KR20010037330A - 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법 - Google Patents
액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (5)
- 절연 기판 위에 게이트선 및 이와 연결된 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하는 단계,상기 게이트 배선을 덮는 게이트 절연막을 형성하는 단계,상기 게이트 절연막 위에 반도체층을 형성하는 단계,상기 반도체층 위에 저항성 접촉층을 형성하는 단계,상기 접촉층 패턴 위에 서로 분리되어 형성되어 있으며 동일한 층으로 만들어진 소스 전극 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결된 데이터선을 포함하는 데이터 배선을 형성하는 단계,상기 데이터 배선 상부에 적, 녹, 청 컬러 필터를 형성하는 단계,상기 컬러 필터 상부에 보호막을 적층하는 단계,상기 보호막을 패터닝하여 상기 드레인 전극 상부에 제1 접촉 구멍을 형성하는 단계,상기 제1 접촉 구멍을 통하여 드러난 상기 컬러 필터를 제거하여 상기 드레인 전극을 드러내는 단계,상기 보호막 상부에 상기 제1 접촉 구멍을 통하여 상기 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서,상기 보호막은 유기 절연 물질로 형성하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서,상기 데이터선과 상기 컬러 필터 형성 단계 사이에 층간 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제3항에서,상기 게이트 배선은 상기 게이트선에 연결되어 외부로부터 신호를 전달받는 게이트 패드를 더 포함하고, 상기 데이터 배선은 상기 데이터선에 연결되어 외부로부터 신호를 전달받는 데이터 패드를 더 포함하며,상기 제1 접촉 구멍 형성 단계에서 상기 보호막에 제2 및 제3 접촉 구멍을 더 형성하며,상기 드레인 전극을 드러내는 단계에서 상기 게이트 절연막 및 상기 층간 절연막도 함께 식각하여 상기 제2 및 상기 제3 접촉 구멍을 통하여 상기 게이트 패드 및 상기 데이터 패드를 노출시키며,상기 제2 및 제3 접촉 구멍을 통하여 상기 게이트 패드 및 상기 데이터 패드와 연결되며 상기 화소 전극과 동일한 층으로 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제4항에서,상기 제1 내지 제3 접촉 구멍 형성 단계는 건식 식각으로 이루어지며, SF6을 포함하는 식각 기체를 이용하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
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