KR20010046268A - 제진장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 작업대상물의 폭 방향에 따른 에어토출력 및 흡인력을 균일화하며, 또한, 배관구조를 양 챔버의 중앙 상부에 한데 모아서 풋프린트를 작게 하는 것에 관한 것이다. 초음파발생기(8)를 내장하고 에어토출구(4A)를 갖춘 에어토출챔버(4)와, 상기 에어토출챔버(4)에 인접하고 에어흡인구(5A)를 갖춘 에어흡인챔버(5)를 가지며, 양 챔버 (4, 5)가 작업대상물(20)의 주행방향에 따라서 배치되는 동시에, 에어토출구(4A) 및 에어흡인구 (5A)와 상기 작업대상물(20) 사이에 소정 간격을 유지함으로 이루어지는 제진장치에 관한 것이다. 작업대상물(20)의 주행방향에서 본 에어토출챔버(4)의 대략 상단중앙부에 에어토출용 배관구멍(2)을 배치하며, 또한 상기 에어흡인챔버(5)의 대략 상단중앙부에 에어흡인용 배관구멍(3)을 배치한다.

Description

제진장치 {DUST CLEANING APPARATUS}

본 발명은 PDP(플라즈마 디스플레이 패널) 표시장치나 LCD(액정디스플레이)표시장치용 유리기판 등의 작업대상물 표면에 부착한 진애(塵埃)를 청정에어로 흡인 제거하는 제진장치에 관한 것이다.

표면이 거의 평탄한 작업대상물의 표면에 부착한 진애를, 에어를 분사하고 이 에어를 흡인해서 제거하는 제진장치로는, 예를 들면 특개평(特開平) 7-60211호공보 (특원평(特願平)5-240672호)에 기재된 것이 알려져 있다.

이 제진장치에는 작업대상물의 주행방향에 따라 에어배출실과 에어흡입실이 배치되어 있으며, 이들의 각 단부를 블로어에 배관접속해서 에어를 배출, 흡인하는 구조로 되어 있다.

상술한 종래기술에서는 에어배출실 및 에어흡입실과 블로어와의 배관접속부 근방의 배출력, 흡인력이 모두 가장 강하며, 이들 배관접속부에서 멀어질수록 배출력, 흡인력이 저하되기 때문에, 작업대상물의 폭이 길어질수록 폭 방향에 따라서 제진력이 불균일하게 되는 문제가 있었다. 특히, 작업대상물의 폭이 350mm이상이 되는 PDP표시장치 등의 대형유리기판의 제진에는 적용이 불가능하였다.

또한, 작업대상물의 폭 방향에 따라서 에어공급 배관 및 배출 배관을 설치하는 구조이기 때문에, 배관에 크고 넓은 공간이 필요하며 소위 풋프린트(footprint)가 커진다는 문제점이 있었다.

그래서 본 발명은 작업대상물의 폭에 상관없이 거의 균일하고 안정된 제진력, 제진효과를 얻을 수 있으며, 그 상부의 배관 배치공간을 감소시킬 수 있는 제진장치를 제공하려는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예의 주요부를 나타내는 사시도.

도 2는 도 1 의 종단면도.

도 3은 본 발명의 다른 실시예의 주요부를 나타내는 측면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1, 1A 제진장치

2, 3 배관구멍

4 에어토출챔버

4A 에어토출구

5 에어흡인챔버

5A 에어흡인구

6 격벽

7 바닥판

8 초음파발생기

9, 10 엔드 플레이트

11, 12 부착구멍

13 소음커버

20 작업대상물

상기 과제를 해결하기 위해 청구항 제1항에 기재된 발명은, 초음파발생기를 내장하고 에어토출구를 갖춘 에어토출챔버와, 상기 에어토출챔버에 인접하고 에어흡인구를 갖춘 에어흡인챔버를 가지며, 상기 에어토출챔버 및 에어흡인챔버가 작업대상물의 주행방향을 따라서 배치되는 동시에, 상기 에어토출구 및 에어흡인구와 상기 작업대상물와의 사이에 소정의 간격을 유지함으로 이루어지는 제진장치에 있어서, 상기 작업대상물의 주행방향에서 보아서 상기 에어토출챔버의 대략 상단중앙부에 에어토출용 배관구멍을 배치하고, 상기 에어흡인챔버의 대략 상단중앙부에 에어흡인용 배관구멍을 배치한 것이다.

단, 본 발명의 제진장치는 청구항 제2항에 기재된 것과 같이, 작업대상물의 주행방향에서 보아서 에어토출챔버 및 에어흡인챔버를 등각사다리꼴로 만드는 것이 바람직하다.

또한, 청구항 제3항에 기재된 것과 같이, 에어토출챔버 및 에어흡인챔버로 이루어지는 한 조를 작업대상물의 폭 방향을 따라서 복수 배치함으로써 폭이 넓은 작업대상물에 대응할 수도 있다.

아래에서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 도 1은 본 실시예의 주요부를 가리키는 사시도, 도 2는 도 1의 중앙종단면도이다.

이들 도면에 있어서, 측면(작업대상물의 주행방향 F)에서 보아서 거의 등각사다리꼴의 에어토출챔버(4) 및 에어흡인챔버(5)가 작업대상물의 주행방향 F를 따라서 일직선 상에 병렬로 설치되어 있다.

양 챔버(4, 5)의 하단부의 폭은 작업대상물의 폭 W와 거의 똑같이 되어 있는 동시에, 양 챔버(4, 5)는 도 2에서 밝힌 것과 같이 격벽(6)에 의해 같은 면적으로 분리된다. 챔버(4, 5)의 대략 상단중앙부에는 도시되지 않은 블로어의 토출구 및 흡인구에 각각 접속되는 직경 약100mm의 배관구멍(2, 3)이 형성되어 있으며, 블로어의 토출구와 배관구멍(2) 사이에는 청정 에어를 공급하기 위해 HEPA필터(도시하지 않음)가 부착된다.

또한, 도 1에 나타낸 것과 같이, 양 챔버 (4, 5)의 하단부 양끝은 엔드플레이트(9, 10)로 종단되어 있다. (11, 12)는 이 제진장치를 주변의 지지부재에 부착하기 위한 부착구멍이다.

또한, 도2에 있어서, 양 챔버(4,5)의 하단부에는 작업대상물의 폭 W와 거의 똑같은 폭을 가지는 바닥판(7)이 형성되어 있다. 상기 바닥판(7)과 작업대상물(20)의 표면 사이의 간격은 약 2 mm로 유지된다.

에어토출챔버(4)의 바닥판(7)에는 그 폭 방향의 전체길이에 걸쳐서 에어토출구(4A)가 형성되며, 에어흡인챔버(5)의 바닥판(7)에도 똑같이 폭 방향의 전체길이에 걸쳐서 에어흡인구(5A)가 형성되어 있다.

도 2에서 밝힌 것과 같이, 양 챔버(4, 5)는 하단부의 단면적이 상단부보다도 작게 되는 형상으로 되어 있다.

에어토출챔버(4)의 내부에서, 에어토출구(4A)의 상부에는 토출에어에 초음파주파수의 진동을 주기 위한 초음파발생기(8)가 배치되어 있다. 이 초음파발생기(8)는 에어토출구(4A)의 전체길이에 걸친 길이를 가지고 있다.

여기서 양 챔버(4, 5), 배관구멍(2, 3), 바닥판(7) 등은 알루미늄에 의해 일체로 형성된다.

또한, (13)은 양 챔버(4, 5) 외측에 부착된 소음커버이며, 도 1에서는 편의상 도시를 생략하였다.

본 실시예에 있어서, 작업대상물(20)의 주행방향 F에서 보아서 거의 등각사다리꼴 모양인 양 챔버(4, 5)의 저각은 45도로 설정되어 있지만, 이 각도는 작업대상물(20)의 폭이나 작업대상물(20)의 상방공간의 넓고 좁음에 따라서 임의로 설정가능하다. 예를 들면, 작업대상물20의 상방공간이 좁은 경우에는 상기 저각을 30도로 하면 제진장치의 높이를 낮게 유지할 수 있다.

다음으로 본 실시예의 동작을 설명하면, 블로어로부터 공급되는 청정한 에어는 HEPA필터를 거쳐서 에어토출챔버(4) 내로 도입되고, 초음파발생기(8)에 의해 초음파진동이 전해져서 에어토출구(4A)를 통하여 작업대상물(20) 방향으로 토출된다.

작업대상물(20)의 표면에 부착되어 있는 진애는 이 토출에어에 의해 제거되어, 인접한 에어흡인구(5A)에서 부압(負壓)상태의 에어흡인챔버(5) 안으로 흡인되어서 배관구멍(3)에서 배기된다.

이때, 본 실시예에서는, 에어토출챔버(4) 및 에어흡인챔버(5)의 대략 상단중앙부에 배관구멍(2, 3)을 배치해서 에어를 토출, 흡인하기 때문에, 에어토출구(4A) 및 에어흡인구(5A)에서는 각각 거의 전체길이(즉, 작업대상물(20)의 폭 W)에 걸쳐서 균일한 토출력, 흡인력을 얻을 수 있다.

발명자의 실험에 의하면, 폭 W가 6 m인 작업대상물(20)에 대해, 본 발명의 제진장치를 작업대상물(20)의 폭 방향에 따라서 2 m마다 하나씩 3군데에 설치한 결과, 균일한 제진효과를 얻을 수 있다는 것이 확인되었다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 가리키고 있다.

도면에서, 1A는 전술한 양 챔버(4, 5) 및 배관구멍(2, 3)의 조(組)를 작업대상물(20)의 폭 방향에 따라 복수(이 실시예에서는 4개)로 배치한 제진장치이며, 다른 구성요소에는 도 1, 도 2와 동일한 번호를 부여하였다. 이와 같이 양 챔버(4, 5)를 복수조로 설치할 경우에는 블로어의 부하조건에서 짝수 개의 조를 설치하는 것이 바람직하다.

본 실시예에 의하면, 폭 W가 6 m 인 작업대상물(20)에 대해서도 단일의 제진장치로 균일하며 안정된 제진효과를 얻을 수 있다는 것이 확인되었다.

이상에 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 에어토출챔버 및 에어흡인챔버의 대략 상단중앙부에 블로어 접속용의 배관구멍을 배치하여, 각 챔버의 대략 상단중앙부에서 에어를 공급해서 배출하도록 했기 때문에, 작업대상물의 폭 방향에 따른 에어의 토출력 및 흡인력을 거의 균일하게 할 수 있다. 이를 위해, PDP표시장치용 유리기판등의 폭 넓은 작업대상물에 대해서도 균일하며 안정된 제진력을 얻을 수가 있다.

또한, 배관구조를 각 챔버의 중앙부 상부에 한데 모을 수 있기 때문에 풋프린트를 작게 할 수 있으며 , 점유공간의 협소화가 가능해진다.

Claims (3)

1. 초음파발생기를 내장하고 또한 에어토출구를 갖춘 에어토출챔버와, 상기 에어토출챔버에 인접하고 또한 에어흡인구를 갖춘 에어흡인챔버를 가지며, 상기 에어토출챔버 및 에어흡인챔버가 작업대상물의 주행방향에 따라서 배치되는 동시에, 상기 에어토출구 및 에어흡인구와 상기 작업대상물과의 사이에 소정의 간격을 유지하는 제진장치에 있어서,

   상기 작업대상물의 주행방향에서 보아 상기 에어토출챔버의 대략 상단중앙부에 에어토출용의 배관구멍을 배치하며, 또한 상기 에어흡인챔버의 대략 상단중앙부에 에어흡인용의 배관구멍을 배치한 것을 특징으로 하는 제진장치.
2. 제1항에 있어서,

   에어토출챔버 및 에어흡인챔버를 작업대상물의 주행방향에서 보아 대략 등각사다리꼴로 형성한 것을 특징으로 하는 제진장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   에어토출챔버 및 에어흡인챔버로 이루어지는 조(組)를, 작업대상물의 폭 방향에 따라서 복수 배치한 것을 특징으로 하는 제진장치.