JP3466522B2 - 被加工物の曲がり修正用治具、該治具を用いた加工装置および方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ヘッドが複数配
列された被研磨物を加工するための磁気ヘッドの研加工
装置および加工方法に関わり、特に加工時における被加
工物の曲がりを修正するための装置および方法に関わ
る。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置等に用いる薄膜磁気ヘ
ッドは、誘導型磁気変換素子或いは磁気抵抗（以下ＭＲ
素子と述べる。）素子等を形成する磁性薄膜等からなる
多数個の素子部が表面上に一列に形成された棒状のセラ
ミック（以下セラミックバーと述べる。）を加工して得
られる部品より構成されている。従来、この薄膜磁気ヘ
ッド用の部品のバッチ式製造過程においては、複数の素
子部が形成されたセラミックバーの研磨を行い、各素子
部のスロートハイト或いはＭＲハイト等を適切な値に加
工する工程が行われている。一般に、磁気ディスク装置
において、磁気ヘッドからの出力特性を安定化させるた
めには、磁気ヘッドの磁極部分と記録媒体表面との距離
を、きわめて狭い一定の距離に保つ必要があり、スロー
トハイトの値等はこの距離を規定する上の重要なパラメ
ータとなる。

【０００３】その後の工程で、セラミックバーは各素子
部ごとに個々に切り離され、それぞれが磁気ディスク装
置用の磁気ヘッドの一部品を構成する。該磁気ヘッドが
磁気ディスク装置に用いられる時には、セラミック部分
が磁気ディスク上でディスクの回転による風圧により浮
上するスライダとなり、該素子部がディスクの磁気信号
の記録および／又は再生を行うヘッドコアとなる。

【０００４】なお、スロートハイトとは、このようなヘ
ッドコアにおいて磁気信号の記録・再生を行う磁極先端
部であって２つの磁極が微少ギャップで向かい合う部分
の長さ（高さ）を言う。また、ＭＲハイトとは、ＭＲ素
子の媒体対向面側の端部から反対側の端部までの長さ
（高さ）を言う。信号の適切な記録再生を可能とするた
めに、これらスロートハイト、ＭＲハイト等の値を所定
のものとする必要があり、この所定値を得るための研磨
加工には高い精度が要求される。

【０００５】しかし、一般に上記セラミックバーは、セ
ラミック基板からの切断或いは素子部の形成によって生
じる応力等のため、歪み、曲がり等を有しており、単に
セラミックバーを固定して研磨加工を行うだけでは上記
の高い加工精度を得ることは困難である。このため、一
般的な研磨装置ではなく、例えば米国特許第５６２０３
５６号等に開示されているような、セラミックバー形態
で磁気ヘッドの研磨を高精度で行う装置が提案されてい
る。また、本願出願人もこのような装置および方法をい
くつか提案している（特願平１１−１６２７９９な
ど）。

【０００６】上記セラミックバーに対して実際に行われ
ている研磨方法について、以下に説明する。まず、セラ
ミックバーの研磨面とは反対側の面を接着剤等により治
具に貼り付け、治具を介してセラミックバーの被研磨面
を研磨用定盤の研磨面に押しつけることで、被研磨面の
研磨を行う。この治具は梁構造となっており、治具外部
から治具上の３乃至７の特定の数点に荷重を付与するこ
とによって治具全体に変形を生じさせる。さらに、この
梁構造は、上記荷重のバランス調整によるセラミックバ
ーの固定された部分の複雑な変形を容易とし、セラミッ
クバーをこの固定部分と同時に曲げることで、セラミッ
クバー自体が持つ曲がり等の修正も可能とする。

【０００７】研磨時においては、治具に固定されたセラ
ミックバー上の所定の素子部において、それらのスロー
トハイト等の値を光学的或いは電気的な方法で測定し、
それら測定値と目標値との差即ち測定時において必要と
される研磨量を求める。得られた所定の素子部分および
その近傍部分における必要研磨量に基づいて、複数点で
の荷重を調整し、治具を介してセラミックバーを変形さ
せながら研磨を行うという工程を繰り返すことで、セラ
ミックバーに形成された全ての素子のスロートハイト等
の値を所定の範囲内に納めている。

【０００８】治具の梁状部分には、ピン等が挿入可能な
開口部が設けられている。上記工程における治具に対し
ての荷重は、低摩擦シリンダー等のアクチュエータによ
る荷重を伝達部品を介して治具の開口部に挿入されたピ
ンに伝達すること与えられる。治具に対する荷重の調整
は、このアクチュエータからの荷重すなわちアクチュエ
ータの駆動量の調整によって行われる。なお、セラミッ
クバーに対して効果的な変形或いは荷重分散をもたらす
治具の具体例としては、本出願人による特願平１０−１
７８９４９において開示されているものがある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】現在の磁気ディスク装
置等の記録密度においては、上記治具を用いる磁気ヘッ
ドの加工方法により、スロートハイト等の値をある程度
の許容範囲に収めることは可能である。しかし、高記録
密度化が進み、素子の小型化或いはスロートハイト等の
高精度化がより進んだ現在においては、セラミックバー
全長にわたってスロートハイト等の値を許容範囲に収め
ることが、困難となってきている。

【００１０】スロートハイト等の値の許容範囲がより狭
くなった場合、例えば治具に変形をもたらす荷重の付加
点を増加させてこれに対応することが考えられる。しか
し、実際に荷重を与えるアクチュエータあるいは荷重の
伝達部（付加点）等を増加させることとなるため、研磨
装置の構成上アクチュエータ取付けのスペース等の大幅
な増加が見込まれることから実行は困難である。また、
素子の小型化にともなって、治具自体を小型化した場合
には、必要となる荷重の付加点に対して荷重を与えるア
クチュエータ等を必要な数だけ配置することが困難とな
る等の問題が生じうることが考えられる。

【００１１】さらに、従来の研磨方法においては、例え
ば梁の柱と荷重の付加点の間あるいは荷重の付加点同士
の間は研磨面からの反力の影響があるためにセラミック
バーを十分に変形させることができない。従って、従来
においても、スロートハイト等の値の許容範囲によって
は、この変形させ得ない部分は、許容範囲に収めること
ができなくなる場合があった。この問題に対しては、ア
クチュエータの数および荷重の付加点を増加による対応
が試みられているが、上記に述べた問題によりその対応
しうる許容範囲には限度があった。

【００１２】また、従来装置は、セラミックバーを研磨
面に押圧する主たる押圧力を与えると共にセラミックバ
ーの長手方向両端部の荷重バランスを調整するアクチュ
エータの他に、治具を変形させる３乃至７個のアクチュ
エータを有している。しかし実際に保持部分が必要量曲
げられるためには、この３乃至７個のアクチュエータは
必要曲げ量より大きなストロークを有する必要があり、
常にストロークの大きい、装置構成上かなり大きなスペ
ースをしめるアクチュエータを用いる必要があった。さ
らに、複雑な曲げを可能とする場合には、アクチュエー
タと連動するピンが挿入される治具上の開口部を大きく
することで、開口部に対してピンが上下、左右さらには
回転方向のモーメントを与える形状とし、その上で各ア
クチュエータの複雑な駆動制御を行う必要がある。従っ
て、従来装置は、セラミックバー上の極限られた部分に
所定の変形量を与えるには不向きであった。

【００１３】本発明は、上記問題に鑑み、セラミックバ
ー等の加工（研磨）対象物に対して複雑な曲げ変形等を
容易に与え、特定部分に対しても押圧力を付加すること
を可能とし、これにより加工（研磨）対象物の加工（研
磨）工程において、加工（研磨）対象物の加工（研磨）
量のばらつきを減少せしめる装置の提供を目的とするも
のである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る、一方向に長い被加工物を保持し加工
装置に支持されて加工装置の加工面に対して被加工物を
変形させる治具は、加工装置の支持部に支持される本体
部と、被加工物を保持するための一方向に長い保持部
と、本体部と保持部とを連結して本体部および保持部と
共に枠を形成する連結部と、両端部を本体部および保持
部とに固定されて枠内部に配置される複数のマイクロア
クチュエータとを有することを特徴としている。

【００１５】さらに、本発明に係る治具は、その保持部
において、複数のマイクロアクチュエータが各々固定さ
れる固定部間に溝を有しても良い。また、マイクロアク
チュエータは、圧電素子からなるマイクロアクチュエー
タであっても良い。また上述の被加工物は磁気ヘッドが
複数個形成された棒状セラミックであっても良い。ま
た、被加工物は、トランスファ治具を介して保持部に保
持されても良い。

【００１６】さらに、上記課題を解決するために、本発
明に係る一方向に長い被加工物を加工する加工装置は、
加工面を有して回転駆動される加工用定盤と、加工面に
対して移動可能に配置された加工ヘッド取付け用フレー
ムと、加工ヘッド取付けフレームに弾性支持される加工
ヘッドとを有し、加工ヘッドは、被加工物を保持する治
具と、治具を支持する支持部と、支持部と一体で加工面
に対して昇降する昇降部と、昇降部に結合して加工面に
平行な傾動軸を中心として傾動可能な傾動部と、傾動部
を傾動させる傾動部駆動手段とを有し、治具は、支持部
に支持される本体部と、被加工物を保持するための一方
向に長い保持部と、本体部と保持部とを連結して本体部
および保持部と共に枠を形成する連結部と、両端部を本
体部および保持部とに固定されて枠内部に配置される複
数のマイクロアクチュエータとを有することを特徴とし
ている。

【００１７】また、保持部は、複数のマイクロアクチュ
エータが各々固定される固定部間に溝を有しても良い。
加工ヘッドは押圧用アクチュエータを有し、本体部は長
さ方向中央部に貫通孔を有し、治具は貫通孔を貫通する
支持ピンによって支持部に支持され、押圧用アクチュエ
ータは支持ピンを介して治具を加工面方向に押圧するこ
ととしても良い。支持部は位置決めピンを有し、位置決
めピンは連結部において枠に対して垂直な方向に設けら
れた凹部に嵌ることによって、治具の位置決めをするこ
ととしても良い。

【００１８】また、加工ヘッドは修正用アクチュエータ
を有し、修正用アクチュエータは位置決めピンを介して
治具の加工面に対する押圧力の調整を行うこととしても
良い。加工ヘッドは、加工ヘッド取付けフレームに弾性
支持されて加工面と接触するアジャストリングを介し
て、加工ヘッド取付けフレームに弾性的に支持されて加
工面に対向する角度がアジャストリングによって規制さ
れることとしても良い。加工ヘッドは、加工ヘッド取付
け用レールに対して回転可能に取付けられても良く、装
置は加工ヘッド揺動手段を有し、加工ヘッド揺動手段は
加工ヘッドに所定角度範囲の往復回転運動を行わせても
良い。

【００１９】さらに、装置は、被加工物の要加工量を検
出する手段と、検出された要加工量に基づいて複数のマ
イクロアクチュエータを駆動する駆動手段を有しても良
く、被加工物は、トランスファ治具を介して保持部に保
持されても良い。被加工物は磁気ヘッドが複数個形成さ
れた棒状セラミックであっても良く、複数のマイクロア
クチュエータは、圧電素子からなるマイクロアクチュエ
ータであっても良い。

【００２０】さらに、上記課題を解決するために、本発
明に係る方法は、一方向に長い被加工物を治具に保持
し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対
して治具を介して被加工物を押圧することで被加工物を
加工する方法であって、被加工物を加工面に対して押圧
する際に、被加工物の複数点における加工量の測定と、
測定された加工量に基づいて治具に設けられた複数のマ
イクロアクチュエータ各々による被加工物の変形量の調
整とが行われることを特徴としている。

【００２１】さらに、上記課題を解決するために、本発
明に係る方法は、一方向に長い被加工物を治具に保持
し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対
して治具を介して被加工物を押圧することで被加工物を
加工する方法であって、あらかじめ測定された被加工物
の複数点における加工量に基づいて、治具に設けられた
複数のマイクロアクチュエータ各々による被加工物の変
形量の調整がなされた状態で、被加工物を加工面に対す
る押圧が行われることを特徴としている。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
磁気ヘッドの研磨装置を添付図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施の形態の磁気ヘッドの研磨装置を示
す全体正面図であり、図２は平面図である。図１及び図
２により、磁気ヘッドの研磨装置の全体構成を説明す
る。磁気ヘッドの研磨装置は、基台１を備え、この基台
１には、研磨用定盤２が水平面内で回転可能に支持さ
れ、さらに、この研磨用定盤２は基台１内に設けられた
回転駆動源である定盤駆動用モータ４でベルト６を介し
て回転駆動される。

【００２３】また、上下方向に離間した１対のガイドレ
ール８が水平方向に延びるように基台１の上方で支持さ
れ、さらに、１対のガイドレール８により水平方向に摺
動自在に案内される横移動スライダ１０が設けられてい
る。この横移動スライダ１０には研磨ヘッド取付用フレ
ーム１２が昇降自在に取付けられている（高さ調整自在
に昇降駆動されるようになっている）。横移動スライダ
１０の駆動は、例えばガイドレール８に平行なボール螺
子軸にスライダ１０側のボール螺子ナットを螺合し、ボ
ール螺子軸をモータで回転駆動することで実行すること
ができ、さらに、スライダ１０及び研磨ヘッド取付用フ
レーム１２は往復直線運動を行うことができる。

【００２４】図３に示すように、研磨ヘッド取付用フレ
ーム１２の内側には円環状軸受け部１４を介して回転支
持部１６が回転自在に支持され、この回転支持部１６に
は、板ばね、ゴム等の弾性部材１８を介在させて研磨ヘ
ッド２０が取付けられている。研磨ヘッド２０は、底板
２２とこの上に平行に立設固定された垂直支持板２４と
を有し、さらに、研磨ヘッド２０の底板２２の底面には
アジャストリング（ウエアーパッド）２６が固着されて
いる。アジャストリング２６は研磨用定盤２の上面であ
る研磨面２aに接触するようになっている。

【００２５】図２及び図３に示すように、回転支持部１
６にはベルト車（プーリー）２８が固着され、研磨ヘッ
ド取付用フレーム１２の外側には、ベルト車（プーリ
ー）３０を回転駆動する研磨ヘッド揺動用モータ３２が
取付けられている。ベルト車２８，３０間にはベルト３
４が巻掛けられている。モータ３２、ベルト車２８，３
０及びベルト３４は、研磨ヘッド２０及びアジャストリ
ング２６に所定角度範囲の往復回転運動（揺動運動）を
行わせる揺動手段として機能する。

【００２６】図７はアジャストリングの底面図である。
図７に示すように、アジャストリング２６は、例えばア
ルミニウム製リング本体３６に多数の耐磨耗性セラミッ
クの円柱状ダミー３８を埋設したもので、円柱状ダミー
３８の下端面がリング本体３６から僅かに突出してい
る。ここで、アジャストリング２６上に載置される研磨
ヘッド２０の重量バランスに合わせて円柱状ダミー３８
の個数を設定している。図７に示すアジャストリング２
６の場合、研磨用定盤２に対接するアジャストリング２
６の円弧状部分４０，４２のうち、円弧状部分４０の方
が研磨ヘッド２０の荷重を多く受けるため、円柱状ダミ
ー３８の個数が多くなっている。

【００２７】なお、本実施例においては、研磨ヘッド２
０を研磨面２ａに対して略垂直方向に安定して保持する
ためにアジャストリング２６を用いているが、研磨ヘッ
ド取り付けフレーム１２等の剛性を高めること等によっ
て前記安定保持が得られる場合は、装置構成の簡略化に
鑑みアジャストリング２６を除く構成としても良い。同
様に前記安定保持が得られる場合は、保持状態を推移さ
せる可能性を有する弾性部材１８を、剛体からなるもの
とすることが好ましい。

【００２８】図３乃至図６に示すように、研磨ヘッド２
０の垂直支持板２４の間には、研磨用定盤２の下面に対
して平行な傾動軸４４が設けられており、この傾動軸４
４を中心として研磨ヘッド２０に対して傾動可能に傾動
部４６が枢着されている。

【００２９】図５及び図６に示すように、研磨ヘッド２
０の垂直支持板２４には、モータ取付用台座部４８の下
部が支点軸５０で回転自在に取付けられており、さら
に、モータ取付台座部４８の上部に傾動用モータ５２が
固定されている。モータ５２の回転駆動軸にはボール螺
子軸５４が連結され、このボール螺子軸５４にボール螺
子ナット５６が螺合している。ボール螺子ナット５６に
は、支点軸６０で、傾動部４６にその一端が固定された
のアーム５８の他端が連結されている。これらの支点軸
５０乃至支点軸６０までの機構は、傾動部４６をそれが
研磨用定盤２の研磨面２aに対し垂直面となった状態か
ら所定角度だけ傾斜させる傾斜駆動手段を構成してい
る。

【００３０】傾動部４６には、スライド軸受（クロスロ
ーラガイド）６２を介して昇降部６４が傾動部４６に対
して昇降可能に取付けられている。ここで、昇降部６４
の傾斜方向の動きは傾動部４６と一体的に行われるた
め、傾動部４６と昇降部６４とは常に平行状態が保たれ
ている。この昇降部６４の下端部には、研磨用定盤２の
下面に対して平行で傾動軸４４に直交する支点軸６６で
バックプレート６８が枢着されている。

【００３１】図３及び図５に示すように、傾動部４６の
上部には、アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃが、
ブラケット７２を介して取付けられている。これらのア
クチュエータ７０Ａ,７０Ｂ，７０Ｃは、バックプレー
ト６８の支点軸６６およびその左側及び右側をそれぞれ
下方に押圧（加圧）すると共にバックプレート６８に作
用する荷重を制御するためのものである。

【００３２】アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃの
ロッド８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃの下端には、ネジ、ナッ
トさらには球体等から構成されるシリンダージョイント
８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃが、昇降部６４に取付けられた
スライド軸受８４に沿って昇降可能に接続されている。
シリンダージョイント各々は、各アクチュエータの駆動
方向に対して、角度にしておよそ５°の回転が可能であ
り、シリンダージョイントとアクチュエータ駆動軸との
軸心のずれを補正する構成となっている。これらのシリ
ンダージョイント８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃの下端側とバ
ックプレート６８の中央、左側及び右側との間は、連結
用リンク８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃとによりそれぞれ連結
されている。従って、図示のように、アクチュエータ７
０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃによってバックプレート６８に作
用する押圧力の作用方向は、互いに平行となる。

【００３３】なお、実際の研磨時においては、アクチュ
エータ７０Ｂによって、被研磨物９２の研磨面２ａに対
する主たる押しつけ荷重の調整が行われ、他のアクチュ
エータ７０Ａ，７０Ｂとによって、被研磨物９２の長手
方向における押しつけ荷重のおおまかなバランスの調整
が行われる。従って、被研磨物９２の長手方向における
被研磨部分および研磨量の大きさのばらつきに応じて、
アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃによる押圧力を
部分的にマイナス（引き上げ方向の力）とすることもあ
る。

【００３４】バックプレート６８は、長方形板状部９
０、支持ピン９６、位置決めピン９７Ａ，９７Ｂおよび
連結部材１２２を介して横長治具９４と結合されてい
る。図８乃至図１１に横長治具９４の正面図を示す。横
長治具９４は、一体として形成された本体部１３１、保
持部１３２、連結部１３３，１３４と、両端を本体部１
３１および保持部１３２に固定された複数のマイクロア
クチュエータ１３５とから構成されている。保持部１３
２は、マイクロアクチュエータ１３５が固定される固定
部１３２ａ同士の間に溝部１３２ｂが形成されており、
隣り合ったマイクロアクチュエータに押圧される部分の
それぞれ異なる変形が容易に行えるようになっている。

【００３５】本体部１３１の長さ方向中央部には、治具
の正面側より裏面側に抜ける貫通孔１３１ａが形成され
ており、貫通孔１１３ａを貫通する支持ピン９６が不図
示のビスあるいはナット等によって連結部材１２２に固
定されることにより横長治具９４がバックプレート６８
に対して固定されることとなる。さらに連結部１３３，
１３４において貫通孔１３１ａと平行に形成された凹部
１３３ａ，１３４ａに嵌る位置決めピン９７Ａ，９７Ｂ
が支持ピン９６と同様に連結部材１２２に固定されるこ
とで、横長治具９４をバックプレート６８に対して所定
の位置への固定を可能とする。

【００３６】なお、本実施の形態においては、マイクロ
アクチュエータとして圧電素子からなる積層タイプのア
クチュエータを用いている。圧電素子アクチュエータ
は、四角い薄板状の圧電素子を複数枚重ね合わせて固着
することによって形成され、柱状の形状を有している。
この柱状の対向し合う一対の側面には、各薄板状の圧電
素子を電気的に接続する電極１３６を形成する必要があ
り、この電極１３６には駆動電圧印可用の電圧供給配線
の取付けを要する。横長治具９４に圧電素子アクチュエ
ータを取付ける際には、この電極配線に要するスペー
ス、アクチュエータ自体の強度の異方性、取付けるべき
圧電素子アクチュエータの数、および圧電素子アクチュ
エータの取付けスペース等を考慮して定める必要があ
る。

【００３７】圧電素子に設けられた電極１３６が、横長
治具９４の正面及び裏面と平行となる面上に配置される
構成を図８に、横長治具９４の側面と平行となる面上に
配置される構成を図９、さらに被加工物９２に対するよ
り細かな曲がりの補正を可能とするための構成を図１０
に示す。なお、圧電素子アクチュエータが小型化され、
その数を大幅に増加している以外は、図８および９に示
した横長治具９４と図１０に示す横長治具９４とにおけ
る構成上の相違はない。例えば、図８等に示す各マイク
ロアクチュエータの押圧部はセラミックバー上に形成さ
れた素子４乃至６個の幅に対応し、図１０に示すマイク
ロアクチュエータの押圧部は素子１乃至３個が形成され
ている幅に対応する。アクチュエータは図１１は、図１
０に示す横長治具９４に対し、更に後述するトランスフ
ァー治具１３７を固定した状態を示す図である。

【００３８】保持部本体１３２ｃに固定される被研磨物
９２は、細長い角棒状セラミックバー（個々に切り離さ
れて薄膜磁気ヘッドのスライダとなる）に磁性薄膜パタ
ーンからなる多数の磁気ヘッドの素子部を１列に配置し
たものであり、これらの素子部の磁性薄膜パターンはセ
ラミックバーの一方の長手側面上に配列されている。従
って、セラミックバーの底面を研磨することにより、上
述の長手側面上に形成された素子部におけるスロートハ
イトおよびＭＲハイトを小さくすることができる。

【００３９】従来においては、先にも述べたように、ア
クチュエータ７０Ａ，７０Ｂおよび７０Ｃの荷重のバラ
ンス調整により、被研磨物の研磨面に対する被研磨物の
曲げ量を調整し、被研磨物９２に存在する歪みや湾曲等
を修正していた。本発明においても、研磨時において被
研磨物９２を研磨面２ａに押圧する際に与えられる大ま
かな曲げの修正はこれら三つのアクチュエータにより行
われる。しかし、例えば研磨量が大きい場合を除いて
は、長手方向における各位置で必要とされる曲げ変形の
量は、横長治具９４を構成する複数のマイクロアクチュ
エータ１３５をそれぞれ必要量駆動することにより調整
される。

【００４０】従って、研磨時において、あるいは研磨工
程の前に各マイクロアクチュエータ１３５の必要駆動
量、すなわち被研磨物の曲げ変形の量を求める必要があ
る。研磨時において必要とされる変形量を求め、その値
に基づいてマイクロアクチュエータを駆動する具体例に
ついて次に述べる。本実施の形態においては、セラミッ
クバーの長手側面に素子以外の付加電極を設けている。
この付加電極は、セラミックバーの研磨にともなってそ
の大きさを減じ、抵抗値を減少させる。本発明の実施の
形態においては、付加電極の抵抗値の変化をモニターす
ることにより、モニター時点での研磨量を求め、得られ
た研磨量に基づいてさらに必要な変形量を求める、いわ
ゆるクローズドループ制御による研磨を行うことで被研
磨物９２における研磨量の管理を行うこととしている。

【００４１】このために、横長治具９４のバックプレー
ト側の面９４ａには、ワイヤーボンディングにより付加
電極に電気的に接続された電極があらかじめ形成してあ
る。長方形板状部９０には、不図示のバネ等によって付
勢される測定用ピン１２８（図３参照）が植設されてお
り、横長治具９４を長方形板状部９０の固定する際に、
上記電極と測定用ピン１２８とが接触される。さらに測
定用ピン１２８は不図示の抵抗値測定手段に接続されて
おり、横長治具９４の長方形板状部９０への固定によっ
て付加電極の抵抗値測定が可能となる。

【００４２】具体的な抵抗値測定手段およびマイクロア
クチュエータの制御手段の構成について次に述べる。図
１２に、上記測定手段および制御手段を含む、測定され
た付加電極の抵抗値に基づいてマイクロアクチュエータ
を駆動させるための制御ブロック図を、図１３に測定お
よび多重化基板２２０のブロック図詳細を、図１４にア
クチュエータ駆動用基板ブロック図詳細をそれぞれ示
す。なお、本実施の形態においては、四端子法による抵
抗測定を行っているため、複数の測定用ピン１２８を単
一の付加電極２０１に接触させている。

【００４３】測定および多重化基板２２０により、測定
用ピン１２８を介して付加電極２０１より得られた電圧
は、公知の四端子測定に用いられる演算に基づき抵抗値
として変換される。さらに、これら抵抗値は、デジタル
データとして変換、多重化がなされ、マイクロコンピュ
ータ２１０の入出力端子２１１に入力される。さらに、
コンピュータ２１０において入力されたデータを用いて
被研磨物９２の研磨量が算出され、オペレータに対して
その研磨量が示される。

【００４４】上述の、抵抗値の測定からデジタルデータ
の出力までの信号処理に関して、図１２を参照してより
詳細に述べる。測定および多重化基板２２０において
は、複数の測定用ピン１２８に対して定電流電源２２１
からの電流の供給、各ピン間の電圧の測定、演算部２２
３において測定値と校正用抵抗２２２の値との比較に基
づく数値演算が連続的に行われ、付加電極の抵抗値が得
られる。得られた値はさらにＡ／Ｄ変換器２２４により
デジタルのデータとして変換される。

【００４５】以上の手順により変換後のデジタルデータ
から、被研磨面９２ａ上での測定された付加電極の形成
部分およびその近傍における必要な研磨量が求められ
る。次に必要量の研磨を行うために、各マイクロアクチ
ュエータ１３５が必要とする駆動量がコンピュータ２１
０において駆動量データとして求められる。コンピュー
タ２１０からは、入力端子２１１を介してアクチュエー
タ駆動用基板２３０に対してア駆動量データが入力され
る。

【００４６】それらデータは、マイクロアクチュエータ
駆動用基板２３０において制御信号に変換され、その制
御信号を受けた駆動電流出力装置２３２から各マイクロ
アクチュエータ１３５に駆動電流が出力される。各マイ
クロアクチュエータはその出力に応じて、横長治具９４
の保持部本体１３２ｃを介して被研磨物９２に与えられ
る変形量を微調整し、これにより被研磨物９２の研磨面
２ａへの長手方向の各位置での研磨量のバランスを微調
整する。

【００４７】上述のマイクロアクチュエータ１３５を内
蔵した横長治具の使用およびクローズドループによるマ
イクロアクチュエータの制御の実行とによって、研磨量
をモニターしながらの研磨が可能となり、研磨量のばら
つきの許容範囲がより小さくなった場合に対しても対応
することが可能となる。なお、付加電極を用いず、実際
の素子の抵抗、例えばＭＲ値から研磨量を求めることも
可能である。

【００４８】次に、付加電極等を用いず、研磨工程前に
あらかじめ必要となる研磨量を求め、その研磨量にのみ
基づいて研磨を行う方法について述べる。この方法にお
いては、被研磨物９２を横長治具９４に固定する前に、
あらかじめ顕微鏡等によって被研磨物９２の曲がり等を
測定する。測定後、その曲がりを維持した状態でこれを
横長治具９４に固定する。研磨時においては、あらかじ
め得られた曲がり等のデータに基づき、例えば曲がりの
大きい部分に対してはその部分に対応するアクチュエー
タの駆動量を大きくして曲がりの修正を図る等の操作に
より、研磨量のばらつきの低減を図る。この場合、研磨
量自体は、研磨時間或いはアクチュエータ７０Ｂによる
横長治具９４に対する荷重の大きさに等より制御され
る。

【００４９】この方法によれば、単純に各マイクロアク
チュエータ必要駆動量を入力するのみで、研磨を行うこ
とが可能となる。従って、上記のような研磨量の測定系
及び必要研磨量から必要駆動量を算出するプログラム等
が不要となり、装置構成の簡略化を図ることが可能とな
る。ただし、曲がり量を維持させたままで被研磨物９２
を横長治具９４に固定する作業は、実際には容易ではな
く、場合によっては数回のやり直しを要する場合もあり
得る。この固定作業の容易化を図る方法として、図１１
に示すトランスファー治具１３７を用いる方法が考えら
れる。

【００５０】トランスファー治具１３７は、被研磨物９
２とほぼ同じ長さおよび幅を有し、横長治具の有する曲
げ剛性により変形されないように厚みのみ、被研磨物９
２の厚みより大きな値とされている。また、トランスフ
ァー治具１３７は前述のように高い剛性を要するため、
横長治具と同じ材質であるセラミック、強靱鋼等から形
成されている。また、トランスファー治具１３７には、
アクチュエータ駆動により付加される押圧力によりトラ
ンスファー治具１３７および被研磨物９２の変形を容易
にするために、長さ方向に垂直な複数の溝部分が形成さ
れている。

【００５１】実際には、被研磨物９２を直接横長治具９
４に固定するのではなく、その曲がり等を維持した状態
であらかじめトランスファー治具１３７に固定し、その
後そのトランスファー治具１３７を横長治具９４に固定
するという方法である。この方法によれば、取り扱いが
容易なトランスファー治具を用いることで、被研磨物の
固定作業の実質的な容易化を図ることが可能となる。

【００５２】また、被研磨物９２を横長治具９４に固定
し、顕微鏡等を用いて曲がりを確認しながら横長治具に
固定されたマイクロアクチュエータを駆動してあらかじ
め曲がりを修正した後に、横長治具９４を長方形板状部
９０に固定することとしても良い。この場合は、被研磨
面９２ａを均等に研磨するだけで、均等なスロートハイ
ト等を得ることが可能となる。

【００５３】あるいは、マイクロアクチュエータを有す
る横長治具９４は被研磨物９２の曲がり修正用の治具と
して、研磨装置とは別個に用い、曲がりが修正された状
態の被研磨物９２を、さらなる治具に固定し、研磨工程
を行う方法でも良い。図１５に当該方法の概念を示す。
被研磨物９２の被研磨面９２ａを、横長治具９２の保持
部に対し真空吸着によって固定する。図１５中のポート
９９は、不図示の真空吸着用の溝部につながっており、
このポート９９から不図示の排気装置に接続される。な
お、この固定方法については、接着剤を用いない固定方
法であれば、真空吸着に限られず、静電吸着等であって
も良い。

【００５４】この状態で、顕微鏡等により曲がりを確認
しながら、マイクロアクチュエータを駆動して、曲がり
を修正する。曲がりが修正された状態にある被研磨物９
２の被研磨面９２ａと対向する面に対して、マイクロア
クチュエータを有さない横長治具９８を接触させる。横
長治具９８は被研磨物９２との接触面には接着剤が塗布
されており、被研磨物は曲がりが修正された状態のまま
横長治具９８に固定される。その後、横長治具９８を研
磨ヘッドに固定し、研磨工程を行う。この方法によれ
ば、マイクロアクチュエータを有する横長治具９４の必
要数を減らすことが可能となる。

【００５５】次に、本発明の実施の形態における研磨量
を随時測定し、その測定結果に基づいて被研磨物の研磨
面に対する押圧力を調整する場合の動作及び研磨方法を
説明する。なお、あらかじめ被研磨物９２の各部分にお
ける必要研磨量を求め、この値に応じてマイクロアクチ
ュエータの駆動量を設定した後に研磨を行う場合に関し
ては、前述の方法におけるクローズドループ制御が行わ
れないだけであるので、ここでの説明は省略する。

【００５６】まず、図１及び図２に示す研磨ヘッド２０
が研磨用定盤２から外れた位置にて、薄膜磁気ヘッド用
の素子が複数配列されてなる被研磨物９２を保持した横
長治具９４を、連結部材１２２および固定ピン９６を介
してバックプレート６８の長方形板状部９０に取付け
る。その際、付加電極と横長治具の側面９４ａに設けら
れた電極とは、すでにワイヤーボンディングがなされて
おり、測定用ピン１２８が上記電極と接触することとな
る。その後、研磨ヘッド２０に対するバックプレート６
８の傾斜角度を当初は零度（アジャストリング２６の底
面に垂直、つまり研磨用定盤２ａに対して垂直な姿勢）
に設定する。

【００５７】ここで、被研磨物の構成によって、例えば
所定のスロートハイトを得るためには非常に大きな研磨
量を要する被研磨物上の配置に素子等が作り込まれてい
る場合には、上記取付け作業の前に、あらかじめ他の装
置にて大まかな研磨を行う場合もある。この場合、被研
磨物９２を横長治具９４に保持させた状態でこの荒研磨
を行うのではなく、その他の治具（不図示）に被研磨物
９２を固定して荒研磨を行う。荒研磨終了後、被研磨物
９２は治具から取りはずされ、改めて横長治具９４に固
定される。なお、このその他の治具を上述のトランスフ
ァー治具として用いることとし、被研磨物９２をトラン
スファー治具ごと横長治具９４に固定することとしても
良い。

【００５８】このバックプレート６８の傾斜設定及び横
長治具９４の取付け終了後、研磨ヘッド２０を取付けた
研磨ヘッド取付用フレーム１２をガイドレール８に沿っ
て直線移動して、回転駆動されている研磨用定盤２の上
方に位置させる。さらに、アジャストリング２６下面に
埋設された複数の円柱状ダミー３８の下面の一部が、研
磨用定盤２上面の研磨面２aに対接し適切な押圧力でそ
の一部が接触するように研磨ヘッド取付用フレーム１２
を下降させる。

【００５９】さらに、アクチュエータ７０Ａ，７０Ｂ，
７０Ｃを駆動させ、バックプレート６８の中央、左側お
よび右側に対して作用する各々平行な押圧力を調整し、
被研磨物９２が研磨面２ａに対して略均等に押圧された
状態とする。本実施の形態においては、主たる押圧力は
中央のアクチュエータ７０Ｂから得ることとし、この段
階では左右のアクチュエータ７０Ａ，７０Ｂは被研磨物
９２の両端部を研磨面２ａに接触させた状態に固定する
ようにバックプレート６８を支持する程度の押圧力を与
えた状態とする。なお、この調整は、目視によって行っ
ても良く、接触センサー等を用いても良い。また、あら
かじめ被研磨物９２の大まかな曲がりを測定し、その測
定結果に応じて曲がりを修正するようにアクチュエータ
７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃが付加する変形量のバランスを
調整しても良い。

【００６０】この状態にて、被研磨物９２の研磨を実行
する。研磨開始から、付加電極の抵抗測定による研磨量
の測定が随時行い、研磨工程各時点での各付加電極形成
位置における必要研磨量が求められる。この求められた
必要研磨量に応じて、各々のマイクロアクチュエータが
駆動量が制御され、求めるスロ−トハイト等を得ること
とする。なお、被研磨物の曲がりが大きく、必要研磨量
のばらつきが大きくなる場合には、アクチュエータ７０
Ａ，７０Ｃによる変形量のバランスの調整を先に行い、
その後マイクロアクチュエータの駆動量調整を行うこと
が好ましい。

【００６１】なお、研磨工程中、アジャストリング２６
の同じ所が研磨用定盤２に接触していると偏摩耗を引き
起こすため、研磨ヘッド２０及びアジャストリング２６
が取付けられた回転支持部１６を研磨ヘッド揺動用モー
タ３２により所定角度範囲で往復回転させるとともに、
研磨ヘッド取付用フレーム１２を所定範囲で往復直線運
動させている。従って、研磨工程中、研磨ヘッド２０及
びアジャストリング２６は往復回転運動と往復直線運動
が重畳した運動を行うことになる。

【００６２】以上の方法により、被研磨物であるセラミ
ックバーの曲がりを、より詳細に修正して研磨を行うこ
とが可能となり、セラミックバー全長にわたってスロー
トハイト等の値を許容範囲に収めることが可能となる。

【００６３】なお、本実施の形態においては、アクチュ
エータとして低摩擦エアシリンダーを有する研磨ヘッド
を用いているが、当該アクチュエータはこれに限られ
ず、電磁式等種々の低摩擦シリンダーを用いることが可
能である。また、本実施の形態においては、三つのアク
チュエータを用い、マイクロアクチュエータの駆動スト
ローク不足を賄うこととしているが、マイクロアクチュ
エータ自身の駆動ストロークが十分に大きい場合には、
中央のアクチュエータ７０Ｂのみからなる装置構成とす
ることも可能である。

【００６４】さらに、本実施の形態においては、マイク
ロアクチュエータに圧電素子アクチュエータを用いたが
本発明はこれに限定されるものではなく、電歪素子から
なる、或いはエアシリンダー等から構成されるものであ
っても良い。ここで、圧電素子アクチュエータは、一般
的に駆動力は大きいが駆動ストロークは小さいという特
性を有している。このため、研磨ヘッドを、例えば図１
６に概略を示すように、被研磨面９２ａを研磨面２ａに
対して平行に調整する一組の低摩擦シリンダ３５０Ａ，
３５０Ｂ、及び横長治具９４から被研磨物９２に対して
の押圧バランスを調整するための修正用低摩擦シリンダ
３３０Ａ〜３３０Ｅからなる構成としても良い。

【００６５】具体的には、修正用低摩擦シリンダ３３０
Ａ〜３３０Ｅには、ロッド３８０Ａ〜３８０Ｅがそれぞ
れ取り付けられている。これらロッドの下端には、ネ
ジ、ナットさらには球体等から構成されるシリンダージ
ョイント３８２Ａ〜３８２Ｅが、昇降部６４に取付けら
れたスライド軸受（不図示）に沿って昇降可能に接続さ
れている。シリンダージョイント各々は、各アクチュエ
ータの駆動方向に対して、角度にしておよそ５°の回転
が可能であり、シリンダージョイントと低摩擦シリンダ
駆動軸との軸心のずれを補正する構成となっている。

【００６６】これらのシリンダージョイント３８２Ａ〜
３８２Ｅの下端側とバックプレート６８の中央、左側２
点及び右側２点との間は、連結用リンク３８８Ａ〜３８
８Ｃとによりそれぞれ連結されている。従って、図示の
ように、修正用低摩擦シリンダ３３０Ａ〜３３０Ｅによ
って横長治具９４に作用する押圧力の作用方向は、互い
に平行となる。また、平行度の調整用低摩擦シリンダ３
５０Ａ、３５０Ｂには、ロッド３６０Ａ，３６０Ｂがそ
れぞれ取り付けられ、これらロッドの下端はさらに不図
示の連結用リンクを介してバックプレート６８の両端部
に連結されており、これらがバックプレート６８に作用
させる押圧力の作用方向は、互いに平行となる。

【００６７】なお、これら修正用低摩擦シリンダの数は
５個に限られず、また調整用低摩擦シリンダの数も２個
の限られない。これらシリンダーの数は被研磨物の研磨
量、及び必要とされる研磨精度に基づいて定められるこ
とが好ましい。すなわち、このような複数の修正用低摩
擦シリンダを用いて被研磨物９２にかかる大まかな曲が
りの修正を行うことにより、圧電素子アクチュエータ等
の駆動ストロークが小さくても、被研磨物であるセラミ
ックバーの曲がりを、十分な範囲でより詳細に修正して
研磨を行うことが可能となる。

【００６８】また、本実施の形態におけるクローズドル
ープによる制御は、各マイクロアクチュエータについて
のみ行っているが、例えば求められた必要研磨量が、マ
イクロアクチュエータの駆動範囲以上となる場合も起こ
り得る。この場合の対策として、求められた必要研磨量
が所定値より大きい場合には、一端アクチュエータ７０
Ａ，７０Ｂ，７０Ｃのみによる被研磨物の曲がり修正を
行い必要研磨量を減少させるサブルーチンにはいること
とし、その後改めて上記クローズドループによるマイク
ロアクチュエータの制御を行う構成としても良い。

【００６９】また、本実施の形態に示した研磨装置にお
いては、被研磨部分９２ａ全体において均等なスロート
ハイト等を得るために、被研磨物９２及び横長治具９４
の姿勢をより厳密に制御するために、研磨ヘッド下部に
アジャストリングを取付けた構成としている。しかし、
本発明においては、アジャストリングは必ずしも必要で
はなく、研磨ヘッドのみで十分な姿勢制御が可能な場合
には、これを除去し、装置構成のより簡略化を図っても
良い。

【００７０】また、本実施の形態においては、被研磨物
９２の横長治具９４或いはトランスファー治具への固
定、およびトランスファー治具の横長治具９４への固定
は、熱硬化性の接着剤により行っているが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、樹脂等からなる粘着材、
静電吸着、真空吸着塔による固定としても良い。

【００７１】また、上記実施の形態は、研磨加工のみに
ついて述べたが、本発明が研磨加工のみならず、検索加
工或いはポリッシング加工等に対しても適用可能である
ことは、当業者にとって自明であろう。さらに、本発明
は上記発明の実施の形態の記述に限定されることなく、
各請求項記載の範囲内において、各種の変形、変更が可
能なことは、当業者にとって自明であろう。

【００７２】

【発明の効果】本発明にかかる加工装置および加工方法
によれば、セラミックバー等の加工対象物に対して複雑
な曲げ変形等を与えることを可能とし、これにより加工
対象物の加工時において、加工対象物の加工量のばらつ
きを減少せしめることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる磁気ヘッドの研磨
装置を示す全体正面図である。

【図２】本発明の実施の形態にかかる磁気ヘッドの研磨
装置を示す全体平面図である。

【図３】図１に示す磁気ヘッドの研磨装置における研磨
ヘッド等を示す正面図である。

【図４】図３に示す研磨ヘッドの平面図である。

【図５】図３に示す研磨ヘッドの側面図である。

【図６】図３に示す研磨ヘッドの側面断面を示す図であ
る。

【図７】図３に示す研磨ヘッドにおけるアジャストリン
グの底面図である。

【図８】本発明の実施の形態にかかる横長治具の正面図
である。

【図９】図８に示す横長治具の変形例の正面図である。

【図１０】図８に示す横長治具の変形例の正面図であ
る。

【図１１】横長治具にトランスファー治具を固定した状
態を示す正面図である。

【図１２】本発明の実施の形態にかかる研磨量制御に関
するブロック図を示している。

【図１３】図１２に示す測定および多重化基板の詳細を
示す図である。

【図１４】図１２に示すマイクロアクチュエータ駆動用
基板における詳細を示す図である。

【図１５】その他の横長治具を用いる研磨方法の概略を
示す図である。

【図１６】図８等に示す横長治具を用いるその他の研磨
ヘッドの正面概略図である。

【符号の説明】

１ 基台 ２ 研磨用定盤 ２ａ 研磨面 ４ 定盤駆動用モータ ６ ベルト ８ ガイドレール １０ 横方向スライダ １２ 研磨ヘッド取付け用フレーム １４ 円環状軸受部 １６ 回転支持部 １８ 弾性部材 ２０ 研磨ヘッド ２２ 底板 ２４ 垂直支持板 ２６ アジャストリング ２８，３０ ベルト車 ３２ モータ ３４ ベルト ３６ リング本体 ３８ ダミー ４０，４２ 円弧状部分 ４４ 傾動軸 ４６ 傾動部 ６４ 昇降部 ６８ バックプレート ７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃ アクチュエータ ８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃ ロッド ８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ 昇降部材 ８８Ａ，８８Ｂ，８８Ｃ 連結用リンク ９０ 長方形板状部 ９２ 被研磨物 ９２ａ 被研磨面 ９４，９８ 横長治具 ９６ 固定ピン ９９ ポート １２２ 連結部材 １２８ 測定用ピン １３１ 本体部 １３１ａ 貫通孔 １３２ 保持部 １３２ａ 固定部 １３２ｂ 収縮部 １３２ｃ 保持部本体 １３３，１３４ 連結部 １３３ａ，１３４ｂ 凹部 １３５ マイクロアクチュエータ １３６ 電極 ２０１ 付加電極 ２１０ マイクロコンピュータ ２１１ 入出力端子 ２２０ 測定および多重化基板 ２２１ 定電流電源 ２２２ 校正用抵抗 ２２３ 演算部 ２２４，２３１ Ａ／Ｄ変換器 ２３０ マイクロアクチュエータ駆動用基板 ２３２ 駆動電流出力装置 ３３０Ａ〜３３０Ｅ 修正用低摩擦シリンダ ３５０Ａ，３５０Ｂ 低摩擦シリンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神津 雅樹 東京都中央区日本橋１丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 佐々木 正博 東京都中央区日本橋１丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 山口 正雄 東京都中央区日本橋１丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 平８−7231（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−16124（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−117703（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/31 B23Q 1/72 B24B 41/06 B24B 49/02

Claims (20)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方向に長い被加工物を保持し、加工装
   置に支持されて加工装置の加工面に対して前記被加工物
   を変形させる治具であって、前記加工装置の支持部に支
   持される本体部と、前記被加工物を所定面にて保持する
   ための一方向に長い保持部と、前記本体部と前記保持部
   とを連結して前記本体部および前記保持部と共に枠を形
   成する連結部と、両端部を前記本体部および前記保持部
   における前記所定面とは反対の面とに固定されて前記枠
   内部に配置される複数のマイクロアクチュエータとを有
   することを特徴とする治具。
2. 【請求項２】 前記保持部は、前記複数のマイクロアク
   チュエータが各々固定される固定部間に溝を有すること
   を特徴とする請求項１記載の治具。
3. 【請求項３】 前記マイクロアクチュエータは、圧電素
   子からなるマイクロアクチュエータであることを特徴と
   する請求項１または２に記載の治具
4. 【請求項４】 前記被加工物は磁気ヘッドが複数個形成
   された棒状セラミックであることを特徴とする請求項１
   乃至３何れかに記載の治具。
5. 【請求項５】 前記被加工物は、トランスファ治具を介
   して前記保持部に保持されることを特徴とする請求項１
   乃至３何れかに記載の治具。
6. 【請求項６】 前記被加工物は磁気ヘッドが複数個形成
   された棒状セラミックであることを特徴とする請求項５
   記載の治具。
7. 【請求項７】 一方向に長い被加工物を加工する加工装
   置においてであって、加工面を有して回転駆動される加
   工用定盤と、前記加工面に対して移動可能に配置された
   加工ヘッド取付け用フレームと、前記加工ヘッド取付け
   フレームに支持される加工ヘッドとを有し、 前記加工ヘッドは、前記被加工物を保持する治具と、前
   記治具を支持する支持部と、前記支持部と一体で前記加
   工面に対して昇降する昇降部と、前記昇降部に結合して
   前記加工面に平行な傾動軸を中心として傾動可能な傾動
   部と、前記傾動部を傾動させる傾動部駆動手段とを有
   し、 前記治具は、前記支持部に支持される本体部と、前記被
   加工物を所定面にて保持するための一方向に長い保持部
   と、前記本体部と前記保持部とを連結して前記本体部お
   よび前記保持部と共に枠を形成する連結部と、両端部を
   前記本体部および前記保持部における前記所定面とは反
   対の面とに固定されて前記枠内部に配置される複数のマ
   イクロアクチュエータとを有することを特徴とする装
   置。
8. 【請求項８】 前記保持部は、前記複数のマイクロアク
   チュエータが各々固定される固定部間に溝を有すること
   を特徴とする請求項７記載の装置。
9. 【請求項９】 前記加工ヘッドは押圧用アクチュエータ
   を有し、前記本体部は長さ方向中央部に貫通孔を有し、
   前記治具は前記貫通孔を貫通する支持ピンによって前記
   支持部に支持され、前記押圧用アクチュエータは前記支
   持ピンを介して前記治具を前記加工面方向に押圧するこ
   とを特徴とする請求項８記載の装置。
10. 【請求項１０】 前記支持部は位置決めピンを有し、前
    記位置決めピンは前記連結部において前記枠に対して垂
    直な方向に設けられた凹部に嵌ることによって、前記治
    具の位置決めをすることを特徴とする請求項９記載の装
    置。
11. 【請求項１１】 前記加工ヘッドは修正用アクチュエー
    タを有し、前記修正用アクチュエータは前記位置決めピ
    ンを介して前記治具の前記加工面に対する押圧力の調整
    を行うことを特徴とする請求項１０記載の装置。
12. 【請求項１２】 前記加工ヘッドは、前記加工ヘッド取
    付けフレームに弾性支持されて上記加工面と接触するア
    ジャストリングを介して、前記加工ヘッド取付けフレー
    ムに弾性的に支持されて上記加工面に対向する角度が前
    記アジャストリングによって規制されることを特徴とす
    る請求項７乃至１１記載の装置。
13. 【請求項１３】 前記加工ヘッドは、前記加工ヘッド取
    付け用レールに対して回転可能に取付けられていること
    を特徴とする請求項７乃至１１何れかに記載の装置。
14. 【請求項１４】 前記装置は加工ヘッド揺動手段を有
    し、前記加工ヘッド揺動手段は前記加工ヘッドに所定角
    度範囲の往復回転運動を行わせることを特徴とする請求
    項１３記載の装置。
15. 【請求項１５】 前記装置は、前記被加工物の要加工量
    を検出する手段と、検出された前記要加工量に基づいて
    前記複数のマイクロアクチュエータを駆動する駆動手段
    を有することを特徴とする１４記載の装置。
16. 【請求項１６】 前記被加工物は、トランスファ治具を
    介して前記保持部に保持されることを特徴とする請求項
    １５記載の装置。
17. 【請求項１７】 前記被加工物は磁気ヘッドが複数個形
    成された棒状セラミックであることを特徴とする請求項
    ７乃至１６何れかに記載の装置。
18. 【請求項１８】 前記複数のマイクロアクチュエータ
    は、圧電素子からなるマイクロアクチュエータであるこ
    とを特徴とする請求項７乃至１７何れかに記載の装置。
19. 【請求項１９】 一方向に長い被加工物を治具に保持
    し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対
    して前記治具を介して前記被加工物を押圧することで前
    記被加工物を加工する方法であって、 前記被加工物を前記加工面に対して押圧する際に、前記
    被加工物の複数点における加工量の測定と、前記測定さ
    れた加工量に基づいて前記治具に設けられた複数のマイ
    クロアクチュエータ各々による前記治具自体の変形に基
    づいた前記被加工物の変形量の調整とが行われ、前記治具は、前記被加工物を所定面にて保持するための
    一方向に長い保持部と、前記保持部と平行に延在する本
    体部と、前記本体部と前記保持部とを連結して前記本体
    部および前記保持部と共に枠を形成する連結部とを有
    し、前記複数のマイクロアクチュエータは、各々の両端
    部が前記本体部および前記保持部における前記所定面と
    は反対の面とに固定されて前記枠内部に配置されること
    を特徴とする加工方法。
20. 【請求項２０】 一方向に長い被加工物を治具に保持
    し、回転駆動される加工用定盤に形成された加工面に対
    して前記治具を介して前記被加工物を押圧することで前
    記被加工物を加工する方法であって、 あらかじめ測定された前記被加工物の複数点における加
    工量に基づいて、前記治具に設けられた複数のマイクロ
    アクチュエータ各々による前記治具自体の変形に基づい
    た前記被加工物の変形量の調整がなされた状態で、前記
    被加工物を前記加工面に対する押圧が行われ、前記治具は、前記被加工物を所定面にて保持するための
    一方向に長い保持部と、前記保持部と平行に延在する本
    体部と、前記本体部と前記保持部とを連結して前記本体
    部および前記保持部と共に枠を形成する連結部とを有
    し、 前記複数のマイクロアクチュエータは、各々の両端部が
    前記本体部および前記 保持部における前記所定面とは反
    対の面とに固定されて前記枠内部に配置されること を特
    徴とする加工方法。