의 연마작업의 완료 후, 상기 피연마물(94)은 또 다른 지그로부터 제거되며 길이방향 측면지그(94)에 다시 고정된다.

길이방향 측면지그(94)의 장착작업 및 배면기판(68)의 경사각 설정 후, 상기 연마 헤드(20)가 상부에 장착된 연마 헤드 장착프레임(12)은 가이드 레일(8)을 따라 선형 방식으로 이동되고 회전구동되는 연마베이스(2) 상부에 위치선정된다. 또한, 상기 피연마물(92)을 연마베이스(2) 상단면의 연마면(2a)에 접촉되도록 하기 위하여, 상기 연마 헤드 장착프레임(12)이 하강된다. 상기 조절링(26)이 사용되는 경우, 상기 연마 헤드 장착프레임(12)은 하강하여, 그 하부면에 끼워 넣어진 상기 복수의 실린더 더미(38)의 하부면의 한 부분이 연마베이스(2) 상단면의 연마면(2a)에 접촉되도록 하여, 상기 부분이 적절한 압력에서 그와 접촉을 유지할 수 있도록 한다.

또한 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)는, 배면기판(68)의 좌측 및 우측에 가해진 각 평행 압력이 조절되고, 피연마물(92)이 연마면(2a)에 대하여 대략 평행하게 압착되는 상태 하에서 유지될 수 있도록 그렇게 구동된다. 본 실시예에서는, 주 압력이 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)로부터 얻어진다. 그러나, 이 단계에서, 배면기판(68)이 지지되는 정도의 압력이 가해져서, 피연마물(92)의 양 단부가 연마면(2a)과 접촉하고 있는 상태로 좌우 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)를 유지할 수 있게 된다. 부가적으로, 이 조절은 시각적 관측에 의해 실행되거나 또는 접촉 센서 등을 사용함으로써 실행될 수 있다. 또한 피연마물(92)의 굴곡을 미리 대강 측정하고, 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)에 의해 압력 밸런스를 조절하여, 그 측정 결과에 응답하여 굴곡을 수정할 수 있도록 하는 것이 가능하다.

이 상태 하에서, 피연마물(92)의 연마작업이 실행된다. 추가 전극의 저항값측정에 따른 연마량의 측정은, 상기 연마 단계에서 원하는 간격으로 각 추가전극 형성 위치에서 필요한 연마량을 얻기 위해 각각 원하는 시간에 실행된다. 각 수정 액츄에이터(106), 즉 로드 수용부(145)의 구동량은 상기 획득된 필요 연마량에 응답하여 제어됨으로써, 원하는 목부 높이 등을 획득할 수 있다. 부가적으로, 피연마물의 굴곡이 아치형상처럼 단순하고 현저하며, 그리고 필요한 연마량의 분배가 현저할 경우, 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)에 의해 변형량의 밸런스 조절을 먼저 실행하고 그 후에 수정 액츄에이터의 구동량 조절을 실행하는 것이 바람직하다.

부가적으로, 조절링이 사용되는 경우, 조절링(26)의 동일 지점이 연마베이스(2)와 접촉하고 있으면, 연마단계 동안, 국부적 마모가 발생하기 쉽기 때문에, 연마 헤드(20) 및 조절링(26)이 장착된 회전식 지지부(16)가 연마 헤드 요동모터(32)에 의해 소정의 각 범위 내에서 왕복 회전되며, 연마 헤드 장착프레임(12)은 소정의 범위에서 선형방식으로 왕복 이동된다. 따라서, 연마단계 동안, 연마 헤드(20) 및 조절링(26)은 왕복 회전운동 및 왕복 선형운동의 복합운동을 한다.

전술한 방법에 따라, 피연마물인 세라믹 바의 굴곡은, 더 상세히 수정될 수 있고, 그리고 세라믹 바의 전체 길이에 걸쳐 목부 높이 등의 값이 허용가능 범위 내로 떨어지도록 연마될 수 있다.

부가적으로, 본 실시예에서는, 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)로서 REC 플런저를 가지는 연마 헤드가 사용된다. 그러나, 밸런싱 액츄에이터는 그것으로 또는 그에 의해 제한되지 않으며, 전자기 실린더와 같은 여러 가지 종류의 저마찰 실린더를 사용하는 것이 가능하다. 또한 본 실시예에서는, 두 개의 액츄에이터가 수정 액츄에이터(106)의 구동 스트로크 불충분을 보상하기 위해 사용된다. 그러나, 수정 액츄에이터의 구동 스트로크를 더 효과적으로 보상하기 위해, 밸런싱 액츄에이터의 수를 늘리는 것이 가능하다. 또한, 수정 액츄에이터(106)의 구동 스트로크 자체가 충분히 큰 경우에는, 밸런싱 액츄에이터가 필요 없으며, 단지 단일의 견인 또는 압착 액츄에이터를 갖는 구조를 가지는 것이 가능하다.

또한, 본 실시예에서는, REC 플런저가 수정 액츄에이터로서 사용된다. 그러나, 본 발명의 적용은 본 실시예에 한정되지 않는다. 공기 또는 전자기 실린더 등을 갖는 구조를 가지는 것이 가능하다. 또한 본 실시예에서는, 샤프트(111)가 상기 핀(113a) 근처의 상기 레버(113)를 지지한다. 본 발명의 적용은 본 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 핀(113a) 및 수정 액츄에이터(106)의 구동 스트로크 및 구동 로드를 고려하여 수정 액츄에이터(106) 근처에 샤프트가 배치되는 배열과 같은 그런 다양한 배열을 가지는 것이 가능하다. 또한 기판(104 및 105)에 대한 수정 액츄에이터(106)의 장착 위치 및 레버(113)의 길이는 본 실시예에 도시된 것들에 한정되지 않는다. 이 인자들은 액츄에이터(106)의 크기 및 인접한 핀(113a)의 간격에 따라 선택되는 것이 바람직하다.

또한 본 실시예의 폐쇄회로에 따른 제어는 각 수정 또는 마이크로 액츄에이터의 수단에 의하여만 실행된다. 그러나, 예를 들면, 획득된 필요 연마량이 마이크로 액츄에이터의 구동 범위를 초과하는 몇몇 경우가 있다. 이 경우들에 있어서, 획득된 필요 연마량이 소정의 값보다 큰 경우, 한 단에서의 밸런싱 액츄에이터(70A및 70B)에 의해서만 피연마물의 굴곡 수정이 실행되며, 처음 그 동작은 필요한 연마량을 줄이기 위해 서브루틴 내로 들어간다. 그 후 상기 폐쇄회로에 따라 마이크로 액츄에이터를 실행시키기 위한 상기 구조를 가질 수 있다.

또한 본 실시예에서, 피연마물(92)을 길이방향 측면 지그(94) 또는 이송 지그에 고정시키는 것, 그리고 이송 지그를 길이방향 측면 지그(94)에 고정시키는 것은 열가소성 접착제에 의해 실행된다. 그러나, 본 발명은 여기에 한정되지 않는다. 고정물로는 열경화성 또는 어떤 다른 종류의 접착제, 수지 등으로 만들어진 점성 물질, 정전기 부착, 진공 흡입 등을 채택하는 것이 가능하다.

또한, 전술한 실시예에서는, 연마작업 만이 기술되었다. 당업자에 있어서 본 발명을 연마작업 뿐만 아니라 그라인딩 작업 또는 어떤 다른 적절한 작업에 적용하는 것은 자명한 일이다. 또한, 본 발명은 전술한 실시예의 특정한 방식에 한정되는 것이 아니라, 수반되는 청구범위 내에서 본 발명을 당업자가 다양하게 변형 또는 변화시키는 것이 가능하다.

(제2 실시예)

본 발명의 제2 실시예에 따른 자기 헤드용 연마장치가 이하에 수반되는 도면을 참조로 하여 설명될 것이다. 추가로, 제1 실시예 및 제2 실시예 사이의 차이점은 단지 굴곡 수정 기구(100) 및 굴곡 수정 기구(200)의 구조 뿐이기 때문에, 상기 수정 기구(100 및 200), 상기 장치의 전체 구조에서 피연마물(92) 등의 필요한 연마량을 검출하기 위한 제어 블록을 제외한 부분들에 관한 중복된 설명은 생략될 것이다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 상기 수정 기구(200)이 이하에 상세히 기술될것이다.

도16은 본 실시예에 따른 연마 헤드의 측단면도이다. 도17, 18 및 19는 각각 본 실시예에 따른 수정 기구의 평면도, 정면도, 및 측단면도이다. 본 실시예에 따른 수정 기구(200)은 베이스(150), 홀더(151), 프레임형 부재인 액츄에이터 홀더(152), 수정 구동 수단인 수정 액츄에이터(152), 고정핀(154), 위치선정핀(154a), 가이드 브래킷(155), 샤프트(156) 및 핀(157)으로 구성된다. 상기 베이스(150)는 스크류 등과 같은 결합수단에 의하여 배면기판(68)에 대략 평행하게 고정된다. 이 수단에 의하여, 상기 수정 기구(200) 자체가 상기 배면기판(68)에 고정된다.

상기 홀더(151)는 상기 베이스(150)의 상부에 고정된다. 상기 홀더(151)는 복수의 액츄에이터 홀더(152)를 상기 배면기판(68)에 대략 평행한 상태로 지지한다. 각 액츄에이터 홀더(152)는 상기 프레임 형상을 하고 있다. 상기 액츄에이터 홀더(152)는 상기 수정 액츄에이터(153)를 상기 밸런싱 액츄에이터(70A 및70B)의 구동방향과 동일한 방향으로 구동될 수 있도록 지지한다. 상기 액츄에이터 홀더(152)는 유연성있는 재료로 만들어지고, 상기 수정 액츄에이터(152)의 확장 또는 수축에 응답하여 상기 수정 액츄에이터의 상기 구동 방향으로 확장 또는 수축되도록 구동된다. 상기 액츄에이터 홀더(152)는 상기 수정 액츄에이터(153)의 대략 바로 상부에서 홀더(151)에 고정되고, 상기 수정 액츄에이터(153)의 구동 방향에서 연장되는 샤프트(156)의 일단을 상기 수정 액츄에이터(153)의 대략 바로 하부에 고정시킨다.

가이드 브래킷(155) 및 피연마물(92)을 지지하고 있는 지그(94)를 고정시키는 고정핀(154) 및 상기 고정 위치를 한정하기 위한 위치선정핀(154a)이 상기 베이스(150)의 하부에 고정된다. 상술된 샤프트(156)는 상기 가이드 브래킷(155)에 제공된 각 가이드 홀(155a)을 관통한다. 이리하여, 상기 수정 액츄에이터(153)에 따른 상기 샤프트(156)의 수직 구동이 가이드 홀(155a)에 의하여 상기 구동방향으로부터 이탈되는 것이 방지된다. 상기 베이스(150)에 대향하는 방향으로 연장되는 각 핀(157)이 샤프트(156)의 타단에 제공된다. 이 실시예에서, 상기 핀(157)의 팁 단부는 구형으로 가공된다. 상기 팁 단부는 상기 수정 액츄에이터(153)의 구동에 의하여 (상기 연마면(2a)에 대략 수직한) 상기 액츄에이터의 구동방향과 대략 평행한 방향으로 구동된다.

도19에서 점선으로 도시된 바와 같이, 피가공물(92)을 보유하는 지그(94)는, 상기 위치선정핀(154a)을 사용함으로써 상기 베이스(150) 및 지그(94)에 의하여 상기 브래킷(155)을 클램프하도록 배치되고, 상기 고정핀(154)을 사용함으로써 고정 및 보유된다. 부가적으로, 이 실시예에서, 가이드홀(155a) 등에 대한 작업으로 인하여 저항 측정 단자(128)에 대한 충분한 수의 접촉점을 획득하는 것이 불가능하므로, 복수의 저항 측정 단자(128) 등으로 형성된 프로브 유닛((109 및 110)이 상기가이드 브래킷(155)에 직접 설치되지는 않는다. 이런 이유로, 제1 실시예와는 달리, 프로브 유닛(109 및 110)은, 제거될 수 있는 상기 가이드 브래킷(155)과는 별개의 유닛이다. 상기 지그(94)에서의 가이드 브래킷(155)의 대면의 반대면에 상기 고정핀(154)을 사용함으로써 상기 가이드 브래킷(155)이 고정된다.

와이어 본딩에 의해 추가의 전극에 전기접속된 전극이 미리 형성되어 있는 표면이 상기 가이드 브래킷(155)의 대면의 반대면인 점을 제외하면 제1 실시예에서 예시된 바와 같은 지그(94)를 사용하는 것이 가능하다. 즉, 상기 지그(94)가 상기 베이스(150)에 고정되는 경우, 상기 핀(157)의 팁 단부에서 구형부가 로드 수용 홀(146) 내로 삽입된다. 상기 수정 액츄에이터(153)의 구동에 따라, 상기 핀(157)의 팁 단부는, 상기 로드 수용부((145)를 상하로 구동시키기 위하여 상기 로드 수용홀(146)의 원주부를 압착한다. 상기 로드 수용부(145)의 이동은 상기 보유부(132)를 부분적으로 변형시키며, 동시에 피연마물(92)에 대하여도 국부적인 변형을 가한다.

부가적으로, 상기 인접하는 핀들(157)의 팁 단부들 사이의 간격이 이 실시예에서 사용된 수정 액츄에이터(153)의 크기(이 경우, 상기 확장/축소 구동 방향에 대해 수직인 방향에서의 단면적)에 비하여 크기 때문에, 상기 수정 액츄에이터(153)를 서로에 대해 평행한 상태로 간단히 배열시키는 것이 가능하다. 그러나, 수정 액츄에이터(153)의 크기에 비하여 상기 핀 팁 단부들 사이의 간격을 축소시킬 필요가 있는 경우에는, 각각의 수정 액츄에이터(153)를 스태거 방식으로 배열하고 각 수정 액츄에이터(153)에 대하여 보유 공간을 제공하는 것이 가능하다.

또한, 이 실시예에서, 각 액츄에이터 홀더(152)는 프레임 형상(프레임)을 하고 있다. 상기 수정 액츄에이터(153) 및 샤프트(156)는 그의 중심선 상에 배열되고, 상기 홀더(151) 까지 중심선 상에 유지된다. 그러나, 본 발명의 배열은 그에 제한되지 않는다. 상기 수정 액츄에이터의 강도가 보상되는 경우, 액츄에이터 홀더의 형상이 U형 등과 같이 다양한 형상을 가지는 것이 가능하다. 또한, 상기 수정 액츄에이터 자체의 강도가 높은 경우, 액츄에이터 홀더를 제거한 구조를 가지는 것이 가능하다. 또한, 전술한 실시예에서, 각 핀의 팁 단부 등에 가해진 모멘트에 비추어 상기 핀을 교환하는 것이 가능하다.

또한, 이 실시예에서, 압전 액츄에이터가 상기 수정 액츄에이터(153)로서 사용된다. 그러나, 상기 수정 액츄에이터가 그곳에 제한되지는 않는다. 상기 프로브 유닛(109 및 110)의 배열에 관련하여, 유효한 저항 측정 단자(128)와의 접촉 지점의 총수에 응답하여 제1 실시예와 동일한 배열을 가지는 것이 가능하다. 추가로, 밸런싱 액츄에이터의 구조의 변형 등과 같이 제1 실시예의 형식과 관련하여 기술된 각 구조의 변형이 동일한 방식으로 이 실시예에 적용될 수 있다.

(제3 실시예)

제2 실시예에서, 각 핀(157)의 팁 단부는 상기 수정 액츄에이터(153)의 변형에 응답하여 선형 방식으로 상승 및 하강 이동된다. 이런 이유로 인하여, 제2 실시예에서는, 상기 수정 액츄에이터(153)의 구동량이 제1 실시예에 비하여 작으며, 또한 상기 압전 소자는 홀더(152)에 대해 큰 변형력이 고정밀도로 주어질 수 있도록 각각의 액츄에이터로서 효과적으로 사용된다. 그러나, 비교적 작은 양의 변형력을 가지는 압전소자가 사용되기 때문에, 주어진 변형량이 불충분할 염려가 있다. 그렇기 때문에, 제3 실시예에 따르면, 수정 액츄에이터로서 공기 실린더가 사용된다.

본 발명의 제3 실시예에 따른 자기 헤드용 연마장치가 이하에 수반되는 도면을 참조로 하여 설명될 것이다. 추가로, 제1 실시예 및 제3 실시예 사이의 차이점은 굴곡 수정 기구(100) 및 굴곡 수정 기구(300)의 구조이기 때문에, 상기 수정 기구(300), 상기 장치의 전체 구조에서 피연마물(92) 등의 필요 연마량을 검출하기 위한 제어 블록을 제외한 부분들에 관한 중복된 설명은 생략될 것이다. 본 발명의 제3 실시예에 따른 상기 수정 기구(300)이 이하에 상세히 기술될 것이다.

도20은 본 실시예에 따른 연마 헤드의 측단면도이다. 도21, 22 및 23은 각각 본 실시예에 따른 수정 기구의 평면도, 정면도, 및 도22의 선23-23을 따른 단면도이다. 본 실시예에 따른 수정 기구(300)은 베이스(301), 실린더 주입기(302, 303), 피스톤(304, 305), 가이드 브래킷(306), 고정핀(307), 위치선정핀(307a) 및 샤프트(308)로 구성된다.

상기 베이스(301)는 스크류 등에 의하여 배면기판(68)에 대략 평행하게 상부에만 고정됨으로써, 상기 수정 기구(200) 자체를 상기 배면기판(68)에 고정시킨다. 상단면(321a), 바닥면(321b), 및 수직면(321c)으로 구성된 오목부(321)는 상기 베이스(301) 하부의 배면기판(68) 측의 반대편면 (이하 상단면이라 함) 상에 형성된다. 또한, 압력매체 도입 포트인 가압가스 도입 포트(323, 324)가 상기 배면기판 측 면(이하, 후측면이라 함) 상에 제공된다. 상기 포트를 통하여 도입된 상기 가압가스는 상단면(321a) 및 바닥면(321b)으로부터 상기 베이스(301)의 내부에 형성된 매체유입로인 가스 통로(325 및 326)를 통하여 상기 오목부(321) 내로 도입된다.

즉, 본 실시예에서, 수정 구동 부재는 가압가스에 의해 구동되는 피스톤들 및 상기 피스톤을 수용하는 실린더 주입기들로 구성되며, 상기 수정 구동 수단은 한 쌍의 수정 구동 부재로 구성된다.

가이드 홈은 상기 가이드 브래킷(306) 내에서 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)의 구동방향(이하 수직방향이라 함)에 제공된다. 가이드 홈이 형성된 면 측은, 상기 샤프트(308)가 상기 가이드 홈 내에서 수직방향으로 미끄럼 가능하게 유지될 수 있도록 상기 베이스(301)의 상단면과 마주 대하고 있다. 상기 샤프트(308)는 상기 오목부(321) 내에 수용된 볼록부(308a) 및 상기 수직방향으로 하부에서 상기 수직방향과 다른 방향으로 돌출한 핀(308b)을 가진다. 상기 오목부(321)는, 상기 볼록부(308a)의 상면 및 하향면에서 수직방향으로 접촉하는 피스톤(304 및 305), 및 상기 수직 방향으로 미끄럼가능하게 피스톤(304 및 305)을 수용하는 실린더 주입기(302 및 303)를 각각 추가로 수용한다

예를 들면, 상기 가압가스가 상기 가압 공기 도입 포트(323) 내로 도입되는 경우에, 상기 가스 유입로(325)를 통하여 상단면(321a)에 도달한 가압 공기는 수직방향 하방으로 실린더 주입기(302) 내에서 피스톤(304)을 구동시킨다. 또한, 상기 피스톤(305)은 상기 샤프트(308)의 볼록부(308a)와 접촉한 상태에 있다. 그러나, 이 경우, 상기 볼록부(308a)를 하방으로 구동시키기 위한 피스톤(304)의 힘이 더 강하기 때문에, 상기 샤프트(308) 및 핀(308b)이 하방으로 구동된다. 또한, 상기 샤프트(308) 및 핀(308b)이 상방으로 구동되어질 경우, 이것은 가압 공기 도입 포트(324) 내로 상기 가압 공기를 도입하기에 충분하다. 상기 포트(323) 및 포트(324)로 도입되는 가스의 압력 밸런스를 조절함으로써 상기 샤프트(308) 및 핀(308b)의 구동량을 조절할 수 있게 된다.

도23에서 점선에 의하여 도시된 바와 같이, 피가공물(92)을 보유하는지그(94)는, 상기 위치선정핀(307a)을 사용함으로써 상기 베이스(301) 및 지그(94)에 의하여 가이드 브래킷(306)을 클램프하도록 배치되고, 상기 고정핀(307)을 사용함으로써 고정 및 보유된다. 부가적으로, 이 실시예에서, 가이드홈 등에 대한 작업으로 인하여 저항 측정 단자(128)에 대한 충분한 수의 접촉점을 획득하는 것이 불가능하므로, 복수의 저항 측정 단자(128) 등으로 형성된 프로브 유닛((109 및 110)이 상기 가이드 브래킷(306)에 직접 설치되지는 않는다. 이런 이유로, 제1 실시예와는 달리, 프로브 유닛(109 및 110)은, 제거될 수 있는 상기 가이드 브래킷(306)과는 별개의 유닛이다. 상기 지그(94)에서의 가이드 브래킷(306)의 대면의 반대면에 상기 고정핀(307)을 사용함으로써 상기 가이드 브래킷(306)이 고정된다.

와이어 본딩에 의해 추가의 전극에 전기접속된 전극이 미리 형성되어 있는 표면이 상기 가이드 브래킷(307)의 대면의 반대면인 점을 제외하면 제1 실시예에서 예시된 바와 같은 지그(94)를 사용하는 것이 가능하다. 즉, 상기 지그(94)가 상기 베이스(301)에 고정되는 경우, 상기 핀(308b)의 팁 단부에서 구형부가 로드 수용 홀(146) 내로 삽입된다. 상기 피스톤(304 및 305)의 구동에 따라, 상기 핀(308b)의 팁 단부는, 상기 로드 수용부(145)를 상하로 구동시키기 위하여 상기 로드 수용홀(146)의 원주부를 압착한다. 상기 로드 수용부(145)의 이동은 상기 보유부(132)를 부분적으로 변형시키며, 동시에 피연마물(92)에 대하여도 국부적인 변형을 가한다.

부가적으로, 상기 인접하는 핀들(308b)의 팁 단부들 사이의 간격이 이 실시예에서 사용된 피스톤(304 및 305)의 크기(이 경우, 상기 구동 방향에 대해 수직인방향에서의 단면적) 또는 가압 공기 도입 포트(323 및 324)의 크기(보다 정확히는, 각 포트로의 가압 공기 도입을 위한 튜브가 연결되는 경우 사용된 컨넥터의 외부 직경)에 비하여 크기 때문에, 이 소자들을 서로에 대해 평행한 상태로 간단히 배열시킬 수 있다. 그러나, 이 피스톤 또는 포트의 크기에 비하여 상기 핀 팁 단부들 사이의 간격을 축소시킬 필요가 있는 경우에는, 각각의 인접한 피스톤들, 즉 상기 피스톤을 수용하는 인접한 오목부들을 스태거 방식으로 배열하거나, 각 인접하는 포트들을 스태거 방식으로 배열하거나, 또는 이 소자들을 결합하는 것이 가능하다.

상기 소자들이 결합되는 예가 도24 및 25에 도시된다. 도24는 베이스(301)의 배면도이다. 도25는 상기 포트가 스태거 방식으로 배열되지 않은 실시예의 도24에 대응하는 도이다. 도24로부터 명백한 바와 같이, 포트(323 및 324)가 평행하게 배열된 경우와 비교하여 포트의 수를 상당히 증가시킬 수 있다. 추가로, 도25에 도시된 바와 같이, 포트(323 및 324)의 배열이 바뀌고, 또한 상기 인접한 오목부(321)의 깊이도 다르며, 그리하여 실린더 주입기 및 피스톤은 평행하게가 아니라 스태거 방식으로 배열되게 된다. 그러한 배열에 의하면, 상기 피스톤 및 상기 포트의 크기에 의존하지 않고도 상기 인접한 핀들(308b) 사이의 간격을 축소시킬 수 있다.

이 변형에서 상기 포트 및 피스톤의 배열은 단순히 예이며, 상기 인접한 핀들 사이의 간격을 더욱 축소시킬 수 있도록 상기 배열이 더욱 복잡하게 바뀔 수 있다. 또한, 본 실시예에서, 가압가스는 상기 구동 소스로서 사용된다. 그러나, 수력 유체 등과 같은 액체를 사용하는 것이 가능하다. 또한, 본 실시예에서, 상기 수정 구동 수단은, 피스톤, 실린더 주입기 등으로 구성된 한 쌍의 수정 구동 부재로 구성된다. 그러나, 피스톤, 실린더 주입기 등으로 구성된 수정 구동 부재들 중의 하나 및 스프링 또는 러버 등과 같은 탄성 물질로 구성된 다른 수정 구동 부재를 포함할 수 있다. 추가로, 밸런싱 액츄에이터의 구조의 변형 등과 같이 제1 실시예의 형식과 관련하여 기술된 각 구조의 변형이 동일한 방식으로 이 실시예에 적용될 수 있다.

(제4 실시예)

본 발명의 제4 실시예에 따른 자기 헤드용 연마장치가 이하에 수반되는 도면을 참조로 하여 설명될 것이다. 추가로, 제3 실시예 및 제4 실시예 사이의 차이점은 굴곡 수정 기구(300) 및 굴곡 수정 기구(300)의 구조이기 때문에, 상기 수정 기구(300), 상기 장치의 전체 구조에서 피연마물(92) 등의 필요 연마량을 검출하기 위한 제어 블록을 제외한 부분들에 관한 중복된 설명은 생략될 것이다. 본 발명의 제4 실시예에 따른 상기 수정 기구(400)이 이하에 상세히 기술될 것이다.

도26은 본 실시예에 따른 연마 헤드의 측면도이다. 도27, 28 및 29는 각각 본 실시예에 따른 수정 기구(400)의 평면도, 정면도, 및 도28의 선29-29를 따른 단면도이다. 본 실시예에 따른 수정 기구(400)은 베이스(401), 실린더 주입기(402, 403), 피스톤(404, 405), 가이드 브래킷(406), 위치선정(고정)핀(407), 위치선정핀(407a) 및 레버(408)로 구성된다.

상기 베이스(401)는 스크류 등에 의하여 배면기판(68)에 대략 평행하게 상부에만 고정됨으로써, 상기 수정 기구(400) 자체를 상기 배면기판(68)에 고정시킨다. 상단면(421a), 바닥면(421b), 및 수직면(421c)으로 구성된 오목부(421)는 상기 베이스(401) 하부의 배면기판(68) 측의 반대편면 (이하 상단면이라 함) 상에 형성된다. 또한, 압력매체 도입 포트인 가압가스 도입 포트(423, 424)가 상기 배면기판 측 면(이하, 후측면이라 함) 상에 제공된다. 상기 포트를 통하여 도입된 상기 가압가스는 상기 베이스(401)의 내부에 형성된 매체유입로인 가스 통로(425 및 426)를 통하여 상기 상단면(421a) 및 바닥면(421b)으로 도입된다.

가이드 홈은 상기 가이드 브래킷(406) 내에서 밸런싱 액츄에이터(70A 및 70B)의 구동방향(이하 수직방향이라 함)에 제공된다. 상기 가이드 홈이 형성된 면 측은, 상기 레버(408)가 상기 가이드 홈 내에서 수직방향으로 미끄럼 가능하게 유지될 수 있도록 상기 베이스(401)의 상단면과 마주 대하고 있다. 상기 레버(408)는, 한 단에 상기 베이스(401)에 의해 지지된 샤프트(420)에 관하여 선회가능하게 지지되고 다른 단에 상기 핀(408b)이 제공된 선형부, 및 한단에 상기 선형부가 고정되고 다른 단에 상기 오목부(421) 내에 수용된 볼록부(408a)가 제공되고 그리고 상기 볼록부(408a)를 제외하고는 상기 가이드 홈 내에 수용된 피구동부로 구성된다. 상기 오목부(421)는, 상기 볼록부(408a)의 수직방향 상하로 상기 볼록부(408a)와 접촉하는 피스톤(404 및 405), 및 상기 수직방향에서 미끄럼 가능하게 상기 피스톤(404 및 405)을 수용하기는 실린더 주입기(402 및 403)를 각각 추가로 수용한다.

예를 들면, 상기 가압가스가 상기 가압 공기 도입 포트(423) 내로 도입되는 경우에, 상기 가스 유입로(425)를 통하여 상단면(421a)에 도달한 가압 공기는 수직방향 하방으로 실린더 주입기(402) 내에서 피스톤(404)을 구동시킨다. 또한, 상기피스톤(405)은 상기 레버(408)의 볼록부(408a)와 접촉한 상태에 있다. 그러나, 이 경우, 상기 볼록부(408a)를 하방으로 구동시키기 위한 피스톤(404)의 힘이 더 강하기 때문에, 상기 볼록부(408a)가 대략 하방으로 구동된다. 상기 볼록부(408a)는, 축(420)에 관하여 레버(408)를 회전가능하게 구동시키기 위하여 대략 하방으로 구동되고, 그리하여 상기 핀(408b)은 대략 수직방향으로 이동된다. 또한, 상기 레버(408) 및 핀(408b)이 상방으로 구동되어질 경우, 이것은 가압 공기 도입 포트(424) 내로 상기 가압 공기를 도입하기에 충분하다. 상기 포트(423) 및 포트(424)로 도입되는 가스의 압력 밸런스를 조절함으로써 상기 레버(408) 및 핀(408b)의 구동량을 조절할 수 있게 된다.

부가적으로, 베이스(401)에 대한 지그(94)의 고정, 프로브 유닛(109 및 110)의 고정, 지그(94)의 상기 로드 수용홀(146) 내로 상기 핀(408b)의 팁 단부의 삽입으로 인한 피연마물(92) 및 지그의 변형 등은 제3 실시예와 동일하므로, 그 상세한 설명은 생략될 것이다.

부가적으로, 상기 인접하는 핀들(408b)의 팁 단부들 사이의 간격이 이 실시예에서 사용된 피스톤(404 및 405)의 크기(이 경우, 상기 구동 방향에 대해 수직인 방향에서의 단면적) 또는 가압 공기 도입 포트(423 및 424)의 크기에 비하여 크기 때문에, 이 소자들을 서로에 대해 평행한 상태로 간단히 배열시킬 수 있다. 그러나, 이 피스톤 또는 포트의 크기에 비하여 상기 핀 팁 단부들 사이의 간격을 축소시킬 필요가 있는 경우에는, 각각의 인접한 피스톤들, 즉 상기 피스톤을 수용하는 인접한 오목부들을 스태거 방식으로 배열하거나, 각 인접하는 포트들을 스태거 방식으로 배열하거나, 또는 이 소자들을 결합하는 것이 가능하다.

상기 소자들이 결합되는 예가 도30 및 31에 도시된다. 도30은 베이스(401)의 배면도이다. 도31은 상기 포트가 스태거 방식으로 배열되지 않은 실시예의 도29에 대응하는 도이다. 도30으로부터 명백한 바와 같이, 포트(423 및 424)가 평행하게 배열된 경우와 비교하여 포트의 수를 상당히 증가시킬 수 있다. 추가로, 도31에 도시된 바와 같이, 포트의 배열이 대체되고, 또한 상기 인접한 오목부(421)의 깊이도 다르며, 그리하여 실린더 주입기 및 피스톤은 평행하게가 아니라 스태거 방식으로 배열되게 된다. 그러한 배열에 의하면, 상기 피스톤 및 상기 포트의 크기에 의존하지 않고도 상기 인접한 핀들(408b) 사이의 간격을 축소시킬 수 있다.

이 변형에서 상기 포트 및 피스톤의 배열은 단순히 예이며, 상기 인접한 핀들 사이의 간격을 더욱 축소시킬 수 있도록 상기 배열이 더욱 복잡하게 바뀔 수 있다. 또한, 본 실시예에서, 가압가스는 상기 구동 소스로서 사용된다. 그러나, 수력 유체 등과 같은 액체를 사용하는 것이 가능하다. 추가로, 밸런싱 액츄에이터의 구조의 변형 등과 같이 제1 실시예의 형식과 관련하여 기술된 각 구조의 변형이 동일한 방식으로 이 실시예에 적용될 수 있다.

본 발명에 따른 가공장치 및 가공방법에 따르면, 세라믹 바 등과 같은 피가공물에 복잡한 변형 등을 부여할 수 있으며, 그리하여 피가공물의 가공작업 중에 피가공물의 가공량의 불균일성을 방지할 수 있다.

Claims (39)

1. 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,

   회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며,

   상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강 이동하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 갖추고 있으며,

   상기 수정 기구는 복수의 수정 구동 수단 및 각각 하나의 핀을 가지는 복수의 피구동부를 갖추고 있으며,

   상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 갖추고 있으며,

   상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각각의 구동 부분의 이동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 상기 피가공물과 함께 부분적으로 변형되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
2. 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,

   회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며,

   상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강 이동하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 갖추고 있으며,

   상기 수정 기구는 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 한 단부에 각각 핀을 가지는 복수의 레버, 상기 레버를 회전 가능하게 지지하기 위하여 상기 베이스에 고정된 샤프트, 및 상기 샤프트에 관하여 레버를 선회시켜서 상기 핀을 선회시키기 위하여 레버의 다른 단에 결합된 복수의 수정 구동 수단을 갖추고 있으며,

   상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 갖추고 있으며,

   상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 선회운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 상기 피가공물과 함께 변형되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 핀의 팁 단부가 대체로 구형인 것을 특징으로 하는 가공장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 인접한 레버는 각각 서로 다른 길이를 가지며, 상기복수의 수정 구동 수단 및 상기 샤프트 사이의 간격이 상기 레버의 길이에 따라 서로 다른 것을 특징으로 하는 가공장치.
5. 제2항에 있어서, 상기 샤프트는 상기 핀의 근처 위치에서 상기 레버를 지지하는 것을 특징으로 하는 가공장치.
6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수정 구동 수단은 REC 플런저인 것을 특징으로 하는 가공장치.
7. 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,

   회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며,

   상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 갖추고 있으며,

   상기 수정 기구는 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 상기 베이스의 한 단부에 각각 고정된 복수의 수정 구동 수단, 및 상기 수정 구동 수단과 동축으로 결합된 샤프트, 및 상기 샤프트로부터 돌출 설치된 핀을 갖추고 있으며,

   상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 갖추고 있으며,

   상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
8. 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,

   회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며,

   상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 갖추고 있으며,

   상기 수정 기구는 상기 상하 이동부에 고정된 베이스, 상기 베이스의 한 단부에 각각 고정된 복수의 대략 프레임형 부재, 상기 대략 프레임형 부재의 중앙선 상에 보유된 복수의 수정 구동 수단, 및 상기 수정 구동 수단의 구동방향과 평행하게 연장되며 일단에 상기 대략 프레임형 부재가 결합되고 타단에 핀이 설치된 복수의 샤프트를 갖추고 있으며,

   상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 갖추고 있으며,

   상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
9. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 핀의 팁 단부가 대체로 구형인 것을 특징으로 하는 가공장치.
10. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 인접한 레버는 각각 서로 다른 길이를 가지며, 상기 수정 구동 수단 및 상기 핀들 사이의 간격이 상기 샤프트의 길이에 따라 서로 다른 것을 특징으로 하는 가공장치.
11. 제8항에 있어서, 상기 샤프트는 상기 수정 구동 수단과 동축으로 배열되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
12. 제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 수정 구동 수단은 압전 소자 액츄에이터인 것을 특징으로 하는 가공장치.
13. 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,

    회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며,

    상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 갖추고 있으며,

    상기 수정 기구는 단부에 핀이 설치되고 상기 핀과는 다른 볼록부를 가지는 복수의 샤프트, 상기 볼록부의 양 측 상에 일렬로 배치되며 상기 볼록부를 클램프하는 한 쌍의 수정 구동 부재, 및 상기 한 쌍의 수정 구동 부재를 수용하는 오목부 및 상기 볼록부를 가지는 상하 이동부에 고정된 베이스를 갖추고 있으며, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재는 상기 볼록부를 일직선으로 구동시켜 상기 샤프트 및 상기 핀을 상기 일직선에 평행하게 구동시키고,

    상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 갖추고 있으며,

    상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 핀의 팁 단부가 대체로 구형인 것을 특징으로 하는 가공장치.
15. 제13항에 있어서, 상기 인접하는 볼록부의 돌출부의 크기가 서로 다르며, 상기 오목부 내에 각각 수용된 상기 수정 구동 부재의 배열 및 상기 오목부의 크기는 상기 볼록부의 크기에 따라 한정되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
16. 제13항 또는 제15항에 있어서, 상기 한쌍의 수정 구동 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 한 쌍의 피스톤을 가지고, 상기 베이스는 상기 한 쌍의 피스톤 각각의 후방부와 연통하는 한 쌍의 압력 매체 도입 포트를 갖는 것을 특징으로 하는 가공장치.
17. 제13항 또는 제15항에 있어서, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재 중 한 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 하나의 피스톤을 가지고, 다른 나머지 부재는 탄성부재로 형성되고, 상기 베이스는 상기 피스톤의 후방부와 연통하는 압력 매체 도입 포트를 갖는 것을 특징으로 하는 가공장치.
18. 제16항에 있어서, 상기 한 쌍의 인접한 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
19. 제17항에 있어서, 상기 인접한 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
20. 제13항 또는 제15항에 있어서, 상기 압력 매체는 가압 공기인 것을 특징으로 하는 가공장치.
21. 일방향으로 연장된 피가공물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,

    회전 가능하게 구동되는 가공면을 가지는 가공 베이스, 상기 가공면에 이동가능하게 배치된 가공 헤드 장착 프레임, 및 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드를 포함하며,

    상기 가공 헤드는 피가공물을 보유하기 위한 지그, 상기 지그와 함께 상기 가공면에 관하여 상승 및 하강하는 상하 이동부, 및 상기 상하 이동부에 의하여 지지되는 수정 기구를 갖추고 있으며,

    상기 수정 기구는 샤프트, 단부에 핀이 설치되고 상기 핀과는 다른 부분에서 상기 샤프트에 의하여 회전가능하게 지지되는 선형부 및 볼록부를 가지는 상기 선형부에 단부가 결합된 피구동부로 구성된 복수의 레버, 상기 볼록부를 클램프하면서 상기 볼록부의 양 측 상에 선형으로 배치된 한 쌍의 수정 구동 부재, 및 상기 한 쌍의 수정 구동 부재를 수용하는 오목부 및 상기 볼록부를 가지며 상기 상하 이동부에 고정된 베이스를 포함하며, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재는 선형으로 구동하여 상기 클램프된 볼록부를 구동시켜 상기 레버 및 상기 핀은 상기 샤프트에 관하여 선회되며,

    상기 지그는 상기 상하 이동부에 고정된 본체부, 상기 피가공물을 보유하기 위하여 일방향으로 연장되어 상기 본체부에 고정된 보유부, 및 상기 보유부 상에 일방향으로 평행하게 배열된 복수의 로드 수용부를 갖추고 있으며,

    상기 로드 수용부는 상기 핀을 수용하고 각 핀의 선회 운동에 따라 구동됨으로써 상기 보유부에서 상기 로드 수용부에 대응하는 부분이 피가공물과 함께 변형되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
22. 제21항에 있어서, 상기 핀의 팁 단부는 대체로 구형인 것을 특징으로 하는 가공장치.
23. 제21항에 있어서, 상기 인접하는 볼록부의 돌출부의 크기가 서로 다르며, 상기 오목부 내에 각각 수용된 상기 수정 구동 부재의 배열 및 상기 오목부의 크기는 상기 볼록부의 크기에 따라 한정되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
24. 제21항 또는 제23항에 있어서, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재는 압력 매체에 의하여 구동되는 한 쌍의 피스톤을 가지고, 상기 베이스는 상기 한 쌍의 피스톤 각각의 후방부와 연통하는 한 쌍의 압력 매체 도입 포트를 갖는 것을 특징으로 하는 가공장치.
25. 제21항 또는 제23항에 있어서, 상기 한 쌍의 수정 구동 부재 중 한 부재는압력 매체에 의하여 구동되는 하나의 피스톤을 가지고, 다른 나머지 부재는 탄성부재로 형성되고, 상기 베이스는 상기 피스톤의 후방부와 연통하는 압력 매체 도입 포트를 갖는 것을 특징으로 하는 가공장치.
26. 제24항에 있어서, 상기 한 쌍의 인접한 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
27. 제25항에 있어서, 상기 인접한 압력 매체 도입 포트는 상기 베이스의 소정의 면으로부터 각각 서로 다른 간격으로 배열되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
28. 제21항 또는 제23항에 있어서, 상기 압력 매체는 가압 공기인 것을 특징으로 하는 가공장치.
29. 제24항에 있어서, 상기 피스톤의 팁 단부 부분는 대체로 구형인 것을 특징으로 하는 가공장치.
30. 제25항에 있어서, 상기 피스톤의 팁 단부는 대략 구형인 것을 특징으로 하는 가공장치.
31. 제2항, 제7항, 제8항, 제13항 및 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 지그는 상기 피가공물 상에 형성된 전기 소자에 접속되는 전극을 가지며, 상기 수정 기구는 상기 전극과 접촉하게 되는 프로브 유닛을 갖는 것을 특징으로 하는 가공장치.
32. 제31항에 있어서, 상기 가공 헤드는 밸런싱 액츄에이터를 가지며, 상기 지그는 본체의 길이방향으로 양단부 및 중심부 내에 관통 구멍을 가지며, 상기 지그는 상기 중심부의 관통 구멍을 통과하는 고정 핀에 의하여 상기 수정 기구에 의해 지지되며, 그리고 상기 지그는 상기 밸런싱 액츄에이터에 의하여 양단부에서 위치선정 핀을 통하여 상기 가공면을 향한 방향으로 압착되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
33. 제31항에 있어서, 상기 가공 헤드는 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의하여 지지되고 상기 가공면과 접촉하는 조절링을 통하여 지지되며, 상기 가공면에 마주한 상기 가공 헤드 장착 프레임에 의해 지지되는 가공 헤드의 각도는 상기 조절링에 의해 한정되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
34. 제31항에 있어서, 상기 가공 헤드는 상기 가공 헤드를 장착하기 위한 레일에 회전가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
35. 제34항에 있어서, 가공 헤드 요동 수단을 더 포함하며, 상기 가공 헤드 요동요동은 소정의 각 범위 내에서 상기 가공 헤드의 왕복 회전 운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 가공장치.
36. 제31항에 있어서, 상기 피가공물은 복수의 자기 헤드가 설치된 봉형 세라믹인 것을 특징으로 하는 가공장치.
37. 일방향으로 연장된 피가공물을 지그에 보유하고, 회전가능하게 구동되는 가공 베이스에 형성된 가공면에 대해 상기 피가공물을 압착함으로써, 상기 피가공물을 가공하는 가공방법에 있어서,

    상기 피가공물이 상기 가공면에 대하여 압착될 때 상기 피가공물의 복수의 위치에서 가공량을 측정하는 단계와,

    단부에 핀을 가지는 복수의 레버를, 상기 지그 내에 수용된 팁 단부와 함께 핀이 회전됨에 의하여 상기 지그와 함께 상기 피가공물에 대해 소정의 변형을 가하기 위하여, 상기 측정된 가공량을 기초로 하여 복수의 수정 구동 수단에 의하여 상기 핀과 함께 회전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가공방법.
38. 일방향으로 연장된 피가공물을 지그에 보유하고, 회전가능하게 구동되는 가공 베이스에 형성된 가공면에 대해 상기 피가공물을 압착함에 의하여, 상기 피가공물을 가공하는 가공방법에 있어서,

    상기 피가공물이 상기 가공면에 대하여 압착될 때 상기 피가공물의 복수의 위치에서 가공량을 측정하는 단계와,

    복수의 수정 구동 수단과 동축으로 배치되고 핀을 가지는 복수의 샤프트를, 상기 지그 내에 수용된 팁 단부와 함께 상기 핀이 샤프트의 축을 따라 구동됨에 의하여 상기 지그와 함께 상기 피가공물에 대해 소정의 변형을 부여하기 위하여, 상기 측정된 가공량을 기초로 하여 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가공방법.
39. 일방향으로 연장된 피가공물을 지그에 보유하고, 회전가능하게 구동되는 가공 베이스에 형성된 가공면에 대해 상기 피가공물을 압착함에 의하여, 상기 피가공물을 가공하는 가공방법에 있어서,

    상기 피가공물이 상기 가공면에 대하여 압착될 때 상기 피가공물의 복수의 위치에서 가공량을 측정하는 단계와,

    상기 측정된 가공량을 기초로 하여 복수의 직선 상에 배치된 한 쌍의 수정 구동 수단에 의하여 핀을 가지는 복수의 샤프트를 선형으로 구동시키고, 그리고 상기 지그 내에 수용된 팁 단부와 함께 상기 직선 상에서의 구동에 의하여 상기 지그와 함께 상기 피가공물에 대해 소정의 변형을 부여하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가공방법.