KR20010025790A - 반도체 제조관리용 카세트 - Google Patents

반도체 제조관리용 카세트 Download PDF

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KR20010025790A
KR20010025790A KR1019990036816A KR19990036816A KR20010025790A KR 20010025790 A KR20010025790 A KR 20010025790A KR 1019990036816 A KR1019990036816 A KR 1019990036816A KR 19990036816 A KR19990036816 A KR 19990036816A KR 20010025790 A KR20010025790 A KR 20010025790A
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Abstract

목적 : 웨이퍼의 공정진행상태를 관리 및 제어하기 위해, 전면개방형도어를 갖는 카세트박스에 ID(Identification)카드를 장착할 수 있도록 ID카드 삽입홈을 형성시킨 반도체 제조관리용 카세트에 관한 것이다.
구성 : 본 발명은, 적어도 하나 이상의 웨이퍼가 수평으로 삽입되는 카세트와, 이 웨이퍼가 로딩 및 언로딩될 수 있도록 탈착되는 전면개방형도어를 가지되 카세트와 일체인 카세트박스를 포함하여 이루어진 반도체 제조관리용 카세트에 적용되는데, 이 반도체 제조관리용 카세트의 고유번호와 공정진행 결과데이터를 판독 및 기록하기 위해, 바코드부와 데이터입출력부를 갖는 ID카드를 장착할 수 있도록 전면개방형도어와 카세트박스에 ID카드 삽입홈을 형성시켜 이루어진 것이다.
효과 : 이에 따라, 카세트박스에 ID카드를 장착함으로써 웨이퍼의 공정진행상태를 효과적으로 관리할 수 있고, 공정진행상태를 온라인으로 파악할 수 있으므로 공정제어가 쉬어진다.

Description

반도체 제조관리용 카세트{Cassette for A Fabrication ＆Administration of Semiconductor}
본 발명은 카세트에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 공정진행상태를 관리 및 제어하기 위해, 전면개방형도어를 갖는 카세트박스에 ID(Identification)카드를 장착할 수 있도록 ID카드 삽입홈을 형성시킨 반도체 제조관리용 카세트에 관한 것이다.
각종 반도체소자가 형성되는 웨이퍼는 운반, 보관 및 공정진행동안 시종일관 최고의 물리적, 화학적 상태를 유지시켜야 한다. 만약 웨이퍼가 제한량 이상의 먼지나 기타 오염물에 노출되면, 반도체소자의 불량율이 높아지게 된다. 따라서, 반도체 제조현장에서는 웨이퍼를 운반, 보관 및 공정진행동안 그 보호를 위해 별도의 웨이퍼 관리장치로서, 웨이퍼를 넣어두는 카세트와 이를 넣어두는 카세트박스를 사용하고 있다.
또한, 자동화된 반도체소자 제조 및 개발과정은, 반도체소자 제조를 위한 설비의 공정 프로그램을 자동화 시스템이 자동으로 지정해 주는 단계, 작업자 또는 로딩장치가 카세트를 설비에 로딩하는 단계 및 공정작업을 실시하는 단계로 이루어진다. 이 때, 작업자 또는 로딩장치가 카세트를 설비에 잘못 로딩하여 공정작업이 잘못 실시되는 것을 방지하기 위해서, 카세트에 바코드를 인쇄 또는 부착시켜 바코드 판독기(Bar Code Reader)로 이를 판독한다.
특히, 웨이퍼의 크기가 대구경화되고 고집적화되고 있는 추세에서, 12인치 등의 대구경 웨이퍼에 대한 공정 실수는 반도체소자의 생산성과 직결되므로 카세트의 고유번호와 공정진행 상태에 관한 데이터를 입출력할 수 있는 ID카드의 장착이 요구되고 있다.
그러면, 종래기술에 따른 카세트에 대해 간단히 설명하기로 한다.
종래의 8인치 웨이퍼를 이송하는 카세트의 경우에, 대부분 카세트와 카세트를 담는 카세트박스가 분리되어 있다. 8인치 웨이퍼의 담는 카세트는 대부분 웨이퍼가 슬롯에 수직으로 삽입되어 있고, 이 웨이퍼를 보호하는 카세트와 카세트박스는 ID를 부여받기 위해 바코드가 새겨져 있다. 카세트는 전면에, 카세트박스는 두껑 상단에 일정크기의 바코드 데이터가 수록된 ID카드가 삽입되어 있다.
또한, 상기 카세트와 카세트박스에 새겨진 바코드를 판독하기 위해 바코드 판독기가 구비되는데, 이 바코드 판독기는 카세트를 로딩하는 설비 로드부의 앞부분(작업자가 위치하는 곳)에 장착되어 있다.
상기와 같이 구성된 종래의 카세트의 이송과정을 간단히 설명하면 다음과 같다.
설비 로드부에 작업자 또는 로딩장치가 웨이퍼가 담겨있는 카세트를 로딩하면, 바코드 판독기는 카세트의 바코드를 판독한다. 이는, 공정작업을 진행함에 있어서 반도체 제조공정 순서가 바뀌는 것을 방지하기 위함이다. 이 후, 카세트는 설비 로드부에서 설비부로 옮겨지고, 이 후 제조공정이 행해진다.
이 때, 바코드 판독은 설비 로드부에 장착된 판독기의 위치에 따라 카세트의 전면을 판독하거나, 카세트박스의 상면을 판독하게 된다.
그런데, 상기 ID카드는 단순히 로트넘버(Lot Number)만을 판독할 뿐 그외의 정보는 수록되어 있지 않으므로 로트의 처리공정 여부 및 위치 등에 관한 정보는 별도로 확인해야 한다. 이를 위해, 공정처리 여부를 런시트(run sheet)라는 페이퍼(paper)를 사용해야 하는 불편이 있었다.
특히, 자동화시스템에서는 카세트 및 카세트박스의 인식을 위해 각각 별도의 바코드를 부착함으로써 이들을 항상 일치시켜야 하므로 관리의 이중성이라는 어려움이 있다. 또한 독립적인 2개부분으로 분리되어 있어, 실제 이것들을 이용하는 작업현장에서는 많은 공간과 관리장치 자체의 무시할 수 없는 무게와 각각을 별도 취급하는데 따른 경비와 빈 박스의 운반과 보관에 따른 작업성의 저하와 보관효율 저하 및 웨이퍼를 이용한 반도체소자의 제조에 치명적인 먼지의 유입문제 등을 발생시키는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 웨이퍼의 공정진행상태의 관리 및 제어를 효율적으로 수행하기 위해, 전면개방형도어를 갖는 카세트박스에 ID(Identification)카드를 장착할 수 있도록 ID카드 삽입홈을 형성시킨 반도체 제조관리용 카세트를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트박스의 관리시스템을 간략히 나타낸 도면,
도 2a는 본 발명에 따른 FOUP 카세트박스의 분해사시도,
도 2b는 본 발명에 따른 FOUP 카세트박스의 후면도,
도 2c는 도 2a의 A를 확대한 도면,
도 2d는 도 2a의 B를 확대한 도면,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 ID카드 삽입틀의 도면이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100 : FOUP 카세트박스 120 : 정면도어
200 : ID카드 210 : 바코드부
220 : 데이터입출력부 300 : ID카드 판독 및 기록장치
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 적어도 하나 이상의 웨이퍼가 수평으로 삽입되는 카세트와, 상기 웨이퍼가 로딩 및 언로딩될 수 있도록 탈착되는 전면개방형도어를 가지되 상기 카세트와 일체인 카세트박스를 포함하여 이루어진 반도체 제조관리용 카세트에 적용되는데, 상기 반도체 제조관리용 카세트의 고유번호와 공정진행 결과데이터를 판독 및 기록하기 위해, 바코드부와 데이터입출력부를 갖는 ID카드를 장착할 수 있도록 상기 전면개방형도어와 카세트박스에 ID카드 삽입홈을 형성시켜 이루어진 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 ID카드에 저장된 내용을 판독 및 기록하기 위해 빔을 조사하는 빔조사부와, 상기 빔조사부에서 입출력되는 신호를 변환 및 처리하는 신호처리수단을 상기 카세트의 이송라인에 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 ID카드의 탈착이 용이하도록 ID카드 탈착홈을 더 형성시킨 것도 더욱 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 설명한다. 여기서, 본 실시예에서는 12인치 웨이퍼를 담는 카세트박스에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 카세트의 관리시스템을 간략히 나타낸 도면이다. 도 1을 참조하면, 참조번호 100은 웨이퍼(WF)를 수평으로 적층하여 설비로 이송할 수 있는 전면개방형도어(Front Open Unified Pod, 이하 FOUP라 함) 카세트박스(100)이고, 참조번호 200은 FOUP 카세트박스(100)에 관한 데이터가 수록된 ID카드(200)이고, 참조번호 300은 ID카드(200)로부터 데이터를 판독 및 기록하는 ID카드 판독 및 기록장치(300)이고, 310 및 320은 다른 공정에서 진행되는 ID카드 판독 및 기록장치(310, 320)들이다. 참조번호 400은 ID카드 판독 및 기록장치(300)에 입출력되는 신호를 처리 및 제어하는 신호처리수단(400)이다. 이 때, ID카드 판독 및 기록장치(300, 310, 320)들은 설비 로드부(500)의 근처에 설치되어 있다.
도 2a는 본 발명에 따른 FOUP 카세트박스의 분해사시도이다. 도 2a를 참조하면, FOUP 카세트박스(100)는 웨이퍼(WF)가 적층되는 카세트 본체(110)와 상기 웨이퍼(WF)가 로딩 및 언로딩될 수 있도록 탈착되는 정면도어(120)로 이루어져 있다. 이 정면도어(120)에는 상기 정면도어(120)를 탈착시 정면도어오프너(미도시)에 부착지지되는 지지삽입홈(121)이 형성되며, 정면도어(120)를 개방하기 위해 키를 삽입하는 키삽입홈(122)이 형성되어 있다. 또한, 정면도어(120)의 중앙에는 ID카드(200)를 삽입시킬 수 있도록 ID카드 삽입홈(123)이 형성되어 있다.
도 2b는 본 발명에 따른 FOUP 카세트박스의 후면도이다. 도 2b를 참조하면, FOUP 카세트박스(100) 후면 측벽 중앙에 ID카드가 부착되어 있다.
도 2c는 도 2a의 A를 확대한 도면이다. 상기 A는 구체적으로 ID카드(200)를 나타내며, 이 ID카드(200)는 FOUP 카세트박스(100)의 고유번호를 나타내는 바코드부(210)와, 공정진행 상태에 관한 데이터를 기록한 데이터입출력부(220)로 이루어져 있다.
도 2d는 도 2a의 B를 확대한 도면이다. 상기 B는 구체적으로 ID카드 삽입홈(123)을 나타내며, 이 ID카드 삽입홈(123)에는, ID카드(200)의 탈착이 용이하도록 ID카드 탈착홈(124)을 형성시키고 있다. 그리고, 이 ID카드 삽입홈(123)에 ID카드(200)가 삽입되어 이탈되지 않도록 ID카드 결합홈(125)이 정면도어(120)에 형성되어 있다. 이를 위해 ID카드(200) 후면에 결합돌출부(미도시)가 형성될 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 ID카드 삽입틀의 도면이다. 도 3을 참조하면, 기존의 FOUP 카세트박스에 ID카드 삽입틀(600)을 스크류(미도시)로 고정하고, 여기에 ID카드를 삽입할 수 있게 되어 있다. 이 ID카드 삽입틀(600)은 정면도어오프너(미도시)가 정면과 밀착되므로 정면도어에는 부적당하며, FOUP 카세트박스의 후면에 결합하여 사용한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 FOUP 카세트박스의 이송과정을 도 1 내지 도 3을 참조하여 간단히 설명한다.
설비 로드부(500)에 작업자 또는 로딩장치가 웨이퍼(WF)가 담겨있는 FOUP 카세트박스(100)를 로딩하면, ID카드 판독 및 기록장치(300)는 FOUP 카세트박스(100)의 바코드부(210) 및 데이터입출력부(220)를 판독한다. 이 FOUP 카세트박스(100)의 바코드부(210)와 데이터입출력부(220)의 판독결과, 공정순서가 맞다고 판단되면 FOUP 카세트박스(100)를 설비 로드부(500)에서 설비부로 이송한다. 상기 설비부에 장착된 정면도어오프너(미도시)가 정면도어(120)를 개방하고, 웨이퍼(WF)를 로딩하여 해당공정을 진행한다.
상기 해당공정이 완료되면 웨이퍼(WF)는 FOUP 카세트박스(100)로 언로딩되고 이후, 상기 설비부에서 다음 공정을 진행하기 위해 설비 로드부(500)로 이송된다.
설비 로드부(500)로 이송된 FOUP 카세트박스(100)는 ID카드 판독 및 기록장치(300)에서 수행한 공정에 관한 데이터를 기록한다. 이 때, 상기 데이터의 기록은 레이저를 통해 이루어진다. 이 공정수행 데이터는 신호처리수단(400)으로 입력되고 관리자가 웨이퍼(WF)의 공정수행 결과와 위치를 파악한다.
상기와 같이, FOUP 카세트박스(100)에 ID카드(200)를 장착하여 FOUP 카세트박스(100) 관리가 쉬어지며, 공정진행 상태를 파악할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면, FOUP 카세트박스에 ID카드를 장착하여 FOUP 카세트박스의 고유번호와 공정진행 상태를 파악함으로써 FOUP 카세트박스를 온라인으로 관리할 수 있고, 이에 따라, 공정실수를 방지함으로써 반도체소자의 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 많은 변형이 실시 가능함은 명백하다.

Claims (3)

  1. 적어도 하나 이상의 웨이퍼가 수평으로 삽입되는 카세트와, 상기 웨이퍼가 로딩 및 언로딩될 수 있도록 탈착되는 전면개방형도어를 가지되 상기 카세트와 일체인 카세트박스를 포함하여 이루어진 반도체 제조관리용 카세트에 있어서,
    상기 반도체 제조관리용 카세트의 고유번호와 공정진행 결과데이터를 판독 및 기록하기 위해, 바코드부와 데이터입출력부를 갖는 ID카드를 장착할 수 있도록 상기 전면개방형도어와 카세트박스에 ID카드 삽입홈을 형성시켜 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조관리용 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 ID카드에 저장된 내용을 판독 및 기록하기 위해 빔을 조사하는 빔조사부와, 상기 빔조사부에서 입출력되는 신호를 변환 및 처리하는 신호처리수단을 포함하는 ID카드 판독 및 기록장치를 상기 카세트의 이송라인에 설치하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조관리용 카세트.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 ID카드의 탈착이 용이하도록 ID카드 탈착홈을 더 형성시킨 것을 특징으로 하는 반도체 제조관리용 카세트.
KR1019990036816A 1999-09-01 1999-09-01 반도체 제조관리용 카세트 KR20010025790A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109273384A (zh) * 2018-09-07 2019-01-25 上海华岭集成电路技术股份有限公司 适用于检测装载晶圆料盒的调节装置

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