KR20010035647A - 타이틀러의 균일성 감지시스템 - Google Patents

타이틀러의 균일성 감지시스템 Download PDF

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KR20010035647A
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KR1019990042336A
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이윤재
김영선
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윤종용
삼성전자 주식회사
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Abstract

본 발명은 램프로부터 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성을 감지하여 에러 발생시 이를 알리는 경고신호를 출력할 수 있도록 하는 타이틀러의 균일성 감지시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 타이틀러의 균일성 감지시스템은, 램프로부터 조사되는 빛을 노광을 위한 웨이퍼와 균일성 감지용 미러에 각각 반사 및 투과하도록 된 반투과 미러를 구비한 타이틀러의 균일성 감지시스템에 있어서, 상기 균일성 감지용 미러의 전면에 설치되어 램프로부터 조사되는 빛을 감지하는 다수개의 파워 감지센서 및 상기 다수개의 파워 감지센서에 의해 감지되는 빛을 기준전압(Vref)과 대비하여 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성을 판정하고 에러 발생시 이를 알리는 에러신호를 출력하는 제어수단을 구비한다.
따라서 본 발명에 의하면 웨이퍼에 조사되는 빛의 불균일성을 감지하고, 이를 알리는 경고신호를 출력하여 웨이퍼에 조사되는 빛의 초점불량, 즉 웨이퍼의 현상불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

타이틀러의 균일성 감지시스템{Uniformity sensing system of the titler}
본 발명은 반도체 제조설비에 있어 타이틀러의 균일성 감지시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 램프로부터 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성을 감지하여 에러 발생시 이를 알리는 경고신호를 출력할 수 있도록 하는 타이틀러의 균일성 감지시스템에 관한 것이다.
종래의 타이틀러(titler, wafer labelling machine)는 각각의 웨이퍼와 런(run)들 간에 서로 혼동이 일어나지 않도록 고유의 이름을 적어주는 장비로서, 웨이퍼의 플랫존(flat-zone)에 수은램프의 빛을 이용하여 노광을 행한다.
이 타이틀러는 빛을 이용하는 다른 장비와 같이 램프의 빛을 이용하기 때문에 균일한 파워를 가지는 빛을 요구한다.
이러한 타이틀러의 종래 구성을 보면, 도1 및 도2에서와 같이 램프로부터 조사되는 빛이 반투과 미러(101)에 의해 반사 및 투과되어 웨이퍼(W)와 균일성 감지용 미러(102)에 각각 조사되도록 구성되어 있다. 이 균일성 감지용 미러(102)의 후방에는 웨이퍼(W)에 조사되는 빛, 즉 균일성 감지용 미러(102)에 조사되는 빛을 감지하여 미도시된 제어수단에 공급하는 파워 감지센서(103)가 설치되어 있다.
이때 제어수단은 웨이퍼에 조사되는 빛이 일정한 값을 갖도록 파워 감지센서(103)에 의해 웨이퍼에 조사되는 빛을 감지하고, 이 광량에 따라 램프로부터 웨이퍼에 조사되는 빛, 즉 셔터(shutter)의 개방시간을 조절하도록 구성되어 있다.
그러나, 상기한 바와 같은 타이틀러의 균일성 감지시스템에서는 웨이퍼에 조사되는 빛을 감지하기 위한 파워 감지센서가 균일성 감지용 미러의 중앙, 즉 특정구역에만 설치되어 있기 때문에 파워 감지센서가 설치되지 않은 구역에 조사되는 빛이 변하여도 이를 감지하거나, 이를 기초로 빛을 조절하지 못한다는 결점이 있다.
다시 말하면, 웨이퍼에 조사되는 빛이 균일하게 조사되지 못하기 때문에 초점(focus) 불량으로 인하여 웨이퍼의 현상(develop) 불량을 유발하는 결점이 있다.
상기한 바와 같은 결점을 해결하기 위한 목적은, 웨이퍼에 조사되는 빛의 불균일성을 감지하고, 이를 알리는 경고신호를 출력하여 웨이퍼에 조사되는 빛의 초점불량, 즉 웨이퍼의 현상불량을 줄일 수 있도록 하는 타이틀러의 균일성 감지시스템을 제공함에 있다.
도1은 종래 타이틀러의 균일성 감지시스템을 나타내는 개략도이다.
도2는 종래 타이틀러의 균일성 감지시스템에서 파워 감지센서의 설치상태를 보인 개략도이다.
도3은 본 발명에 따른 타이틀러의 균일성 감지시스템을 나타내는 개략도이다.
도4는 본 발명에 따른 타이틀러의 균일성 감지시스템에서 파워 감지센서의 설치상태를 보인 개략도이다.
도5는 본 발명에 따른 타이틀러의 균일성 감지시스템의 제어수단을 도시한 회로도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※
1 : 반투과 미러 2 : 균일성 감지용 미러
3a, 3b, 3c, 3d, 3e : 파워 감지센서 4 : 경고수단
R1∼R10 : 저항 CP1∼CP5 : 비교기
G : 낸드 게이트 Vref : 기준전압
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 타이틀러의 균일성 감지시스템은, 램프로부터 조사되는 빛을 노광을 위한 웨이퍼와 균일성 감지용 미러에 각각 반사 및 투과하도록 된 반투과 미러를 구비한 타이틀러의 균일성 감지시스템에 있어서, 상기 균일성 감지용 미러의 전면에 설치되어 램프로부터 조사되는 빛을 감지하는 다수개의 파워 감지센서 및 상기 다수개의 파워 감지센서에 의해 감지되는 빛을 기준전압(Vref)과 대비하여 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성을 판정하고 에러 발생시 이를 알리는 에러신호를 출력하는 제어수단이 구비되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제어수단은 상기 다수개의 파워 감지센서에 의해 감지되는 빛을 기준전압(Vref)을 대비하여 웨이퍼의 소정구역에서의 균일성에 대한 에러 발생여부를 판정하는 다수개의 비교기 및 상기 다수개의 비교기의 출력을 조합하여 적어도 하나 이상의 구역에서 에러가 발생되었는지를 판정하고 에러 발생시 이를 알리는 에러신호를 출력하는 낸드 게이트가 구비되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예로서는 상기 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성에 대한 에러 발생시 이를 알리기 위한 경고신호를 출력하는 경고수단을 더 구비하여 구성할 수 있을 것이다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 타이틀러의 균일성 감지시스템은 도3 및 도4에서와 같이, 램프로부터 조사되는 빛이 반투과 미러(1)에 의해 반사 및 투과되어 웨이퍼(W)와 균일성 감지용 미러(2)에 각각 조사되도록 구성되어 있다. 이 균일성 감지용 미러(2)의 후방에는 웨이퍼(W)에 조사되는 빛, 즉 균일성 감지용 미러(2)에 조사되는 빛을 감지하여 제어수단에 공급하는 다수개의 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e)가 고르게 분포되어 있다.
여기서, 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성을 판단하고 에러 발생시 이를 알리는 경고신호를 출력하는 제어수단은 도5에 도시한 바와 같이 구성되어 있다. 물론, 제어수단은 종래의 기술에서와 같이 웨이퍼에 조사되는 빛이 일정한 값을 갖도록 다수개의 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e)에 의해 웨이퍼에 조사되는 빛을 감지하고, 이 광량에 따라 램프로부터 웨이퍼에 조사되는 빛, 즉 셔터(shutter)의 개방시간을 조절한다.
미도시된 램프(수은)로부터 조사되는 빛을 감지할 수 있도록 균일성 감지용 미러(2)에 설치된 다수개의 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e)에 의해 감지된 빛이 각각 저항(R1)(R3)(R5)(R7)(R9)을 통해 비교기(CP1∼CP5)의 비반전단자(+)에 인가되도록 구성되어 있고, 이 비교기(CP1∼CP5)의 반전단자(-)에는 서로 동일한 값의 기준전압(Vref)이 각각 인가되도록 구성되어 있다.
그리고, 각 비교기(CP1∼CP5)의 출력, 즉 다수개의 파워 감지센서가 설치된 웨이퍼의 소정구역에서의 빛의 균일성에 대한 에러신호가 입력되는 낸드 게이트(G)는 다수개의 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e) 중 적어도 하나 이상의 파워 감지센서로부터 빛의 균일성에 대한 에러신호가 입력되는 경우 경고수단(4)을 구동시킬 수 있도록 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명은 다음과 같이 동작된다.
미도시된 램프로부터 조사되는 빛 중 일부가 반투과 미러(1)에 의해 반사되어 웨이퍼(W)에 조사됨으로써 웨이퍼(W)에서는 노광현상이 일어난다. 그리고, 반투과 미러(1)를 투과한 빛은 균일성 감지용 미러(2), 즉 다수개의 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e)에 의해 감지되어 각각 비교기(CP1)(CP2) (CP3)(CP4)(CP5)의 비반전단자(+)에 인가된다.
그리하면, 각 비교기(CP1)(CP2)(CP3)(CP4)(CP5)는 파워 감지센서(3a)(3b)(3c) (3d)(3e)로부터 입력되는 빛과 반전단자(-)에 인가되는 기준전압(Vref)을 대비하여 웨이퍼의 소정구역, 즉 파워 감지센서가 설치된 구역에서의 균일성 여부를 판정한다.
다시 말하면, 비교기(CP1)(CP2)(CP3)(CP4)(CP5)는 웨이퍼의 소정구역에 설치된 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e)에 의해 감지되는 빛이 기준전압(Vref)보다 낮으면 ″로우″레벨의 출력을 낸드 게이트(G)에 공급하지만, 파워 감지센서(3a)(3b)(3c)(3d)(3e)에 의해 감지되는 빛의 광량이 기준전압(Vref)보다 높으면 ″하이″레벨의 출력을 낸드 게이트(G)에 공급한다.
따라서, 낸드 게이트(G)는 비교기(CP1)(CP2)(CP3)(CP4)(CP5)로부터 출력되는 ″하이/로우″레벨의 출력에 의해 웨이퍼의 소정구역에서의 빛의 균일성에 대한 에러상태를 판단한다. 즉, 낸드 게이트(G)는 파워 감지센서가 설치된 지역에서의 균일성에 대한 에러상태를 판정하고 적어도 하나 이상의 지역에서 빛이 균일하지 않게 조사되는 경우 경고수단(4)을 구동시켜 경고신호를 출력한다.
따라서, 웨이퍼에 타이틀을 노광하는 중에 시스템 관리자는 경고수단(4)을 통해 출력되는 경고신호에 의해 웨이퍼에 조사되는 빛이 균일하지 않음을 인지하고 후속조치를 취할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼에 조사되는 빛의 불균일성을 감지하고, 이를 알리는 경고신호를 출력하여 웨이퍼에 조사되는 빛의 초점불량, 즉 웨이퍼의 현상불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

  1. 램프로부터 조사되는 빛을 노광을 위한 웨이퍼와 균일성 감지용 미러에 각각 반사 및 투과하도록 된 반투과 미러를 구비한 타이틀러의 균일성 감지시스템에 있어서,
    상기 균일성 감지용 미러의 전면에 설치되어 램프로부터 조사되는 빛을 감지하는 다수개의 파워 감지센서; 및
    상기 다수개의 파워 감지센서에 의해 감지되는 광량을 기준전압(Vref)과 대비하여 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성을 판정하고 에러 발생시 이를 알리는 에러신호를 출력하는 제어수단;
    이 구비되는 것을 특징으로 하는 타이틀러의 균일성 감지시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어수단은, 상기 다수개의 파워 감지센서에 의해 감지되는 빛을 기준전압(Vref)을 대비하여 웨이퍼의 소정구역에서의 균일성에 대한 에러 발생여부를 판정하는 다수개의 비교기; 및
    상기 다수개의 비교기의 출력을 조합하여 적어도 하나 이상의 구역에서 에러가 발생되었는지를 판정하고 에러 발생시 이를 알리는 에러신호를 출력하는 낸드 게이트;
    가 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 타이틀러의 균일성 감지시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼에 조사되는 빛의 균일성에 대한 에러 발생시 이를 알리기 위한 경고신호를 출력하는 경고수단;
    이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 상기 타이틀러의 균일성 감지시스템.
KR1019990042336A 1999-10-01 1999-10-01 타이틀러의 균일성 감지시스템 KR20010035647A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100649719B1 (ko) * 1999-09-22 2006-11-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노광기 초점 조절장치

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