KR20010030149A - 플라즈마표시패널의 장치, 제조방법 및 구동방법 - Google Patents

플라즈마표시패널의 장치, 제조방법 및 구동방법 Download PDF

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KR20010030149A
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히라노나오토
누노무라게이지
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가네꼬 히사시
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Abstract

개시된 내용은 기록특성, 발광휘도, 및 발광효율을 향상하고, 긴 수명을 갖는 플라즈마표시패널을 제공하고 있다. 후면유리기판상에는 데이터전극들이 기판열방향으로 형성되어 있다. 이 데이터전극들 위에는 유전체층이 형성되어 있다. 이 유전체층상에는 주사전극들이 기판행방향으로 형성되어 있다. 이 주사전극들 위에는 유전체층이 형성되어 있다. 이 유전체층상에는 격벽들이 기판열방향으로 형성되어 있다. 격벽들을 포함하는 유전체층상에는 보호층 및 형광물질층이 형성되어 있다. 한편, 전면유리기판상에는 공통전극들 및 이 공통전극들에 전기적으로 연결된 버스전극들이 주사전극들에 대향되도록 기판행방향으로 형성되어 있다. 이 공통전극들과 버스전극들 위에는 유전체층 및 보호층이 형성되어 있다.

Description

플라즈마표시패널의 장치, 제조방법 및 구동방법{Apparatus, manufacturing method and driving method of plasma display panel}
본 발명은 플라즈마표시패널(PDP)에 관한 것으로서, 특히 패널구조, 그것의 제조방법, 그것의 구동방법, 및 저전압구동과 고속기록이 가능하고 고휘도, 고효율, 및 긴수명을 달성할 수 있는 그것의 구동장치에 관한 것이다.
플라즈마표시패널에 있어서, 전계에 의해 가속된 전자가 가스원자 또는 분자와 충돌하고 이 충돌에 의해 발생된 자외광은 칼라영상을 표시하기 위하여 형광물질에 의해 가시광으로 변환된다. 플라즈마표시패널은 대화면 및 대용량의 평판패널표시장치들의 하나이다. 종래의 플라즈마표시패널이 도 15 내지 18을 참조하여 설명된다. 이 도면들에 있어서, 다양한 전극들에 관련된 부분들을 중점적으로 설명한다.
도 15에 도시된 구조에 있어서, 데이터전극(2)은 후면유리기판(1) 상에서 열방향으로 형성된다. 데이터전극(2) 상에는 유전체층(3)이 형성된다. 유전체층(3) 위에는 주사전극(4)이 행방향으로 형성된다. 주사전극(4) 상에는 유전체층(5)이 형성된다. 전극들이 서로 교차하는 부분안에 화소용 단위셀이 형성된다. 이러한 구조를 갖는 플라즈마표시패널에 있어서, 표시용 셀을 선택하기위한 기록방전(면방전, 21)은 데이터전극(2)과 기판(1)상에 형성된 주사전극(4)의 교차부에서 발생하고, 그 후 가시광을 발산하기위한 유지방전(면방전, 22)이 발생한다. 이러한 구조는 교차면방전형이라 불리우고, 도 16에 도시된 교차대향방전형과는 달리, 전극들이 단지 하나의 기판상에 형성된 구조를 갖는다.
그러나, 이 구조에 있어서, 기록방전(21) 및 유지방전(22)은 동일한 장소에서 발생된다. 그러므로, 고에너지이온들이 방전시에 미도시된 보호층을 공격한다. 그러므로, 기록방전(21)에 기인한 이온충격은 동일장소에서 유지방전(22)의 충격에 중첩된다. 이것은 보호층의 열화에 기인한 작동수명이 짧은 문제를 야기한다. 이후에 기술할 대향방전의 경우와는 달리, 특히 면방전의 경우에 있어서, 전극가장자리부에서의 전계의 왜곡(전력선(17)의 집중)이 크고, 전극가장자리부 가까이에 위치한 보호층으로 고에너지이온들이 집중되며, 보호층상에 이온들이 비스듬하게 입사한다. 그러므로, 면방전의 경우에 있어서, 이온충격에 기인된 보호층의 손상이 더욱 심하게 된다. 더욱더, 방전영역이 좁기 때문에, 전력으로부터 휘도까지 발광휘도 및 변환효율이 낮은 문제점이 있다. 또한, 기록방전(21) 및 유지방전(22)을 일으키는 한 쌍의 전극이 동일한 곳에 놓여 있기 때문에, 구동순서 및 구동회로가 복잡한 문제점이 있다. 나아가, 일반적으로 플라즈마표시패널은 전극들의 저항 및 용량에 기인한 분포정수회로이다. 그러므로, 유지펄스(20)의 피크값들이 표시패널의 위치에 따라 변한다. 상세하게는 외부구동회로와의 연결부에서의 휘도는 연결부로부터 먼 위치에서의 것과는 다르다. 이 피크값의 변환은 표시된 화상들에 있어서 휘도의 균일성을 파괴한다. 화상에 있어서 균일성의 결여는 표시면적이 크게 되기 때문에 특히 펄스방전전류가 높은 교류방전플라즈마표시패널의 경우에 있어서 심각하게 된다.
한편, 도 16에 도시된 구조에 있어서, 데이터전극(2)은 후면유리기판(1)상에 열방향을 따라 형성된다. 데이터전극(2) 위에는 유전체층(3)이 형성된다. 전면유리기판(10)상에는 주사전극(4)이 행방향을 따라 형성된다. 주사전극(4) 위에는 유전체층(13)이 형성된다. 이러한 구조를 갖는 플라즈마표시패널에 있어서, 기록방전(대향방전, 21)은 데이터전극(2)과 주사전극(4) 사이에서 발생하고, 그 후 유지방전(대향방전, 22)이 발생한다. 이 경우에 있어서, 기록방전(21) 및 유지방전(22) 둘다를 대향방전형이라 한다. 도 15에 도시된 구조와 비교하여, 이온충격에 기인된 미도시한 보호층의 손상이 감소되는 이점이 있다. 뿐만아니라, 방전영역이 전극들 사이의 거리를 넓게 하므로서 확장될 수 있기 때문에, 전력으로부터 휘도까지 발광휘도 및 변환효율이 향상될 수 있는 가능성이 있다. 그러나, 이 경우에 있어서, 플라즈마표시패널을 구동하기 위한 전압은 매우 높게 된다.
도 15에 도시된 구조는 물론 도 16에 도시된 구조는 동일장소에서 이온충격의 중첩에 기인하여 수명이 짧은 문제점을 갖고 있다. 이 수명은, 직류방전시스템에서는 전극이 노출되어 있는 반면 교류방전시스템에서는 전극이 유전체층에 의해 피복되어져 있기 때문에, 플라즈마표시패널의 형식에 의존한다. 또한, 한쌍의 전극이 기록방전(21) 및 유지방전(22)을 발생하는 데 기인하여 구동순서 및 구동회로가 복잡하다는 문제점이 있다. 뿐만 아니라, 휘도가 표시패널의 위치에따라 변한다는 문제점이 있다.
한편, 도 17에 도시된 구조에 있어서, 데이터전극(2)은 후면유리기판(1) 상에서 열방향으로 형성된다. 데이터전극(2) 상에는 유전체층(3)이 형성된다. 유전체층(3) 위에는 주사전극(4) 및 공통전극(11)이 행방향으로 형성된다. 주사전극(4) 및 공통전극(11) 상에는 유전체층(13)이 형성된다. 전극들이 서로 교차하는 부분 안에 단위셀이 형성된다. 이러한 구조를 갖는 플라즈마표시패널에 있어서, 기록방전(면방전, 21)은 데이터전극(2)과 기판(1)상에 형성된 주사전극(4)의 교차부에서 발생하고, 그 후 유지방전(면방전, 22)이 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이에서 발생한다. 이 경우에 있어서는, 다른 전극쌍들이 기록방전(21) 및 유지방전(22)을 일으키기 때문에, 구동방법 및 구동회로가 단순화되는 이점이 있다. 또한, 미도시한 보호층의 수명이 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같은 구조의 것에 비하여 길어지게되는 이점이 있다.
도 17에 도시된 구조에 있어서, 모든전극들이 하나의 기판상에 형성되므로 제조공정에 있어서 이점이 있다. 그러나, 데이터전극(2), 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 용량이 크게 되고 따라서 구동부하가 증가되는 단점이 있다. 이것은 특히 대형면적표시패널에 있어 심각한 문제를 야기한다. 또한, 각 방전이 면방전이기 때문에, 보호층의 열화에 기인된 수명단축의 문제가 쉽게 해결되지 않는다.
한편, 도 18에 도시된 구조에 있어서, 데이터전극(2)은 후면유리기판(1) 상에서 열방향으로 형성된다. 데이터전극(2) 상에는 유전체층(3)이 형성된다. 전면유리기판(10) 위에는 주사전극(4) 및 공통전극(11)이 행방향으로 형성된다. 주사전극(4) 및 공통전극(11) 상에는 유전체층(13)이 형성된다. 이러한 구조를 갖는 플라즈마표시패널에 있어서, 기록방전(대향방전, 21)은 데이터전극(2)과 방전공간을 개재하여 다른기판들상에 형성된 주사전극(4)의 사이에서 발생하고, 그 후 유지방전(면방전, 22)이 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이에서 발생한다. 이 경우에 있어서는, 다른 전극쌍들이 기록방전(21) 및 유지방전(22)을 일으키기 때문에, 구동방법 및 구동회로가 단순화되는 이점이 있다. 또한, 데이터전극(2)이 후면유리기판(1)측에 형성되기 때문에, 데이터전극(2), 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 용량이 도 17에 도시된 구조와 비교하여 줄어들 수 있는 이점이 있다. 또한, 기록방전(21)이 대향방전형이기 때문에, 이온충격에 기인된 미도시의 보호층의 손상이 도 17에 도시된 구조와 비교하여 감소되는 이점이 있다. 도18에 도시된 바와 같은 동일형태의 것은 두종류가 있는데, 그 하나는 유지방전이 전면유리기판측상에서 일으나는 반사형이고, 다른 하나는 유지방전이 후면유리기판측상에서 일으나는 투과형이다. 휘도, 변환효율, 및 수명의 측면에서 반사형이 우수하다. 그러나, 둘다모두 교류방전방식이다.
이상과 같은 배경으로부터, 도 18에 도시된 바와 같은 세 종류의 전극들을 사용하는 교류방전시스템의 반사형플라즈마표시패널은 현재 주류를 점하고 있다. 도 19는 그것의 대표적인 패널구조를 보여주는 사시도이다. 도 20은 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다. 도 19 및 도 20을 참조하여, 도 18에 도시된 종래기술을 더 상술한다.
후면유리기판(1)상에, 금속등으로 구성된 데이터전극(2)이 기판열방향으로 형성된다. 데이터전극(2) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(3)이 형성된다. 유전체층(3) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 스트립형의 격벽들(6)이 기판열방향으로 형성된다. 격벽측면들을 포함하는 유전체층(3) 위에는 적(R), 녹(G), 청(B) 색의 광을 발산하는 형광물질층(8)이 형성된다. 한편, 전면유리기판(10) 상에는, 금속산화물등으로 이루어지고 투명하며 도전성인 주사전극(4) 및 공통전극(11) 쌍이 기판행방향으로 형성된다. 저항을 낮추는데 도움을 주는 금속등으로 이루어진 버스전극들(12)이 주사전극(4)과 공통전극(11)에 전기적으로 연결된다. 버스전극들(12)을 포함하는 주사전극(4) 및 공통전극(11)상에는, 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(13) 및 보호층이 순차적으로 적층된다. 후면유리기판(1) 및 전면유리기판(10)은 그들의 구조물을 서로 내측으로 해서 서로 찔러 결합된다. 이렇게 형성된 공간 내에, 희가스등을 포함하는 방전가스가 봉입된다. 도 19의 R, G, 및 B는 각각 색광화를 위한 적색발광단위셀, 녹색발광단위셀, 및 청색발광단위셀을 나타낸다.
도 21에 도시한 바와 같이, 이러한 구조를 갖는 플라즈마표시패널에 있어서, 도 18에 도시된 기록방전(21)은 기록펄스(19) 및 신호펄스(18)에 의해 일으나며, 도 18에 도시된 유지방전(22)은 유지펄스(20)에 의해 일으난다.
그러나, 도 22에 도시된 플라즈마표시패널은 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.
첫 번째 문제점은 기록전압{기록펄스(18) 및 신호펄스(19) 사이의 피크값의 차이, 즉 각각의 절대치의 합}이 높다는 것이다. 그 이유는 기록기간(기록펄스(18)와 신호펄스(19)가 인가되는 기간)이 짧고 부가하여 데이터전극(2)이 주사전극(4)으로부터 공간적으로 넓게 떨어져 배치되어 있기 때문이다. 그러므로, 종래기술에 있어서는, 유지전압(유지펄스들(20)의 피크값) 보다 더 높은 전압이 기록전압으로서 요구된다. 기록시간이 더 짧게 되고 격벽(6)의 높이가 더 높게 되기 때문에, 이 기술은 현저하게 된다. 종래기술에 있어서, 저렴하고 저내압회로는 데이터전극(2)과 주사전극(4)에 전압펄스를 인가하기 위한 구동회로로서 사용될 수가 없고, 고가이고 고내압회로가 사용되어져야만 한다. 결국, 이것은 제조비용의 증가를 초래한다.
기록전압을 낮추기 위하여, 파스첸(Paschen)의 법칙에 따라, 전극들 사이의 거리 즉, 격벽(6)의 높이를 적게 만들 필요가 있다. 파스첸의 법칙에 따르면, 최소전압 즉, 일정한 전계 및 온도하에서 발화방전을 일으키는데 요구되는 발화전압은 가스압력(p)과 전극간의 거리(d)의 곱의 함수로서 주어진다. 그러나, 만약 격벽(6)의 높이가 낮다면, 방전공간은 좁게 되고, 유지전압이 상승하는 나쁜영향을 초래한다.
이제 그 이유를 개시한다. 도 22에 도시된 바와 같이, 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이에 발생된 전력선(23)은 대단히 만곡된다. 만약 격벽(6)의 높이가 낮게되면, 유지방전을 일으키는데 요구되는 유효체적은 감소되고 전력선(23)의 밀도도 감소된다. 이것이 그 이유이다. 방전발생의 용이성이 공간체적 또는 전극면적에 의해 변화하는 현상을 체적효과 또는 면적효과라 부른다. 일반적으로, 공간체적 및 전극면적이 크게 되기 때문에, 절연파괴가 될 수 있는 경로가 통계적으로 증가하고 방전이 쉽게 일으난다. 그러므로, 조건이 동일하다면, 면방전 보다는 대향방전이 더 쉽게 일으난다.
상술한 방전공간의 감소는 방전영역의 감소, 다시 말하면, 플라즈마체적의 감소를 가져온다. 결론적으로, 자외광량의 감소에 기인하여 휘도 및 효율의 저하를 야기한다. 또한, 유지방전(22)의 영역이 형광물질층(8)에 접근하기 때문에, 형광물질층(8)이 플라즈마에서 발생된 이온들 및 전자들과 같은 전기적으로 대전된 입자들의 충격에 의해 쉽게 열화되는 나쁜 영향을 일으킨다.
두 번째 문제는 기록간격을 짧게 하는 것이 어렵다는 것이다. 그 이유는 상술한 문제와 마찬가지로 데이터전극(2)이 주사전극(4)으로부터 공간적으로 넓게 떨어져서 배치되어 있기 때문이다. 결과로서, 방전가능성이 낮게 되고, 짧은시간 내에 충분히 기록방전(21)을 일으키기가 어렵게 된다.
화소 수가 증가하므로서, 기록기간은 더 짧게 된다. 더욱이, 스크린이 크게되므로, 전극길이는 더 길게 되고, 따라서 펄스지연(전압펄스파형의 무딤)은 전극의 직렬저항성분에 의해 기인된 전압강하로 인하여 크게 된다. 높은 선명도와 대화면에서의 기록은 더욱 어렵게 된다. 만약 기록방전(21)이 이문제를 해결하기 위하여 격벽(6)의 높이를 낮추는 것에의해 쉽게 일으나도록 만들어 진다면, 다른 특성들이 손상을 입는다. 그러므로, 제한된 시간내에 전체 패널을 통해 일률적으로 충분한 기록방전(21)을 일으키기 위하여, 기록전압은 높게 만들어져야만 한다.
세 번째문제는 구동마진(margin)을 개선하는 것이 어렵다는 것이다. 그 이유는 기록방전(21)이 일으나기가 어렵기 때문이다. 다시 말하면, 이 문제는 상술한 두 문제들과 밀접하게 관련되어 있다.
기록방전(21)은 동시에 신호펄스(18)를 인가받은 데이터전극(2)과 기록펄스(19)를 인가받은 주사전극(4)의 교차부에 대응하는 단위셀을 선택상태로 하고 계속되는 유지방전(22)을 이용하여 발광표시를 행하는 데 중요한 방전이다.
기록방전(21)이 일으나면, 벽전하들이 셀에 저장되고, 전자 및 이온들의 프라이밍(priming)입자들(방전촉발을 하는 입자들)이 셀에 공급된다. 이 셀에서는 선택되지 않은 셀들에서 보다 방전이 쉽게 일으난다. 다시 말하면, 선택된 셀에서는 선택되지 않은 셀들에서보다 더 낮은 전압으로 방전이 일으날 수가 있다. 그러므로, 동일한 유지전압이 공급된 셀들에 있어서조차 기록방전(21)이 일으나지 않는다면 유지방전(22)은 일으나지 않는다.
그러므로, 기록방전(21)이 불충분하다면, 계속되는 유지방전(22)은 일으나기 어렵게 된다. 이러한 문제를 피하기 위하여 유지전압을 높이면, 물론 선택되지 않은 셀들에서 방전은 쉽게 일으나지만, 오점등 또는 오소등이 발생되고, 화질의 저하를 가져온다. 즉, 이것은 구동마진의 압박을 의미한다.
네 번째문제는 방전공간이 확장될 수 없다는 것이다. 그 이유는 격벽(6)의 높이가 기록전압에 의해 제한되기 때문이다.
셀 크기가 고정된 상태에서 방전공간을 확장하기 위하여는 격벽(6)의 높이를 높일 필요가 있다.
그러나, 상술한 이유로부터 명백한 바와 같이, 격벽(6)은 기록방전(21)과의 관계로부터 그렇게 높게 만들 수는 없다.
그러므로, 방전공간뿐만아니라 방전영역도 제한되고, 그것은 휘도 및 효율의 개선을 어렵게 만든다. 만약 휘도 및 변환효율이 높다면, 낮은전력에서도 밝은 영상표시가 가능하게 된다. 플라즈마표시패널의 휘도 및 효율이 높게 되면, 전력소모는 감소될 수 있다. 즉, 이 문제는 최종적으로 전력소모를 감소하는데 장애가 된다.
다섯 번째문제는 보호층의 손상이 크다는 것이다. 그 이유는 전력선들(23)이 전극가장자리부에 집중하고, 전계의 왜곡이 크게 되며, 결과적으로 고에너지이온들이 전극가장자리부근의 보호층에 쉽게 집중되고, 이온들이 보호층에 비스듬히 입사된다.
보호층은 이온 및 전자들과 같은 전기적으로 대전된 입자들의 충격으로부터 플라즈마에 노출된 구성요소들을 보호할 뿐만 아니라, 방전발생 및 방전의 자기유지를 용이하게 하기 위하여 제2전자들의 공급을 촉진하는 기능을 수행한다. 그러므로, 보호층의 수명 즉, 손상 또는 열화의 정도는 플라즈마표시패널의 동작수명을 결정하는 중요한 요소이다.
도 22에 도시한 바와 같이, 종래에는 반복방전의 회수가 큰 유지방전은 면방전이다. 면방전의 경우에 있어서, 주사전극(4) 및 공통전극(11)의 사이에서 발생한 전력선들(23)은 크게 만곡되고, 양 전극들의 가장자리부에 밀도있게 집중되어 전위차가 발생된다. 그러므로, 전극들 사이의 전계는 현저하게 왜곡되고, 특히 전극들의 가장자리부에서의 전계가 현저히 왜곡된다. 결과로서, 양 전극의 가장자리부 가까이의 전계강도는 증가된다.
전계강도가 증가하므로서, 보호층에 입사하는 이온들의 운동에너지가 증가하며 따라서, 이온들에 의한 보호층손상의 정도가 증가하는 결과로 된다. 부가하여, 이온들은 전력선들(23)을따라 보호층에 날아온다. 결과로서, 이온들은 0°에서 90° 사이의 각도로 보호층에 비스듬히 입사(24)한다. 이온들이 비스듬히 입사(24)하면, 입사이온으로부터 보호층을 형성하는 원자에의 에너지공급인자 즉, 에너지전송효율은 증가된다. 따라서, 보호층손상의 정도는 더욱 심하게 된다.
도 23은 이온에너지하의 입사각 0°에서 크세논(Xe)이온의 산화마그네슘(MgO)에대한 스퍼터링수율{Y(0)}의 의존성을 나타내는 시물레이션결과를 보여주고 있다. 도 23으로부터, 스퍼터링수율은 이온에너지가 100keV에 도달할 때까지 단조롭게 증가하는 것이 발견되었다. 다르게 말하면, 입사이온에너지가 크게 되기 때문에, 보호층의 손상정도는 크게 된다. 그런데, 에너지가 적어도 100keV일 때, 스퍼터링수율이 감소경향을 나타내는 이유는 크세논(Xe)과 같은 중이온의 경우에 있어서 조차 입사모드가 지배적으로 되기 때문이다. 크세논(Xe) 및 산화마그네슘(MgO)은 각각 칼라플라즈마표시패널들에 사용되는 자외광발생용 가스원자이고 보호층이다. 더욱이, 크세논(Xe)은 통상사용되는 가스류들 중 가장 무거운 원소이다. 일반적으로, 입사이온의 질량이 무겁기 때문에, 보호층의 손상정도는 크게 된다.
도 24는 입사각 0°에서 MgO에대한 크세논(Xe)의 스퍼터링수율{Y(0)}에 의해 규격화된 입사각(??)에서의 스퍼터링수율{Y(??)}을 나타내는 시물레이션결과를 보여주고 있다.
실제로는, 스퍼터링수율{Y(??)}은 60° 내지 70°부근에서 최대로 되고, 그 후 급속히 감소하여 90°에서 0으로 된다. 다른 경우들과 비교하여, 보호층의 손상정도는 도 24로부터 명백한 바와 같이 이온들이 비스듬히 입사하는 경우에 크게 된다.
즉, 이온들이 보호층에 경사입사하는 회수가 증가하는 만큼 동작수명은 짧아진다.
대향방전(전계왜곡이 적고 이온들의 경사입사가 어렵다)과 비교하여, 보호층의 손상정도는 면방전에서 현저히 크게 된다. 적어도 유지방전(22)만이라도 대향방전으로 만들어진다면, 동작수명은 면방전의 경우에 있어서 보다 길게 된다.
본 발명의 목적은 종래기술과 비교하여 기록전압이 낮고, 기록시간이 짧아질 수 있고, 구동마진이 넓은 칼라표시를 행할 수 있는 플라즈마표시패널을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 종래기술의 것보다 휘도 및 효율이 높은 칼라플라즈마표시패널을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 종래기술에 있어서보다 수명이 더 긴 칼라플라즈마표시패널을 제공하는 데 있다.
도 1은 본 발명의 패널구조를 보여주는 사시도이다.
도 2는 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다.
도 3의 (a) 내지 (f)는 본 발명의 제조방법을 보여주는 단면도들이다.
도 4a 및 4b는 본 발명의 구동방법을 보여주는 전압파형도이다.
도 5는 본 발명의 방전영역을 보여주는 사시도이다.
도 6은 종래기술과 본 발명 사이의 구성을 비교한 표이다.
도 7은 종래기술과 본 발명 사이의 특성을 비교한 표이다.
도 8은 본 발명의 구조에 있어서 휘도의 격벽높이에 대한 의존성을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 패널구조를 보여주는 사시도이다.
도 10은 본 발명의 다른 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다.
도 11의 (a) 내지 (f)는 본 발명의 다른 제조방법을 보여주는 단면도들이다.
도 12는 본 발명의 다른 패널구조를 보여주는 사시도이다.
도 13은 본 발명의 다른 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다.
도 14는 본 발명의 다른 구조에 있어서 휘도의 전극이동폭에 대한 의존성을 보여주는 표이다.
도 15는 종래의 구조를 보여주는 사시도이다.
도 16은 종래의 구조를 보여주는 사시도이다.
도 17은 종래의 구조를 보여주는 사시도이다.
도 18은 종래의 구조를 보여주는 사시도이다.
도 19는 도 18의 상세한 패널구조를 보여주는 사시도이다.
도 20은 도 19의 상세한 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다.
도 21은 종래의 구동방법을 보여주는 전압파형도이다.
도 22는 면방전에 있어서의 전기력선과 이온입사방향을 보여주는 개략도이다.
도 23은 스퍼터링수율의 이온에너지에 대한 의존성을 보여주는 표이다.
도 24는 스퍼터링수율의 이온입사각에 대한 의존성을 보여주는 표이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 후면유리기판 2 : 데이타전극
3, 5, 13 : 유전체층 4 : 주사전극
6 : 격벽 7 : 보호층
8 : 형광물질층 10 : 전면유리기판
11 : 공통전극 12 : 버스전극
15, 16 : 단자연결부 17 : 중앙시트
18 : 신호펄스 19 : 기록펄스
20 : 유지펄스 21 : 기록방전
22 : 유지방전
상기 한 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 플라즈마표시패널은 서로 대향하는 제1 및 제2기판들을 구비하고, 전계로 전자들을 가속함에 의해 칼라영상표시를 행하고, 가스원자들 또는 분자들로 전자들을 충돌시키며, 형광물질로 발생된 자외광을 가시광으로 변환하는 플라즈마표시패널이다. 이 플라즈마표시패널은 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들, 및 제1기판상에 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들; 주사전극에 평행한 행방향으로 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들; 및 제1기판 및 제2기판 사이에 배치되고, 적(R), 녹(G), 청(B)색의 가시광을 발하기 위한 형광물질층과 각 색을 구획하고 방전공간을 형성하기 위한 격벽을 포함하고 있다.
본 발명의 플라즈마표시패널은 제1기판상에 배치된 데이터전극, 이 데이터전극상의 유전체층, 이 유전체층상의 주사전극, 그리고 이 주사전극상의 다른 유전체층; 제2기판상에 배치된 공통전극, 그리고 이 공통전극상의 다른 유전체층; 및 그안에 형성된 형광물질층을 구비하며 구멍형상 또는 홈형상의 개구부들을 포함하고, 제1기판 및 제2기판 사이에 방전공간을 형성하고 적(R), 녹(G), 청(B)색의 각 셀을 구획하기 위한 중앙시트(sheet)를 포함해도 좋다.
본 발명에 따른 플라즈마표시기의 제조방법은 격벽들이 그 위에 형성된 데이터전극및 주사전극을 구비하는 기판상에 형성된 플라즈마표시기의 제조방법이다. 즉, 본 발명의 제조방법은 플라즈마표시패널의 제조방법이다. 이 플라즈마표시패널은 서로 대향하는 제1 및 제2기판들을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 가스원자들 또는 분자들로 이 전자들을 충돌시키며, 형광물질로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에 의해 칼라영상표시를 행한다. 이 플라즈마표시패널은 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들, 제1기판상에 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들; 주사전극에 평행한 행방향으로 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들; 및 제1기판 및 제2기판 사이에 배치되고, 적(R), 녹(G), 청(B)색의 가시광을 발하기 위한 형광물질층과 각 색을 구획하고 방전공간을 형성하기 위한 격벽을 포함하고 있다. 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 제조방법은 제1기판상에 다수의 데이터전극들을 형성하는 단계; 이 데이터전극상에 제1유전체층을 형성하는 단계; 제1유전체층상에 다수의 주사전극을 형성하는 단계; 이 주사전극상에 제2유전체층을 형성하는 단계; 이 제2유전체층상에 격벽들을 형성하는 단계; 이 격벽들의 측면을 포함하는 제2유전체층상에 형광물질층을 형성하는 단계; 제2기판상에 다수의 공통전극을 형성하는 단계; 및 이 공통전극상에 제3유전체층을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 다른 제조방법은 공통전극이 그 위에 형성된 기판상에 격벽들이 형성되는 플라즈마표시패널의 제조방법이다. 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 이 제조방법은 제1기판상에 다수의 데이터전극들을 형성하는 단계; 이 데이터전극상에 제4유전체층을 형성하는 단계; 제4유전체층상에 다수의 주사전극을 형성하는 단계; 이 주사전극상에 제5유전체층을 형성하는 단계; 제2기판상에 다수의 공통전극을 형성하는 단계; 이 공통전극상에 제6유전체층을 형성하는 단계; 이 제6유전체층상에 격벽들을 형성하는 단계; 및 이 격벽들을 포함하는 제6유전체층상에 형광물질층을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 플라즈마표시기의 다른 제조방법은 격벽들 대신에 중앙시트를 갖는 플라즈마표시기의 제조방법이다. 이 중앙시트는 제1기판 및 제2기판 사이에 방전공간들을 형성하고 적(R), 녹(G), 청(B)색의 각 셀을 구획한다. 이 중앙시트는 그 안에 형성된 형광물질층을 구비하는 구멍형상 또는 홈형상의 개구부들을 포함하고 있다. 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 제조방법은 제1기판상에 다수의 데이터전극들을 형성하는 단계; 이 데이터전극상에 제7유전체층을 형성하는 단계; 제7유전체층상에 다수의 주사전극을 형성하는 단계; 이 주사전극상에 제8유전체층을 형성하는 단계; 제2기판상에 다수의 공통전극을 형성하는 단계; 이 공통전극상에 제9유전체층을 형성하는 단계; 제1기판 및 제2기판 사이에 중앙시트를 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 구동방법은 동일타이밍과 역극성을 갖는 신호전압펄스 및 기록전압펄스를 데이터전극및 주사전극에 각각 인가하고, 선택된 화소에 기록방전 또는 다른말로서 번지방전을 발생하는 표시기록동작; 및 다른타이밍과 동일극성을 갖는 유지전압펄스를 주사전극 및 공통전극에 각각 인가하고, 선택된 화소에 유지방전을 발생하는 휘도유지동작을 포함하고 있다.
본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 구동방법에 있어서의 휘도유지동작에는, 선택된 화소에 유지방전을 발생하기 위하여 양극성유지전압펄스를 공통전극에 인가해도 좋다.
본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 구동장치는 상술한 구동방법을 실현하는 구동장치이다.
본 발명의 최선의 실시형태는 첨부된 도면들을 참조하여 다양한 실시예들을 사용하여 더 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 분해사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다. 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 구조를 상술한다. 후면유리기판(1)상에는 금속 등으로 이루어진 데이터전극들(2)이 기판열방향으로 형성되어져 있다. 이 데이터전극들(2)의 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(3)이 형성되어 있다. 이 유전체층(3) 위에는 금속등으로 이루어진 주사전극들(4)이 기판행방향으로 형성되어 있다. 이 주사전극들(4) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(5)이 형성되어 있다. 이 유전체층(5)상에는 금속산화물등으로 이루어진 스트립(stripe)형상의 격벽들(6)이 기판열방향으로 형성되어 있다. 격벽들(6)의 측면을 포함하는 유전체층(5) 위에는 보호층(7) 및 형광물질층(8)이 순차적으로 적층되어 있다.
한편, 전면유리기판(10)상에는 금속산화물등으로 이루어진 투명도전성의 공통전극들(11)과 금속등으로 이루어지고 공통전극들(11)에 전기적으로 연결된 버스전극들(12)이 주사전극들(4)에 대향되도록 기판행방향으로 형성되어 있다. 공통전극들(11) 및 버스전극들(12) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(13) 및 보호층(7)이 순차적으로 적층되어 있다. 후면유리기판(1) 및 전면유리기판(10)은 밀봉을 위해 녹인유리밀봉등을 사용하여 그들의 구조물을 내부에 갖도록 서로 결합되어 있다. 이처름 형성된 공간 내에, 희가스등을 포함하는 방전용가스가 주입된다. 즉, 헬륨(He), 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 또는 크세논(Xe)의 어느것이든 단일조성가스, 또는 적어도 둘이상의 조성물을 포함하는 혼합가스가 주입된다.
도 3으 (a) 내지 (f)는 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 단위셀의 제조공정들을 보여주는 단면도들이다. 첫째로, 전면유리기판(10)측의 공정을 설명한다. 우선, 공통전극(11)이 전면유리기판(10)상에 형성된다. 그 때에, 도포법(스프레이, 스핀코터, 콤마코터등을 사용하는 피착법), 인쇄법(스크린인쇄 또는 볼록판인쇄를 사용하는 선택적패턴형성법), 감광성수지법(감광성수지의 노광에 의한 선택적패턴형성법), 진공막형성법{증착, 스퍼터링, 화학진공증착(CVD)등을 사용하는 피착공정 및 석판술을 사용하는 마스크가공공정을 포함하는 패턴형성법}, 도금법(전계 및 무전해도금을 사용하는 선택적패턴형성법 또는 석판술을 이용한 마스크형성공정과 결합된 패턴형성법), 묘화법(잉크젯을 이용하는 선택적 및 직접적 패턴형성법) 등이 사용된다. 그 후, 버스전극(12)이 공통전극(11)상에 형성된다. 이 때, 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등이 사용된다(도 3의 (a)).
이어서, 공통전극(11) 및 버스전극들(12)상에는 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 사용하여 유전체층(13)이 형성된다. 그 후, 보호층(7)이 진공증착법, 도포법등을 이용하여 유전체층(13)상에 형성된다(도 3의 (b)).
이제, 후면유리기판(1)측의 공정을 설명한다. 우선, 데이타전극들(2)이 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 사용함에의해 후면유리기판(1)상에 형성된다. 그 후, 유전체층(3)이 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법등을 사용함에 의해 데이터전극들(2)사에 형성된다(도 3의 (c)).
뒤이어서, 주사전극들(4)이 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 사용함에 의해 유전체층(3)상에 형성된다. 그 후, 유전체층(5)이 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법등을 사용함에 의해 주사전극들(4) 위에 형성된다(도 3의 (d)).
계속해서, 격벽들(6)이 유전체층(5)상에 형성된다. 이 때, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 부가법(감광성수지등으로 형성된 오목부안에 소재를 매립하는 패턴형성법), 샌드블라스트법(sand blast method, 마스크를 이용한 절단법을 사용하는 패턴형성법), 가압성형법(주형, 금형등을 이용하는 일괄패턴형성법)등이 사용된다. 그 후, 유전체층(5) 및 격벽들(6)상에, 보호층(7)이 진공막형성법, 도포법등을 사용하여 형성된다. 또한, 적(R), 녹(G), 청(B)색에 대응하는 셀들안에 각각 적색광발광용, 녹색광발광용, 청색광발광용의 형광물질층들(8)이 인쇄법, 감광성수지법, 묘사법등을 사용하여 형성된다(도 3의 (e)).
이제, 패널조립공정을 설명한다. 우선, 전면유리기판(10) 또는 후면유리기판(1)의 어느 한쪽의 기판주연부에 녹인유리밀봉부재등이 공급된다. 전면유리기판(10) 및 후면유리기판(1)은 주사전극들(4)과 공통전극들(11)이 각각 쌍으로 대향되도록 함께 결합되고, 기판들은 기밀적으로 밀봉된다. 그 후, 패널의 주변부에 설치된 가스배기흡기용관로를 통해, 유기물질과 같은 패널내부의 잔류불순물이 베이킹(baking) 또는 방전세정등에 의해 제거되고, 패널내부의 진공증착이 행하여진다. 최종적으로, 방전용가스가 관로로부터 주입되고, 관로는 기밀적으로 밀봉된다. 패널제조공정은 끝난다(도 3(f)).
도 4a 및 4b는 본 발명에 따른 플라즈마표시패널구동방법을 보여주는 전압파형도이다. 도 5는 본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 방전발생영역을 보여주는 사시도이다. 도 5에 있어서, 주로 전극들에 관련된 부분들을 설명한다. 우선, 도 4a의 구동방법을 설명한다. 발광표시를 행할 소망의 셀의 데이터전극(2)및 주사전극(4)에 기록방전(번지방전, 21; 면방전)을 발생시키도록 동일한 타이밍에서 극성이 서로 반대인 신호펄스(18, Vd) 및 기록펄스(19, Vw)를 각각 공급한다. 그 후, 주사전극(4) 및 공통전극(11)에 유지방전(22, 대향방전)을 발생하도록 다른타이밍에서 교호로 동일극성의 유지펄스들(20, Vs)을 공급한다.
여기서, 신호펄스(18)는 기록간격(사전설정된 셀을 선택상태 즉, 발광준비상태로 하기위한 간격)동안 데이터전극(2)에 독립적으로 공급된 전압펄스이다. 그것은 사전설정된 셀을 선택상태로 하기 위한 전압펄스이다. 또한, 기록펄스(19)는 기록간격동안 선순차적방법으로 주사전극들(4)에 공급된다. 기록펄스(19)는 신호펄스(18)가 공급된 셀을 선택상태로 하기 위한 전압펄스이다. 또한, 유지펄스(20)는 유지간격(선택된 셀이 발광상태로 만들어지는 동안의 간격)동안 주사전극(4) 및 공통전극(11)에 교호로 공급되는 전압펄스이다. 유지펄스(20)는 선택상태로 만들어진 셀을 표시상태로 하기 위한 전압펄스이다. 주사전극(4) 및 공통전극(11)에 공급된 유지전압의 피크값들은 반드시 동일할 필요는 없다.
본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 특징의 하나는 유지방전전압과 기록방전전압(번지방전전압) 사이의 비가 종래의 면방전형플라즈마표시패널과 비교하여 보다 크게 만들어질 수 있다는 것이다. 이제, 주사전극에 공급된 기록펄스, 신호펄스, 유지펄스, 그리고 공통전극에 공급된 유지펄스를 각각 Vw, Vd, Vss, 및 Vsc의 크기로 가정한다. 예를 들면, 종래의 면방전형플라즈마표시패널에 있어서, 오방전발생을 방지하기 위하여,적어도, ｜Vss｜ 및 ｜Vsc｜는 (｜Vd｜ + ｜Vw｜) 보다는 적어야만한다.
한편, 본 발명의 플라즈마표시패널에 있어서, 전극배치 때문에 공통전극에 공급된 유지펄스(Vsc)를 특별히 크게 만들 수가 있다. 즉, ｜Vsc｜는 (｜Vd｜ + ｜Vw｜) 보다 크게 만들어질 수 있다. 만일 주사전극에 공급된 유지전압(Vss)이 너무 크게 만들어진다면, 유지간격동안 주사전극 및 데이터전극 사이에서 오방전이 발생한다. 그러므로, Vss를 Vsc만큼 크게 만드는 것이 어렵다. 그러나, 유지간격동안 바이어스를 제공함에 의해, Vss는 증가될 수 있다. 마찬가지로, 공통전극에 공급된 상술의 양극성유지전압펄스의 양극측피크값 및 음극측피크값의 큰 것을 ｜Vs｜라고 가정하면, (｜Vd｜ + ｜Vw｜) ＜ ｜Vs｜의 관계가 만족되어져도 좋다.
도 4a 및 도 4b에 있어서, 기록펄스(19)가 유지펄스(20)로부터 분리되어 있는 구동방법을 보여주고 있다. 그러나, 사실은 이 방법 외에도 기록펄스(19) 및 유지펄스(20)가 혼합되어 있는 구동방법이 사용되어져도 좋다. 또한, 구동을 확실하게 행하기 위하여, 예비방전과 같은 준비순서가 예를 들면 일본특허공개공보 평3-219286(1991)호에 개시된 바와 같이 기록방전(21)전에 제공되어져도 좋다. 또한, 도 4a에 도시한 바와 같이, 유지펄스들(20)을 전이된 위상으로 주사전극(4) 및 공통전극(11)에 교호로 인가하는 교번전압인가방법 이외에도, 도 4b에 도시한 바와 같이, 양극성유지펄스들(20)이 전극들의 어느 하나에 공급되어져도 좋다.
특히 도 4b에 있어서, 주사전극(4) 및 데이터전극(2)에는 동일전압 또는 그들 사이의 작은전압차{데이타전극(2)과 주사전극(4) 사이에서 방전을 일으키지 않는 전압}를 공급하고, 양극성유지펄스들(20)이 공통전극(11)에 공급된다. 도 4b에 도시된 방법을 채용함에 의해, 유지펄스들(20)이 인가될 때 데이터전극(2)및 주사전극(4) 사이에서 일어날 수 있는 의도하지 않은 방전을 방지할 수 있는 효과를 가져온다. 이 구동방법은 데이터전극(2)및 주사전극(4) 사이에의 기록방전(21, 면방전에 기인된)에 요구되는 방전개시전압이 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 유지방전(22, 대향방전에 기인된)에 요구되는 방전개시전압보다 더 적게 되도록 지정되어지는 경우에 특별히 매우 효과적이다. 그런데, 도 4a 및 4b에 보여준 전압은 기준전압으로서 접지전위를 취할 필요는 없다. 사용되어질 회로소자들의 형편에 따르면, 회로소자들은, 예를들면, 모든 펄스들이 정극성을 갖도록 전체회로가 바이어스되어진 상태로 사용되어져도 좋다. 또한, 상대적인 전위관계가 유지될 필요가 있다.
뿐만 아니라, 본 발명의 구동방법에 있어서, 도 4b에 도시된 바와 같은 집적회로(IC)를 필요로하지 않는 공통전극(11)측을 사용함에 의해 유지방전동작을 일으킬 수 있게 된다. 이것은 저렴하고 저내압구동IC가 주사전극(4)측의 구동회로에 있어서도 사용될 수 있다는 것을 의미한다.
본 발명의 플라즈마표시패널에 있어서, 데이터전극(2)및 주사전극(4)이 동일기판상에 직교하도록 형성된다. 그러므로, 전극갭 즉, 기록방전갭이 전극교차부를 중심으로 계속해서 변한다. 그러므로, 파첸의 법칙에 의해 주어진 최소발화전압부근에서기록방전(21)을 일으킬 수 있는 다수의 방전갭들이 존재한다. 방전확률이 비약적으로 개선된다. 그러므로, 도 16 및 도 18에 도시된 종래의 구조와는 달리, 격벽들(6)의 높이를 낮게 함이 없이 기록전압을 낮게 할 수가 있게 된다. 결과로서, 데이터전극(2)및 주사전극(4)에 각각 연결된 데이터구동기IC 및 주사구동기IC와 같은 구동회로들은 종래의 고가이고 고내압회로들로부터 저렴하고 저내압회로들로 변경될 수가 있다. 따라서, 구동회로들의 제조비용을 줄일 수가 있다. 뿐만 아니라, 통계적인 방전확률이 증가되기 때문에, 셀선택간격 즉, 기록전압이 인가되는 동안의 기간이 종래기술에 비해 짧아질 수 있다. 결과로서, 종래기술과 비교하여 대화면 및 고정밀도의 패널을 실행할 수가 있다. 또한, 기록방전(21)이 충분하게 발생될 수 있기 때문에, 뒤이은 유지방전(22)도 쉽게 발생되고, 종래기술에 비해 구동마진도 넓게 될 수 있다. 결과로서, 종래기술에서 보다 높은 화질을 달성할 수가 있다. 이들효과들은 도 16 및 도 18에 도시된 종래기술에서는 얻어지지 않는다. 부가하여, 격벽들(6)의 높이가 기록방전(번지방전)에 의해 제한되지 않기 때문에, 종래기술에 비해 방전공간이 확대될 수 있다. 즉, 본 발명의 구조에 있어서, 방전영역의 확대에 의해 방사광량의 증가가 용이하다. 결과로서, 휘도 및 효율이 증가하고, 종래기술에 비해 전력소모도 줄일 수 있다. 이것은 도 15 내지 18에 도시된 종래의 구조에 있어서는 불가능하다. 부가하여, 도 15, 17 및 18에 도시된 종래구조와는 달리 유지방전(22)은 대향방전으로된다. 그러므로, 국소적인 전계왜곡(전력선집중) 및 이온들의 보호층(7)에의 경사입사는 감소된다. 그러므로, 종래기술과 비교하여, 보호층(7)의 조사손상은 감소될 수 있다. 결과로서, 보호층(7)의 열화에 기인된 전압변동이 억제되고, 패널의 동작수명이 종래기술에 비하여 연장될 수 있다. 이것은 유지방전(22)이 면방전으로 되는 도 15, 17 및 18에 도시된 종래구조들에 있어서는 불가능하다.
또한, 예를 들면, 도 18에 도시된 종래구조에 있어서, 주사전극(4) 및 공통전극(11)은 표시면측인 전면유리기판(10)측에 제공된다. 그러므로, 주사전극(4) 및 공통전극(11)은 발광표시를 방해하지 아니하기 위하여 투명할 필요가 있다. 그러나, 일반적으로, 금속산화물을 함유하는 투명도전성물질은 여러 도면들에 의한 금속물질 보다 전기저항값이 더 높다. 그러므로, 투명도전성물질 그 자체는 펄스지연에 기인된 화질열화가 현저한 문제점이 있다. 종래기술에 있어서, 금속등으로 이루어지고 저항을 낮추는데 도움을 주는 전압펄스전달용 버스전극들(12)을 주사전극(4) 및 공통전극(11)을 따라 제공할 필요가 있다. 그러나, 버스전극들(12)은 투명하지 않기 때문에, 셀의 개구율이 낮아진다. 결과로서, 버스전극선당 전극폭이 엄격히 제한된다. 다시말하면, 이것은 전극저항과 셀개구율의 제한을 의미하며, 대화면 및 고정밀도의 장애가된다. 한편, 본 발명의 플라즈마표시패널에 있어서, 저항이 낮도록 요청되는 데이터전극(2)및 주사전극(4)은 표시면측에 반대되는 후면유리기판(1)측상에 제공된다. 그러므로, 데이터전극(2)및 주사전극(4)은 발광표시에 장애가 되지 않는다. 따라서, 데이터전극(2)및 주사전극(4)이 투명할 필요가 없다. 결과로서, 저저항을 갖는 불투명금속물질이 사용될 수도 있다. 한편, 공통전극(11)은 표시면측상에 존재한다. 그러므로, 비록 버스전극(12)이 도 1에 도시된 바와 같이 공통전극(11)상에 제공된다 하더라도, 종래기술에 비하여 개구율의 저하는 억제될 수 있다. 또한, 버스전극선당 전극폭이 넓어질 수 있기 때문에, 결과적으로 공통전극(11)의 저항을 낮출 수 있게 된다. 다시 말하면, 본 발명의 구조는 종래구조에 비하여 대화면 및 높은 정밀도를 위하여 적합하다. 부가하여, 상술한 바와 같이, 본 발명의 구조에 있어서 충분한 고휘도가 얻어진다. 그러므로, 금속물질의 공통전극(11)을 형성하는 것이 가능하다. 이 경우에 있어서, 버스전극(12)은 불필요하게 된다. 따라서, 그에 대응하는 제조공정의 단계수가 줄어들 수 있다. 부가하여, 모든 전극물질들이 동일한 금속물질로 단일화 될 수 있다. 그러므로, 사용되는 제조설비 및 물질들에 대한 비용을 줄일 수 있게 된다.
본 발명의 플라즈마표시패널에 있어서, 길이방향으로 인접하는 셀들 사이의 방전간섭에 기인된 오점등 및 오소등은 도 17 및 18에 도시된 종래구조에 비교하여 일으나기가 어렵다. 도 5에 도시한 바와 같이, 그 이유는 기록방전(21)이 데이터전극(2)및 주사전극(4)의 교차부에 집중되고, 유지방전(22)을 일으키는 전력선들이 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이에서 거의 수직으로 발생되며, 그리고 길이방향으로 인접한 셀들에의 플라즈마확산이 일으나기 어렵기 때문이다. 결과로서, 종래기술에 비해 구동마진이 개선될 수 있다. 뿐만아니라, 비교적 유지방전(22)을 일으키기가 쉬운 이점이 있다. 그 이유는 도 17 및 18에 도시된 종래구조들과는 달리 유지방전(22)이 대향방전으로 되고, 결과적으로 서로 대향되어 있는 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 전체갭이 유효한 방전갭으로서 역할을하고 있고, 부가하여 전체중첩영역이 또한 유효한 방전영역으로 기능하기 때문이다. 따라서, 소위 말하는 방전의 체적효과 및 면적효과에 의해 방전가능성이 증대되고, 유지전압의 상승이 억제될 수 있다. 결과로서, 유지전압의 극한 상승을 일으킴이 없이도 종래기술에 비교하여 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 갭을 넓게 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 방전영역의 확장 때문에 휘도 및 효율의 개선이 가능하다. 부가하여, 전극면적이 유효하게 사용될 수 있다는 것은 좁은 공간안에서 조차 방전을 일으키기 쉽다는 것을 의미한다. 그러므로, 종래기술에 비하여 더 협소한 셀에 있어서 조차, 충분한 구동마진을 확보할 수 있게 된다. 결과로서, 종래기술에 비하여 고정밀도의 패널실현이 용이하다.
도 6에 도시된 표는 본 발명의 구조와 종래기술의 구조의 구성을 비교하고 있다. 표로부터 명백한 바와 같이, 본 발명의 구조는 종래에 알려진 어떠한 구조와도 일치하지 않는다.
도 7에 도시된 표는 본 발명의 구조와 종래구조의 특징을 비교하고 있다. 이 표로부터 명백한 바와 같이, 본 발명의 구조는 종래에 알려진 어떤 구조보다도 우수하다.
이 표들에 있어서, A, B, C, D, 및 E는 각각 도 15, 16, 17, 18, 및 5에 대응한다. 또한, 도 6의 전극배치구조는 패널의 전면으로부터 볼 때 단위셀안의 전극배치의 형상을 모식적으로 보여준다.
본 발명에 따른 플라즈마표시패널의 제조방법에 있어서, 기록전압에 영향을 주는 유전체층들(3 및 5)의 두께 및 유지전압에 영향을 주는 격벽들(6)의 높이는 동일기판공정에서 규정될 수 있다. 다시말하면, 도 16 및 18에 도시한 종래구조와는 달리, 각 전압들을 결정하는 인자들은 별도의 기판들에까지 확장되지 않고, 단지 일측기판을 사용함에의해 조정될 수 있다. 그러므로, 패널평면내 그리고 매 제조로트마다 기록전압 및 유지전압의 편차가 적게 만들어질 수 있고, 재현성도 개선될 수 있다. 부가하여, 매 단위셀마다 기록방전(21)의 발생을 요구하는 데이터전극(2)및 주사전극(4)은 동일기판상에 형성될 수 있기 때문에, 각 전극의 배치가 고정밀도로 수행될 수 있다. 부가하여, 전체 제조공정들중 제조정밀도가 중요한 부분이 기판의 일측에 집중(도 3의 경우에 있어서는 후면유리기판(1)임)될 수 있기 때문에, 제조수율이 쉽게 개선될 수 있다. 또한, 각 기판들의 공정에 있어 높은 제조정밀도가 불필요하게 되기 때문에, 전체 제조비용을 절감할 수 있게되고 처리량도 개선될 수 있다.
본 발명의 플라즈마표시패널에 있어서, 기록전압은 유전체층들(3 및 5)의 두께를 조정함에 의해 대략 유지전압정도로까지 만들 수 있다. 다시 말하면, 본 발명의 구동방법에 있어서, 예를 들면, 도 16 및 18에 도시된 종래구조들과는 달리, 기록전압은 거의 유지전압 정도까지 만들어질 수 있다. 결과로서, 데이터전극(2)및 주사전극(4)의 구동회로들에 대한 부하는 가볍게 되고, 신뢰도가 증진될 수 있다. 뿐만 아니라, 인가될 수 있는 기록전압값에 충분한 여분이 남아 있기 때문에, 기록전압을 쉽게 상승할 수가 있고, 기록특성이 개선된다.
본 발명의 구조에 있어서 데이터전극(2)및 주사전극(4)으로서는 각각이 저저항 및 자외광과 가시광의 고반사율을 갖는 전극들이 바람직하다. 왜냐하면 펄스지연에 기인된 화질열화가 억제됨과 동시에 표시면측(도 3에서의 전면유리기판(10)측)에 자외광 및 가시광을 반사함에 의해 휘도 및 효율이 개선될 수 있기 때문이다. 특히, 저항율이 10 μΩ·㎝이고 가시광에 대한 자외광의 반사율이 적어도 80%라면, 전극들은 최적이다. 또한, 그들의 구조는 단일층이어도 좋고 다층이어도 좋다. 다층구조의 경우에 있어서는, 모든층이 도전성을 갖일 필요는 없다. 그러나, 적어도 표시면측의 층은 고반사율을 갖는 것이 바람직하다.
유전체층(3 및 5)으로서는 자외광 및 가시광을 산란하는 것이 바람직하다. 왜냐하면 자외광 및 가시광이 표시면측에 산란되어 휘도 및 효율이 개선될 수 있기 때문이다. 또한, 그들의 구조는 단층 또는 다층이어도 좋다. 다층구조의 경우에는 적어도 표시면측의 층은 광산란성을 갖는 것이 바람직하다. 또한, 유전체층들(3 및 5)은 후면유리기판(1)의 전체표면위에 형성되어져도 좋고 또는 데이터전극(2)및 주사전극(4)만을 덮도록 부분적으로 형성되어져도 좋다. 그러나, 유전체층(3 및 5)이 후면유리기판(1)의 전체표면위에 형성된다면, 광이 불균일함이 없이 산란될 수 있다.
격벽들(6)로서는, 자외광 및 가시광을 산란할 수 있는 것들이 바람직하다. 왜냐하면 자외광 및 가시광이 표시면측에 산란되어 휘도 및 효율이 개선될 수 있기 때문이다. 또한, 격벽들(6)의 유전율이 유전체층들(3, 5, 및 13) 보다 낮으면, 격벽용량의 충전에 기인된 전력손실이 억제되고 격벽측 표면들의 벽전하에 기인된 횡방향으로 인접한 셀들 사이에서 오점등 및 오소등이 억제될 수 있다. 또한, 격벽들(6)의 단면형상은 도 3의 (a) 내지 도 (f)에 예시된 바와 같이 사각형일 필요는 없고, 경사 또는 만곡영역을 갖는 사다리형상에 가까워도 좋다. 이 경우에 있어서, 형광물질층(8)의 형성면적이 증가하기 때문에, 플라즈마로부터 방사된 자외광의 가시광으로의 변환량이 증대되고 휘도 및 효율이 개선될 수 있다. 한편, 격벽(6)의 평면형상은 도 1에 예시된 바와 같은 스트립형상으로 제한되지는 않는다. 예를들면, 도 9에 예시된 바와 같이 격자형격벽이 사용된다면, 형광물질층(8)은 셀들의 내부를 둘러싸도록 형성될 수 있고, 결과적으로 도 1의 경우와 비교하여 휘도 및 효율이 개선될 수 있다. 개별 셀들의 평면형상은 장방형상일 필요는 없고, 예를들면, 정방형상 또는 삼각이상의 다각형상이어도 좋다. 또한, 평면형상은 원형 또는 타원형상이어도 좋다. 이들 평면형상이 상술한 단면형상(사다리꼴형상에 가까움)과 결합되어지면, 격벽구조는 삼차원의 원뿔형상에 가깝게 만들어질 수 있고, 결과적으로 휘도 및 효율이 더욱 개선될 수 있다. 이들 격벽들은 후면유리기판(1)측에 제한되지 않는다. 이 격벽들은 전면유리기판(10)측에 제공되어져도 좋고, 또는 양 유리기판상에 제공되어져도 좋다.
격벽들(6)을 위하여는 또한, 높이가 상술한 인자들 외에도 중요한 인자로 된다.
도 8은 개시된 시험셀에 있어서 1㎑당 격벽높이에 대한 휘도의 의존성을 보여주고 있다. 전형적으로, 표시장치의 휘도로서는 적어도 5cd/㎡, 더욱 바람직하기로는 적어도 8 cd/㎡ 이 요구된다. 도 8로부터 명백한 바와 같이, 격벽높이가 적어도 100㎛ 이라면, 본 발명의 구조에 있어서 적어도 5cd/㎡의 휘도가 얻어진다. 특히, 격벽높이가 적어도 150㎛ 이라면, 적어도 8cd/㎡의 휘도가 얻어진다.
도 18에 도시된 종래구조의 플라즈마표시패널에 있어서, 유지방전(22)이 일으나는 주사전극(4)과 공통전극(11) 사이의 공간 즉, 방전거리는 셀크기에 의해 제한된다. 특히, 고해상도의 패널에 있어서, 방전거리가 짧게 되도록 도울 수가 없다. 한편, 본 발명의 구조에 있어서, 방전거리는 셀크기에 의해 제한되지 않는다. 그러므로, 예를들면, 고해상도의 패널에 있어서 조차, 적어도 1㎜의 방전거리는 격벽들의 높이를 증가함에의해 실현될 수 있다. 이러한 긴방전길이를 이용함에 의해, 양의 열영역으로부터의 자외광량을 증대할 수 있고 타운센드(Townsend)방전형태의 이용이 가능하다. 결과로서, 휘도 및 효율이 극적으로 개선될 수 있다. 사실은, 이 경우에 있어서 유지전압을 증가할 필요가 있게 된다. 그러나, IC에 의해 발생될 수 있는 신호펄스(18) 및 기록펄스(19)와는 달리, 유지펄스(20)는 전계효과트랜지스터(FET)등에의해 발생된다. 그러므로, 고전압을 사용하는 것이 큰 공업적문제로 되지는 않는다. 또한, 유지펄스(20)를 반복적으로 인가할 때 문제로되는 충방전전력손실은 인가전압의 제곱에 비례한다. 그러나, 본 발명의 구조에 있어서는 종래기술의 면방전과는 달리 대향방전이다. 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 용량은 현저히 적다. 그러므로, 충방전전력손실 또한 적게 된다. 뿐만 아니라, 주사전극(4) 및 공통전극(11)의 전극저항도 또한 적고, 전하회수회로의 회수효율도 또한 증대될 수 있다. 그러므로, 충방전전력손실이 오히려 감소될 수 있다.
보호층(7)으로서는, 기계적강도가 우수하고 이차전자방출계수가 높은 층이 바람직하다. 왜냐하면 이온충격에 대한 물질수명이 길고 방전발생이 쉽기 때문이다. 또한, 층이 무공질이고, 표면평활도가 높으며, 열적 및 화학적으로 안정한 것이 적합하다. 이 경우에 있어서, 과도한 불순물이 흡착되지도 않고 품질의 변화도 없으며, 결과적으로 전체적인 패널의 특성 및 신뢰도가 개선될 수 있다. 도 1에 예시된 본 발명의 구조에 있어서, 개구부(9)는 데이터전극(2)및 주사전극(4)의 교차부안에 위치한 형광물질층(8)안에 형성되고 보호층(7)은 노출된다. 이러한 구조에 있어서, 이차전자들이 보호층(7)으로부터 공급되고, 결과적으로 방전의 발생 및 유지가 용이하게 된다. 부가하여, 이온충격에 기인된 형광물질층(8)의 열화 및 R, G, 및 B의 형광물질층(8)에 기인된 셀들 사이의 전압편차가 감소될 수 있다. 그러나, 형광물질층(8)은 격벽들(6)을 포함하는 유전체층(5)의 전체표면 위에 형성되어져도 좋다. 이 형광물질층(8)은 후면유리기판(1)측 대신에 전면유리기판(10)측상에 제공되어져도 좋고, 또는 유리기판 양측에 제공되어져도 좋다. 이 때에, 전면유리기판(10)측에 제공된 형광물질층(8)이 후면유리기판(1)측으로부터 방사된 가시광을 저해하지 않는 정도의 투과율을 갖는다면, 휘도 및 효율은 더 개선될 수 있다. 한편, 보호층(7)은 형광물질층(8)을 덮도록 형성되어져도 좋다. 보호층(7)이 형광물질층(8)을 덮도록 형성되는 경우에 있어서, 비록 기록방전(21) 및 유지방전(22)이 일어나는 영역의 형광물질층(8)이 제거되지 않는다 하더라도, 방전발생이 용이하게 되고 이온충격에 기인된 형광물질층(8)의 열화도 억제될 수 있다. 그러나, 이 때에 보호층(7)은 자외광을 투과할 수 있는 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 왜냐하면 형광물질층(8)에 의해 가시광으로 변환된 자외광량이 만일 이 자외광이 보호층(7)에 흡수된다면 현저히 감소한다. 결과로서, 이것은 휘도 및 효율을 현저히 저하시킨다. 그러므로, 보호층(7)의 광학적 대역갭은 적어도 6 eV인 것이 바람직하다. 특히, 보호층(7)의 광학적 대역갭이 적어도 8 eV이면, 150 ㎚이하의 파장을 갖는 자외광까지 투과될 수 있고, 결과적으로 여기상태의 희가스원자들(He, Ne, Ar, Kr, Xe)로부터 방사되는 자외광까지 유효하게 이용할 수 있게 된다.
공통전극(11)으로서는, 저항이 낮고 가시광의 투과율이 높은 것이 바람직하다. 왜냐하면 펄스지연에 기인된 화질열화가 억제될 수 있고, 형광물질층(8)에 의해 가시광으로 변환된 광이 효과적으로 표시면측에 취출될 수가 있으며, 따라서 휘도 및 효율이 개선된다. 특히, 가시광의 투과율이 적어도 80%이면, 전극은 적합하다. 부가하여, 주사전극(4) 및 공통전극(11) 각각이 도 1에 도시된 바와 같이 독립된 선의 형상을 취하는 경우에, 각 전극들은 도 3에 도시한 바와 같이 반대측으로부터 취하여져도 좋다. 다시 말하면, 주사전극(4)의 단자연결부(15) 및 공통전극(11)의 단자연결부(16)가 반대측에 제공된다. 이 경우에 있어서, 단자연결등의 공정에 있어 이점이 있다. 그 외에도, 유지방전발광의 균일성에 큰 이점이 있다.
버스전극(12)으로서는 저항이 낮고 가시광의 반사율이 낮은 것이 바람직하다. 왜냐하면, 펄스지연에 기인된 화질저하가 억제되고, 동시에 외광반사에 의한 콘트라스트의 저하가 억제된다. 특히, 저항율이 10 μΩ·㎝이하이고 가시광의 반사율이 20% 이하이면, 전극은 적합하다. 또한, 구조는 단층 또는 다층이어더 좋다. 다층구조의 경우에 있어서, 적어도 표시면측의 층은 낮은 반사율을 갖는 것이 바람직하다. 도 1에 있어서, 금속으로 이루어진 버스전극(12)이 투명도전성막으로 이루어진 공통전극(11) 위에 형성되어 있는 구조가 예시되어 있다. 반대로, 버스전극(12)이 공통전극(11)의 아래에 형성되어져도 좋다. 이 경우에 있어서, 쉽게 부식하는 버스전극(12)이 화학적으로 안정한 금속산화물로 이루어진 공통전극(11)에 의해 보호된다. 그러므로, 각종의 화학약품이나 공기중의 수분 때문에 생기는 버스전극(12)의 품질변화와 같은 열화는 억제될 수 있다. 뿐만아니라, 그것의 형성위치는 공통전극(11)의 중앙부 또는 단부이어도 좋다. 또한, 버스전극(12)은 공통전극(11)의 단부표면과 접촉하여 형성되어져도 좋다. 한편, 공통전극(11)에 전기적으로 연결된 버스전극들(12)의 수와 연결장소들에 대해서는 아무런 제한이 없다. 그것은 단수이어도 좋고 복수이어도 좋다.
유전체층(13)으로서는, 가시광의 고투과율을 갖는 것이 바람직하다. 왜냐하면 형광물질층(8)에 의해 가시광으로 변환된 광이 효과적으로 표시면측에 취출될 수가 있고, 휘도 및 효율이 개선될 수 있기 때문이다. 특히, 가시광의 투과율이 적어도 80% 이면, 층은 적합하다. 부가하여, 광이 기포 또는 표면의 불균일성에 의해 산란되지 않는다면, 이 층은 편리하다. 또한, 그 구조는 단층구조 또는 다층구조이어도 좋다.
상술한 것들 외에도, R, G, 및 B의 색들에 대응하도록 색필터들이 전면유리기판(10)상에 제공되어져도 좋다. 이 경우에, 색도 및 콘트라스트가 개선되는 이점이 있다. 또한 자외광 및 가시광을 반사하기 위한 산란층이 형광물질층(8)아래에 제공되어져도 좋다. 이 경우에, 형광물질층(8)을 투과한 자외광 및 가시광은 다시 표시면측에 반사될 수 있고, 결과적으로 휘도 및 효율이 더욱 개선될 수 있다. 부가하여, 데이터전극(2) 및 주사전극(4)을 전면유리기판(10)상에 그리고 금속으로 이루어진 공통전극(11)을 후면유리기판(1)상에 제공할 수 있다. 이 경우에, 공통전극(11)은 불투과성이어도 좋다. 그러나, 표시면측에 형성된 데이터전극(2)및 주사전극(4)은 적어도 그 일부라도 투명하고 도전성인 것이 바람직하다. 그러므로, 데이터전극(2)및 주사전극(4) 각각은 투명도전성막으로 형성되고 버스전극은 금속으로 이루어진다. 이 경우에, 셀들의 개구율저하가 방지될 수 있다. 결과로서, 휘도 및 효율의 저하가 억제될 수 있다. 물론, 이 경우에 있어서도 모든전극을 금속으로만 형성할 수도 있다.
또한, 도 4에 도시된 각 전압펄스들의 극성은 역극성이 되어도 좋다. 전압펄스들의 파형 및 타이밍은 전압펄스들이 기록방전(21) 및 유지방전(22)을 충분히 일으킬 수 있는한 제한되지 않는다.
[실시예2]
도 9는 본 발명에 따른 다른 플라즈마표시패널의 사시도이다. 또한, 도 10은 그것의 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다. 실시예1과는 달리, 실시예2는 두조각 즉, 전면유리기판(10) 및 후면유리기판(1)으로 형성되지 않고, 전면유리기판(10) 및 후면유리기판(1) 사이에 배치된 중앙시트(17)를 포함하는 세 조각으로 형성된다. 도 9 및 도 10을 참조하여 본 발명의 다른 구조를 설명한다. 후면유리기판(1)상에는 금속등으로 이루어진 데이터전극들(2)이 기판열방향으로 형성되어 있다. 이 데이터전극들(2) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(3)이 형성되어 있다. 이 유전체층(3)상에는 금속등으로 이루어진 주사전극들(4)이 기판행방향으로 형성되어져 있다. 이 주사전극들(4) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(5) 및 보호층(7)이 형성되어 있다.
한편, 전면유리기판(10)상에는 금속산화물등으로 이루어진 투명도전성공통전극들(11) 및 금속등으로 이루어지고 공통전극들(11)에 전기적으로 연결된 버스전극들(12)이 주사전극들(4)에 대향되도록 기판행방향으로 형성되어 있다. 이 공통전극들(11) 및 버스전극들(12) 위에는 금속산화물등으로 이루어진 유전체층(13) 및 보호층(7)이 형성된다.
전면유리기판(10) 및 후면유리기판(1) 사이에는, 예를 들면, 세라믹 또는 유리와 같은 금속산화물로 이루어지고 R, G, B의 각 셀들을 구획할 수 있는 개구부들, 및 개구부들안에 형광물질층들(8)을 갖는 중앙시트(17)가 협지되어 있다. 전면유리기판(10) 및 후면유리기판(1)은 기밀을 위해 녹인유리밀봉재등과 같은 것을 사용하여 내부에 중앙시트(17)를 갖도록 함께 결합된다. 이렇게 형성된 공간내에 희가스등을 포함하는 방전용가스가 주입된다. 도 9에 있어서 R, G, 및 B는 각각 칼라화를 위한 적색발광단위셀, 녹색발광단위셀, 및 청색발광단위셀을 나타낸다.
도 11의 (a) 내지 (f)는 본 발명에 따른 다른 플라즈마표시패널의 제조공정을 보여주는 단면도들이다. 우선, 전면유리기판(10)측의 공정을 설명한다. 먼저, 공통전극(11)이 도포법, 인쇄법, 감광수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 이용하여 전면유리기판(10)상에 형성된다. 그 후, 버스전극(12)이 공통전극(11)상에 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 이용하여(도 11의 (a)) 형성된다.
이어서, 공통전극(11) 및 버스전극들(12)상에는 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법등을 사용하여 유전체층(13)이 형성된다. 그 후, 보호층(7)이 진공증착법, 도포법등을 이용하여 유전체층(13)상에 형성된다(도 11의 (b)).
이제, 후면유리기판(1)측의 공정을 설명한다. 우선, 데이타전극들(2)이 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 사용함에의해 후면유리기판(1)상에 형성된다. 그 후, 유전체층(3)이 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법등을 사용함에 의해 데이터전극들(2)상에 형성된다(도 11의 (c)).
뒤이어서, 주사전극들(4)이 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법, 도금법, 묘화법등을 사용함에 의해 유전체층(3)상에 형성된다. 그 후, 유전체층(5)이 도포법, 인쇄법, 감광성수지법, 진공막형성법등을 사용함에 의해 주사전극들(4) 위에 형성된다. 이 유전체층(5)상에는 진공막형성법, 도포법등을 이용하여 보호층(7)이 형성된다(도 11의 (d)).
다음은, 중앙시트(17)측의 공정을 설명한다. 중앙시트(17)로서는 집단적으로 형성된 적(R), 녹(G), 청(B)색의 셀들에 대응하는 개구부들을 구비하는 세라믹시트 또는 유리시트가 사용되어져도 좋다. 이 경우에, 적(R), 녹(G), 청(B)색에 대응하는 적색광발광용, 녹색광발광용, 청색광발광용의 형광물질층들(8)이 인쇄법, 감광성수지법, 묘사법등을 사용하여 구멍형상 또는 홈형상의 개구부들안에 형성된다. 도한, 이 개구부들은 뒤로부터 제공되어져도 좋다. 이 경우에, 각 형광물질층들(8)은 이 개구부들안에 형성된다(도 11의 (e)).
이제, 패널조립공정을 설명한다. 우선, 전면유리기판(10) 또는 후면유리기판(1)의 어느 한쪽에 중앙시트(17)가 배치된다.
이어서, 녹인 유리밀봉부재등이 전면유리기판(10) 또는 후면유리기판(1)의 어느 한쪽의 기판가장자리부상에 제공된다. 전면유리기판(10) 및 후면유리기판(1)은 주사전극들(4)과 공통전극들(11)이 각각 쌍으로 대향되도록 함께 결합되고, 기판들은 기밀적으로 밀봉된다.
그 후, 패널의 주변부에 설치된 가스배기흡기용관로를 통해, 유기물질과 같은 패널내부의 잔류불순물이 베이킹(baking) 또는 방전세정등에 의해 제거되고, 패널내부의 진공증착이 행하여진다.
최종적으로, 방전용희가스가 관로로부터 주입되고, 관로는 기밀적으로 밀봉된다. 패널제조공정은 끝난다(도 11의 (f)).
중앙시트(17)의 역할은 실시예1의 격벽들(6)과 동일하다. 그러므로, 상술한 실시예1의 격벽들(6)에 적합하다고 언급된 물질들 및 조건들이 중앙시트(17)에 있어서도 마찬가지다.
중앙시트(17)를 사용함에 의해, 앞의 실시예1과는 달리, 후면유리기판(1)측상에 형성된 보호층(7) 이후의 제조공정들{형광물질층(8)의 형성공정}은 생략될 수 있다. 그러므로, 뒤이은 제조공정에서 후면유리기판(1)측상에 형성된 보호층(7)의 특성열화가 억제될 수 있는 이점이 있다.
부가하여, 플라즈마표시패널의 제조공정에서 가장 중요하고 어려운 격벽들 및 형광물질층들의 형성공정이 유리기판들로부터 분리될 수 있고 전용공정들로 제조될 수 있다. 결과로서, 전체적으로 패널의 제조수율을 향상할 수 있게 된다.
[실시예3]
도 12는 본 발명에 따른 또다른 플라즈마표시패널의 사시도이다. 도 13은 단위셀구조를 보여주는 분해사시도이다. 실시예1 및 실시예2와는 달리, 실시예3에 있어서는 전면유리기판(10)측 상에 형성된 공통전극(11) 및 후면유리기판(1)측 상에 형성된 주사전극(4)이 그들이 서로 대향되는 위치로 배치되어 있지 아니한다. 공통전극(11)은 주사전극(4)으로부터 셀길이방향으로 전이되어 형성되어 있다. 본 발명의 구조로서는, 플라즈마표시패널이 실시예1에서 상술한 제조방법을 이용하여 제조되는 경우가 예시된다.
본 발명의 구조에 있어서, 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이에서 유지방전(22)이 비스듬히 발생된다. 그러므로, 유지방전(22)은 마치 셀길이방향으로 연장된 것처름 보인다. 그러므로, 격벽들(6)의 높이가 동일하다 하더라도, 유효한 방전길이는 길어진다. 따라서, 방전영역이 확장된다. 결과로서, 방사광량이 증가된다. 부가하여, 자외광이 넓은 면적을 통해 형광물질층(8)에 인가된다. 그러므로, 도 1의 구조와 비교하여 휘도 및 효율이 향상될 수 있다.
도 14는 도 14에 도시된 시험셀에 있어서 1㎑당 휘도의 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 전이폭(I)에 대한 의존도를 보여주고 있다. 시험셀의 다른 치수들은 도 8의 것과 동일하다. 본 발명의 구조에 있어서, 도 14로부터 명백한 바와 같이, 전이폭이 적어도 전극폭의 반이라면 휘도는 증가된다. 특히, 전이폭이 적어도 전극폭이면 휘도는 매우 개선된다. 비록 도 14에는 400 ㎛ 까지의 전이폭에 대한 데이터만 도시되어 있지만, 전이폭은 여기에 한정되지 않는다. 예를 들면, 전이폭이 적어도 1㎜로 만들어진다면, 유지전압은 상승하지만, 방전영역으로부터 또는 특히 양의 열영역으로부터의 자외광량은 증가한다. 그러므로, 휘도 및 효율이 향상된다.
상술한 것들 외에도, 이전 실시예들에 적합하다고 언급된 물질들 및 조건들은 본 발명의 구조에도 마찬가지다.
일본공개특허공보 평4-181633호에는, 서로 직교되도록 절연물질층을 통해 형성된 데이터전극및 주사전극과 이 데이터전극및 주사전극 상에 형성된 제1유전체층을 구비하고 있는 후면기판, 및 제2유전체층에 의해 피복된 투명전극을 구비하는 전면기판을 포함하는 플라즈마표시패널가 개시되어 있다. 본 발명과는 달리, 이 플라즈마표시패널은 격벽들이나 형광물질층들을 구비하지 아니하고 Ne가스등을 포함하는 단색상표시용패널을 위한 것이다. 물론 구동에 있어서, 이 플라즈마표시패널은 메모리효과가 없는 리프레쉬(refresh)형 AC시스템의 플라즈마표시패널용으로 의도된 것이다. 따라서, 상술한 본 발명의 작동 및 효과들은 얻어지지 않는다.
상기 한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마표시패널은 표시성능 및 수명특성이 우수하고, 특히 벽면형 텔레비젼세트와 같은 대화면표시를 실행하는 플라즈마표시패널로서 대단한 산업적 가치를 갖는다.
이상에서 상술한 본 발명에 따르면, 제1효과는 기록전압이 종래기술에 비교하여 낮아질 수 있다는 것이다. 결과로서, 기록(번지)방전(21)이 파첸의 법칙에 의해 주어진 최소발화전압부근에서 일으날 수 있기 때문에, 종래기술에 비교하여 저렴하고 저내압의 회로가 사용될 수가 있고, 구동회로의 제조비용이 감소될 수 있다.
제2효과는 기록기간이 종래기술과 비교하여 단축될 수 있다. 결과로서, 종래기술과 비교하여 대화면 및 높은정밀도를 갖는 패널이 실현될 수 있다. 왜냐하면, 기록전압이 낮아지고 통계적인 방전확률이 증가되기 때문이다.
제3효과는 종래기술에 비교하여 구동마진이 넓어질 수 있다. 그 이유는 기록방전(번지방전, 21)의 충분한 발생가능성이 더 높게 되고, 또한 유지방전(22)의 발생가능성도 더 높게 되기 때문이다.
제4효과는 종래기술에 비교하여 방전공간이 확장될 수 있다. 따라서, 방사광량이 방전영역의 확장에의해 증가될 수 있다. 따라서, 종래기술에 비해 휘도 및 효율이 증진될 수 있다. 결과로서, 종래기술에 비해 전력소모가 줄어들 수 있다. 왜냐하면, 격벽의 높이가 종래기술과는 다르게 기록전압에의해 제한되지 않기 때문이다.
제5효과는 보호층의 조사손상이 종래기술에 비해 줄어들 수 있다. 결과로서, 종래기술에 비해 패널의 동작수명이 길어질 수 있다. 그 이유는 이온충격회수를 가장 많게 하는 유지방전(22)이 대향방전으로 되고, 결국 국소적 전계왜곡 및 이온들의 보호층(7)에대한 경사입사가 감소되며, 보호층(7)의 열화에 기인된 전압변동이 억제되기 때문이다.
제6효과는 종래기술에 비교하여 전극저항이 감소하고 셀개구율의 증가가 가능하다. 결과로서, 종래기술에 비하여 대화면 및 높은 정밀도를 갖는 패널의 실현이 가능하다. 왜냐하면 단지 공통전극(11)만이 표시면측에 존재하기 때문이며, 부가하여 모든 전극배선은 낮은저항을 갖는 금속물질만으로 형성될 수 있기 때문이다.
제7효과는 종방향으로 인접하는 셀들 사이에서의 방전간섭에 기인하는 오점등 및 오소등이 일으나기 어렵다는 것이다. 결과로서, 종래기술에 비해 구동마진이 개선될 수 있다. 그 이유는 지금 설명된다. 기록방전(21)이 데이터전극(2)및 주사전극(4)의 교차부에 집중된다. 부가하여, 유지방전(22)을 일으키는 주사전극(4) 및 공통전극(11)이 방전공간을 개재하여 대향하고 있다. 그러므로, 전극들의 어느 하나로부터 출사된 전력선들은 직각에 가깝게 다른전극에 입사한다. 특히, 종방향으로 인접한 셀에 전력선의 누설이 감소된다. 따라서, 플라즈마의 확산이 감소된다.
제8효과는 종래기술에 비하여 비교적 유지방전(22)을 일으키기가 용이하다는 것이다. 그러므로, 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 공간이 종래기술에 비하여 유지전압의 상승을 초래하지않고 확장될 수 있다. 결과로서, 방전영역의 확장에 의해 휘도 및 효율이 증진된다. 그 이유는 서로 대향하는 주사전극(4) 및 공통전극(11) 사이의 전체공간이 유효한 방전갭으로서 작용하고, 동시에 전 중첩면적이 효과적인 방전면적으로서 기능하기 때문이다(방전의 체적효과 및 면적효과).
제9효과는 종래기술에 비하여 셀이 미소하더라도 충분한 구동마진이 확보될 수 있다는 것이다. 그러므로, 종래기술에 비하여 높은 정밀도의 패널이 실현될 수 있다. 왜냐하면, 종래기술에 비하여 좁은 공간 안에서 방전을 일으키기가 쉽기 때문이다.
제10효과는 방전영역 즉, 동일체적의 셀에서의 방사광량이 증가될 수 있다는 것이다. 그러므로, 종래기술에 비하여, 휘도 및 효율이 더욱 개선될 수 있다. 왜냐하면, 유지방전(22)을 수행하는 주사전극(4) 및 공통전극(11)이 방전공간을 경사방향으로 전이하여 형성되어 있기 때문이다.
제11효과는 기록전압 및 유지전압에 영향을 주는 유전체층들(3 및 5)의 두께와 격벽(6)의 높이가 동일기판공정에서 규정될 수 있다는 것이다. 그러므로, 종래기술에 비하여, 제조로트(lot) 마다 패널표면내에서의 기록전압 및 유지전압의 분산을 적게 할 수가 있다. 또한, 전압특성의 재현성을 높일 수가 있다. 왜냐하면, 각 전압값들을 결정하는 치수인자들이 별도의 기판들을 통해 확대되지않고, 단지 기판의 일측면에 집중되기 때문이다.
제12효과는 제조정밀도 및 제조수율이 개선될 수 있다는 것이다. 결과로서, 제조비용이 감소될 수 있다. 왜냐하면 위치결정에 정밀도가 요구되는 공정들이 기판의 일측면에 집중되고, 중첩시에 전이에의한 특성의 영향이 거의 없기 때문이다.
제13효과는 제조공정동안 후면유리기판(1)상에 형성된 보호층(7)에 끼쳐진 열화가 억제될 수가 있다는 것이다. 결과로서, 보호층(7)의 열화에 기인된 전압상승 및 신뢰성저하가 감소될 수 있다. 왜냐하면 후면유리기판(1)상에 형성된 보호층(7) 이후의 제조공정(형광물질층(8)의 형성공정)이 중앙시트(17)를 사용함에 의해 생략될 수 있기 때문이다.
제14효과는 전체로서 패널의 제조수율을 높일 수 있다는 것이다. 결과로서, 제조비용이 절감될 수 있다. 왜냐하면 플라즈마표시패널의 제조공정에서 가장 중요하고 어려운 격벽들 및 형광물질층들을 형성하는 공정들이 중앙시트(17)를 사용함에 의해 유리기판들의 제조공정과는 분리될 수가 있고 중앙시트(17)는 전용공정으로 제조될 수가 있기 때문이다.
제15효과는 기록전압이 적어도 대략 유지전압일 수 있다는 것이다. 결과로서, 데이터전극(2)및 주사전극(4)에 연결된 구동회로의 신뢰성 및 전압특성이 증진될 수 있다. 왜냐하면 기록방전(번지방전, 21)을 일으키는 데이터전극(2)및 주사전극(4)이 유전체층들(3 및 5)을 통해 동일기판상에 형성되기 때문이다.

Claims (25)

  1. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 이 전자들을 가스와 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 열방향에 직교하는 행방향으로 상기 제1기판상에 배치된 다수의 주사전극들;
    상기 주사전극에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들;
    각각이 적(R), 녹(G), 또는 청(B)색광의 어느 하나를 발광하는 다수의 형광층들; 및
    상기 형광층들을 구획하고 상기 전자들 및 상기 가스에 의한 방전을 위해 다수의 공간을 형성하기 위한 다수의 격벽들을 포함하는 플라즈마표시패널.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제1기판상의 상기 데이타전극들 위에 제1유전체층이 배치되고;
    상기 주사전극들은 상기 제1유전체층상에 배치되고;
    상기 주사전극들 상에는 제2유전체층이 배치되고;
    상기 제2유전체층상에는 상기 격벽들이 배치되고;
    상기 격벽들상 및 상기 제2유전체층상에는 상기 형광층들이 배치되고; 그리고
    상기 제2기판상의 상기 공통전극상에는 제3유전체층이 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제1기판상의 상기 데이타전극들 위에 제1유전체층이 배치되고;
    상기 주사전극들은 상기 제1유전체층상에 배치되고;
    상기 주사전극들 상에는 제2유전체층이 배치되고;
    상기 제2기판상의 상기 공통전극들 상에는 제3유전체층이 배치되고;
    상기 제3유전체층상에는 상기 격벽들이 배치되고;
    상기 격벽들상 및 상기 제3유전체층상에는 상기 형광층들이 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  4. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 이 전자들을 가스와 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 열방향에 직교하는 행방향으로 상기 제1기판상에 배치된 다수의 주사전극들;
    상기 주사전극에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들;
    각각이 적(R), 녹(G), 또는 청(B)색광의 어느 하나를 발광하는 다수의 형광층들; 및
    상기 제1 및 제2기판들 사이에 배치된 다수의 개구들을 구비하고, 이 개구들의 벽들은 상기 형광층들에 의해 덮여져 있는 시트를 포함하고;
    상기 제1기판상의 상기 데이타전극들상에는 제1유전체층이 배치되며;
    상기 제1유전체층상에는 상기 주사전극들이 배치되고;
    상기 주사전극들상에는 제2유전체층이 배치되며;
    상기 제2기판상의 상기 공통전극들상에는 제3유전체층이 배치되고;
    다수의 개구들을 구비하는 시트는 상기 제1 및 제2기판들 사이에 배치되며;그리고
    상기 개구들의 벽들은 상기 형광층들에 의해 덮혀있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 격벽들의 벽들은 정상의 상기 제1 및 제2기판에 대하여 부분적으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 개구들의 벽들은 정상의 상기 제1 및 제2기판에 대하여 부분적으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 방전용공간들의 평면형상은 일부가 N각형(n3) 또는 곡선형상인 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 방전용개구들의 평면형상은 일부가 N각형(n3) 또는 곡선형상인 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 격벽들의 높이는 150㎛에서 10㎜의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  10. 제 1항에 있어서, 상기 시트의 두께는 150㎛에서 10㎜의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  11. 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 공통전극들은 투명전극들 및 금속버스전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  12. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 데이타전극들 및/또는 상기 주사전극들은 투명전극들 및 금속버스전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  13. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 공통전극들, 상기 데이타전극들, 및 상기 주사전극들은 금속전극들인 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  14. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 제1기판 및 상기 제2기판은 패널을 형성하고;
    상기 주사전극들을 취출하기 위한 단자접속부는 상기 패널의 소정측면에 설치되며; 및
    상기 공통전극들을 취출하기 위한 다른단자접속부는 상기 소정측면에 반대되는 상기 패널의 다른측면에 설치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  15. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 주사전극들 및 공통전극들은 방전공간을 개재하여 동일위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  16. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 주사전극들 및 공통전극들은 방전공간을 개재하여 다른위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  17. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 주사전극들은 그들의 위치들에서 상기 공통전극들로부터 상기 주사전극들 및 상기 공통전극들중 어느 것의 폭보다도 큰량에 의해 전이되어져 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널.
  18. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 가스로 이 전자들을 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에 의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널의 제조방법에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 제1기판상에 상기 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들;
    상기 주사전극들에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들;
    각각이 적(R), 녹(G), 청(B)색의 광을 발광하는 다수의 형광층들; 및
    상기 형광층들을 구획하고, 그것에의해 상기 전자들 및 상기 가스에 의한 방전을 위한 다수의 공간들을 형성하는 다수의 격벽들을 포함하고:
    상기 제1기판상에 다수의 상기 데이터전극들을 형성하는 단계;
    상기 데이터전극들상에 제1유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제1유전체층상에 다수의 상기 주사전극들을 형성하는 단계;
    상기 주사전극들상에 제2유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제2유전체층상에 상기 격벽들을 형성하는 단계;
    상기 격벽들상 및 상기 제2유전체층상에 상기 형광층들을 형성하는 단계;
    상기 제2기판상에 다수의 상기 공통전극들을 형성하는 단계; 및
    상기 공통전극들상에 제3유전체층을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마표시패널의 제조방법.
  19. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 가스로 이 전자들을 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에 의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널의 제조방법에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 제1기판상에 상기 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들;
    상기 주사전극들에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들;
    각각이 적(R), 녹(G), 청(B)색의 광을 발광하는 다수의 형광층들; 및
    상기 형광층들을 구획하고, 그것에의해 상기 전자들 및 상기 가스에 의한 방전을 위한 다수의 공간들을 형성하는 다수의 격벽들을 포함하고:
    상기 제1기판상에 다수의 상기 데이터전극들을 형성하는 단계;
    상기 데이터전극들상에 제1유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제1유전체층상에 다수의 상기 주사전극들을 형성하는 단계;
    상기 주사전극들상에 제2유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제2기판상에 다수의 상기 공통전극들을 형성하는 단계;
    상기 공통전극들상에 제3유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제3유전체층상에 상기 격벽들을 형성하는 단계; 및
    상기 격벽들상 및 상기 제3유전체층상에 상기 형광층들을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마표시패널의 제조방법.
  20. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 가스로 이 전자들을 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에 의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널의 제조방법에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 제1기판상에 상기 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들;
    상기 주사전극들에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들;
    각각이 적(R), 녹(G), 청(B)색의 광을 발광하는 다수의 형광층들; 및
    상기 제1 및 제2기판들 사이에 배치된 다수의 개구들을 구비하고, 상기 개구들의 벽들은 상기 형광층들에 의해 덮혀있는 시트를 포함하고, 여기서:
    상기 제1기판상의 상기 데이타전극들상에 제1유전체층이 배치되고;
    상기 제1유전체층상에 상기 주사전극들이 배치되고;
    상기 주사전극들상에 제2유전체층이 배치되고;
    상기 제2기판상의 상기 공통전극들상에 제3유전체층이 배치되는 것으로서,
    그 제조방법은:
    상기 제1기판상에 다수의 상기 데이터전극들을 형성하는 단계;
    상기 데이터전극들상에 제1유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제1유전체층상에 다수의 상기 주사전극들을 형성하는 단계;
    상기 주사전극들상에 제2유전체층을 형성하는 단계;
    상기 제2기판상에 다수의 상기 공통전극들을 형성하는 단계;
    상기 공통전극들상에 제3유전체층을 형성하는 단계; 및
    상기 제1기판 및 상기 제2기판 사이에 상기 시트를 배치하는 단계를 포함하는 플라즈마표시패널의 제조방법.
  21. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 가스로 이 전자들을 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에 의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널의 구동방법에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 제1기판상에 상기 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들; 및
    상기 주사전극들에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들을 포함하고;
    선택된화소들에서 기록방전들을 발생시키기 위하여, 동일타이밍과 반대극성을 갖는 신호전압펄스 및 기록전압펄스를 각각 상기 데이타전극들 및 상기 주사전극들에 인가하는 기록단계; 및
    선택된화소들에서 유지방전들을 발생시키기 위하여, 다른타이밍과 동일극성을 갖는 유지전압펄스들을 각각 상기 주사전극들 및 상기 공통전극들에 인가하는 유지단계를 포함하는 플라즈마표시패널의 구동방법.
  22. 제 21항에 있어서, │Vd│가 상기 신호전압펄스의 피크치 Vd의 절대값이고, │Vw│가 상기 기록전압펄스의 피크치 Vw의 절대값이며, 그리고 │Vsc│가 상기 공통전극들에 인가된 상기 유지전압펄스의 피크치 Vsc의 절대값일 때, ( │Vd│ + │Vw│ ) ＜ │Vsc│인 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널의 구동방법.
  23. 서로 대향하는 제1기판 및 제2기판을 구비하고, 전계로 전자들을 가속하고, 가스로 이 전자들을 충돌시키며, 형광물질들로 발생된 자외광을 가시광으로 변환함에 의해 칼라영상표시를 행하는 플라즈마표시패널의 구동방법에 있어서,
    상기 제1기판상에 열방향으로 배치된 다수의 데이터전극들;
    상기 제1기판상에 상기 열방향에 직교하는 행방향으로 배치된 다수의 주사전극들; 및
    상기 주사전극들에 평행한 행방향으로 상기 제2기판상에 배치된 다수의 공통전극들을 포함하고;
    선택된화소들에서 기록방전들을 발생시키기 위하여, 동일타이밍과 반대극성을 갖는 신호전압펄스 및 기록전압펄스를 각각 상기 데이타전극들 및 상기 주사전극들에 인가하는 기록단계; 및
    선택된화소들에서 유지방전들을 발생시키기 위하여, 양극성유지전압펄스들을 공통전극들에 인가하는 유지단계를 포함하는 플라즈마표시패널의 구동방법.
  24. 제 23항에 있어서, │Vd│가 상기 신호전압펄스의 피크치 Vd의 절대값이고, │Vw│가 상기 기록전압펄스의 피크치 Vw의 절대값이며, 그리고 │Vs│가 상기 양극성유지전압펄스들의 양의 극성측 피크치의 절대값 또는 부의 극성측 피크치의 절대값중 큰것의 절대값일 때, ( │Vd│ + │Vw│ ) ＜ │Vs│인 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널의 구동방법.
  25. 제 21항 또는 제 23항에 있어서, 상기 기록방전은 면방전이고 유지방전은 대향방전인 것을 특징으로 하는 플라즈마표시패널의 구동방법.
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