KR20010020979A - An Inspection Apparatus of a Base Plate for Display Panel - Google Patents
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Abstract
Description
발명의 분야Field of invention
본 발명은 액정기판과 같은 표시용 패널기판을 검사하는 장치에 관한 것으로, 특히 표시장치의 프레임과 같은 기기에 장착하기 전의 패널기판을 검사하는 장치에 관한 것이다,The present invention relates to an apparatus for inspecting a display panel substrate such as a liquid crystal substrate, and more particularly, to an apparatus for inspecting a panel substrate before mounting on an apparatus such as a frame of a display apparatus.
발명의 배경Background of the Invention
완성한 액정표시패널을 표시장치의 프레임과 같은 기기(機器)에 장착한 상태에서 검사하는 장치가 제안되고 있다(예를 들면, 일본 특허공개번호 평11-142286호 공보). 그러나 이러한 검사장치는 기기에 장착된 액정표시패널을 검사하는 장치이기 때문에 TFT를 형성한 액정표시패널용 유리기판, 액정을 봉입한 상태의 액정패널기판 등, 기기에 장착하기 전의 패널기판을 검사하는 것이 불가능하다.An apparatus for inspecting a completed liquid crystal display panel in a state in which it is attached to a device such as a frame of a display device has been proposed (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-142286). However, since such an inspection apparatus is a device for inspecting a liquid crystal display panel mounted on a device, it is possible to inspect a panel substrate before mounting on a device, such as a glass substrate for a liquid crystal display panel with a TFT formed therein, or a liquid crystal panel substrate with a liquid crystal encapsulated. It is impossible.
기기에 장착하기 전의 패널기판의 시험을 하는 검사장치는 여러 종류가 제안되어 실용화되어 이용되고 있다. 이들 검사장치는 텔레비전 카메라 및 화상처리기술을 이용한 이른바 자동검사장치와, 작업자의 육안(肉眼)에 의해 패널기판의 양부(良否)를 확인하는 이른바 육안검사장치로 대별된다.Various types of inspection apparatuses for testing panel substrates before mounting to equipment have been proposed and put into practical use. These inspection apparatuses are roughly classified into so-called automatic inspection apparatuses using television cameras and image processing techniques, and so-called visual inspection apparatuses which check the quality of panel panels by the naked eye of an operator.
육안검사는 작업자가 검사중인 패널기판의 표면을 육안으로 봄으로써 그 패널기판의 양부를 판정하는 것이기 때문에 처리능력이 저하된다. 이에 대하여 자동검사장치는 패널기판의 표면을 텔레비전 카메라로 촬영하여 촬영한 화상신호를 처리함으로써 그 패널기판의 양부를 확인하기 때문에 처리능력이 높다.The visual inspection reduces the processing capacity because the operator visually determines the quality of the panel substrate by visually looking at the surface of the panel substrate under inspection. On the other hand, the automatic inspection apparatus checks the quality of the panel substrate by processing the image signal photographed by photographing the surface of the panel substrate with a television camera, and thus has high processing capability.
그러나 종래의 자동검사장치에서는 검사해야 할 패널기판의 화소(畵素)밀도보다 높은 화소밀도를 갖는 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비전 카메라를 필요로 하는 것이기 때문에, 장치 자체가 고가이다.However, since the conventional automatic inspection apparatus requires a television camera of high resolution and high precision having a pixel density higher than the pixel density of the panel substrate to be inspected, the apparatus itself is expensive.
그러므로 패널기판의 자동검사장치에 있어서는 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비전 카메라를 필요로 하지 않고, 비용도 저렴하게 하는 것이 중요하다.Therefore, it is important that the automatic inspection apparatus for panel substrates does not require a television camera with high resolution and high precision and to make the cost low.
따라서 본 발명자들은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 본 발명을 개발하기에 이른 것이다.Therefore, the present inventors have developed the present invention to solve the above conventional problems.
본 발명의 목적은 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비전 카메라를 필요로 하지 않는 패널기판의 자동검사장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide an automatic inspection apparatus for a panel substrate that does not require a high resolution and high precision television camera.
본 발명의 다른 목적은 처리능력이 우수한 패널기판의 자동검사장치를 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide an automatic inspection device for a panel substrate having excellent processing capacity.
본 발명의 또 다른 목적은 가격이 저렴한 패널기판의 자동검사장치를 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide an automatic inspection apparatus for a panel board having a low cost.
본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.
이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the contents of the present invention.
도 1은 본 발명에 관한 검사장치의 1실시예를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing one embodiment of a test apparatus according to the present invention.
도 2는 도 1에 나타낸 검사장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the inspection device shown in FIG.
도 3은 도 1에 나타낸 검사장치에 있어서의 검사부의 평면도이다.3 is a plan view of an inspection unit in the inspection apparatus shown in FIG. 1.
도 4는 도 3에 있어서의 4-4선에 따라 얻은 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line 4-4 in FIG. 3.
도 5는 도 3에 있어서의 5-5선에 따라 얻은 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 in FIG. 3.
도 6은 패널기판에 대한 라인센서의 각도변경 및 조정을 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining the angle change and adjustment of the line sensor with respect to the panel substrate.
도 7은 본 발명에 관한 검사장치의 다른 실시예를 나타내는 사시도에서, 도 4와 동일한 단면도이다.7 is a sectional view similar to FIG. 4, in a perspective view showing another embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.
도 8은 도 7에 나타낸 다른 실시예에 있어서의 도 5와 동일한 단면도이다.FIG. 8 is a sectional view similar to FIG. 5 in another embodiment shown in FIG. 7. FIG.
도 9는 도 7에 나타낸 다른 실시예에 있어서 서로 이웃하는 라인센서의 상대적 위치를 변경한 상태의 1실시예를 나타내는 평면도이다.FIG. 9 is a plan view illustrating one embodiment of a state in which the relative positions of adjacent line sensors are changed in another embodiment illustrated in FIG. 7.
도 10은 도 9에 있어서 10-10선에 따라 얻은 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line 10-10 in FIG. 9.
도 11은 도 7에 나타낸 다른 실시예에 있어서 서로 이웃하는 라인센서의 상대적 위치를 변경한 다른 상태의 1실시예를 나타내는 평면도이다.FIG. 11 is a plan view illustrating one embodiment of another state in which the relative positions of line sensors neighboring each other in another embodiment shown in FIG. 7 are changed.
도 12는 도 11에 있어서의 12-12선에 따라 얻은 단면도이다.12 is a cross-sectional view taken along the line 12-12 in FIG. 11.
* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *Brief description of the main symbols in the drawings
10 : 검사장치 12 : 패널기판10: inspection device 12: panel substrate
14 : 본체 16 : 검사부14 main body 16 inspection unit
18 : 중계부 20 : 카세트 설치부18: relay unit 20: cassette installation unit
22 : 로우더부 24 : 프로브유닛22: loader portion 24: probe unit
26 : 프로브블록 28 : 프로브베이스26: probe block 28: probe base
30 : 본체의 베이스플레이트 32 : 접촉자30 base plate 32 main body
34, 36 : 구멍 38 : 조작패널34, 36: hole 38: operation panel
40 : 광학현미경 42 : 텔레비전 수상기40: optical microscope 42: television receiver
44 : 커버 46 : 구멍44: cover 46: hole
48 ; 투명유리 50 : 검사스테이지48; Clear Glass 50: Inspection Stage
52 : 카세트 56 : 반송로봇52: cassette 56: carrier robot
62 : 얼라이먼트장치 70 : 중계장치62: alignment device 70: relay device
72 : 촬영장치 74 : 라인센서72: recording device 74: line sensor
76, 86 : 센서홀더76, 86: sensor holder
80 : 센서이동기구의 X이동기구80: X moving mechanism of sensor moving mechanism
82 : 센서이동기구의 Z이동기구82: Z moving mechanism of sensor moving mechanism
84 : 센서이동기구의 θ이동기구84: θ moving mechanism of the sensor moving mechanism
90 : 센서이동기구의 Y이동기구90: Y moving mechanism of sensor moving mechanism
본 발명에 따른 검사장치는, 표시용 패널기판을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지에 받아진 패널기판을 상기 검사 스테이지와 반대측에서 촬영하는 촬영장치와, 상시 패널기판의 전극부에 접촉되는 복수개의 접촉자를 갖춘 프로브유닛을 포함한다. 상기 촬영장치는, 빛을 전기신호로 변환하는 복수개의 광전변환소자를 상기 패널기판과 평행한 제1의 방향으로 배열한 적어도 하나의 라인센서와, 상기 라인센서를 상기 패널기판과 평행한 면 안에서 상기 광전변환소자의 배치방향과 교차하는 제2의 방향으로 이동시키는 센서이동기구를 갖춘 것을 특징으로 한다.An inspection apparatus according to the present invention includes an inspection stage for receiving a display panel substrate, an imaging device for photographing the panel substrate received on the inspection stage from the side opposite to the inspection stage, and a plurality of contacting electrodes of the panel substrate. And a probe unit having a contactor. The photographing apparatus includes at least one line sensor in which a plurality of photoelectric conversion elements for converting light into an electrical signal are arranged in a first direction parallel to the panel substrate, and the line sensor in a plane parallel to the panel substrate. And a sensor moving mechanism for moving in a second direction intersecting with the arrangement direction of the photoelectric conversion element.
라인센서는, 센서이동기구에 의해 이동되고, 그 사이의 각 광전변환소자로부터 전기신호를 발생하는 것에 의해 패널기판을 촬영한다. 패널기판의 양부는, 라인센서에서 얻은 전기신호를 기초로 컴퓨터를 이용한 전기회로와 같은 적절한 수단에 의해 자동적으로 행해진다.The line sensor is moved by the sensor moving mechanism, and photographs the panel substrate by generating an electric signal from each photoelectric conversion element therebetween. Both parts of the panel substrate are automatically performed by appropriate means such as an electric circuit using a computer based on the electric signal obtained from the line sensor.
라인센서는, CCD소자와 같은 복수개의 광전변환소자를 거의 직선 모양으로 배치하고 있기 때문에, 텔레비전 카메라에 비하여 고분해 능력 및 고정밀도의 것을 용이하게 또한 염가로 얻을 수 있다. 이 때문에 그와 같은 라인센서를 이용하는 검사장치는, 라인센서를 위한 이동기구에 필요한 비용을 고려하여도 텔레비전 카메라에 필요한 비용에 비하여 염가로 된다.Since the line sensor arranges a plurality of photoelectric conversion elements such as CCD elements in a substantially straight line shape, the line sensor can be easily and inexpensively obtained at a higher resolution and a higher precision than a television camera. For this reason, the inspection apparatus using such a line sensor becomes cheap compared with the cost required for a television camera, even considering the cost required for the moving mechanism for the line sensor.
상기 센서이동기구는, 상기 라인센서를 상기 패널기판과 평행한 면 안에서 상기 제2의 방향으로 이동시키는 제1의 이동기구와, 상기 라인센서를 상기 패널기판과 평행한 면 안에서 상기 제2의 방향으로 뻗은 축선의 둘레에 각도를 갖고 회전시키는 제2의 이동기구를 구비하는 것이 가능하다. 이렇게 하면, 패널기판에 대한 라인센서의 각도를 변경하여 패널기판의 검사를 하는 것이 가능하다.The sensor moving mechanism includes: a first moving mechanism for moving the line sensor in the second direction in a plane parallel to the panel substrate, and the second direction in the plane parallel to the panel substrate; It is possible to have a second moving mechanism that rotates at an angle around the axis extending in the direction. In this way, it is possible to inspect the panel substrate by changing the angle of the line sensor with respect to the panel substrate.
상기 센서이동기구는, 상기 라인센서를 상기 패널기판과 교차하는 제3의 방향으로 이동시키는 제3의 이동기구를 더 구비하는 것이 가능하다. 이렇게 하면, 자동검사를 할 때 라인센서를 패널기판에 근접시키는 것이 가능함에도 불구하고, 육안검사를 할 때 라인센서를 육안검사에 방해되지 않는 위치로 이동시키는 것이 가능하다.The sensor moving mechanism may further include a third moving mechanism for moving the line sensor in a third direction crossing the panel substrate. In this way, it is possible to move the line sensor to a position that does not interfere with visual inspection, even though it is possible to bring the line sensor close to the panel substrate during the automatic inspection.
검사장치는, 상기 검사 스테이지, 상기 촬영장치 및 상기 프로브유닛이 배치된 본체를 더 포함하며, 이 본체는 상기 패널기판을 상기 프로브유닛 측으로부터 육안으로 볼 수 있게 개방되어 있어도 좋다. 이렇게 하면, 동일한 검사장치를 작업자가 구멍을 통하여 패널기판을 육안으로 보는, 즉 육안검사장치로서도 사용할 수 있다.The inspection apparatus further includes a main body on which the inspection stage, the photographing apparatus, and the probe unit are disposed, which may be open to the naked eye to see the panel substrate from the probe unit side. In this way, the same inspection apparatus can also be used as a visual inspection apparatus by which the operator visually sees the panel substrate through the hole.
검사장치는, 상기 패널기판을 상기 프로브유닛 측으로부터 육안으로 볼 수 있는 광학현미경을 더 포함하는 것이 가능하다. 이렇게 하면, 육안검사의 경우에도, 광학현미경을 이용하여 패널기판을 보다 고정밀도로 검사하는 것이 가능하다.The inspection apparatus may further include an optical microscope for visually viewing the panel substrate from the probe unit side. In this way, even in the case of visual inspection, it is possible to inspect the panel substrate more accurately with an optical microscope.
상기 검사스테이지는 상기 패널기판을 비스듬히 받을 수 있도록 기울어져 있어도 좋다. 이렇게 하면, 작업자가 패널기판을 비스듬히 상방으로부터 육안으로 볼 수 있기 때문에 육안검사작업이 용이하게 된다.The inspection stage may be inclined so as to receive the panel substrate at an angle. In this way, the operator can visually see the panel substrate at an angle from above, making visual inspection work easier.
바람직한 실시예에 있어서는 상기 프로브유닛은 직사각형의 구멍을 갖는 판 모양의 베이스와, 이 베이스에 조립된 복수 개의 프로브블록을 구비하며, 각 프로브블록은 상기 복수 개의 접촉자가 병렬적으로 배치되어 있고, 또한 이들 접촉자의 선단부가 상기 구멍으로부터 상기 패널기판의 옆에 돌출한 상태로 상기 베이스에 배치되어 있다.In a preferred embodiment, the probe unit includes a plate-shaped base having a rectangular hole, and a plurality of probe blocks assembled to the base, each probe block having the plurality of contacts arranged in parallel. The tip portions of these contacts are arranged on the base in a state of protruding from the hole to the side of the panel substrate.
상기 촬영장치는 상기 제2의 방향으로 서로 이웃하는 상태로 및 상기 제1의 방향에 있어서의 상대적 위치를 변경 가능하게 상기 센서이동기구에 배치된 2이상의 라인센서를 구비하는 것이 가능하다. 그렇게 하면, 제1의 방향에 있어서의 라인센서의 상대적 위치를 검사해야 할 패널기판의 치수에 대응하여 변경할 수 있기 때문에 치수가 다른 패널기판의 검사에 용이하게 대응할 수 있다.The photographing apparatus may be provided with two or more line sensors arranged in the sensor moving mechanism in a state in which they are adjacent to each other in the second direction and in a relative position in the first direction. By doing so, since the relative position of the line sensor in the first direction can be changed in correspondence with the dimensions of the panel substrate to be inspected, it is possible to easily cope with inspection of panel substrates having different dimensions.
상기 센서이동기구는 상기 2이상의 라인센서를 상기 제2의 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동기구를 구비할 수 있다. 그러나 그와 같은 이동기구를 구비한 대신에 2이상의 라인센서를 수동에 의해 제2의 방향으로 상대적으로 이동시켜도 좋다.The sensor moving mechanism may include a moving mechanism for relatively moving the two or more line sensors in the second direction. However, instead of having such a moving mechanism, two or more line sensors may be moved relatively in the second direction by manual operation.
각 라인센서는 센서홀더에 의해 상기 센서이동기구에 조립되어 있어도 좋다. 또한 상기 센서홀더는 상기 제1의 방향으로 이동 가능하게 상기 센서이동기구에 지지되어 있어도 좋다.Each line sensor may be assembled to the sensor moving mechanism by a sensor holder. The sensor holder may be supported by the sensor moving mechanism so as to be movable in the first direction.
본 발명의 실시예를 첨부도면을 참조하여 다음에 상술한다. 도 1 내지 도 5를 참조하면, 검사장치(10)는 완성한 직사각형의 액정표시패널을 검사해야 할 패널기판(12)으로 하는 자동 및 육안점등검사장치로서 이용된다. 패널기판(12)은 직사각형의 형상을 갖고 있고, 또 직사각형의 서로 이웃하는 1세트의 변에 대응하는 가장자리부에 복수 개의 전극부를 갖고 있다.Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 5, the inspection apparatus 10 is used as an automatic and visual illumination inspection apparatus that uses the panel substrate 12 to inspect the completed rectangular liquid crystal display panel. The panel substrate 12 has a rectangular shape and has a plurality of electrode portions at edge portions corresponding to one set of adjacent sides of the rectangle.
검사장치(10)는 전면 상부가 비스듬한 상향의 경사면으로 된 본체(14)를 포함한다. 본체(14)는 기다란 복수의 채널부재를 조립한 본체프레임과, 이 본체프레임에 분리 가능하게 부착된 복수 개의 패널에 의해 상자 형태로 형성되어 있다.The inspection apparatus 10 includes a main body 14 having a front inclined upwardly inclined surface. The main body 14 is formed in the form of a box by a main body frame in which a plurality of long channel members are assembled, and a plurality of panels detachably attached to the main body frame.
본체(14)의 앞부분은 패널기판(12)의 검사부(즉, 측정부)(16)로 된 좌측영역과, 패널기판(12)을 위한 중계부(즉, 주고받는 부)(18)로 된 우측영역을 갖는다. 본체(14)의 뒷부분은 카세트 설치부(20)로 되어 있다. 본체(140의 전후방향에 있어서의 중앙부는 중계부(18)와 카세트 설치부(20)와의 사이에서 패널기판을 반송하는 로우더부(22)로 되어 있다.The front part of the main body 14 is composed of a left region of the inspection unit (ie, the measuring unit) 16 of the panel substrate 12 and a relay unit (ie, a communication unit) 18 for the panel substrate 12. It has a right side area. The rear part of the main body 14 is the cassette mounting part 20. The center part in the front-back direction of the main body 140 is the loader part 22 which conveys a panel board | substrate between the relay part 18 and the cassette installation part 20. As shown in FIG.
도 3에서 도 5에 도시된 바와 같이, 검사부(16)에는 측정용 프로브유닛(24)이 경사면부에 배치되어 있다. 프로브유닛(24)은 복수 개의 프로브블록(26)을 짧은 판 형상의 프로브베이스(28)에 부착하고, 프로브베이스(28)는 베이스플레이트(30)의 안쪽에 부착되어 있다.As shown in FIG. 3 to FIG. 5, the measuring unit 16 is disposed on the inclined surface in the inspection unit 16. The probe unit 24 attaches the plurality of probe blocks 26 to the short plate-shaped probe base 28, and the probe base 28 is attached to the inside of the base plate 30.
각 프로브블록(26)은 일본특허 공개 평10-132853호 공보에 기재된 바와 같이 공지되어 있고, 그 아래쪽으로 병렬적으로 조립된 복수 개의 접촉자(즉, 프로브)(32)를 갖는다. 프로브베이스(28)는 검사해야 할 패널기판(12)보다 약간 큰 직사각형의 구멍(34)을 중앙에 갖는다. 프로브블록(26)은 접촉자(32)가 구멍(34)으로부터 본체(14)안으로 돌출하도록 구멍(34)의 가장자리부에 부착되어 있다.Each probe block 26 is known as described in Japanese Patent Laid-Open No. 10-132853, and has a plurality of contacts (ie, probes) 32 assembled in parallel thereunder. The probe base 28 has a rectangular hole 34 in the center slightly larger than the panel substrate 12 to be inspected. The probe block 26 is attached to the edge of the hole 34 such that the contactor 32 protrudes from the hole 34 into the body 14.
베이스 플레이트(30)는 도시한 예에서는 본체(14)의 경사면부를 형성하는 비스듬한 상향의 판 형상부재이고, 또 구멍(36)를 검사부(16)에 갖는다. 프로브유닛(24)은 적어도 프로브블록(26)이 베이스플레이트(30)의 구멍(36)으로부터 본체(14)안에 돌출하도록 베이스플레이트(30)에 조립되어 있다.The base plate 30 is the oblique upward plate-shaped member which forms the inclined surface part of the main body 14 in the example shown, and has the hole 36 in the inspection part 16. As shown in FIG. The probe unit 24 is assembled to the base plate 30 such that at least the probe block 26 projects from the hole 36 of the base plate 30 into the main body 14.
검사부(16)에는 또한 검사장치(10)의 작동을 제어하는 조작패널(38)과, 검사부(16)에 반송된 패널기판(12)을 관찰하기 위한 광학현미경(40)과, 검사중인 패널기판(12)의 화상을 송출하는 텔레비전 수상기(42)가 배치되어 있다. 검사부(16)는 본체(14)에 배치된 커버(44)에 의해 덮여 있다.The inspection unit 16 further includes an operation panel 38 for controlling the operation of the inspection apparatus 10, an optical microscope 40 for observing the panel substrate 12 conveyed to the inspection unit 16, and a panel substrate under inspection. The television receiver 42 which sends out the image of 12 is arrange | positioned. The inspection unit 16 is covered by a cover 44 disposed on the main body 14.
커버(44)는 외부로부터의 전파 또는 빛이 본체(14)안으로 들어오는 것을 방지하는 재료로 제작되어 있고, 또 본체(14)에 그 경사면부의 앞쪽이 검사부(16)와 중계부(18)로 이동 가능하게 조립되어 있다. 커버(44)는 작업자가 검사부(16)의 안쪽을 육안으로 보기 위한 구멍(46)을 갖고 있으며, 구멍(46)은 유리(48)에 의해 폐쇄되어 있다. 유리(48)는 외부로부터의 전파 또는 빛이 본체(14)안으로 들어오는 것을 방지하지만, 본체(14)안의 빛이 본체(14)밖으로 나가는 것을 허용하는 반투명 유리이다.The cover 44 is made of a material that prevents radio waves or light from the outside from entering the main body 14, and the front side of the inclined surface portion of the main body 14 moves to the inspection unit 16 and the relay unit 18. It is assembled as possible. The cover 44 has a hole 46 for the operator to visually see the inside of the inspection unit 16, and the hole 46 is closed by the glass 48. The glass 48 is translucent glass that prevents radio waves or light from the outside from entering the body 14, but allows light in the body 14 to exit out of the body 14.
검사부(16)에는 검사스테이지(즉, 측정스테이지)(50)가 더 배치되어 있다(도2 및 도4 참조). 검사 스테이지(50)는 패널기판(12)을 본체(14)의 경사면부와 거의 평행한 기울기의 상향상태로 받아서 그 패널기판(12)을 프로브유닛(24)에 대하여 이동시킨다.An inspection stage (that is, a measurement stage) 50 is further disposed in the inspection unit 16 (see FIGS. 2 and 4). The inspection stage 50 receives the panel substrate 12 in an upward state of an inclination substantially parallel to the inclined surface portion of the main body 14 and moves the panel substrate 12 with respect to the probe unit 24.
검사스테이지(50)는, 패널기판(12)을 해제 가능하게 유지하는 기능과, 패널기판(12)을 이들과 직교하는 Z(θ)축선의 둘레에 각도를 갖고 회전시키는 기능과, 패널기판(12)을 Z축선 방향으로 이동시키는 기능과, 패널기판(12)을 이들과 평행한 면 안에서 비스듬히 상하방향(Y방향)으로 이동시키는 기능과, 패널기판(12)을 이들과 평행한 면 안에서 좌우방향(X방향)으로 이동시키는 기능을 갖고 있다.The inspection stage 50 has a function of holding the panel substrate 12 releasably, a function of rotating the panel substrate 12 at an angle around a Z (θ) axis orthogonal to them, and a panel substrate ( 12) to move in the Z-axis direction, to move the panel substrate 12 obliquely up and down (Y direction) in the plane parallel to them, and to move the panel substrate 12 in the plane parallel to them It has the function to move to a direction (X direction).
이 때문에 검사스테이지(50)는 패널기판을 해제 가능하게 흡착하는 워크테이블(즉, 척 톱)과, 이 워크테이블을 받는 백 라이트유닛과, 워크테이블을 Z축선 둘레에 각도를 갖고 회전시키는 θ스테이지와, 워크테이블을 Z축선 방향으로 이동시키는 Z스테이지와, 워크테이블을 Y방향으로 이동시키는 Y스테이지와, 워크테이블을 X방향으로 이동시키는 X스테이지(즉, 스테이지 베이스)를 구비하고 있다.For this reason, the inspection stage 50 includes a work table (ie, a chuck top) that can detachably absorb the panel substrate, a backlight unit receiving the work table, and a θ stage for rotating the work table at an angle around the Z axis. And a Z stage for moving the work table in the Z-axis direction, a Y stage for moving the work table in the Y direction, and an X stage (that is, a stage base) for moving the work table in the X direction.
검사스테이지(50)는 X스테이지에 의해 검사부(16)와 중계부(18)로 이동 가능하다. 백 라이트유닛에 배치된 백 라이트는 워크테이블에서 받은 패널기판(12)을 그 배후에서 조명하도록 점등된다. 그와 같은 검사스테이지(50)는, 예를 들어, 일본 특허 공개 평11-183863호 공보, 일본 특허 공개 평11-183864호 공보에 기재되어 있는 공지의 스테이지를 이용할 수 있다.The inspection stage 50 is movable to the inspection unit 16 and the relay unit 18 by the X stage. The backlight disposed in the backlight unit is turned on so as to illuminate the panel substrate 12 received from the work table behind it. Such inspection stage 50 can use the well-known stage described in Unexamined-Japanese-Patent No. 11-183863 and Unexamined-Japanese-Patent No. 11-183864, for example.
카세트 설치부(20)에는 복수 개의 카세트(52)가 설치대(54)에 설치되어 있다. 패널기판(12)은 각 카세트(52)에 수용되어 있다. 카세트(52)에 대한 패널기판(12)의 중계와 반송은, 로우더부(22)에 배치된 반송로봇(56)에 의해 패널기판(12)을 수평으로 유지한 상태에서 행해진다.The cassette mounting unit 20 is provided with a plurality of cassettes 52 on the mounting table 54. The panel substrate 12 is housed in each cassette 52. Relaying and conveyance of the panel substrate 12 with respect to the cassette 52 are performed in the state which hold | maintained the panel substrate 12 horizontally by the conveyance robot 56 arrange | positioned at the loader part 22. As shown in FIG.
반송로봇(56)은 로우더부(22)를 좌우방향으로 평행하게 뻗은 한 쌍의 가이드레일(58)에 이동 가능하게 지지되어 있고, 또한, 모터 및 이 모터에 의해 회전되는 리드 스크류를 구비한 로봇 이동기구(60)에 의해 좌우방향으로 적절한 위치로 이동되어 카세트(52) 및 얼라이먼트장치(62)에 대한 패널기판의 중계 및 반송을 한다.The transport robot 56 is movably supported by a pair of guide rails 58 extending in parallel with the loader 22 in the left and right directions, and also has a motor and a lead screw rotated by the motor. The moving mechanism 60 is moved to an appropriate position in the left and right direction to relay and convey the panel substrate to the cassette 52 and the alignment device 62.
반송로봇(56)은 로봇이동기구(60)에 의해 가이드레일(58)에 따라서 이동되는 슬라이더(64)와, 이 슬라이더 위에 부착된 구동기구(66)와, 구동기구(66)에 의해 별도로 구동되어 패널기판의 중계를 하는 한 쌍의 로봇아암(즉, 핸드)(68)을 구비한다. 패널기판은 반송로봇(56)에 의해 수평으로 반송됨과 동시에 중계된다.The transport robot 56 is driven separately by the slider 64 which is moved along the guide rails 58 by the robot moving mechanism 60, the drive mechanism 66 attached to the slider, and the drive mechanism 66. And a pair of robot arms (ie, hands) 68 for relaying the panel substrate. The panel substrate is horizontally conveyed by the conveying robot 56 and relayed at the same time.
반송로봇(56)에 있어서, 카세트(52)에 대한 패널기판의 중계는, 한쪽의 로봇아암(68)에서 받고 있는 검사 완료한 패널기판을 적절한 카세트군중에서 공(空) 카세트에 인계함과 동시에, 다른 카세트 안의 미검사(즉, 미측정) 패널기판을 같은 로봇아암(68) 또는 다른 쪽의 로봇아암(68)에서 인수하도록 제어함으로써 행해질 수 있다.In the transfer robot 56, the relay of the panel substrate to the cassette 52 takes over the inspected panel substrate received by one robot arm 68 to an empty cassette in an appropriate cassette group. Can be done by controlling the untested (ie unmeasured) panel substrate in another cassette to be taken over by the same robot arm 68 or the other robot arm 68.
얼라이먼트장치(62)에 대한 패널기판의 중계는, 측정 완료한 패널기판을 한쪽의 로봇아암(68)에서 인수함과 동시에 다른 로봇아암(68)에서 받고 있는 미검사 패널기판을 얼라이먼트장치(62)에 인도하도록 제어함으로써 행할 수 있다.The relaying of the panel substrate with respect to the alignment apparatus 62 takes over the measured panel substrate by one robot arm 68, and simultaneously aligns the uninspected panel substrate received by the other robot arm 68 with the alignment apparatus 62. This can be done by controlling to be delivered to.
얼라이먼트장치(62)는 중계부(18) 안에 있어서 로우더부(22)측에 배치되어 있다. 얼라이먼트장치(62)는, 패널기판을 수평 상태에서 반송로봇(56)에 대하여 중계하는 기능과, 패널기판을 비스듬히 상향 상태에서 중계장치(70)에 대하여 중계하는 기능과, 반송로봇(56)으로부터 받은 패널기판의 위치를 조정하는 위치조정기능과, 패널기판의 경사각도(즉, 자세)를 변경하는 각도변경기능을 갖는다.The alignment device 62 is disposed in the loader section 22 in the relay section 18. The alignment device 62 has a function of relaying the panel substrate with respect to the transport robot 56 in a horizontal state, a function of relaying the panel substrate with respect to the relay device 70 in an obliquely up state, and from the transport robot 56. It has a position adjustment function for adjusting the position of the received panel substrate, and an angle change function for changing the inclination angle (ie, posture) of the panel substrate.
상기와 같은 얼라이먼트장치(62)로서, 예를 들어, 일본 특허공개 평11-183863호 공보, 일본 특허공개 평11-183864호 공보에 기재되어 있는 공지의 얼라이먼트기구를 이용할 수 있다. 얼라이먼트장치(62)에 대해서는 상기 공보에 상세히 기재되어 있기 때문에 그 상세한 설명은 생략한다.As the alignment device 62 as described above, for example, a known alignment mechanism described in Japanese Patent Laid-Open No. 11-183863 and Japanese Patent Laid-Open No. 11-183864 can be used. Since the alignment apparatus 62 is described in detail in the above publication, its detailed description will be omitted.
중계장치(70)는 중계부(18) 안에 있어서 얼라이먼트장치(62)보다 앞쪽으로 경사진 상태로 배치되어 있다. 중계장치(70)는 또한 패널기판을 비스듬히 상향으로 경사시킨 상태에서 검사스테이지(50) 및 얼라이먼트장치(62)에 대하여 중계하는 기능을 갖추고 있다. 중계장치(70)는 한 쌍의 중계기를 구비하는 것이 바람직하다.The relay device 70 is arranged in the relay portion 18 in a state inclined forward of the alignment device 62. The relay device 70 also has a function of relaying the inspection stage 50 and the alignment device 62 in a state where the panel substrate is inclined upwardly obliquely. The repeater 70 preferably includes a pair of repeaters.
상기와 같은 중계장치(70)로서, 예를 들어, 일본 특허공개 평11-183863호 공보, 일본 특허공개 평11-183864호 공보에 기재되어 있는 한 쌍의 중계기구를 이용한 공지의 장치를 이용할 수 있다. 중계장치(70)에 대해서는 상기 공보에 상세히 기재되어 있기 때문에 그 상세한 설명은 생략한다.As such a relay device 70, for example, a known device using a pair of relay mechanisms described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-183863 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-183864 can be used. have. Since the relay device 70 is described in detail in the above publication, its detailed description is omitted.
촬영장치(72)는 검사스테이지(50)에서 받아진 패널기판(12)을 촬영하도록 검사부(16) 안에 있어서 프로브유닛(24)의 앞쪽에 배치되어 있다. 촬영장치(72)는 검사부(16)를 비스듬히 상하방향(Y방향)으로 뻗은 라인센서(74)와, 라인센서(74)를 이동시키는 센서이동기구를 구비한다.The imaging device 72 is arranged in front of the probe unit 24 in the inspection unit 16 to capture the panel substrate 12 received by the inspection stage 50. The photographing apparatus 72 includes a line sensor 74 which extends the inspection unit 16 in an oblique up and down direction (Y direction), and a sensor moving mechanism for moving the line sensor 74.
라인센서(74)는 CCD소자와 같은 다수의 광전변환소자를 라인센서(74)의 길이방향(Y방향, 제1의 방향)으로 직선 모양에 배치한 공지의 것이고, 또한 Y방향으로 뻗은 센서홀더(76)에 의해 센서이동기구에 조립되어 있다. 라인센서(74)의 광전변환소자는, 컴퓨터를 이용한 전기회로(도시 안됨)에 접속되어 있고, 변환한 전기신호는 그 전기회로에서 판독된다. 센서홀더(76)는 센서이동기구에 지지되어 있다.The line sensor 74 is a known holder in which a plurality of photoelectric conversion elements such as CCD elements are arranged in a straight line in the longitudinal direction (Y direction, first direction) of the line sensor 74, and the sensor holder extends in the Y direction. By 76, it is assembled to the sensor moving mechanism. The photoelectric conversion element of the line sensor 74 is connected to an electric circuit (not shown) using a computer, and the converted electric signal is read out from the electric circuit. The sensor holder 76 is supported by the sensor moving mechanism.
라인센서(74)는 TFT가 형성된 유리기판, 모노크로용 패널기판, 칼라용 패널기판, 화소(畵素)를 일렬로 배치한 모노크로용 또는 칼라용 패널기판, 화소를 지그재그로 배치한 모노크로용 또는 칼라용 패널기판, 칼라소자를 복수 열로 배치한 칼라용 패널기판 등, 검사해야 할 패널기판의 종류에 따라서 복수의 광전변환소자를, 일렬, 지그재그 또는 복수 열로 배치하고 있다.The line sensor 74 is a glass substrate with a TFT, a monochrome panel substrate, a color panel substrate, a monochrome or color panel substrate in which pixels are arranged in a row, and a monochrome zigzag arrangement of pixels. A plurality of photoelectric conversion elements are arranged in a row, zigzag, or a plurality of rows depending on the type of panel substrate to be inspected, such as a color or a color panel substrate and a color panel substrate in which a plurality of color elements are arranged in rows.
센서이동기구는 서로 동기(同期)로 구동되어 라인센서(74)와 센서홀더(76)를 좌우방향(X방향, 제2의 방향)으로 이동시키는 한 쌍의 X이동기구(80)와, 서로 동기로 구동되어 라인센서(74)와 센서홀더(76)를 경사면부에 수직인 방향(Z방향, 제3의 방향)으로 이동시키는 한 쌍의 Z이동기구(82)와, 라인센서(74)와 센서홀더(76)를 Y방향으로 뻗은 축선(θ)의 둘레에 각도를 이루고 회전시키는 θ이동기구(84)를 구비하고 있다.The sensor moving mechanism is driven in synchronization with each other and a pair of X moving mechanisms 80 move the line sensor 74 and the sensor holder 76 in the left and right directions (the X direction and the second direction), and A pair of Z moving mechanisms 82 and line sensors 74 which are driven synchronously to move the line sensor 74 and the sensor holder 76 in a direction perpendicular to the inclined surface portion (Z direction, third direction). And a θ moving mechanism 84 for rotating the sensor holder 76 at an angle around the axis θ extending in the Y direction.
X이동기구(80)는 Y방향으로 간격을 두고 있고, 또한 본체(14)의 베이스플레이트(30)에 장착되어 있다. Z이동기구(82)는 Y방향으로 간격을 두고 있고, 또한 대응하는 X이동기구(80)에 배치되어 있다. θ이동기구(84)는 한 쪽의 Z이동기구(82)에 지지되어 있다. 센서홀더(76)는 그 일단부가 θ이동기구(84)에 지지되어 있고, 베어링(86)을 통하여 타단부가 다른 쪽의 Z이동기구(82)에 지지되어 있다.The X moving mechanism 80 is spaced in the Y direction and is mounted on the base plate 30 of the main body 14. The Z moving mechanism 82 is spaced in the Y direction and is disposed in the corresponding X moving mechanism 80. The θ moving mechanism 84 is supported by one Z moving mechanism 82. One end of the sensor holder 76 is supported by the θ moving mechanism 84, and the other end is supported by the other Z moving mechanism 82 via the bearing 86.
대기시 및 검사스테이지(50)로의 패널기판(12)의 인계 시, 검사스테이지(50)는 패널기판(12)을 프로브유닛(24)으로부터 분리되도록, Z스테이지에 의해 하강된다. 또한 라인센서(74)는 도 5에 2점 쇄선으로 표시한 바와 같이, Z이동기구(82)에 의해 검사스테이지(50)로부터 분리됨과 동시에, X이동기구(80)에 의해 X방향으로 후퇴하고 있다. 이에 따라 프로브유닛(24) 및 라인센서(74)가 검사스테이지(50)에 대한 패널기판(12)의 중계가 방해받지 않고, 패널기판(12)의 중계가 용이하게 이루어진다.During standby and upon taking over the panel substrate 12 to the inspection stage 50, the inspection stage 50 is lowered by the Z stage to separate the panel substrate 12 from the probe unit 24. In addition, the line sensor 74 is separated from the inspection stage 50 by the Z moving mechanism 82 and retracted in the X direction by the X moving mechanism 80, as indicated by the dashed-dotted line in FIG. have. Accordingly, relaying of the panel substrate 12 to the probe unit 24 and the line sensor 74 is facilitated without interruption of relaying of the panel substrate 12 to the inspection stage 50.
검사하기 전에, 검사스테이지(50)에 배치된 패널기판(12)의 위치맞춤이 행해진다. 이에 따라 검사스테이지(50)의 백 라이트가 점등되고, 패널기판(12)에 형성된 위치맞춤 마크가 촬영장치(72) 및 이에 접속된 전기회로에 의해 판독되고, 이들에 의해 패널기판(12)이 프로브유닛(24) 및 촬영장치(72)에 대하여 정위치에 배치되어 있는지의 여부가 확인된다.Before the inspection, alignment of the panel substrate 12 arranged on the inspection stage 50 is performed. As a result, the backlight of the inspection stage 50 is turned on, and the alignment mark formed on the panel substrate 12 is read by the photographing apparatus 72 and the electric circuit connected thereto, whereby the panel substrate 12 is It is checked whether or not the probe unit 24 and the photographing apparatus 72 are disposed in position.
패널기판(12)이 정위치에 배치되어 있지 않으면, 검사스테이지(50)의, X스테이지, Y스테이지 및 θ스테이지 중에 적어도 1개가 구동되어, 패널기판(12)의 위치가 바르게 되도록 수정된다. 이와 같이 라인센서(74)를 이용하여 위치맞춤을 하게 되면, 텔레비전 카메라를 이용한 종래의 자동검사장치에서 필요로 했던 위치맞춤 마크용 텔레비전 카메라가 불필요하게 된다. 그러나 위치맞춤 마크를 촬영하는 1개 이상의 텔레비전 카메라를 본체(14)에 설치하여도 좋다.If the panel substrate 12 is not disposed at the correct position, at least one of the X stage, the Y stage, and the θ stage of the inspection stage 50 is driven to correct the position of the panel substrate 12. When the alignment is performed using the line sensor 74 in this manner, the alignment mark television camera required by the conventional automatic inspection apparatus using the television camera becomes unnecessary. However, one or more television cameras for photographing alignment marks may be provided in the main body 14.
자동검사 시, 패널기판(12)은 검사스테이지(50)의 Z스테이지에 의해 프로브유닛(24)으로 향하여 이동되어 전극부가 접촉자(32)의 선단에 압접되고, 이 상태에서 소정의 전극부에 전류가 통한다. 또한 검사스테이지(50)의 백 라이트는 점등된다.In the automatic inspection, the panel substrate 12 is moved toward the probe unit 24 by the Z stage of the inspection stage 50 so that the electrode portion is pressed against the tip of the contactor 32, and in this state, the current is applied to the predetermined electrode portion. Through. In addition, the backlight of the inspection stage 50 is turned on.
또한 자동검사 시, 라인센서(74)는 도6에 도시된 바와 같이 θ이동기구(84)에 의해 패널기판(12)에 대하여 적절한 자세로 조정된 상태에서, 도4 및 도5에 도시된 바와 같이, Z이동기구(82)에 의해 패널기판(12)에 접근되고, 그 상태에서 X이동기구(80)에 의해 패널기판(12)의 X방향에 있어서의 일단에서 타단으로 이동된다.Also, in the automatic inspection, the line sensor 74 is adjusted to the proper position with respect to the panel substrate 12 by the θ moving mechanism 84 as shown in Fig. 6, as shown in Figs. 4 and 5. Similarly, the panel substrate 12 is approached by the Z moving mechanism 82, and is moved from one end to the other end in the X direction of the panel substrate 12 by the X moving mechanism 80 in that state.
자동검사 시, 라인센서(74)의 각 광전변환소자는 빛의 입사량에 따른 전기신호를 발생한다. 그와 같이 라인센서(74)에서 얻어진 전기신호는 컴퓨터를 이용한 전기회로에 공급되고, 그 전기회로에 있어서 패널기판(12)의 양부의 판정에 이용된다. 패널기판(12)의 양부판정은, 텔레비전 카메라를 이용한 종래의 자동검사장치와 동일한 방법으로 행하여 질 수 있다.In the automatic inspection, each photoelectric conversion element of the line sensor 74 generates an electric signal according to the incident amount of light. Thus, the electric signal obtained by the line sensor 74 is supplied to the electric circuit using a computer, and is used for the determination of both parts of the panel board 12 in the electric circuit. The determination of the quality of the panel substrate 12 can be made in the same manner as the conventional automatic inspection apparatus using a television camera.
자동검사중인 패널기판(12)의 화상은 라인센서(74)에서 얻어진 전기신호를 토대로 수상기(42)로 송출된다. 이에 따라 작업자는 수상기(42) 상의 화상을 육안으로 보고 패널기판(12)의 양부를 확인하는 것이 가능하다.The image of the panel substrate 12 under automatic inspection is sent to the receiver 42 based on the electrical signal obtained from the line sensor 74. Accordingly, the operator can visually check the image on the receiver 42 to confirm the quality of the panel substrate 12.
1개의 패널기판(12)의 검사가 종료되면, 그 패널기판(12)이 검사스테이지(50)에 의해 프로브유닛(24)으로부터 분리되고, 그 상태에서 검사스테이지(50)가 중계부(18)로 이동된다. 검사스테이지(50)는 중계부(18)에 있어서 검사 완료한 패널기판을 중계장치(70)에 인도하고, 그 대신에 새로운 패널기판을 중계장치(70)로부터 받는다. 그 다음에 검사스테이지(50)는 검사부(16)로 복귀한다.When the inspection of one panel substrate 12 is completed, the panel substrate 12 is separated from the probe unit 24 by the inspection stage 50, and in this state, the inspection stage 50 is the relay unit 18. Is moved to. The inspection stage 50 delivers the inspected panel substrate in the relay section 18 to the relay apparatus 70, and receives a new panel substrate from the relay apparatus 70 instead. The inspection stage 50 then returns to the inspection unit 16.
중계장치(70)에 인도된 검사 완료한 패널기판은, 중계장치(70)로부터 얼라이먼트장치(62)로 인도되고, 또한 얼라이먼트장치(62)로부터 반송로봇(56)으로 인도된다. 반송로봇(56)은 검사 완료한 패널기판을 한쪽의 로봇아암(68)에서 받고, 다른 쪽의 로봇아암(68)에서 보관하고 있는 새로운 패널기판을 얼라이먼트장치(62)로 인도한다.The inspected panel substrate delivered to the relay device 70 is guided from the relay device 70 to the alignment device 62, and is further guided from the alignment device 62 to the transport robot 56. The transfer robot 56 receives the inspected panel substrate from one robot arm 68 and guides the new panel substrate stored in the other robot arm 68 to the alignment device 62.
반송로봇(56)은 소정의 카세트(52) 앞으로 이동하고, 검사 완료한 패널기판을 공 카세트(52)에 인도하고, 그 대신에 소정의 카세트(52) 안의 새로운 패널기판을 받는다. 그 후, 반송로봇(56)은 재차 얼라이먼트장치(62)에 대한 패널기판의 중계위치로 복귀하고, 그 위치에서 새로운 패널기판을 얼라이먼트장치(62)로 인도하고, 그 위치에서 대기한다.The transport robot 56 moves in front of the predetermined cassette 52, guides the inspected panel substrate to the empty cassette 52, and receives a new panel substrate in the predetermined cassette 52 instead. Thereafter, the transport robot 56 again returns to the relay position of the panel substrate with respect to the alignment apparatus 62, leads the new panel substrate to the alignment apparatus 62 at that position, and waits at that position.
얼라이먼트장치(62)는 새로운 패널기판을 중계장치(70)로 인도하고, 그 상태에서 대기한다. 중계장치(70)도 새로운 패널기판을 얼라이먼트장치(62)로부터 받은 상태에서 대기한다.The alignment device 62 leads the new panel substrate to the relay device 70 and waits in that state. The relay device 70 also waits in a state where a new panel substrate is received from the alignment device 62.
중계장치(70)와 얼라이먼트장치(62) 사이에 있어서의 패널기판의 중계, 얼라이먼트장치(62)와 반송로봇(56) 사이에 있어서의 패널기판의 중계는, 검사스테이지(50)가 검사부(16)로부터 중계부(18)에 재차 이동되기까지의 사이에 행해진다.For the relay of the panel substrate between the relay device 70 and the alignment device 62, and the relay of the panel substrate between the alignment device 62 and the transport robot 56, the inspection stage 50 includes the inspection unit 16. ) To the relay unit 18 again.
자동검사 시에, 검사부(16)가 커버(44)에 의해 폐쇄되어 잡음이 되는 전파 또는 빛이 검사부(16)에 들어오는 것이 방지된다. 그러나 검사부(16)내. 특히 자동검사중인 패널기판은 커버(44)의 유리(48)를 통하여 육안으로 보는 것이 가능하다.At the time of the automatic inspection, the inspection section 16 is closed by the cover 44 to prevent the radio wave or light that becomes a noise from entering the inspection section 16. But in the inspection unit 16. In particular, the panel substrate under automatic inspection can be visually seen through the glass 48 of the cover 44.
검사장치(10)는 자동점등검사에 대신하여 커버(44)를 중계부(18) 쪽으로 이동시켜 검사부(16)를 전방으로 개방한 상태에서 패널기판을 육안으로 봄으로써 패널기판의 양부를 판정하는 육안점등검사장치로서도 사용할 수 있다.The inspection apparatus 10 determines the quality of the panel substrate by visually looking at the panel substrate in a state in which the cover 44 is moved toward the relay unit 18 instead of the automatic lighting inspection and the inspection unit 16 is opened forward. It can also be used as a visual inspection device.
검사장치(10)는 광학현미경(40)을 더 갖추고 있기 때문에, 작업자가 광학현미경(40)을 이용하여 패널기판의 양부를 판정하는 육안점등검사장치로서도 사용할 수 있다. 이 경우, 광학현미경(40)에 의해 확대상을 얻는 것이 가능하기 때문에 육안검사를 고정밀도로 행하는 것이 가능하다.Since the inspection apparatus 10 is further equipped with the optical microscope 40, it can be used also as a visual illumination inspection apparatus by which an operator determines the quality of a panel board | substrate using the optical microscope 40. FIG. In this case, since the magnified image can be obtained by the optical microscope 40, visual inspection can be performed with high accuracy.
광학현미경(40)은 Y방향으로 이동 가능하게 본체(14)에 배치된 문 형상의 이동부재(88)에 X방향으로 이동 가능하게 배치되어 있다. 따라서 작업자는 광학현미경(40)을 X방향 및 Y방향으로 이동시켜 패널기판의 임의의 개소를 확대하여 육안으로 보는 것이 가능하다.The optical microscope 40 is arranged to be movable in the X direction to the door-shaped moving member 88 disposed in the main body 14 so as to be movable in the Y direction. Therefore, the operator can move the optical microscope 40 in the X direction and the Y direction to enlarge any part of the panel substrate and visually see it.
검사장치(10)는 수상기(42)를 더 갖추고 있기 때문에, 작업자가 수상기(42)의 화상을 육안으로 봄으로써 패널기판의 양부를 판정하는 육안 점등검사장치로서도 사용할 수 있다. 수상기(42)에 송출하는 화상은, 패널기판 전체의 화상이어도 좋고, 패널기판의 일부를 확대한 화상이어도 좋다. 이들 화상은 라인센서(74)를 적어도 1회 이동시키는 것에 의해 얻어질 수 있다.Since the inspection apparatus 10 is further equipped with the receiver 42, it can also be used as a visual lighting test | inspection apparatus which determines whether the panel board is good or not by the operator visually seeing the image of the receiver 42. The image sent to the receiver 42 may be an image of the entire panel substrate, or may be an image in which a part of the panel substrate is enlarged. These images can be obtained by moving the line sensor 74 at least once.
상기의 자동검사는 라인센서(74)로의 빛의 입사각도를 일정하게 유지한 상태에서 적어도 1회 행한다. 그리고 1개의 패널기판의 자동검사를 복수 회 행할 경우에는, 라인센서(74)로의 빛의 입사각도를 도6에 도시한 바와 같이 변경함으로써 1회 이상의 검사마다 라인센서(74)로의 빛의 입사각도를 변경하는 것이 좋다.The automatic inspection is performed at least once in a state in which the incident angle of light to the line sensor 74 is kept constant. When the automatic inspection of one panel substrate is performed a plurality of times, the incident angle of light to the line sensor 74 is inspected at least once by changing the incident angle of light to the line sensor 74 as shown in FIG. It is good to change it.
라인센서(74)는 복수의 광전변환소자를 직선 모양으로 배치하고 있기 때문에, 검사중인 패널기판 전체를 촬영하는 텔레비전 카메라에 비하여 고분해 능력 및 고정밀도의 것을 용이하게 또한 염가로 얻는 것이 가능하다. 이 때문에 그러한 라인센서(74)를 이용한 검사장치(10)는 라인센서(74)를 위한 센서이동기구에 필요한 코스트를 고려하여도 텔레비전 카메라에 필요한 코스트에 비하여 염가로 된다.Since the line sensor 74 arranges a plurality of photoelectric conversion elements in a straight line, it is possible to easily and inexpensively obtain a high resolution ability and a high precision compared to a television camera that photographs the entire panel substrate under inspection. For this reason, the inspection apparatus 10 using such a line sensor 74 becomes cheap compared with the cost required for a television camera, even considering the cost required for the sensor moving mechanism for the line sensor 74. FIG.
검사장치(10)에 의하면, 패널기판(12)이 검사스테이지(50)에 비스듬히 상향으로 배치되어 있기 때문에, 작업자는 패널기판(12)을 비스듬히 상방으로부터 육안으로 볼 수 있고, 그 결과 육안검사가 용이하게 된다.According to the inspection apparatus 10, since the panel substrate 12 is arranged obliquely upward on the inspection stage 50, the operator can visually see the panel substrate 12 from above obliquely and as a result, the visual inspection is performed. It becomes easy.
상기 실시예는 1개의 라인센서(74)를 이용하고 있으나, 복수 개의 라인센서(74)를 이용하여도 좋다. 특히 2이상의 라인센서(74)를 X방향(제2의 방향)에 서로 이웃하는 상태로 및 Y방향(제1의 방향)에 있어서의 상대적 위치를 변경 가능하게 센서이동기구에 배치하여도 좋다.In the above embodiment, one line sensor 74 is used, but a plurality of line sensors 74 may be used. In particular, two or more line sensors 74 may be arranged in the sensor moving mechanism in a state adjacent to each other in the X direction (second direction) and in a relative position in the Y direction (first direction).
도7에서 도12를 참조하면, 이 실시예에 있어서 촬영장치(72)는 검사부(16)를 비스듬히 상하방향(Y방향)으로 뻗은 2이상의 라인센서(74)를 갖추고, 센서이동기구는 이들 라인센서(74)를 비스듬히 상향방향(Y방향)으로 상대적으로 이동시키는 Y이동기구(90)를 동시에 구비한다.Referring to Figs. 7 to 12, in this embodiment, the photographing apparatus 72 is provided with two or more line sensors 74 which extend the inspection section 16 at an angle in the up and down direction (Y direction), and the sensor moving mechanism includes these lines. A Y moving mechanism 90 for simultaneously moving the sensor 74 in an oblique upward direction (Y direction) is provided at the same time.
각 라인센서(74)는 이미 설명한 라인센서(74)와 동일하게, 다수의 광전변환소자를 라인센서(74)의 길이방향(Y방향)으로, 일렬, 지그재그 또는 복수 열로 배치하고 있고, 또한 Y방향으로 뻗은 센서홀더(76)에 의해 Y이동기구(90)에 조립되어 있다.Each line sensor 74 has a plurality of photoelectric conversion elements arranged in a line, zigzag or a plurality of rows in the longitudinal direction (Y direction) of the line sensor 74, similarly to the line sensor 74 described above. It is assembled to the Y moving mechanism 90 by the sensor holder 76 extending in the direction.
도시한 예에서는, 2개의 라인센서(74)가 센서이동기구에 의해 이동되는 방향(X방향)에 서로 이웃하는 상태로 및 광전변환소자의 배열방향에 있어서 상대적 위치를 변경 가능하게 Y이동기구(90)에 조립되어 있다. 센서홀더(76)는, 라인센서마다 구비되어 있고, 또한 X방향으로 이웃하는 상태로 및 Y방향에 있어서의 상대적 위치를 변경 가능하게 Y이동기구(90)에 배치되어 있다.In the illustrated example, the Y moving mechanism (2) can be changed so that the two line sensors 74 are adjacent to each other in the direction (X direction) moved by the sensor moving mechanism and in the arrangement direction of the photoelectric conversion element. 90) is assembled. The sensor holder 76 is provided for each line sensor, and is arranged in the Y moving mechanism 90 so that the relative position in the Y direction and the relative position in the Y direction can be changed.
센서이동기구의 Y이동기구(90)는, 그 일단부가 θ이동기구(84)에 지지되어 있고, 베어링(86)을 통해 타단부가 다른 쪽의 Z이동기구(82)에 되어 있다. 센서홀더(76)는 Y이동기구(90)에 지지되어 있다. 양 라인센서(74) 및 양 센서홀더(76)는 X이동기구(80)에 의해 동시에 X방향으로 이동되고, Z이동기구(82)에 의해 동시에 Y방향으로 이동되고, θ이동기구(84)에 의해 θ축선의 둘레에 각도를 갖고 회전된다.One end of the Y moving mechanism 90 of the sensor moving mechanism is supported by the θ moving mechanism 84, and the other end thereof is provided to the other Z moving mechanism 82 via the bearing 86. The sensor holder 76 is supported by the Y moving mechanism 90. Both line sensors 74 and both sensor holders 76 are simultaneously moved in the X direction by the X moving mechanism 80, are simultaneously moved in the Y direction by the Z moving mechanism 82, and the θ moving mechanism 84 Is rotated at an angle around the θ axis.
검사하기 전에, Y방향에 있어서의 라인센서(74)의 상대적 위치가 검사해야 할 패널기판(12)의 치수에 대응하여 조정된다. 그와 같은 라인센서(74)의 위치조정은, 전동기를 이용한 Y이동기구(90)에 의해 센서홀더(76)를 Y방향으로 상대적으로 이동시켜 그 위치에 해제 가능하게 유지함에 따라 행하는 것이 가능하다. 그러나 센서홀더(76)를 사람의 손에 의해 Y방향으로 상대적으로 이동시켜 라인센서(74)의 위치조정을 행하여도 좋다.Before inspection, the relative position of the line sensor 74 in the Y direction is adjusted corresponding to the dimension of the panel substrate 12 to be inspected. Such a position adjustment of the line sensor 74 can be performed by relatively moving the sensor holder 76 to the Y direction by the Y moving mechanism 90 using an electric motor, and keeping it at that position. . However, the position of the line sensor 74 may be adjusted by moving the sensor holder 76 relatively in the Y direction by a human hand.
서로 이웃하는 라인센서(74)의 Y방향에 있어서 상대적 위치는 검사해야 할 패널기판(12)의 치수가 적을수록, 서로 이웃하는 라인센서(74)의 단부의 중복량이 많게 되도록, 라인센서(74)의 실질적인 이용범위 즉 유효범위가 조정된다.The relative position in the Y direction of the adjacent line sensors 74 is smaller so that the smaller the dimension of the panel substrate 12 to be inspected is, the larger the amount of overlapping ends of the adjacent line sensors 74 is. The actual scope of use, ie the scope of validity, is adjusted.
도7에서 도12에 도시된 실시예에 있어서도, 자동점등검사 및 육안점등검사의 어느 것이라도 실행할 수 있다.In the embodiment shown in Figs. 7 to 12, any of the automatic lighting inspection and the visual lighting inspection can be executed.
기다란 단일의 라인센서를 이용하여 그 라인센서의 유효범위를 검사해야 할 패널기판의 치수에 대응하여 변경하는 검사장치라면, 예컨대, 직사각형의 적어도 3변의 각각에 복수의 전극을 구비하고 라인센서의 길이 치수보다 적은 치수를 갖는 패널기판을 검사하는 경우나, 패널기판의 위치 맞춤이 패널기판의 중심을 기준으로 하는 경우와 같이, 특수한 경우에, 몇 개의 프로브유닛이 X방향(제2의 방향)으로의 라인센서의 이동을 방해하여, 검사불능으로 되어 버린다.In the case of an inspection apparatus for changing the effective range of the line sensor corresponding to the dimension of the panel substrate by using a single long line sensor, for example, a plurality of electrodes are provided on each of at least three sides of a rectangle and the length of the line sensor In special cases, for example, when inspecting a panel substrate having a dimension smaller than the dimension or when the panel substrate is aligned to the center of the panel substrate, some probe units are moved in the X direction (second direction). Interfering with the movement of the line sensor will make the inspection impossible.
그러나 도7에서 도12에 도시한 실시예에서는, Y방향에 있어서의 라인센서(74)의 상대적 위치가 변경 가능하기 때문에, 적은 또는 큰 치수의 패널기판을 검사할 때는, Y방향에 있어서의 라인센서(74)의 상대적 위치를 검사해야 할 패널기판(12)의 치수에 대응하여 변경하고, 라인센서(74)에 의한 유효범위를 조정하는 것이 가능하고, 따라서 치수가 다른 패널기판의 검사에 용이하게 대응하는 것이 가능하다.However, in the embodiment shown in Fig. 7 to Fig. 12, since the relative position of the line sensor 74 in the Y direction can be changed, the line in the Y direction when inspecting a panel substrate of small or large dimensions. It is possible to change the relative position of the sensor 74 corresponding to the dimension of the panel substrate 12 to be inspected and to adjust the effective range by the line sensor 74, thus facilitating inspection of panel substrates having different dimensions. It is possible to respond.
서로 이웃하는 라인센서(74)의 Y방향에 있어서의 상대적 위치는, 예를 들어, 최소 치수의 패널기판을 검사할 때는, 서로 이웃하는 라인센서(74)가 완전 또는 최대로 무겁게 되어, 서로 이웃하는 라인센서(74)의 중복량이 최대로 되도록 조정된다. 또한 중간크기의 치수를 갖는 패널기판을 검사할 때는, 도9 및 도10에 도시한 바와 같이 서로 이웃하는 라인센서(74)의 중복량이 적어지도록 조정된다. 더욱이 최대 치수를 갖는 패널기판을 검사할 때는, 도11 및 도12에 도시한 바와 같이 서로 이웃하는 라인센서(74)의 중복량이 최소로 되도록 조정된다.The relative position in the Y direction of the line sensors 74 that are adjacent to each other is, for example, when inspecting a panel substrate having a minimum size, the line sensors 74 that are adjacent to each other become completely or maximally heavy, and are adjacent to each other. The overlapping amount of the line sensor 74 is adjusted to the maximum. In addition, when inspecting a panel substrate having a medium size, as shown in Figs. 9 and 10, the amount of overlap of the line sensors 74 adjacent to each other is adjusted to be smaller. Further, when inspecting the panel substrate having the largest dimension, as shown in Figs. 11 and 12, the overlapping amounts of the line sensors 74 adjacent to each other are adjusted to be the minimum.
어느 경우라도, 직사각형의 적어도 3변의 각각에 복수의 전극을 갖추고 라인센서의 길이 치수보다 적은 치수를 갖는 패널기판을 검사할 경우나, 패널기판의 위치맞춤이 패널기판의 중심을 기준으로 하는 경우에 있어서도, 프로브유닛(26)이 X방향으로의 라인센서(74)의 이동을 방해하지 않는다.In any case, when inspecting a panel substrate having a plurality of electrodes on at least three sides of the rectangle and having a dimension smaller than the length of the line sensor, or when the panel substrate is aligned with the center of the panel substrate, Even if the probe unit 26 does not interfere with the movement of the line sensor 74 in the X direction.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들어, 반송로봇, 얼라이먼트장치, 중계장치를 생략하고, 검사해야 할 패널기판을 사람 손에 의해 검사스테이지에 대하여 중계하도록 하여도 좋다. 또한 본 발명은 패널기판을 비스듬히 상향의 상태에서 검사하는 장치뿐 아니라 패널기판을 수평의 상태에서 검사하는 장치에도 적용하는 것이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the transfer robot, the alignment device, and the relay device may be omitted, and the panel substrate to be inspected may be relayed to the inspection stage by human hands. In addition, the present invention can be applied not only to the apparatus for inspecting the panel substrate in an obliquely upward state but also to the apparatus for inspecting the panel substrate in a horizontal state.
본 발명은 그 취지를 벗어나지 않는 한 여러 가지 변경하는 것이 가능하다.The present invention can be variously modified without departing from the spirit thereof.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 패널기판의 자동검사장치는 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비전 카메라를 필요로 하지 않고, 처리능력이 우수하고, 저렴한 가격으로 제조할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.As described above, the automatic inspection apparatus for the panel substrate according to the present invention does not require a high resolution and high precision television camera, and has an effect of the invention that is excellent in processing capacity and can be manufactured at low cost.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of the present invention will be apparent from the appended claims.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424292B1 (en) * | 2001-04-26 | 2004-03-24 | 엘지전자 주식회사 | Test apparatus |
| KR100470099B1 (en) * | 2002-06-17 | 2005-02-05 | 한국전기초자 주식회사 | Apparatus for inspecting defect of glass |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003302439A (en) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | Probe contact device for display panel inspection |
| JP5300431B2 (en) * | 2008-11-17 | 2013-09-25 | 株式会社日本マイクロニクス | Substrate alignment device |
| JP6025358B2 (en) * | 2012-03-26 | 2016-11-16 | 新東エスプレシジョン株式会社 | Inspection device |
| KR101362329B1 (en) * | 2013-09-12 | 2014-02-12 | 한동희 | Inspecting apparatus of pannel for display |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735645A (en) * | 1993-07-23 | 1995-02-07 | Sony Corp | Apparatus for inspecting liquid crystal panel |
| JP3046479B2 (en) * | 1993-09-29 | 2000-05-29 | シャープ株式会社 | Inspection equipment for liquid crystal display |
| JPH07128186A (en) * | 1993-10-29 | 1995-05-19 | Kyocera Corp | Inspection instrument for liquid crystal display |
| JPH08193916A (en) * | 1995-01-19 | 1996-07-30 | Dainippon Printing Co Ltd | Inspection equipment for color sample |
| JP3750831B2 (en) * | 1996-10-28 | 2006-03-01 | 株式会社日本マイクロニクス | Probe assembly |
| JPH1194910A (en) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Mitsubishi Materials Corp | Probe inspection device |
| JP4166340B2 (en) * | 1997-09-24 | 2008-10-15 | オリンパス株式会社 | Board inspection equipment |
| JPH11142286A (en) * | 1997-11-12 | 1999-05-28 | Horiba Ltd | Device for inspecting quality of flat display |
| JP3958852B2 (en) * | 1997-12-22 | 2007-08-15 | 株式会社日本マイクロニクス | Substrate inspection device |
| JP3999863B2 (en) * | 1997-12-22 | 2007-10-31 | 株式会社日本マイクロニクス | Substrate inspection device |
-
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424292B1 (en) * | 2001-04-26 | 2004-03-24 | 엘지전자 주식회사 | Test apparatus |
| KR100470099B1 (en) * | 2002-06-17 | 2005-02-05 | 한국전기초자 주식회사 | Apparatus for inspecting defect of glass |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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