KR20010002690A - 와이어 소우용 와이어 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼용 잉고트 등의 절단에 사용되는 와이어 소우(wire saw)용 와이어에 관한 것이다.

본 발명의 와이어 소우용 와이어는, 철 또는 철합금 와이어에 구리 또는 구리합금 도금층을 피복하는 단계와, 상기 도금된 와이어를 신선기중에서 다단으로 신선하여 도금 신선선을 얻는 단계와, 최종 신선된 도금 신선선이 과황산 암모늄{(NH₄)₂S₂O₈} 1∼10wt%, 황산아연 수화물(ZnSO₄nH₂O) 0.1∼15wt%, 암모니아 또는 암모니아수(NH₃또는 NH₄OH) 1∼20wt%가 함유된 조성의 도금층 박리용액이 채워진 박리 도금조를 침적통과되도록 하여 도금층의 부분적인 제거가 이루어지도록 하는 단계 및 도금층의 부분적인 제거가 이루어진 와이어를 세척하고 건조시키는 단계로 이루어진 일련의 공정에 의해서 제조되며, 이와같은 제조방법을 통해서 얻어진 와이어 소우용 와이어는 도금층의 부분적인 박리제거에 의해 표면 거칠기가 0.6 ∼0.9μm 범위의 거친 표면을 구비하게 된다.

본 발명의 와이어 소우용 와이어는 철 또는 철합금 와이어의 외주면에 피복되는 과도한 구리 또는 구리합금 도금층을 부분적으로 박리 제거되고, 그와같이 도금층이 일부 제거된 와이어의 도금층 표면이 거친 상태로 되어 소우잉 작업시 절삭유가 절삭면으로 용이하게 진입할 수 있도록 함으로써 반도체 잉고트 절단면의 왑페이지 값이 크게 개선되고, 슬러지의 발생량도 감소되는 이점이 있다.

Description

와이어 소우용 와이어 및 그 제조방법{Wire for sawing wire and its manufacturing process}

본 발명은 반도체 웨이퍼용 잉고트 등의 절단에 사용되는 와이어 소우(wire saw)용 와이어에 관한 것으로, 보다 자세하게는 철 또는 철합금 와이어의 표면에 구리나 구리합금 도금층이 피복되어진 소우용 와이어에 있어서 상기 도금층을 부분적으로 박리제거하여 도금층의 잔류량을 감소시킴과 아울러 와이어의 표면 거칠기를 증가시킴에 의해 와이어 소우잉 성능의 향상이 이루어지도록 한 와이어 소우잉 와이어 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 와이어 소우는 반도체 웨이퍼용 잉고트나 크리스탈 또는 유리 등의 절단시 정밀하고 평탄한 절단면을 갖도록 하면서 동시에 여러 매를 절단할 수 있음에 따라 상기와 같은 취성재료의 절단시 주로 사용되어 오고 있다.

도1은 일반적인 와이어 소우용 와이어의 단면구조를 보인 것으로, 도시된 바와같이 와이어 소우용 와이어(1)는 철이나 철합금으로 이루어진 소재 와이어(1a)의 표면에 구리나 구리합금 도금층(1b)이 피복된 구조를 취하고 있다.

도2는 도1에 도시된 바와같은 와이어 소우용 와이어(1)를 포함하는 와이어 소우 장치의 개략구조도로서, 이에 의거하여 와이어 소우 장치의 구조 및 이를 이용한 반도체 잉고트의 절단과정을 간략하게 살펴보고자 한다.

도시된 바와같이, 와이어 소우 장치는 와이어 공급릴 보빈(2)과 와이어 권취릴 보빈(3) 사이에 구동모터(4)에 의해 구동되는 구동롤러(5)와 이 구동롤러의 양 외측 상부에 가이드롤러(6a)(6b)가 서로 평행하게 설치되어 상기 와이어 공급릴 보빈(2)으로부터 공급된 와이어 소우용 와이어(1)가 상기 구동롤러(5)와 가이드 롤러(6a)(6b)에 나선형으로 감긴 다음 와이어 권취릴 보빈(3)에 권취되도록 구성되어 있다.

이와같은 구조로 이루어진 와이어 소우 장치를 이용한 반도체 잉고트(7)의 절단과정은 구동모터(4)를 구동시켜 구동롤러(5)와 가이드 롤러(6a)(6b) 사이에 감긴 와이어 소우용 와이어(1)가 일정한 장력이 유지된 가운데 와이어 공급릴 보빈 (2)으로부터 와이어 권취릴 보빈(3)으로 이송되도록 한 가운데 가이드 롤러(6a) (6b)의 윗쪽으로부터 서서히 절단대상 반도체 잉고트(7)를 하강시켜 이동중인 와이어 소우용 와이어(1)에 접하게 함으로써 반도체 잉고트(7)는 여러장의 웨이퍼로 절단이 이루어지게 된다.

이와같은 절단과정중에는 와이어 소우용 와이어(1)와 반도체 잉고트(7)간의 접촉부로 마모성 입자 슬러리(abrasive grain slurry)로 이루어진 절삭유가 공급되어 마모성 입자와 잉고트 절단면간의 마찰에 의해 잉고트의 절단이 이루어지게 된다.

한편, 상기 와이어 소우 장치를 구성하는 와이어 소우용 와이어는 구리나 구리합금으로 도금된 철 또는 철합금 와이어에 대하여 단계적인 신선을 행하여 가느다란 세선으로 신선을 행함으로써 얻어지게 되는 데, 이와같은 신선공정중에 철계 와이어의 표면에 피복된 구리계 도금층의 두께가 변화되고, 그 변화되는 정도는 아래의 식1과 같이 최종 신선선의 선경 및 신선 가공조건 등에 따르게 된다.

Pt: 최종 신선선의 도금층 두께(μm)

Df: 최종 신선경(mm)

Pm: 신선전 총 와이어 1kg에 대한 도금층의 무게(g)

F: 신선 가공율 및 기계적 요소에 대한 보정 인자(0＜F＜1)

K: 도금층 재질에 따른 상수 (황동:0.235)

상기 식1을 통해 최초의 구리 또는 구리합금 도금된 철 또는 철합금 와이어는 신선공정을 거치는 과정에서 도금층의 두께가 점차로 얇아지게 되지만 최종 신선단계를 거친 후에도 도금층이 여전히 잔류함을 알 수 있다.

철 또는 철합금 와이어에 구리나 구리합금 도금층을 형성하는 이유는 모재 와이어가 다단의 신선다이를 통과하여 연신되는 신선과정에서 모재 와이어의 표면과 다이 사이에 윤활효과를 부여함으로써 신선성을 향상시켜 높은 신선 가공율로 작업이 가능하도록 함과 아울러 동일한 재질에서 높은 인장강도를 얻을 수 있도록 하기 위함이다. 그리고 상기 도금층은 모재 와이어에 방식성을 제공하기도 한다.

그런데, 와이어 소우용 와이어에 피복된 상기의 도금층은 그 표면이 매우 매끄러워서, 다시말하면 표면조도가 낮아서 반도체 잉고트의 절단시 와이어 소우용 와이어와 잉고트간의 접촉부에서의 마찰력을 감소시키므로 와이어 소우의 절단성능을 저하시키는 요인으로 작용하게 된다.

특히, 와이어 소우 장치에서 피절단재의 절삭이 제대로 이루어지기 위해서는 와이어 소우용 와이어에 공급되는 절삭유가 피절단재와 와이어 소우용 와이어의 접촉부로 원활하게 공급되어야만 하는 데, 상기와 같이 매끄러운 표면의 도금층으로 이루어진 와이어 소우용 와이어에서는 절삭유가 상기 접촉부로 충분히 전달되기 어렵다는 문제점이 있다.

또한, 와이어 소우용 와이어의 표면 도금층은 잉고트와의 마찰에 의해서 소우잉 작업 초기에 대부분이 깍여나가서 절삭유중에서 슬러지 형태로 존재하게 되고, 절삭유중에 슬러지의 량이 증가될 수록 절삭유의 성능이 저하되므로 결과적으로 절단성능이 떨어지게 된다.

한편, 반도체용 웨이퍼의 경우에는 요구되는 품질특성중에서 가장 중요한 항목의 하나로 왑페이지가 우수할 것이 요구되고 있는 데, 왑페이지란 도3에 도시된 바의 절단된 웨이퍼(w)에 대한 확대단면도에서와 같이 절단평탄면으로부터 웨이퍼의 돌출단부까지의 평균높이(h)를 이르는 값이다.

이같은 왑페이지 값은 소우잉중 와이어 소우의 진동, 절삭유의 불균일한 공급상태 및 기계적 진동등의 요인에 의해서 증가하게(평탄면을 이루지 못하고 굴곡면을 이루는 정도가 커지게 되는)되며, 왑페이지 값이 0인 웨이퍼라면 가장 이상적이라 할 것인 바, 종래의 도금층이 피복된 와이어 소우잉 와이어를 이용하여 얻어지는 웨이퍼의 경우에는 상기 왑페이지 값을 어느정도 이하로 낮추는 데 한계가 따르고 있다.

종래 와이어 소우용 와이어에서 표면에 도금층이 존재함에 따라 제기되는 상기의 문제점을 해결하기 위한 방편으로 국내 공개특허공보 제2579호 (공개번호: 97-64838)에는 와이어 소우용 와이어의 표면 도금층을 화학적 연마, 물리적 연마 또는 전해 연마를 통해서 완전히 제거한 와이어 소우용 와이어가 개시되어 있다.

그런데, 상기의 와이어 소우용 와이어는 표면 도금층이 제거됨으로써 도금층의 존재에 기인하여 발생되는 상기 문제점의 해결은 어느 정도 기대되긴 하나, 방식효과를 제공하던 도금층이 완전히 제거됨으로 인해 소우용 와이어의 품질특성중 중요한 인자인 인장강도와 내식성이 저하되는 또 다른 문제점이 초래되고, 또한 도금층이 제거된 상태의 와이어 표면 조도가 낮음에 따라 절삭유의 운반특성이 떨어져서 절단성능이 저하되는 단점이 있다.

본 발명은 종래 와이어 소우용 와이어에서 지적되고 있는 상기의 제반 문제점과 단점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 철 또는 철합금 와이어의 표면에 피복된 구리 또는 구리합금 도금층의 일부를 제거하여 와이어 소우용 와이어의 인장강도와 내식성을 저하시킴이 없이 소우잉 작업시 깍여나가는 도금층의 양을 최소화하여 도금층의 박리에 의한 절단성능의 저하가 방지되도록 한 와이어 소우용 와이어 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 와이어 소우용 와이어의 표면 도금층을 부분적으로 제거함에 있어 표면 도금층이 부분적으로 제거된 상태의 와이어 소우용 와이어의 표면이 불규칙한 상태, 즉 표면 거칠기가 큰 상태로 되도록 하여 와이어 소우용 와이어로 공급되는 절삭유의 운반특성을 향상시킴에 의해 와이어 소우용 와이어와 피절단재간의 접촉부에서 마찰력의 증대가 이루어지게 하고 그에 따라 소우잉 효과의 향상이 이루어질 수 있도록 한 와이어 소우용 와이어 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.

도1은 일반적인 와이어 소우용 와이어에 대한 단면도.

도2는 와이어 소우 장치에 대한 개략구조도

도3은 와이어 소우에 의해 절단된 웨이퍼의 절단면에 대한 부분확대 단면도.

도4은 본 발명의 일실시예 와이어 소우용 와이어의 제조공정도.

도5는 본 발명의 다른 실시예 와이어 소우용 와이어의 제조공정도.

도6은 본 발명의 와이어 소우용 와이어의 단면도.

(( 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ))

11. 공급보빈 12. 와이어 소우용 와이어

15. 습식 신선조 16a - 16c. 신선기 콘

17. 신선다이 18. 도금 박리조

20. 세척조 21. 건조장치

24. 권취보빈

본 발명의 와이어 소우용 와이어는 철 또는 철합금 와이어에 구리 또는 구리합금 도금층이 피복된 와이어 소우용 와이어에 있어서, 상기 도금층을 부분적으로 제거하여 와이어 소우용 와이어가 거친 표면을 구비하도록 한 데에 기술적 특징이 있다.

이때, 본 발명 와이어 소우용 와이어의 표면 거칠기는 0.6 ∼0.9μm의 범위가 유지되도록 하는 것이 바람직 한 바, 0.6μm 미만의 표면 거칠기를 띠는 경우에는 절삭유의 유입효과가 미흡하여 왑페이지의 개선효과를 기대할 수 없음과 아울러 슬러지의 발생량도 줄어들지 않는 문제점이 있으며, 반대로 0.9μm를 초과하게 되면 와이어 표면에 부분적으로 과잉 부식이 되는 부분이 나타나서 와이어의 절단력이 감소하게 되므로 반도체 잉고트 절단시 와이어가 쉽게 절단되는 문제점이 있다.

본 발명의 와이어 소우용 와이어는 철 또는 철합금 와이어를 소재 와이어로 하여 그 표면에 구리 또는 구리합금 도금층을 피복한 후 다단계에 걸친 신선작업을 행하여 소정의 가는 직경으로 연신이 이루어지도록 한 다음 불필요하게 과다하게 잔류하는 도금층을 제거함에 있어 도금층이 부분적으로 제거된 와이어의 표면이 불규칙한 상태가 되도록 하는 일련의 공정으로 이루어진 제조방법을 통해서 얻어지게 된다.

상기 도금층의 제거는 도금층 박리용액을 이용한 화학적인 박리나 물리적인 마찰을 이용한 물리적인 연마를 통해서 이루어질 수 있다.

이와같은 본 발명의 와이어 소우용 와이어 제조방법에 대한 구체적인 일 실시예가 도4에 도시되어 있다.

도4는 본 발명의 일실시예 와이어 소우용 와이어의 제조공정도로서, 도시된 바와같이, 본 발명의 와이어 소우용 와이어 제조공정은, 공급대(10)에 장착된 공급보빈(11)으로부터 공급되는 철 또는 철합금 와이어에 구리 또는 구리합금 도금된 와이어 소우용 공급선(12a)은 가이드 롤러(13a)(13b)에 안내되어 신선 윤활제(14)가 채워진 습식 신선조(15)로 이송된다.

상기 습식 신선조(15)의 내부에는 다단 원판상으로 이루어진 신선기 콘(16a)(16b)(16c)이 설치되어 상기 습식 신선조(15)로 이송된 공급선(12a)이 이들 신선기 콘의 다단 원판을 순차적으로 경유하여 지나도록 구성됨과 아울러 신선기 콘(16a)(16b)(16c) 사이의 공급선(12a) 이송로상에는 복수개의 신선 다이(17)가 설치되어 공급선의 이동간에 신선다이를 통과하게 됨으로써 단계적인 신선이 이루어지게 된다.

상기 습식 신선조(15)를 통과하여 나온 최종 신선선으로서의 공급선은 도금층 박리용액이 담긴 도금층 박리조(18)를 통과하면서 표면에 과도하게 형성된 도금층의 일부가 박리제거되어 진다.

이어서, 도금층의 일부가 제거된 와이어 소우용 와이어(12)는 인출 캡스턴(19)에 안내되어 물 또는 알콜이 채워진 세척조(20)를 통과한 후 열풍이 공급되는 건조장치(21)를 지나면서 표면에 대한 건조가 이루어지게 된다.

이어서, 상기 와이어 소우용 와이어(12)는 상부롤러(22) 및 텐션롤러(23)를 순차적으로 지나 최종적으로 권취보빈(24)에 권취되어 짐으로써 본 발명의 와이어 소우용 와이어 제조공정이 완료된다.

이때, 상기 신선과정을 거친 도금 신선선의 도금층 박리 제거를 위한 도금층 박리조(18)에 채워지는 도금층 박리용액은, 과황산 암모늄{(NH₄)₂S₂O₈} 1∼10wt%, 황산아연 수화물(ZnSO₄nH₂O) 0.1∼15wt%, 암모니아 또는 암모니아수(NH₃또는 NH₄OH) 1∼20wt%가 함유되고 나머지 물로 희석된 조성이 바람직하다.

상기 도금층 박리용액에 의한 침적처리 시간은 0.01초 ∼10분 범위로서, 이는 도금층 박리조의 길이와 신선기의 선속에 의해서 결정되며, 그러한 박리용액 처리시간에 따라 도금층 제거량이 비례적으로 증가하게 된다.

도5는 본 발명의 다른 실시예 와이어 소우용 와이어의 제조공정도로서, 본 실시예의 방법에서는 최종 신선된 도금 신선선으로서의 와이어 소우용 와이어가 권취된 보빈을 공급보빈(30)으로 하여 이를 공급대(31)에 장착한 상태에서 공급보빈으로부터 공급되는 와이어 소우용 와이어(32a)가 가이드 롤러(33a)에 안내되어 도금층 박리조(34), 세척조(35), 건조장치(36) 및 가이드 롤러(33b)를 순차적으로 통과되도록 하여 표면 도금층의 부분적인 제거에 의해 불규칙한 표면을 갖는 와이어 소우용 와이어(12)가 최종적으로 권취보빈(37)에 권취되도록 한 방식으로서, 이때 도금 박리조(34)에 채워지는 도금층 박리용액의 조성은 앞서 살펴본 도4의 도금층 박리용액과 동일한 조성을 취한다.

본 실시예의 방법에서는 상기 도4의 와이어에 대한 신선공정에서 최종 신선 다이와 권취기 사이에 도금 박리조를 설치하여 도금층의 박리가 이루어지도록 함으로써 신선선의 이동속도가 신선기의 선속에 의해 결정되는 것에 비해 도금 박리조를 통과하는 선속에 대한 자유로운 조절이 가능하기 때문에 도금 박리조의 길이를 상대적으로 짧게 형성한 가운데 와이어 소우용 와이어의 도금층 박리조 침적시간을 길게 가져갈 수 있는 이점이 있다.

한편, 상기와 같은 제조방법을 통해서 얻어지는 본 발명의 와이어 소우용 와이어는 그 표면에 과도하게 잔류하던 구리 또는 구리합금 도금층의 일부가 제거되어짐에 있어 도금층이 박리제거된 자리, 즉 와이어 소우용 와이어의 표면부가 불규칙한 거치면을 이루게 되는 바, 도6은 이러한 본 발명의 와이어 소우용 와이어의 단면을 확대하여 나타낸 것이다.

도6에 도시된 바와같이, 본 발명의 와이어 소우용 와이어(12)는 철 또는 철합금 와이어 소재(fw)의 외주면에 불규칙한 표면을 갖는 구리 또는 구리합금 도금층(ca)이 피복된 구조로 이루어져 있음을 알 수 있다.

본 발명의 실시예는 다음과 같다.

먼저, 모재 로드로서 직경이 5.5mm 인 경강선 로드를 인발가공하여 직경이 0.96mm인 중간선을 얻은 후에 열처리를 거쳐 7.0g/kg의 부착량으로 황동도금을 실시하였다.

이어서, 상기 도금된 중간 신선선을 다시 냉각 인발 가공하여 직경이 0.18mm인 최종 신선선으로서의 황동도금된 와이어를 얻었다. 상기 황동도금 신선선의 도금 부착량은 6.5g/kg 이었다.

이때, 최종 세선 단계에서 신선기 인출 캡스턴(도4의 19) 직전의 와이어 이동경로상에 도금층 박리조(도4의 18), 세척조(도4의 20) 및 건조장치(도4의 21)를 설치하여 도금층의 박리제거가 이루어지도록 하였다.

상기 도금층 박리조에는 도금층 박리용액으로서 황산 암모늄{(NH₄)₂S₂O₈} 1wt%, 황산아연 7수화물(ZnSO₄7H₂O) 3wt%, 암모니아수(NH₄OH) 15wt%와 나머지 물로 이루어진 조성의 용액을 채워 도금 신선선의 이동간 침적처리가 이루어지도록 하였다.

상기 도금층 박리조를 통과하는 와이어 소우용 와이어의 침적시간을 변화시켜 가면서 표면거칠기, 도금부착량, 인장강도, 왑페이지 및 슬러지 발생량을 측정하였던 바, 그 측정결과는 아래의 표1과 같다.

구분	박리용액침적시간(초)	표면거칠기(μm)	도금부착량(g/kg)	인장강도(N/mm2)	왑페이지(μm)	슬러지발생량
비교예1	0	0.3	6.5	3040	17	100
실시예1	0.1	0.6	6.2	3024	13	75
실시예2	1	0.7	5.0	3040	11	70
실시예3	5	0.7	3.0	3040	10	70
실시예4	10	0.7	1.2	3032	10	65
실시예5	30	0.8	0.3	3036	11	60
실시예6	60	0.8	0.1	3024	10	60
실시예7	180	0.9	0.05	3040	10	50
실시예8	300	0.9	0.05	3040	11	50
실시예9	600	0.9	0.02	3032	10	50

상기 표1에서 비교예는 도금층 박리처리를 행하지 않은 종래의 와이어 소우용 와이어 시편이다.

그리고, 상기 표1의 항목중 표면 거칠기는 일본 Kosaka Laboratory사에서 제조된 SP-83DS2를 이용하여 측정한 Ra(산술적 평균값)이고, 슬러지 발생량은 비교예에서의 슬러지 발생량을 100으로 하여 상대적인 값으로 나타낸 값이다.

상기 표1에서 박리용액중에서의 침적시간이 길어질수록 표면 거칠기는 증가되고 도금부착량은 감소됨을 알 수 있다. 비교예와 대비하여 볼 때 표면 거칠기가 증가되고 도금부착량이 감소할수록 왑페이지 값이 감소되고 슬러지 발생량도 감소됨을 알 수 있다.

본 발명의 실시예 시편이 비교예에 비해 왑페이지 값이 감소되고 또한 슬러지 발생량도 감소되었다는 사실은, 표면 거칠기가 증가될수록 절삭면으로 절삭유의 진입이 용이하여 절삭능이 향상되었음을 의미하는 것이며, 또한 도금 부착량이 감소할수록 절삭유로 유입되는 구리 또는 구리화합물의 양이 감소되어 슬러지 발생량이 감소됨을 나타내고 있다.

이상에서 살펴본 바와같이, 본 발명의 와이어 소우용 와이어는 철 또는 철합금 와이어의 외주면에 피복되는 과도한 구리 또는 구리합금 도금층을 부분적으로 박리 제거되고, 그와같이 도금층이 일부 제거된 와이어의 도금층 표면이 거친 상태로 되어 소우잉 작업시 절삭유가 절삭면으로 용이하게 진입할 수 있도록 함으로써 반도체 잉고트 절단면의 왑페이지 값이 크게 개선되고, 슬러지의 발생량도 감소되는 이점이 있다.

그리고, 본 발명의 와이어 소우용 와이어는 도금층 전부가 제거되는 것이 아니라 와이어의 인장강도와 내식성의 저하를 초래하지 않는 정도의 범위로서 소우잉 작업시 슬러지 발생량을 최소화할 수 있는 정도의 도금층만이 제거되어 지기 때문에 종래에 도금층이 완전히 제거된 형태의 와이어 소우용 와이어에 비해 와이어의 수명향상 및 절단특성의 향상을 도모할 수 있다.

본 발명의 와이어 소우용 와이어는 와이어 소우의 표면 거칠기 증가로 절단능력이 개선되어 소우잉 효과가 증대되고 슬러지 발생량이 감소되는 특성에 기인하여 반도체 웨이퍼 제작용 잉고트, 크리스탈 및 유리 등과 같은 각종 경질 취성재료의 정밀한 절단에 유용하게 활용될 것으로 기대되고 있다.

Claims (2)

1. 철 또는 철합금 와이어에 구리 또는 구리합금 도금층이 피복되어 이루어진 와이어 소우용 와이어에 있어서, 상기 도금층은 부분적인 박리제거에 의해 표면 거칠기가 0.6 ∼ 0.9μm 범위의 거친 표면을 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어 소우용 와이어.
2. 철 또는 철합금 와어어에 구리 또는 구리합금 도금층을 피복하는 단계와, 상기 도금된 와이어를 신선기중에서 다단으로 신선하여 도금 신선선을 얻는 단계와, 최종 신선된 도금 신선선이 과황산 암모늄{(NH₄)₂S₂O₈} 1∼10wt%, 황산아연 수화물(ZnSO₄nH₂O) 0.1∼15wt%, 암모니아 또는 암모니아수(NH₃또는 NH₄OH) 1∼20wt%가 함유된 조성의 도금층 박리용액이 채워진 도금층 박리조를 침적통과되도록 하여 도금층의 부분적인 제거가 이루어지도록 하는 단계 및 도금층의 부분적인 제거가 이루어진 와이어를 세척하고 건조시키는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 와이어 소우용 와이어 제조방법.