KR20010051539A

KR20010051539A - 액정표시장치 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR20010051539A
Application number: KR1020000066198A
Authority: KR
Inventors: 스노하라가즈유키; 마나베아츠유키; 나가타히로유키; 마야나츠코; 도리야마아키코
Original assignee: 니시무로 타이죠; 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 1999-11-09
Filing date: 2000-11-08
Publication date: 2001-06-25
Also published as: TW526376B; US6724457B1; KR100346987B1; JP2001133791A

Abstract

본 발명에 따른 액정표시장치는, 제1기판과, 제1기판상에 형성된 차광성을 갖는 기둥형상 스페이서, 기둥형상 스페이서의 적어도 일부를 덮도록 형성된 배향막, 기둥형상 스페이서에 의해 소정의 갭을 가지고 제1기판에 대향배치된 제2기판 및, 소정의 갭에 배치된 액정조성물을 갖추고 있다. 기둥형상 스페이서는, 기둥형상 스페이서의 제2기판에 가장 가까운 부분에서 제1기판측으로부터 보아 순(順)데이퍼(taper)형상이며, 또 기둥형상 스페이서의 제1기판에 가장 가까운 부분 이외에서 최대지름을 갖고 있다.

Description

액정표시장치 및 그 제조방법 {LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 한쌍의 기판간에 소정의 갭(gap)을 형성하기 위한 기둥형상 스페이서(spacer)의 구조 및 그 기둥형상 스페이서의 제조방법에 관한 것이다.

액정표시장치는 전극을 갖춘 한쌍의 어레이기판과 대향기판 사이에 끼인 액정조성물을 갖추고 있다. 이들 한쌍의 기판간에 갭을 일정하게 유지하기 위해, 입자지름이 균일한 플라스틱 비즈(plastic beads)가 스페이서로서 기판간에 산재되어 있다.

이러한 액정표시장치의 제조공정에서는, 스페이서로서의 플라스틱 비즈가 기판상에 산포되기 때문에, 스페이서가 제조라인을 오염하는 파티클(particle)로 되어 불량발생의 원인으로 된다. 또, 화소부에 존재하는 스페이서는 배향불량 발생의 원인으로 된다. 더욱이, 응집한 스페이서 덩어리 또는 산포밀도의 불균일성은 한쌍의 기판간에 형성되는 갭을 불균일화하는 문제점을 발생시킨다.

이 때문에, 어레이기판상의 소정의 위치에 기둥형상의 스페이서를 포토리소그래피(photolithography) 공정에 의해 형성하는 것이 제안되고 있다.

그렇지만, 어레이기판의 제조공정에서는 기판상에 기둥형상 스페이서를 형성한 후, 배향막 재료를 성막하고, 배향막 재료를 배향처리를 행하기 때문에, 성막된 배향막 재료와 더불어 기둥형상 스페이서가 깍이기 쉽다는 문제가 발생한다. 배향막재료가 벗겨진 경우, 기둥형상 스페이서 근방의 액정분자의 배향이 흐트러져, 표시성능의 열화와 제조수율의 저하를 초래하는 원인으로 된다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은 표시성능이 좋고, 제조수율의 저하를 방지하는 것이 가능한 액정표시장치 및 이 액정표시장치의 제조방법을 제공함에 있다.

도 1은 본 발명의 액정표시장치에 적용되는 어레이기판의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도이고,

도 2는 본 발명의 제1실시형태에 따른 액정표시장치를 도 1에 나타낸 A-A선으로 절단했을 때의 단면도,

도 3은 본 발명의 제1실시형태에 따른 액정표시장치를 도 1에 나타낸 B-B선으로 절단했을 때의 단면도,

도 4는 본 발명의 제2실시형태에 따른 액정표시장치를 도 1에 나타낸 A-A선으로 절단했을 때의 단면도,

도 5는 본 발명의 제2실시형태에 따른 액정표시장치를 도 1에 나타낸 B-B선으로 절단했을 때의 단면도이다.

〈도면부호의 간단한 설명〉

100 -- 어레이기판, 101 -- 유리기판(어레이기판),

103 -- 주사선, 105 -- 신호선,

110 -- 박막 트랜지스터(TFT), 112 -- 폴리실리콘 박막,

112C -- 채널영역, 112S -- 소스영역,

112D -- 드레인영역, 113 -- 게이트 절연막,

114 -- 게이트전극, 115 -- 층간절연막,

116S -- 소스전극, 116D -- 드레인전극,

118 -- 관통구멍, 120 -- 화소전극,

130 -- 컬러필터층(R, G, B), 140 -- 기둥형상 스페이서,

141 -- 잘록한 부분(기둥형상 스페이서),

142 -- 최대지름부분(기둥형상 스페이서),

150 -- 기둥형상 스페이서,

151 -- 잘록한 부분(기둥형상 스페이서),

152 -- 최대지름부분(기둥형상 스페이서),

160 -- 배향막(어레이기판), 170 -- 편광판(어레이기판),

200 -- 대향기판, 201 -- 유리기판(대향기판),

203 -- 대향전극, 207 -- 배향막(대향기판),

210 -- 편광판(대향기판), 230 -- 컬러필터층(R, G, B),

300 -- 액정층.

본 발명에 의하면, 제1기판과, 상기 제1기판상에 형성된 차광성을 갖는 기둥형상 스페이서, 상기 기둥형상 스페이서의 적어도 일부를 덮도록 형성된 배향막, 상기 기둥형상 스페이서에 의해 소정의 갭을 가지고 상기 제1기판에 대향배치된 제2기판 및, 상기 소정의 갭에 배치된 액정조성물을 갖춘 액정표시장치에 있어서, 상기 기둥형상 스페이서는 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제2기판에 가장 가까운 부분에서 상기 제1기판측으로부터 보아 순(順)데이퍼(taper)형상이며, 또 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제1기판에 가장 가까운 부분 이외에서 최대지름을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치가 제공된다.

또, 본 발명에 의하면, 제1기판상에 기둥형상 스페이서를 형성하는 제1공정과, 상기 기둥형상 스페이서가 형성된 상기 제1기판상에 배향막을 형성하는 제2공정, 상기 배향막을 러빙(rubbing)처리하는 제3공정 및, 상기 제1기판과 제2기판을 대향배치하여 상기 기둥형상 스페이서에 의해 형성되는 이들 기판간의 갭에 액정조성물을 배치하는 제4공정을 갖춘 액정표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 제1공정에서는 상기 기둥형상 스페이서가 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제2기판에 가장 가까운 부분에서 상기 제1기판측으로부터 보아 순테이퍼형상이고, 또 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제1기판에 가장 가까운 부분 이외에서 최대지름을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법이 제공된다.

(발명의 실시형태)

이하, 본 발명의 액정표시장치 및 이 액정표시장치의 제조방법의 1실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1실시형태에 따른 액정표시장치는 어레이기판(100)과, 어레이기판(100)에 대해 소정의 간격을 두고 대향배치된 대향기판(200) 및, 어레이기판(100)과 대향기판(200) 사이에 형성된 소정의 갭에 유지된 액정조성물을 포함하는 액정층(300)을 갖추고 있다.

어레이기판(100)은 투명한 절연성기판, 즉 제1기판으로서의 유리기판(101)상에 배치된 배선부를 갖추고 있다. 이 배선부는, 예컨대 유리기판(101)상에 배치된 복수의 주사선(103)과, 이들 주사선(103)에 직교하도록 배치된 신호선(105) 및, 주사선(103)과 신호선(105)의 교차부 근방에 배치된 스위칭소자로서의 박막 트랜지스터, 즉 TFT(110) 등이다.

또, 어레이기판(100)은 주사선(103) 및 신호선(105) 등의 배선부에 의해 구획된 화소영역에 형성된 화소전극(120)을 갖추고 있다. 이 화소전극(120)은 TFT(110)를 매개로 신호선(105)에 접속된 투명 도전성부재로서의 ITO(Indium Tin Oxide)에 의해 형성되어 있다.

주사선(103) 및 신호선의 배선부는 알루미늄이나 몰리브덴 텅스텐 등의 차광성을 갖는 저저항재료에 의해 형성되어 있다.

TFT(110)는, 유리기판(101)상에 배치된 폴리실리콘 박막(112)을 갖추고 있다. 이 폴리실리콘 박막(112)은 채널영역(112C)과 소스영역(112S) 및 드레인영역 (112D)을 갖추고 있다.

또, TFT(110)는 게이트전극(114)과 소스전극(116S) 및 드레인전극(116D)을 갖추고 있다. 게이트전극(114)은 게이트 절연막(113)상에 배치된 주사선(103)으로부터 채널영역(112C)상에 뻗어나와 있다. 소스전극(116S)은 게이트 절연막(113) 및 층간절연막(115)을 관통하여 폴리실리콘 박막(112)의 소스영역(112S)에 접촉함과 더불어 신호선(105)과 일체로 형성되어 있다. 드레인전극(116D)은 게이트 절연막(113) 및 층간절연막(115)을 관통하여 폴리실리콘 박막(112)의 드레인영역(112D)에 접촉하고 있다.

더욱이, 어레이기판(100)은 층간절연막(115)상 및 TFT(110) 등의 배선부상에 각 화소영역마다 적(R), 녹(G), 청(B)으로 각각 착색된 컬러필터(color filter) 층 (130; R, G, B)을 갖추고 있다.

화소전극(120)은 컬러필터층(130)상에 배치되어 있다. 드레인전극(116D)은 컬러필터층(130)에 형성된 관통구멍(118)을 매개로 화소전극(120)에 전기적으로 접속되어 있다. 어레이기판의 표면에는, TFT(110)나 화소전극(120)을 덮도록 배향막 (160)이 설치되어 있다. 이 배향막(160)은 액정층(300)에 포함되는 액정분자를 기판에 대해 거의 수직방향으로 배향한다.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 대향기판(200)은 투명한 절연성 기판, 즉 제2기판으로서의 유리기판(201)상에 배치된 투명 도전성부재로서의 ITO에 의해 형성된 대향전극(203)을 갖추고 있다. 대향전극(203) 표면은 액정분자를 기판에 대해 거의 수직방향으로 배향하는 배향막(207)에 의해 덮여져 있다.

이들 어레이기판(100) 및 대향기판(200)은 기둥형상의 스페이서(140)에 의해 소정의 갭을 형성한 상태에서 도시하지 않은 밀봉재에 의해 맞붙여진다. 액정층 (300)은 이 어레이기판(100)과 대향기판(200) 사이에 형성된 소정의 갭에 봉입된다.

또, 어레이기판(100) 및 대향기판(200)의 외표면에는, 예컨대 편광방향이 서로 직교하도록 배치된 편광판(170, 210)이 각각 배치되어 있다.

도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 차광성을 갖는 배선부상에는 안료를 함유한 감광성의 탄소가 없는 흑색수지에 의해 형성된 기둥형상 스페이서(140)가 형성되어 있다.

기둥형상 스페이서(140)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 그 측면에 잘록한 부분(141)을 갖추고, 더욱이 잘록한 부분(141)보다 기둥의 높이방향 상부의 최대지름부분(142)이 기둥의 선단위치보다 하부에 위치하며, 바람직하게는 기둥 높이의 3/4 이하에 위치하고 있다. 기둥형상 스페이서(140)의 선단은 유리기판(101)으로부터 보아 순테이퍼모양으로 형성되어 있다. 순테이퍼로는, 도 3에 나타낸 바와 같이 둥그스름한 형상이어도 좋고, 그렇지 않아도 좋다. 이에 따라, 배향막을 형성할 때의 러빙처리에 견디고, 기둥형상 스페이서의 결함이나 박리를 방지할 수 있어, 어레이기판(100)과 대향기판(200)간에 균일한 갭을 형성할 수 있음과 더불어, 액정분자의 배향을 양호하게 실현할 수 있다. 또, 잘록한 부분(141)은 최하부보다 작게 위치해 있는 것이 바람직하다. 즉, 최하부가 최소지름으로 되지 않게 함으로써 기둥형상 스페이서의 안정성이 향상한다.

또, 최대지름부분(142)은 기둥형상 스페이서(140)의 유리기판(101)에 가장 가까운 부분 이외, 즉 최하부 이외에 형성되어 있다. 이에 따라, 원하지 않는 광누출이 없는 콘트라스트(contrast)가 높은 표시를 실현할 수 있다. 즉, 기둥형상 스페이서(140)의 최하부에는 배향막재료가 모이기 쉬워, 그 부분은 다른 부분과 비교하여 배향상태나 인가되는 전계의 강도가 다르게 되어, 광누출을 일으킬 가능성이 있다. 그러나, 기둥형상 스페이서(140)의 최하부를 가늘게 함으로써, 배향막재료가 모이는 영역을 작게 하는 것이 가능해지고, 게다가 이 실시형태와 같이 기둥형상 스페이서(140)를 흑색수지 등의 차광성을 갖는 재료로 형성한 경우에는, 최대지름부분(142)보다 광누출을 방지하는 것이 가능해진다.

다음으로, 이 액정표시장치의 제조방법에 대해 설명한다.

즉, 두께 0.7㎜의 유리기판(101)상에 성막과 패터닝을 반복하고, 주사선 (103)과 신호선(105) 및 폴리실리콘 박막(112)의 반도체층을 갖춘 TFT(110)를 형성한다.

이어서, 스피너(spinner)에 의해 적색의 안료를 분산시킨 자외선 경화성 아크릴수지 레지스트(resist)를 기판 전면에 도포하고, 적색 화소에 대응한 부분에 광이 조사되는 포토마스크(photo mask)를 매개로 365nm 파장의 광을 100mJ/㎠의 노광량으로 노광하고, 소정의 현상액에 의해 50초간 현상하여, 적색의 컬러필터층 (130R)을 형성한다.

이어서, 마찬가지로 녹색의 컬러필터층(130G) 및 청색의 컬러필터층(130B)을 형성한다. 이어서, 이들 컬러필터층(130(R, G, B))을 각각 230℃로 1시간 소성한다. 이 때의 컬러필터층(130(R, G, B))의 막두께는 각각 3㎛이다. 이들 컬러필터층(130)의 형성공정에서는, TFT(110)와 화소전극(120)을 접촉시키는 관통구멍(118)도 동시에 형성한다.

이어서, 스퍼터링(sputtering)법에 의해 ITO를 성막한 후, 소정의 화소패턴으로 패터닝함으로써, TFT(110)에 접촉한 화소전극(120)을 형성한다.

이어서, 스피너에 의해 이 기판표면에 0.05 내지 0.2㎛의 입자지름의 안료입자를 35중량% 함유한 감광성의 탄소가 없는 흑색수지를 6㎛ 두께로 도포한다. 그리고, 90℃로 10분간 건조한 후, 소정의 패턴형상의 포토마스크를 이용하여 365nm 파장의 광을 500mJ/㎠의 노광량으로 노광한다. 그리고, pH11.5의 알칼리 수용액에 의해 현상함으로써 기둥형상을 형성한다. 그리고, 기판온도를 200℃로 승온함으로써, 기둥을 멜트(melt)시키고, 더욱이 이 온도를 60분간 유지함으로써 완전히 경화시킨다. 이에 따라, 차광성의 배선부상의 소정의 위치에 높이 5㎛의 차광성 기둥형상 스페이서(140)를 형성한다. 기둥을 경화시킬 때에, 예컨대 승온속도를 제어함으로써 기둥의 멜트성을 제어하는 것이 가능해진다. 이 실시형태에서는, 승온속도를 200℃/min로 함으로써, 기둥의 측면의 거의 중앙부에 잘록한 부분(141)이 형성되고, 최대지름부분(142)이 기둥높이의 약 3/4위치에 형성되었다.

이어서, 기판전면에 배향막재료를 500옹스트롬의 막두께로 도포하고, 소성한 후 러빙처리를 행하여 배향막(160)을 형성한다.

한편, 두께 0.7㎛의 유리기판(201)상에 대향전극(203)과 배향막(207)을 갖춘 대향기판(200)을 형성한다.

이어서, 대향기판(200)의 배향막(207) 주변을 따라 주입구를 제외하고 접착제를 인쇄하고, 어레이기판(100)으로부터 대향전극(203)에 전압을 인가하기 위한 전극 전이재를 접착제 주변의 전극전이전극상에 형성한다.

이어서, 각각의 배향막(160, 207)이 대향하도록, 또 각각의 러빙방향이 90도로 되도록 어레이기판(100) 및 대향기판(200)을 배치하고, 가열하여 접착제를 경화시켜 양기판을 맞붙인다.

이어서, 주입구로부터 액정조성물을 주입하고, 이 주입구를 자외선 경화수지에 의해 밀봉한다.

다음으로, 제2실시형태에 따른 액정표시장치에 대해 설명한다. 또, 상술한 제1실시형태와 동일한 구성요소에 대해서는, 동일한 참조부호를 붙여 상세한 설명을 생략한다.

도 1, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2실시형태에 따른 액정표시장치는 어레이기판(100)과, 대향기판(200) 및, 어레이기판(100)과 대향기판(200) 사이의 소정의 갭에 유지된 액정층(300)을 갖추고 있다.

어레이기판(100)은 투명한 절연성기판, 즉 유리기판(101)상에 배치된 복수의 주사선(103), 신호선(105), TFT(110) 등의 배선부를 갖추고 있다. 또, 어레이기판 (100)은 배선부에 의해 구획된 화소영역에 형성된 화소전극(120)을 갖추고 있다. 배선부를 구성하는 주사선(103) 및 신호선(105)은 알루미늄이나 몰리브덴 텅스텐 등의 차광성을 갖는 저저항재료에 의해 형성되어 있다. 화소전극(120)은 TFT(110)의 드레인전극(116D)에 직접 전기적으로 접속되어 있다. 어레이기판(100)의 표면은 배향막(160)에 의해 덮여져 있다.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 대향기판(200)은 유리기판(201)상의 각 화소영역마다 배치된 적(R), 녹(G), 청(B)으로 각각 착색된 컬러필터층(230(R, G, B))과 대향전극(203)을 갖추고 있다. 대향전극(203)의 표면은, 액정분자를 기판에 대해 수직방향으로 배향하는 배향막(207)에 의해 덮여져 있다.

이들 어레이기판(100) 및 대향기판(200)은, 기둥형상의 스페이서(150)에 의해 소정의 간극을 형성한 상태에서 도시하지 않은 밀봉재에 의해 맞붙여진다. 액정층(300)은 이 어레이기판(100)과 대향기판(200) 사이에 형성된 소정의 갭에 봉입된다.

도 1 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 차광성을 갖는 배선부상에는 안료를 함유한 감광성의 탄소가 없는 흑색수지에 의해 형성된 기둥형상의 스페이서(150)가 설치되어 있다.

기둥형상 스페이서(150)는 도 5에 나타낸 바와 같이, 그 측면에 잘록한 부분 (151)을 갖추고, 더욱이 잘록한 부분(151)보다 기둥의 높이방향 상부의 최대지름부분(152)이 기둥의 선단위치보다 하부에 위치하며, 바람직하게는 기둥높이의 3/4 이하에 위치하고 있다. 즉, 최대지름부분(152)은 도 5에 나타낸 바와 같은 높이방향을 따르는 단면에 있어서, 1 이상의 곡률반경을 조합시킴으로써 규정되는, 둥그스름한 형상을 이루고 있다. 이에 따라, 배향막을 형성할 때의 러빙처리에 견디어, 어레이기판(100)과 대향기판(200) 사이의 갭을 균일하게, 또 양호한 배향을 실현할 수 있다.

다음으로, 이 액정표시장치의 제조방법에 대해 설명한다.

즉, 두께 0.7㎜의 유리기판(101)상에 성막과 패터닝을 반복하고, 주사선 (103)과, 신호선(105), 폴리실리콘 박막(112)의 반도체층을 갖춘 TFT(110) 및, 화소전극(120)을 형성한다.

이어서, 스피너에 의해 이 기판표면에 0.05 내지 0.2㎛의 입자지름의 안료입자를 35중량% 함유한 감광성의 탄소가 없는 흑색수지를 6㎛ 두께로 도포한다. 그리고, 90℃로 10분간 건조한 후, 소정의 패턴형상의 포토마스크를 이용하여 365nm 파장의 광으로, 500mJ/㎠의 노광량으로 노광한다. 그리고, pH11.5의 알칼리 수용액에 의해 현상함으로써, 기둥형상을 형성한다. 그리고, 기판온도를 200℃로 승온함으로써 기둥을 멜트시키고, 더욱이 이 온도를 60분간 유지함으로써 완전히 경화시킨다. 이에 따라, 차광성의 배선부상의 소정의 위치에 높이 5㎛의 차광성 기둥형상 스페이서(150)를 형성한다. 기둥을 경화시킬 때 승온속도를 200℃/min로 함으로써, 기둥의 측면의 거의 중앙부에 잘록한 부분(151)이 형성되고, 최대지름부분 (152)이 기둥높이의 약 3/4위치에 형성되었다.

이어서, 기판 전면에 배향막재료를 500옹스트롬의 막두께로 도포하고, 소성한 후 러빙처리를 행하여 배향막(160)을 형성한다.

한편, 두께 0.7㎛의 유리기판(201)상에 컬러필터층(230(R, G, B))과 대향전극(203) 및 배향막(207)을 갖춘 대향기판(200)을 형성한다.

또, 상술한 실시형태에 있어서, 어레이기판(100)에 기둥형상 스페이서(140, 150)를 설치했지만, 대향기판(200)에 설치해도 좋다.

또, 기둥형상 스페이서(140, 150)의 배치장소는 주사선(103)과 신호선의 교점부상에 한정되지 않는다. 기둥형상 스페이서(140, 150)의 배치장소는 주사선 (103) 또는 신호선(105)중 어느 한쪽 위에만이어도 좋고, 이들 배선상 이외의 부분이어도 좋다. 더욱이, 기둥형상 스페이서(140, 150)의 배치장소는 TFT(110)상도 좋고, 도시하지 않았지만 보조용량을 형성하기 위한 보조용량선상에 형성되어도 좋다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 표시성능이 좋고, 제조수율의 저하를 방지하는 것이 가능한 액정표시장치를 제공할 수 있다.

Claims

제1기판과,

상기 제1기판상에 형성된 차광성을 갖는 기둥형상 스페이서,

상기 기둥형상 스페이서의 적어도 일부를 덮도록 형성된 배향막,

상기 기둥형상 스페이서에 의해 소정의 갭을 가지고 상기 제1기판에 대향배치된 제2기판 및,

상기 소정의 갭에 배치된 액정조성물을 갖춘 액정표시장치에 있어서,

상기 기둥형상 스페이서는, 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제2기판에 가장 가까운 부분에서 상기 제1기판측으로부터 보아 순테이퍼형상이며, 또 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제1기판에 가장 가까운 부분 이외에서 최대지름을 갖는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 기둥형상 스페이서는 흑색인 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 제1기판과 상기 기둥형상 스페이서의 층간에 상기 액정조성물을 구동하기 위한 전극을 갖춘 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1항에 있어서, 상기 제1기판은 금속에 의해 형성된 배선과 스위칭소자를 갖춘 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제4항에 있어서, 상기 기둥형상 스페이서는 상기 배선상에 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
제1기판상에 기둥형상 스페이서를 형성하는 제1공정과,

상기 기둥형상 스페이서가 형성된 상기 제1기판상에 배향막을 형성하는 제2공정,

상기 배향막을 러빙처리하는 제3공정 및,

상기 제1기판과 제2기판을 대향배치하여 상기 기둥형상 스페이서에 의해 형성되는 이들 기판간의 갭에 액정조성물을 배치하는 제4공정을 갖춘 액정표시장치의 제조방법에 있어서,

상기 제1공정에서는 상기 기둥형상 스페이서가 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제2기판에 가장 가까운 부분에서 상기 제1기판측으로부터 보아 순테이퍼형상이고, 또 상기 기둥형상 스페이서의 상기 제1기판에 가장 가까운 부분 이외에서 최대지름을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제6항에 있어서, 상기 제1공정전에 상기 제1기판에 상기 액정조성물을 구동하기 위한 전극을 형성하는 공정을 갖춘 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
제6항에 있어서, 상기 기둥형상 스페이서는, 차광성을 갖는 재료에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.