KR20010029085A - 트레이 감지센서를 가진 웨이퍼 박스 세정기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 박스 세정기에 관한 것으로, 적재된 트레이를 옮겨주는 엘리베이터, 트레이가 적재되는 작업대, 상기 엘리베이터가 상승된 위치에서의 트레이를 감지할 수 있도록 상승위치에서의 상기 작업대 주변으로 설치되는 감지센서 및 순수 샤워장치를 구비하여 이루어지는 웨이퍼 박스 세정기에 있어서, 상기 수발광센서가 작업자의 양 측부에 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면 작업자가 센서를 가까이 보면서 조작할 수 있고, 트레이가 센서에 부딪히는 것을 미리 막을 수 있으므로 웨이퍼 이송용 용기의 세정작업에서 효율을 높일 수 있게 된다.

Description

트레이 감지센서를 가진 웨이퍼 박스 세정기 {A box cleaner having a sensor to the wafer box tray}

본 발명은 트레이에 대한 감지센서를 구비한 박스 세정기에 대한 것으로, 보다 상세하게는 박스 세정기에서 박스를 거치하는 용기의 역할을 하는 트레이를 감지하여 박스 세정을 실시하는 박스 세정기에 대한 것이다.

반도체장치는 반도체기판에 도체, 반도체, 부도체를 이루는 여러 물질로 막을 형성하고 막을 가공하여 전자 전기 소자를 이룬 상태에서 이들을 배선으로 연결하여 이루어지는 매우 정밀하고 복잡한 장치이다. 따라서 엄격하게 조절되는 환경에서 정교한 다수의 과정을 통해 형성된다.

이들 장치는 대부분 자동화된 설비에서 이루어지는데 다수의 공정을 거치기 위해서 다수의 설비를 거치게 되고 설비와 설비 사이를 오가기 위해서, 그리고 한 설비에서도 단위 공정 사이를 연결하기 위해서 자동화된 대차나 로봇형 이송아암을 통해 옮겨다니게 된다. 그런데 웨이퍼는 동일 설비내의 짧은 거리에서는 낱장으로 옮겨질수도 있으나 대개는 라트(lot) 단위로 웨이퍼 캐리어나 웨이퍼 박스, 카세트로 불리는 용기에 적재되어 옮겨진다.

반도체장치는 고도로 집적화된 장치이며 미세한 스크래치나 미세한 오염도 공정중의 해당 칩에 큰 영향을 주게되므로 가공면을 적극적으로 보호할 필요가 있다. 웨이퍼를 적재하여 이송시키는 용기인 웨이퍼 박스나 카세트도 이런 요청에 따라 웨이퍼를 잘 보호할 수 있도록 구성되어 있다. 그러나 공정을 진행하는 과정에서 오염된 웨이퍼가 웨이퍼를 담는 이들 용기에 적재될 경우 웨이퍼의 오염이 이들 용기로 확산, 전달될 수 있고, 이송로봇 등의 오동작으로 용기에 적재될 때 웨이퍼가 용기에 충돌하여 용기를 오염시킬 수도 있다.

이런 경우 일단 오염된 용기가 이후 적재되는 웨이퍼를 오염시킬 수 있으므로 웨이퍼 박스나 카셋트를 공정 라인에서 축출하여 세정을 하여야 한다. 이들 용기의 세정에 사용되는 것이 웨이퍼 박스 세정기이다. 세정기에서는 순수(deionized water)를 사용하는 샤워(shower)장치나 드라이어(drier)로 이들 용기를 세척하고 건조시켜서 라인에서 다시 사용할 수 있는 상태를 만들어 준다.

도1은 종래의 웨이퍼 박스 세정기를 개략적으로 도시한 평면투시도이다. 작업대(13)에는 웨이퍼 박스가 담기는 트레이를 설치할 수 있도록 트레이 고정용 브라켓트(17)가 네 모서리에 설치되어 있고, 작업대(13) 자체는 엘리베이터(15)에 얹혀 있다. 엘리베이터(15)가 올라온 위치에서 작업대(13)의 주변으로는 보호 커버(11)가 설치되어 있다. 그리고 커버(11)에는 수발광센서(19)가 설치되어 있어서 엘리베이터(15)가 올라온 위치에서 작업자가 트레이를 작업대(13)에 올려놓게 된다. 작업대(15)에 트레이가 정상적으로 놓여지면 수발광센서(19)에 감지된다. 그러면 엘리베이터(15)는 내려가고 트레이는 각 챔버로 들어가 세정 및 건조를 하게 된다.

그런데 종래의 웨이퍼 박스 세정기에는 수발광센서가 4각형으로 이루어진 커버에서 작업자가 작업하는 변과 그 대향되는 변에 설치되어 있다. 따라서 작업자는 뒤쪽에 설치된 센서를 정확히 보면서 작업을 할 수 없으므로 트레이가 정위치에서 벗어나는 경우가 많다. 그리고 이들 센서는 작업자에 의해 트레이가 작업대에 거치될 때 트레이가 정상적인 위치에 거치되지 않을 경우 서로 충돌하여 파손되거나 변위가 생기거나 순간적으로 작동을 멈춘 상태가 되기도 한다. 이들 경우에 작업자는 수발광 센서의 상태를 점검하고 다시 정상적으로 가동되도록 보수하여야 한다. 그러나 트레이는 상당한 크기를 가지므로 작업자가 단지 몸을 굽혀 뒷쪽을 살펴볼 수 없으므로 문제가 생길 경우 작업자는 작업위치에서 벗어나 이동하여 트레이 뒤쪽의 센서를 점검하여야 한다.

본 발명에서는 웨이퍼 박스 세정기에서 트레이가 거치될 때 이를 감지하고 공정을 진행하는 센서의 위치가 작업에 적합하지 않아서 발생되는 문제를 사전에 방지하거나 억제할 수 있도록 새로운 형태의 트레이 감지 센서를 갖는 웨이퍼 박스 세정기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도1은 종래의 웨이퍼 박스 세정기를 개략적으로 도시한 평면투시도이다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 대한 개략적인 평면투시도를 나타낸다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11: 커버(cover) 13: 작업대

15: 엘리베이터 17: 트레이 고정용 브라켓트

19,29: 수발광센서

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 박스 세정기는 적재된 트레이를 옮겨주는 엘리베이터, 트레이가 적재되는 작업대, 상기 엘리베이터가 상승된 위치에서의 트레이를 감지할 수 있도록 상승위치에서의 상기 작업대 주변으로 설치되는 감지센서 및 순수 샤워장치를 구비하여 이루어지는 웨이퍼 박스 세정기에 있어서, 상기 수발광센서가 작업자의 양 측부에 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서 감지센서로는 흔히 대향하고 있는 수발광센서를 사용한다. 이때 수발광센서는 작업자의 양 측부에서도 작업자의 위치에 가까운 부분에 설치되는 것이 바람직하다. 이 경우 트레이를 작업대에 적재하는 작업중에 작업자가 쉽게 센서에 트레이가 닿는가를 확인할 수 있을뿐 아니라 트레이가 닿는 등의 이유로 센서가 틀어지거나 순간정지가 되는 경우에도 쉽게 확인하고 복구할 수 있기 때문이다.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 좀 더 살펴보기로 한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 대한 개략적인 평면투시도를 나타낸다. 작업대(13)와 엘리베이터(15), 트레이 고정 브라켓트(17), 커버(11) 등의 대부분 요소에는 별다른 변화가 없으며 작업대에 적재된 트레이를 감지할 수 있는 수발광센서(29)의 위치가 작업자의 위치를 기준으로 앞뒤쪽으로 대향되게 설치된 것에서 좌우측으로 대향되게 설치된 것으로 바뀌었다. 특히 좌우측의 중간위치가 아닌 작업자가 쉽게 조작할 수 있도록 작업자에 가까운 위치에 설치되었다. 이런 형태로 설치된 경우에 작업자는 트레이를 거치하는 작업에서 수발광센서(29)를 직접 확인할 수 있는 위치에 있으므로 작업중 센서에 트레이가 닿게 되는 일이 줄어들 것이며, 만약 트레이가 센서에 닿아 센서의 기능에 문제가 생기는 경우에도 작업자가 자리를 이동하여 확인하는 등의 번거로움 없이 즉시로 확인하여 교정할 수 있으므로 설비의 진행상 효율을 높일 수 있게 된다.

본 발명에 따르면 작업자가 센서를 가까이 보면서 조작할 수 있고, 트레이가 센서에 부딪히는 것을 미리 막을 수 있으므로 웨이퍼 이송용 용기의 세정작업에서 효율을 높일 수 있게 된다.

Claims (3)

1. 적재된 트레이를 옮겨주는 엘리베이터, 트레이가 적재되는 작업대, 상기 엘리베이터가 상승된 위치에서의 트레이를 감지할 수 있도록 상승위치에서의 상기 작업대 주변으로 설치되는 감지센서 및 순수 샤워장치를 구비하여 이루어지는 웨이퍼 박스 세정기에 있어서,

   상기 감지센서가 작업자의 양 측부에 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이에 대한 감지센서를 구비한 웨이퍼 박스 세정기.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 감지센서는 대향되게 설치되는 수발광센서인 것을 특징으로 하는 트레이에 대한 감지센서를 구비한 웨이퍼 박스 세정기.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 감지센서는 작업자에 가까운 쪽으로 치우치게 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이에 대한 감지센서를 구비한 웨이퍼 박스 세정기.