KR20020078357A - 반도체 제조 공정시의 데이터 저장 시스템 및 데이터 저장방법. - Google Patents

Abstract

반도체 공정의 진행시에 정확한 데이터를 저장할 수 있는 시스템과 데이터 저장 방법이 개시되어 있다. 반도체 공정 진행에 관한 데이터가 입출력되는 메모리 칩이 내장되고, 상기 메모리 칩에 입력된 데이터를 보여주기 위한 디스플레이부를 포함하는 메모리 카드와 상기 메모리 카드에 내장된 메모리 칩으로 데이터를 입출력하기 위해 각각의 공정 장치와 연결되어 개별적으로 설치되는 입출력 장치를 포함하는 데이터 저장 시스템이 제공된다. 따라서 상기 입출력 장치를 통해 공정 데이터가 상기 메모리 카드로 저장되기 때문에 따로 공정 진행 사항이나 데이터를 기록할 필요가 없다. 그러므로 작업자의 실수나 오기에 의해 발생할 수 있는 불량을 미연에 방지하고, 공정 시간도 단축할 수 있다.

Description

반도체 제조 공정시의 데이터 저장 시스템 및 데이터 저장 방법.{System for storage of data and Method for the same in semiconductor process}

본 발명은 반도체 제조 공정시의 데이터 저장 시스템 및 데이터 저장 방법에관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 제조 공정의 진행사항과 공정 진행 중에 발생하는 데이터를 저장하기 위한 데이터 저장 시스템 및 데이터 저장 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장치는 실리콘으로 형성되는 웨이퍼상에 리소그래피, 노광, 이온주입, 화학 기계적 연마, 화학 또는 물리적 증착 및 플라즈마 에칭 등과 같은 일련의 단위 공정들을 설정된 공정 조건하에서 공정 순서에 맞게 수행함으로서 제조된다. 상기 반도체 제조 공정을 진행할 때, 각 단계별로 수행되는 단위 공정들을 실수없이 순차적으로 진행하기 위해 작업자는 상기 반도체 제조 공정의 진행 사항이나 공정 중에 발생하는 각종 데이터를 기록하면서 상기 단위 공정들을 진행한다.

종래에는 상기 각종 데이터들을 기록하는 란이 마련되어 있는 종이 런시트(run sheet)에 작업자가 직접 상기 공정 진행사항 및 각종 계측 데이터를 필사로 기록하면서 공정을 진행하였다. 상기 반도체 공정은 일반적으로 웨이퍼 25매로 구성되는 런 단위로 진행되기 때문에, 상기 런 시트는 한 런에 대해 각종 데이터를 기록할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고 상기 공정 진행 및 각종 계측 데이터는 네트워크로 연결된 서버에 입력되어 관리하였다.

그러나 상기 공정 진행 및 계측 데이터를 서버로 입력할 때 상기 서버가 다운되어 응답하지 않을 경우, 상기 서버를 복구할 때까지 더 이상 공정 진행을 하지 못하게 되는 문제점이 있다. 그리고 작업자가 직접 종이 런시트에 계측 데이터 및 공정 진행사항을 기록하고, 공정을 진행하기 때문에, 기재의 오류가 발생하거나 또는 미기재하는 경우가 발생할 가능성이 있다. 상기 작업자의 기재의 실수로 인해 공정을 잘못 진행하였을 경우에는, 한 런 전체를 폐기하여야 하는 심각한 손실을 유발하기도 한다. 또한 작업자의 인력과 시간이 소요되므로 생산성을 저하시킨다. 상기 종이 런시트는 재사용이 불가능하고, 한번 사용후 폐기하여야 하므로 비용의 증가가 발생하는 문제점이 있다.

따라서 본 발명의 제1 목적은 반도체 공정의 진행시에 정확한 데이터를 저장할 수 있는 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 제2 목적을 반도체 공정의 진행시에 정확한 데이터를 저장할 수 있는 방법을 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 시스템의 부재인 메모리 카드를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 시스템의 전체적인 구성도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 방법을 설명하기 위한 공정도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 메모리 카드 12 : 카드 기판

14 : 메모리 칩 16 : 디스플레이부

18 : 입출력 장치 20 : 네트워크 서버

22 : 컴퓨터

상기 제1 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체 공정 진행사항 및 데이터가 입출력되는 메모리 칩이 내장되고, 상기 메모리 칩에 입력된 데이터를 보여주기 위한 디스플레이부를 포함하는 메모리 카드와, 상기 메모리 카드에 데이터를 입출력하고, 각각의 공정 장치와 연결되어 개별적으로 설치되는 입출력 장치를 포함하는 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 시스템을 제공한다.

상기 제2 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 메모리 칩이 내장된 메모리 카드를 공정 장치와 연결되어 있는 입출력 장치에 삽입하는 단계와, 상기 메모리 카드에 해당되는 런에 반도체 단위 공정을 진행하는 단계와, 상기 공정 진행중에 발생되는 데이터를 상기 입출력 장치를 통해 상기 메모리 카드로 저장하는 단계를 수행하여 반도체 장치 제조시의 데이터를 자동으로 저장하는 방법을 제공한다.

따라서 상기 메모리 칩이 내장되어 있는 메모리 카드에 상기 각각의 공정 장치로부터 제공되는 데이터를 저장함으로서 오류없이 공정을 진행할 수 있으며, 데이터 기록하는 시간이 따로 필요하지 않기 때문에 공정 진행 시간이 단축되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라서 더욱 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 시스템의 부재인 메모리 카드를 설명하기 위한 사시도이다.

상기 메모리 카드는 25매의 웨이퍼로 구성되는 한 런에 대해 공정을 진행하면서 발생되는 각종 데이터를 저장하고, 공정 진행사항을 작업자가 확인하기 위한 것이다. 상기 메모리 카드에 저장되는 데이터는 종래의 런시트에 기재되는 데이터를 포함한다. 따라서 상기 메모리 카드는 진행되는 각각의 런에 하나씩 구비되고, 상기 런의 진행사항과 정보들을 제공한다.

도 1를 참조하면, 직사각형 형태를 갖는 카드 기판(12)이 구비된다. 그리고 상기 카드 기판(12)에는 반도체 공정 진행사항, 계측 데이터, 시간 등을 입출력하기 위한 메모리 칩(14, memory chip)이 내장되어 있다. 상기 메모리 칩(14)은 입, 출력 장치를 구비하여 데이터를 읽고 쓸 수 있는 집적 회로이다. 상기 메모리 칩(14)은 전원을 공급하지 않아도 쓰여진 데이터를 계속 저장할 수 있는 반도체 장치를 사용하며 일 예로 EEPROM을 사용할 수 있다. 상기 메모리 칩(14)은 종래의 런시트에 기재하였던 데이터들을 바이너리(binary) 형태로 저장한다. 상기 메모리 칩(14)에 데이터들을 입,출력하기 위한 입출력 장치에 대해서는 후술하기로 한다.

상기 카드 기판(16)의 일면에는 메모리 칩(14)과 전기적으로 연결되고, 상기 메모리 칩(14)에 입력된 데이터를 보여주기 위한 디스플레이부(16)가 구비된다. 상기 디스플레이부(16)는 상기 메모리 칩(14)에 입력된 가장 최근의 데이터 및 런 진행시에 필요한 기본적인 데이터를 디스플레이 하도록 설정되어 있다. 따라서 공정을 진행하는 작업자가 상기 메모리 카드(10)의 다스플레이부(16)를 확인함으로서 런의 현재 진행사항 및 기본 정보를 바로 알 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 시스템의 전체적인 구성도이다.

도 2를 참조하면, 반도체 공정 진행사항, 계측 데이터, 공정 진행 시간 등을 입출력하기 위한 메모리 칩(14)이 내장되어 있는 메모리 카드(10)가 구비된다. 상기 메모리 카드(10)의 일면에는 상기 메모리 칩(14)에 저장되는 공정 및 계측 데이터를 확인하기 위한 디스플레이부(16)가 형성되어 있다.

그리고 상기 메모리 카드(10)에 상기 반도체 공정 진행사항, 계측 데이터, 공정 진행 시간 등을 입,출력하기 위한 입출력 장치(18)가 구비된다.

상기 입출력 장치(18)는 각각의 단위 공정들을 수행하기 위한 다수의 공정 장치 및 계측 장치들과 각각 연결하여 개별적으로 설치되어 있다. 따라서 상기 공정 장치 및 계측 장치에서 공정을 수행하는 중에 발생되는 각 데이터들은 상기 입출력 장치(18)를 통해 상기 메모리 카드(10)에 내장된 메모리 칩(14)에 자동으로입력된다. 상기 입력된 데이터는 상기 메모리 카드(10)의 디스플레이부(16)에 표시되어 작업자에 의해 확인할 수 있다. 필요시에는 상기 입출력 장치(18)를 사용하여 공정 수행시에 발생하는 사항들에 대해 작업자가 직접 상기 메모리 카드(10)에 입력할 수도 있다.

상기 입출력 장치(18)는 상기 각 런의 진행을 관리하는 네트워크 서버(20)에 연결된다. 또한 상기 입출력 장치(18)는 데이터를 관리하기 위한 컴퓨터(22)에 연결된다.

따라서 상기 입출력 장치(18)를 사용하여 상기 공정 진행 및 계측 데이터를 상기 메모리 카드(10)에 저장함과 동시에, 상기 네트워크 서버(20) 및 컴퓨터(22)에 상기 데이터들을 저장한다. 그러므로 상기 네트워크 서버가 다운(down)되더라도, 상기 입출력 장치에 의해 상기 데이터들이 상기 메모리 카드(10) 및 컴퓨터(22)에 저장되기 때문에 공정을 계속 진행할 수 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 제조시의 데이터 저장 방법을 설명하기 위한 공정도이다.

반도체 단위 공정을 수행하기 이전에, 공정을 진행할 런에 해당되는 메모리 카드를 단위 공정 장치와 연결되어 있는 입출력 장치에 삽입한다.(S10) 상기 메모리 카드는 상기 해당되는 런의 진행 정보 및 계측 데이터를 저장하고 작업자에게 알려준다.

상기 런에 해당되는 각각의 웨이퍼에 반도체 제조를 위한 단위 공정을 수행한다.(S12) 상기 단위 공정을 수행하면 공정 수행 중에 공정 진행 및 계측에 관한데이터들이 발생하고, 상기 데이터들은 상기 공정이 수행되는 장치에서 제공된다.

상기 공정 장치에서 제공되는 공정 진행 및 계측 데이터들은 상기 입출력 장치를 통해 상기 메모리 카드에 입력한다.(S14) 상기 메모리 카드로의 데이터 입력은 상기 런에 공정이 수행되어 상기 공정 장치에서 데이터들이 제공됨과 동시에 자동으로 이루어진다.

또한 상기 입출력 장치와 연결된 네트워크 서버 및 컴퓨터에 상기 공정 진행 및 계측 데이터들을 저장한다.(S16, S18)

따라서 공정 장치로부터 디스플레이되는 공정 진행사항이나 계측 데이터를 작업자기 필사로 런시트에 기재하였던 방법과는 달리, 메모리 카드에 상기 공정 진행사항이나 계측 데이터를 저장함으로서 기재의 오류나 미기재하는 실수를 방지할 수 있다. 또한 작업자가 직접 기재함으로서 발생하였던 인력 및 시간의 소모를 감소하면서 정확하게 상기 데이터들을 저장할 수 있다.

따라서 본 발명에 의하면, 웨이퍼에 공정을 수행함과 동시에 공정 진행 및 계측 데이터가 메모리 카드에 저장된다. 따라서 종래에 작업자가 직접 기재하였던 방법에 비해 정확하게 데이터를 저장할 수 있으며, 시간의 소모도 감소할 수 있다. 그리고 상기 런 진행이 종료되면 상기 메모리 카드에 입력된 데이터를 지우고, 재사용할 수 있다. 또한 상기 네트워크 서버 뿐 아니라 컴퓨터에도 상기 공정 진행 및 계측 데이터들을 저장함으로서, 상기 네트워크 서버가 다운될 경우에도 계속 공정을 진행할 수 있어서 반도체 장치의 생산성이 향상되는 효과가 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (6)

1. 반도체 공정 진행에 관한 데이터가 입출력되는 메모리 칩이 내장되고, 상기 메모리 칩에 입력된 데이터를 보여주기 위한 디스플레이부를 포함하는 메모리 카드;

   상기 메모리 카드에 내장된 메모리 칩으로 데이터를 입출력하기 위해 각각의 공정 장치와 연결되어 개별적으로 설치되는 입출력 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조시의 데이터 저장 시스템.
2. 제 1항에 있어서, 상기 입출력 장치는 상기 입출력 장치에서 입출되는 데이터를 관리하는 컴퓨터 및 네트워크 서버와 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조시의 데이터 저장 시스템.
3. 제 1항에 있어서, 상기 입출력 장치는 런의 진행 및 계측 데이터를 상기 공정 장치로부터 제공받고, 상기 메모리 카드에 내장된 메모리 칩으로 입력하도록 설치하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조시의 데이터 저장 시스템.
4. 제 1항에 있어서, 상기 메모리 칩에 포함된 디스플레이부는 상기 런의 현재 진행 데이터 및 기본 정보를 디스플레이하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조시의 데이터 저장 시스템.
5. 메모리 칩이 내장된 메모리 카드를 공정 장치와 연결되어 있는 입출력 장치에 삽입하는 단계;

   상기 메모리 카드에 해당되는 런에 공정을 진행하는 단계;

   상기 공정 진행중에 발생되는 데이터를 상기 입출력 장치를 통해 상기 메모리 카드로 저장하는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조시의 데이터 저장 방법.
6. 제 5항에 있어서, 상기 공정 진행중에 발생되는 데이터를 상기 입출력 장치를 통해 상기 메모리 카드에 저장함과 동시에, 네트워크 서버 및 컴퓨터에도 저장하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치 제조시의 데이터 저장 방법.