KR20010022111A - 작업편 처리 시스템용 구동 조립체 - Google Patents

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KR20010022111A
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옥자르즈 알렉산더
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세미툴 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 마이크로일렉트로닉 작업편 처리용 장치(10)에 관한 것이다. 본 장치(10)는 처리 챔버를 구획형성하는 용기(12)를 포함한다. 용기(12)는 프레임(50)과 고정 정렬된다. 작업편 지지 구조체(15)는 처리 챔버내에서 회전하도록 장착된다. 구동 조립체(21)는 처리 챔버 외부에 배치되며 작업편 지지 구조체(15)를 회전시킨다. 구동 조립체(21)는 전동 모터 및 모터와 프레임(50) 사이에 결합된 적어도 하나의 완충 부재(155)를 포함한다. 모터는 회전축(29) 둘레를 회전하는 샤프트를 포함한다. 완충 부재(155)는 회전축(29)에 수직한 성분을 포함한 진동력에 반응하여 회전축(29)에 수직한 거의 모든 방향으로 그리고, 보다 덜한 정도로는, 회전축(29)에 평행한 성분을 포함한 진동력에 반응하여 회전축(29)에 평행한 방향으로 탄성 변형한다.

Description

작업편 처리 시스템용 구동 조립체 {DRIVE ASSEMBLY FOR A WORKPIECE PROCESSING SYSTEM}
본 발명은, 반도체 마이크로일렉트로닉(microelectronic) 작업편 또는 유리 포토마스크 플레이트(photomask plate)와 같은, 마이크로일렉트로닉 작업편을 처리하기 위한 장치에 관한 것이다. 좀더 자세하게는, 본 발명은 작업편 처리 수율(yield)을 개선시킨 마이크로일렉트로닉 작업편 처리 시스템용 직류 구동 모터 조립체에 관계된다.
집적 회로 및 기타 마이크로일렉트로닉 구성 요소의 제조에서, 회로가 절단되는 반도체 웨이퍼(wafer) 또는 기판과 같은, 마이크로일렉트로닉 작업편은 여러 단계를 거쳐 처리된다. 작업편 기판용 기초 재료는 실리콘(silicon), 유리, 또는 여러 종류의 세라믹(ceramic) 물질 또는 매우 얇은 웨이퍼와 유사한 형상의 기타 유사 물질일 수 있다. 이러한 기초 기판에는 코팅(coating), 식각, 및 세정 처리가 이루어지고 각 처리 단계는 최대로 가능한 수율을 지니고 실행됨으로써 제조 비용을 낮추는 것이 매우 중요하다.
반도체 웨이퍼 및 유리 포토마스크 플레이트는 웨이퍼 또는 마스크가 진공 척(chuck)과 같은 여러가지 조임 기구를 지니는 미국 특허 제 3,760,822 호에 기술된 바와 같이 수직하게 기둥으로 박힌 수직축에 관하여 웨이퍼 및 플레이트를 회전시킴으로써 처리되었다. 이것은 웨이퍼가, 상부측이 하부측의 비율보다 훨씬 빠른 비율로 처리하는, 상당히 다른 처리 비율없이 일시에 일면상에서만 처리될 수 있다는 부가적인 단점들을 발생시켰다.
미국 특허 제 3,970,471 호에 기술된 바와 같은 기타 처리 장치는, 개별적으로 각 웨이퍼를 처리한다. 웨이퍼가 수평축에 관하여 회전되더라도, 상기 장치는 고비용이고 시간 소모적일 수 있는 각 스테이션(station)에서 하나의 웨이퍼만을 처리할 수 있다.
상기된 다수의 문제점들을 제거시키기 위해, 본 발명의 양수인은 웨이퍼 처리 시스템 및 1981년, 11월 17일 발행된, "원심 웨이퍼 처리 장치(Centrifugal Wafer Processor)"라는 명칭의 미국 특허 제 4,300,581 호에 기술되고 청구된 시스템을 개발하였다. 본문에 기술된 발명은 운반체에서 동시에 복수의 웨이퍼들이 처리되게 한다. 상기 발명에 따라, 반도체 웨이퍼 또는 유리 포토마스크 플레이트와 같은, 마이크로일렉트로닉 작업편은 운반체로 그것들을 삽입시키고, 실질적으로 수평축 둘레를 회전하는, 회전체에 운반체를 위치시킴으로써 처리된다. 여러가지 액체는 작업편이 회전되는 동안 분무 노즐(nozzle)을 통해 균일하게 작업편에 도포될 수 있다.
상기 시스템은 운반체가 삽입된 용기를 지지하는 프레임(frame)으로부터 수직하게 연장하는 고정된 완충기를 포함한다. 완충기는 운반체로 진동 에너지 전달의 감소를 지원한다. 진동 에너지 전달의 감소는 작업편이 기계적 응력 및 변형의 손상에 노출되지 않으므로 더 높은 처리 수율을 용이하게 한다. 본 발명자는 직류 구동 모터 조립체와 연관된 하나 이상의 완충 구조체를 구비하는 직류 구동 모터 조립체를 사용하여 진동 에너지 전달을 감소시키는 추가적 방법을 인지하였다.
선행 장치에 존재하는 또 다른 문제점은, 처리액과 같은, 물질에 노출되는 것으로부터 모터를 격리시키는 모터의 밀봉이다. 본 발명자는 모터의 로우터에 관하여 적극적 밀봉을 공급함으로써 이 문제에 독특한 해결책을 제시하였다.
발명의 간단한 요약
반도체 웨이퍼와 같은, 마이크로일렉트로닉 작업편을 처리하기 위한 장치가 기술된다. 본 장치는 처리 챔버(chamber)를 구획 형성하는 처리 용기를 포함한다. 처리 용기는 프레임과 고정 정렬되어 있다. 적어도 하나 이상의 작업편을 지지하는 작업편 지지 구조체는 처리 챔버 내부에 회전하도록 장착되어 있다. 모터 구동 조립체는 처리 챔버 외부에 배치되고 작업편 지지체를 회전시키도록 결합된다. 모터 구동 조립체는 전동 모터 및 전동 모터와 프레임 사이에 결합된 적어도 하나 이상의 완충 부재를 포함한다. 전동 모터는 회전축에 관하여 회전하는 로우터 샤프트를 포함하는 것이 바람직하다. 완충 부재는 로우터 샤프트의 회전축에 수직한 거의 모든 방향으로 탄성 변형된다.
본 발명의 부가적인, 독립적으로 유일한 관점에 따라, 적극적 밀봉이, 처리액과 같은 물질이 모터 로우터의 영역에서 모터로 유입되는 것을 방지하도록 공급된다. 이러한 단부까지, 전용 나사산이 모터의 로우터 샤프트의 단부에서 공급된다. 부재는 로우터의 단부에서 전용 나사산을 실질적으로 둘러싼다. 공동으로, 부재는 로우터와 더불어 챔버를 구획 형성한다. 로우터 및 나사산의 회전은 이물질이 모터로 유입되는 것의 방지를 지원한다.
도 1은 모터 장착 및 본 발명의 적극적 밀봉을 채용할 수 있는 마이크로일렉트로닉 작업편 처리 장치의 한가지 실시예의 사시도,
도 2는 도 1의 장치에 사용하기 위한 웨이퍼 운반체의 로우터 조립체,
도 3은 도 1의 장치에 사용된 용기, 모터 조립체, 및 프레임의 한가지 실시예의 사시도,
도 4는 도 3의 구성품의 분해도,
도 5는 본 발명의 한가지 실시예에 따라 구성된 모터 조립체의 분해도,
도 6은 도 5의 구성품을 사용하여 구성된 모터 조립체의 측면, 단면도,
도 7 및 도 8은 도 6의 모터 조립체에 사용하는 데에 적합한 로우터 샤프트의 한가지 실시예를 도시,
도 9-11은 도 5 및 도 6에 도시된 모터 조립체의 실시예에 사용된 완충 조립체의 여러가지 도면.
지금 도면을 참조하면, 반도체 웨이퍼와 같은, 작업편을 처리하기 위한 예시적인 장치(10)가 도 1에 도시된다. 이러한 장치는 본 발명의 직류 모터 구동이 사용될 수 있는 단순히 한가지 유형의 마이크로일렉트로닉 작업편 처리 장치이다. 본 발명의 직류 모터 구동을 채용할 수 있는 다른 유사 처리 장치가 1991년, 6월 11일에 발행되고 본 발명의 양수인에게 양도된, "린서 건조기 시스템(Rinser Dryer System)"이라는 명칭의, 미국 특허 제 5,022,419 호에 기술된다. '581호 및 '419호 특허 모두의 교시가 참고로 인용된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 전형적인 장치(10)는 다소 직사각형의 외부 형상 및 전방 개구를 구비한다. 이러한 스타일의 장치는, 반도체 웨이퍼가 본 장치에 위치되는 방식을 나타내는, 전방-로딩(loading) 처리 장치로 호칭된다. 본 장치(10)는, 전방 개구(13)를 지니는 고정된 용기(12)를 수용하는, 도면 부호 11로 통상 표시된, 프레임 및 캐비닛(cabinet) 조립체를 포함한다. 프레임상에서 힌지 결합된 도어(hinged door)(14)는 용기 개구(13)에 관하여 밀봉되도록 배치되어 용기 및 도어로 밀봉된 처리 챔버를 공급한다. 용기(12)는 스테인리스 강과 같은 부식 및 용제 내성 재료로 구성됨이 바람직하고, 처리 주기중에 처리액의 제거를 위해 저면부에 드레인(drain)을 지니는 원통형이다.
운반체 로우터(15)는 용기(12)내에 동심으로(concentrically) 배치된다. 운반체 로우터는 지지 부재(26), 지지 로드(rod)(28), 및 지지 링(ring)(25)을 포함한다. 운반체 로우터(15)는 공지된 방식으로 회전축(29)에 관하여 회전하기 위해 용기(12)내에서 지지된다.
도 3은 여러개의 캐비닛 패널(panel)이 제거된 장치(10)의 상부(30)의 주요 작동 구성품을 도시한다. 도시된 바와 같이, 운반체 로우터(15)는 장치가 조립되는 경우 운반체 로우터(15)의 회전축(29)과 일치하는 회전축(31)을 가지는 로우터 샤프트를 구비하는 전동 모터 조립체(21)에 직접 또는 간접적으로 커플(couple)된다. 모터 조립체(21)는 용기(12)내에 운반체 로우터(15)의 제어된 회전 구동을 공급한다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 용기(12)는 고정되고 프레임(50)에 결합된다. 소정 시스템에서, 프레임(50)은 캐비닛(55)내에서 완충기(17)(도 1)에 의해 진동에 대해 지지될 수 있다. 용기(12)에는 운반체(38)에 의해 처리 챔버에서 지지되는 웨이퍼를 향해 처리액을 분사하도록 운반체 로우터(15)의 지지 부재(26)상에 배치되고 부재에 평행한 복수의 분무 부재들(33)이 공급된다. 지지 부재(26) 및 지지 로드(28)는, 운반체(38)를 위한 외측 지지체를 공급하도록, 도 2에 도시된 바와 같이 지지 링(25)에 커플된다.
프레임(50)은 용기(12)와 고정하기 위한 부착용 러그(lug)(70)를 지니는 절단부(65)를 구비하는 전방 단부(60)를 포함한다. 프레임(50)은 전동 모터 조립체(21)를 수용하도록 형성된 모터 지지 하부-프레임(75)을 더 포함한다. 모터 지지 하부-프레임(75)은 모터 조립체(21)의 외측 플랜지(flange) 부재(85) 및 모터 조립체(21)의 일부분을 프레임(50)내에 고정되도록 하는 요면 절단부(90)와 고정하기 위한 수단을 공급하는 러그(80)를 포함한다.
도 5는 모터 조립체(21)의 여러가지 개별 구성품의 분해도를 도시하는 반면에 도 6은 조립된 모터 조립체(21)의 단면도를 도시한다. 도시된 바와 같이, 모터 조립체(21)는 모터 로우터 조립체(95) 및 모터 고정자 조립체(100)를 포함한다. 모터 로우터 조립체(95)는 운반체 로우터(15)와 직접 또는 간접 결합을 위한 근접 단부(110)를 가지는 중심 로우터 샤프트(105)를 포함한다. 전용 나사산(115)은 근접 단부(110)에서 로우터 샤프트(105)의 외측면에 공급된다. 예를 들면, 스테인리스 강으로, 제조된 유지 부재(120)는 샤프트(105)의 근접 단부상에 배치되고 로우터 조립체(95)의 다른 노출된 단부와 밀봉된다. 부재(120)는 전용 나사산(115)의 외측 직경에 근접하게 고정된다. 직접 접촉은 전용 나사산(115) 및 부재(120) 사이에서 형성되지 않는 것이 바람직하다. 부재(120)의 내표면은 샤프트(105)의 근접 단부와 챔버를 구획 형성한다. 작동중에, 샤프트(105) 및 전용 나사산(115)의 회전 운동은 강제로 샤프트(105)에 근접한 소정 처리액을 모터 조립체로부터 이격되게 하고 용기(12)에 복귀시킨다. 본문에 사용된 중심 회전 샤프트(105)의 특정 실시예에 관련하는 더욱 세부적인 사항은 도 7 및 도 8의 도면으로부터 명백해진다.
모터 로우터 조립체(95)는 고정자 조립체(100)의 중심 개구에 배치되고 고정자 조립체(100)의 장착면(130)에 맞물리고 고정되는 그 조립체의 근접 단부에서 플랜지(125)를 구비한다. 모터 로우터 조립체(95)의 종단부(135)는 단부 플레이트(plate)(140)에 맞물리도록 고정자 조립체(100)의 종단부 이상으로 연장한다.
본 장치(10)의 작동중에, 진동 에너지가 생성된다. 진동 에너지는 장치(10) 외부에 생성되어 운반체(15) 및 웨이퍼(150)로 전달될 수 있으며, 추가적으로는, 예를 들면, 용기(12)에서 회전 부재의 불안정 때문에 내부적으로 생성될 수도 있다. 이 진동 에너지는 웨이퍼(150)로의 이 에너지의 전달을 제한하도록 예방 조치가 이루어지지 않는다면 운반체 로우터(15)의 웨이퍼(150)를 손상시킬 수 있다. 이 단부에, 모터 조립체(21)에는 모터 조립체(21)의 근접 및 종단부 모두에 배치된 완충 부재(155)가 공급된다. 도 3 및 도 4에 가장 양호하게 도시된 바와 같이, 이들 완충 부재(155)는 처리 장치(10)의 프레임(50)에 모터 조립체(21)를 장착시킴으로써 모터 조립체(21)가 운반체 로우터(15) 및 웨이퍼(150)에 진동 에너지를 전달하는 것의 방지를 지원하고, 추가적으로는, 프레임(50)으로부터 진동 에너지를 수용하게 하도록 사용된다. 상기 차단은 결국 운반체 로우터(15) 및 웨이퍼(150)에 의해 흡수되는 진동 에너지량을 제한한다.
도 9-11에 도시된 바와 같이, 완충 부재(155)는 3가지 부분들로 구성된다: 외측 플랜지 부재(85), 완충 웹(170), 및 모터 장착 부재(175). 외측 플랜지 부재(85)는 중심 개구(180) 및 대향으로 연장하는 장착용 귀(ear)(185)를 포함한다. 각 장착용 귀(185)는 프레임(50)에 플랜지 부재(85)를 고정시키기 위한 고정부를 수용하기 위한 개구(190)를 포함한다. 도시된 실시예의 모터 장착 부재(175)는 통상 형상이 원형이고 고정자 하우징(housing)(100)의 표면 및 로우터 조립체(95)의 플랜지(125)에 모터 장착 부재(175)를 고정시키기 위해 개구를 통해 고정부를 수용하도록 그 부재의 원주에 관하여 배치된 복수의 개구들을 갖는다. 모터 장착 부재(175)는 외측 플랜지 부재(85)의 중심 개구(180)의 내경보다 더 작은 소정 정도의 외경을 갖는다. 직경차는 외측 플랜지 부재(85) 및 모터 장착 부재(175)가 그 부재들 사이의 간극 영역에 관해 연장하고, 바람직하게는, 영역을 차지하는 완충 웹(170)과 서로 동심으로 장착되도록 한다. 도시된 실시예에서, 완충 부재(155)는 고정자 하우징(130) 및 로우터 조립체(95)에 관하여 궁극적으로 장착되어서 외측 플랜지 부재(85) 및 모터 장착(175) 모두의 개구 중심이 로우터 샤프트(105)의 회전축(31)과 일치한다. 본문에서 논의된 상기 형상 및 동심성은 단지 모터 조립체의 한가지 실시예를 예증한다는 것이 인지된다.
도 11을 자세히 참고하면, 완충 웹(170)은 외측 플랜지 부재(85)와 맞물리고 고정시키는 외부 립(lip)(200) 및 모터 장착 부재(175)와 맞물리고 고정시키는 내부 립(205)을 포함한다는 것이 도시될 수 있다. 중간 아치(arch)형부(210)는 외부 립(200) 및 내부 립(205) 사이의 영역에서 완충 웹(170)에 관하여 원주로 연장된다. 완충 웹(170)은 진동력이 가해지지만 힘의 제거시에 그것의 정상 형상으로 일관되게 복귀하는 경우 변형을 통해 에너지를 흡수할 수 있는, 우레탄(urethane)과 같은, 탄성 재료로 제조됨이 바람직하다. 본문에 도시된 특정 형상은 로우터 샤프트(105)의 회전축(31)에 통상 평행한 220 및 225와 같은 방향으로 소정 정도까지 탄성 변형할 수 있다. 그러나, 상당한 탄성 변형은 회전축(31)에 통상 수직한, 230 및 235에서와 같은, 방향을 따라 발생한다. 상기와 같이, 완충 웹(170)은 회전축(31)을 따르고 축에 수직한 진동력에 대응하여 탄성 변형함으로써 모터 장착 부재(175), 고정자 조립체(100), 및 로우터 조립체(95)로부터 외측 플랜지 부재(85) 및 프레임(50)을 효과적으로 격리시킨다. 상기 차단은 웨이퍼(150)에 궁극적으로 도달하는 잠재적으로 해로운 기계적 에너지량을 감소시킨다. 결과적으로 웨이퍼 처리 수율은 증가됨으로써, 매우 경제적이고 유리하게 본 발명이 사용되게 한다.
본 장치(10)의 작동시에, 운반체(38)내 반도체 웨이퍼는 도 2에 도시된 대로 운반체 로우터(15)의 지지 부재(26)에 위치된다. 도 2에 도시된 대로, 지지 로드(28)는 운반체 로우터(15)가 상대적으로 저 알피엠(RPM)으로 회전하는 경우 운반체(38)내 반도체 웨이퍼를 유지시킨다. 운반체 로우터(15)의 회전 속도가 증가함에 따라, 반도체 웨이퍼(150)는 원심력으로 제자리에 고정된다. 반도체 웨이퍼(150)는 분무 부재(33)를 통해 여러 용액을 도포하여 처리된다. 운반체 로우터(15)는 실질적으로 회전축(29) 둘레를 회전한다. 운반체 로우터(15)의 회전축은 모터 조립체(21)의 로우터 샤프트(105)의 회전축과 일치한다.
회전축의 이러한 각도는 반도체 웨이퍼가 처리중에 서로 접촉하는 것을 방지하도록 정확한 수평보다 더 크거나 작은 것이 바람직하다. 반도체 웨이퍼 또는 마스크가 처리중에 서로 접촉한다면, 저 수율로 귀결되는 접촉 면적에서 반도체 웨이퍼 또는 마스크의 처리를 방해하는 표면 장력이 형성될 수 있다. 본문에 도시된 바람직한 실시예에서, 회전축의 각도는 수평상에서 약 10도 정도이다. 이것은 반도체 웨이퍼 적재의 용이함을 더해 주고 각도의 결과로서, 운반체(38)는 운반체(38)가 장치(10)에서 이탈하는 것을 방지하는 유지 장치의 필요함없이 지지 부재(26)로 용이하게 활주한다.
운반체 로우터(15)에 의한 반도체 웨이퍼의 고속 회전은 분무 부재(33)에 의해 도포된 처리액의 압력이 낮아지도록 하여 고압 장비를 제거하여 고비용을 절감시킨다. 바람직한 실시예의 분무 부재(33)들은 안전한 최적의 성능을 위해 처리액, 및 부가로 건조중에 사용되는 가열 질소를 별개로 운반한다.
작동중에, 반도체 웨이퍼는 도어(14)의 선택적 창(18)을 통해 관찰될 수 있다. 처리단계 동안, 질소를 제외한 공기가 용기(12)의 환풍구를 통해 유입되어 배관을 통해 처리액의 보다 효율적인 배출을 공급한다. 본 장치(10)는 도어(14)가 잠금 스위치(42)로 폐쇄되고 잠길 때까지 작동된다. 본 발명과 특별히 관련되지는 않지만, 변형 도어 조립체들이 사용될 수 있다.
다양한 사용자 인터페이스들이 다양한 처리 및 행굼 단계들의 타이밍, 이런 처리 단계들이 발생시킬 온도, 반도체 웨이퍼들이 회전되는 속도 등과 같은 변수의 사용자 제어를 용이하게 하도록 사용된다.
다수의 수정이 본 발명의 기본 교시를 벗어나지 않고 전술 시스템에 이루어질 수 있다. 본 발명이 하나 이상의 특정 실시예들을 참고로 실질적인 항목들로 기술되었지만, 당 업자들은 본 발명에 대한 변형이 첨부된 청구항에 기술된 본 발명의 범위 및 사상을 벗어나지 않고 이루어질 수 있는 것을 인지할 것이다.

Claims (20)

  1. 마이크로일렉트로닉 작업편을 처리하기 위한 장치에 있어서,
    프레임;
    상기 프레임과 고정 정렬되고, 처리 챔버를 구획형성하는 처리 용기;
    적어도 하나의 마이크로일렉트로닉 작업편을 지지하며, 상기 처리 챔버내에서 회전하도록 장착되는 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체; 및
    상기 처리 챔버 외측에 배치되며 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지체를 회전시키기 위해 결합되는 모터 구동 조립체를 포함하며,
    상기 모터 구동 조립체는 전동 모터 및 상기 전동 모터와 프레임 사이에 결합된 완충 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 전동 모터가 회전축 둘레를 회전하는 로우터 샤프트를 포함하며, 상기 완충 부재는 회전축에 수직인 성분을 포함한 진동력에 반응하여 상기 로우터 샤프트의 회전축에 수직한 거의 모든 방향으로 탄성 변형되는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 완충 부재는,
    프레임과 고정 정렬상태로 장착되며, 관통 배치된, 제 1 직경의 내부 연부를 가지는 실질적으로 원형의 개구를 지니는 외부 장착 플랜지;
    상기 로우터의 회전축과 실질적으로 동심선상에 있고 상기 외부 장착 플랜지의 실질적으로 원형의 개구와 실질적으로 동심인 상기 전동 모터에 장착되는 모터 장착부로서, 상기 제 1 직경보다 작은 소정 정도의 제 2 직경으로 배치된 실질적으로 원주 연부를 지니므로써, 상기 모터 장착부의 외주 연부와 외부 장착 플랜지의 내부 연부 사이에 간극 영역을 형성시키는 모터 장착부; 및
    탄성 재료로 형성되고, 상기 간극 영역에 배치되며 상기 모터 장착부 및 외부 장착 플랜지와 고정된 완충 웹
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 완충 웹은,
    상기 외부 플랜지 부재의 내부 연부와 맞물림 고정되는 외부 립;
    상기 모터 장착부의 외주 연부와 맞물림 고정되는 내부 립; 및
    상기 외부 립과 상기 내부 립 사이에 있는 아치형부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 외부 립, 내부 립 및 아치형부가 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 마이크로일렉트로닉 작업편을 처리하기 위한 장치에 있어서,
    프레임;
    상기 프레임과 고정 정렬되고, 처리 챔버를 구획형성하는 처리 용기;
    적어도 하나의 마이크로일렉트로닉 작업편을 지지하며, 상기 처리 챔버 내에서 일반적으로 평행한 회전축 둘레를 회전하도록 장착되는 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체; 및
    상기 처리 챔버 외부에 배치되며 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지체를 상기 회전축에 대해 회전시키기 위해 결합되는 모터 구동 조립체를 포함하고,
    상기 모터 구동 조립체는,
    상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체가 회전하도록 구동시키기 위해 결합되는, 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지체의 회전축과 실질적으로 동일 직선인 회전축을 가지는 로우터 샤프트를 가지며, 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지부재에 가장 근접한 제 1 단부 및 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지부재의 말단의 제 2 단부를 더 지니는 전동 모터와,
    상기 전동 모터의 제 1 단부와 상기 프레임 사이에 결합되고, 상기 방향들에서의 성분을 포함한 진동력에 반응하여 상기 로우터 샤프트의 회전축에 대해 실질적으로 수직한 거의 모든 방향으로 탄성 변형되기 위한 완충 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 전동 모터의 제 2 단부와 상기 프레임 사이에 결합되고, 상기 방향들에서의 성분을 포함한 진동력에 반응하여 상기 로우터 샤프트의 회전축에 수직한 거의 모든 방향으로 탄성 변형되기 위한 부가 완충 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 완충 부재는,
    상기 프레임과 고정 정렬상태로 장착되며, 관통 배치된, 제 1 직경의 내부 연부를 가지는 실질적으로 원형의 개구를 지니는 외부 장착 플랜지;
    상기 로우터의 회전축과 실질적으로 동심선상에 있고 상기 외부 장착 플랜지의 실질적으로 원형의 개구와 실질적으로 동심인 전동 모터의 제 1 단부에 장착되는 모터 장착부로서, 상기 모터 장착부는 상기 제 1 직경보다 작은 소정 정도의 제 2 직경으로 배치된 실질적으로 원주 연부를 지니므로써 상기 모터 장착부의 외주 연부와 상기 외부 장착 플랜지의 내부 연부 사이에 간극 영역을 형성하는 모터 장착부; 및
    탄성 재료로 형성되고, 상기 간극 영역에 배치되며 상기 모터 장착부 및 외부 장착 플랜지와 고정된 완충 웹
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 완충 웹은,
    상기 외부 플랜지 부재의 내부 연부와 맞물림 고정되는 외부 립;
    상기 모터 장착부의 외주 연부와 맞물림 고정되는 내부 립; 및
    상기 외부 립과 상기 내부 립 사이에 있는 아치형부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 외부 립, 내부 립 및 아치형부가 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 부가 완충 부재는,
    상기 프레임과 고정 정렬상태로 장착되며, 관통 배치된, 제 1 직경의 내부 연부를 가지는 실질적으로 원형의 개구를 지니는 부가 외부 장착 플랜지;
    상기 로우터의 회전축과 실질적으로 동심선상에 있고 상기 부가 외부 장착 플랜지의 실질적으로 원형의 개구와 실질적으로 동심인 상기 전동 모터의 제 2 단부에 장착되는 부가 모터 장착부로서, 상기 부가 모터 장착부는 상기 부가 외부 플랜지 부재의 상기 제 1 직경보다 작은 소정 정도의 제 2 직경으로 배치된 실질적으로 원주 연부를 지니므로써 상기 부가 모터 장착부의 외주 연부와 상기 부가 외부 장착 플랜지의 내부 연부 사이에 간극 영역을 형성하는 부가 모터 장착부; 및
    탄성 재료로 형성되고, 상기 간극 영역에 배치되며 상기 부가 모터 장착부 및 부가 외부 장착 플랜지와 고정된 완충 웹
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 부가 완충 웹은,
    상기 외부 플랜지 부재의 내부 연부와 맞물림 고정되는 외부 립;
    상기 모터 장착부의 외주 연부와 맞물림 고정되는 내부 립; 및
    상기 외부 립과 상기 내부 립 사이에 있는 아치형부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 외부 립, 내부 립 및 아치형부가 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체에 가장 근접한 제 1 단부에 전용 나사산을 가지는 로우터; 및
    상기 로우터의 제 1 단부의 전용 나사산을 실질적으로 둘러싸는 부재로서, 상기 로우터와 상기 부재 사이의 챔버를 구획형성하는 부재를 포함하며,
    상기 로우터 및 나사산의 회전에 따라 이물질이 상기 모터에 유입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 마이크로일렉트로닉 작업편을 처리하기 위한 장치에 있어서,
    프레임;
    상기 프레임과 고정 정렬되고, 처리 챔버를 구획형성하는 처리 용기;
    적어도 하나의 마이크로일렉트로닉 작업편을 지지하며, 상기 처리 챔버 내에서 회전하도록 장착되는 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체;
    상기 처리 챔버 외부에 배치되며 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지체를 회전시키기 위해 결합되는 모터 구동 조립체를 포함하고,
    상기 모터 구동 조립체는,
    회전축에 대해 회전하는 로우터를 가지는 전동 모터와,
    상기 전동 모터와 상기 프레임 사이에 결합되고, 상기 방향들에서의 성분을 포함한 진동력에 반응하여 상기 로우터 샤프트의 회전축에 수직하고 평행한 거의 모든 방향으로 탄성 변형되기 위한 완충 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 완충 부재는,
    상기 프레임과 고정 정렬상태로 장착되며, 관통 배치된, 제 1 직경의 내부 연부를 가지는 실질적으로 원형의 개구를 지니는 외부 장착 플랜지;
    상기 로우터의 회전축과 실질적으로 동심선상에 있고 상기 외부 장착 플랜지의 실질적으로 원형의 개구와 실질적으로 동심인 상기 전동 모터의 제 1 단부에 장착되는 모터 장착부로서, 상기 모터 장착부는 상기 제 1 직경보다 작은 소정 정도의 제 2 직경으로 배치된 실질적으로 원주 연부를 지니므로써 상기 모터 장착부의 외주 연부와 상기 외부 장착 플랜지의 내부 연부 사이에 간극 영역을 형성하는 모터 장착부; 및
    탄성 재료로 형성되고, 상기 간극 영역에 배치되며 상기 모터 장착부 및 외부 장착 플랜지와 고정된 완충 웹
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 완충 웹은,
    상기 외부 플랜지 부재의 내부 연부와 맞물림 고정되는 외부 립;
    상기 모터 장착부의 외주 연부와 맞물림 고정되는 내부 립; 및
    상기 외부 립과 상기 내부 립 사이에 있는 아치형부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 외부 립, 내부 립 및 아치형부가 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체에 가장 근접한 제 1 단부의 전용 나사산; 및
    상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체에 가장 인접한 상기 로우터 제 1 단부의 전용 나사산을 실질적으로 둘러싸며 상기 로우터와 챔버를 구획형성하는 부재를 포함하며,
    상기 로우터의 회전에 따라 이물질이 모터에 유입되는 것을 방지하도록 돕는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 마이크로일렉트로닉 작업편을 처리하기 위한 장치에 있어서,
    처리 챔버를 구획형성하는 처리 용기;
    적어도 하나의 마이크로일렉트로닉 작업편을 지지하며, 상기 처리 챔버 내에서 회전하도록 장착되는 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체; 및
    상기 처리 챔버 외부에 배치되며 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지체를 회전시키기 위해 결합되는 모터 구동 조립체를 포함하고,
    상기 모터 구동 조립체는,
    회전축에 대해 회전하며 상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체와 가장 근접한 단부에 전용 나사산을 가지는 전동 모터와,
    상기 마이크로일렉트로닉 작업편 지지 구조체에 가장 근접한 로우터 단부의 전용 나사산을 실질적으로 둘러싸며 로우터와 챔버를 형성하는 부재를 포함하며,
    상기 로우터의 회전에 따라 이물질이 상기 모터에 유입되는 것을 방지하도록 돕는 것을 특징으로 하는 장치.
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