KR20000075298A - 듀얼모드 가스공급 시스템 - Google Patents

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옥경하
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Abstract

이온주입 공정에서 압축 가스와 SDS(safety delivery system)가스를 선택적으로 공급할 수 있는 듀얼모드 가스공급 시스템이 개시되어 있다. 상기 가스공급 시스템은 압축가스 또는 SDS 가스를 선택적으로 충전할 수 있는 가스용기를 구비한다. 상기 가스용기의 일측에는 압축가스의 통로 역할을 하는 제1 가스라인이 제공되며, 상기 가스용기의 타측에는 SDS가스의 통로역할을 하는 제2 가스라인이 제공된다. 상기 제1 및 제2 가스라인의 타단부는 메인 가스라인의 일단부에 연통되어 있으며, 상기 메인 가스라인의 타단부는 소스 챔버에 연통되어 있다. 상기 소스챔버는 상기 제1 및 제2 가스라인을 통해 선택적으로 유입되는 압축가스 또는 SDS 가스를 이온화시켜 웨이퍼로 주입한다. 상기 듀얼모드 가스공급 시스템은 사용자의 필요에 따라 압축가스 또는 SDS 가스를 선택적으로 공급할 수 있으며, 상기 가스들을 선택적으로 공급하기 위해 장치를 개조하지 않아도 되므로 비용이 절감되고 시스템의 효율이 향상된다.

Description

듀얼모드 가스공급 시스템 {DUAL MODE GAS SUPPLY SYSTEM}
본 발명은 반도체소자 제조 공정 중 이온주입 공정에 사용되는 가스공급 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이온주입 공정에서 압축 가스와 SDS(safety delivery system)가스를 선택적으로 공급할 수 있는 듀얼모드 가스공급 시스템에 관한 것이다.
반도체소자 제조 공정 중, 이온주입 공정은 고전압 이온 포격을 써서 반도체의 조절된 지역에 선별된 불순물을 넣는 공정이다. 이러한 이온주입 공정의 목적은 원하는 불순물을 원하는 양 만큼 그리고 원하는 깊이 만큼 웨이퍼 내로 주입하므로써 웨이퍼에 소정의 전기적 특성을 부여 하는 것이다. 원하는 불순물을 생성하기 위해서 원재료인 가스가 사용되며, 상기 가스는 소스챔버에서 이온화되어 웨이퍼에 주입되게 된다.
도1에는 종래 이온주입 공정에 사용되는 가스공급 시스템(500)의 구조가 도시되어 있다.
도1에 도시되어 있는 바와 같이, 종래 가스공급 시스템(500)은 압축 가스를 공급하기 위한 가스 박스(400) 및 메인 가스라인(main gas line; 470)을 통해 상기 가스 박스(400)에 연결되어 있는 소스챔버(source chamber; 510)를 구비한다. 상기 메인 가스라인(470)에는 상기 가스 박스(400)로부터 유입되는 가스를 제어하기 위한 메인 밸브(main valve; 475)가 제공된다. 상기 가스 박스(400)로부터 유입되는 가스는 상기 소스챔버(510) 내에서 이온화되어 웨이퍼 내부로 주입된다.
상기 가스 박스(400) 내에는 다수개의 가스 용기(410)가 제공되어 있다. 상기 가스 용기(410)들은 가스라인(430)을 통해 상기 메인 가스라인(470)에 연결된다. 상기 가스라인(430)의 일단부는 체결구(420)를 통해 상기 가스 용기(410)에 결합되므로써, 가스의 누설을 방지한다.
상기 가스라인(430)에는 압축가스에 포함된 불순물을 여과하기 위한 필터(440)가 설치되어 있으며, 상기 필터(440)와 체결구(420) 사이에는 가스의 유입을 개폐하기 위한 제1 밸브(435)가 제공된다. 또한, 상기 필터(440)의 후방에 해당되는 상기 가스라인(430)의 소정위치에는 가스의 압력을 제어하기 위한 레귤레이터(445)가 설치되어 있다. 상기 레귤레이터(445)는 제1 및 제2 압력계(446, 447)를 구비하는데, 상기 제1 압력계(446)는 상기 레귤레이터(445)로 입력되는 가스의 압력을 표시하며, 상기 제2 압력계(447)는 상기 레귤레이터(445)를 통과한 가스의 압력을 표시한다.
상기 레귤레이터(445)의 후방에 해당되는 상기 가스라인(430)의 소정위치에는 가스 유량 조절기(450)가 제공된다. 상기 가스 유량 조절기(450)는 상기 소스챔버(510)로 유입되는 가스의 양을 조절하여 적절한 양의 가스가 상기 소스 챔버(510)로 유입되도록 한다. 상기 레귤레이터(445)와 상기 가스 유량 조절기(450) 사이에는 가스의 유입을 개폐하기 위한 제2 밸브(449)가 제공된다.
미설명부호(460)는 바이패스관으로써, 상기 가스공급 시스템(500)에 이상이 생겼을 경우 가스를 배기시키는 기능을 한다. 상기 바이패스관(460)에는 바이패스 밸브(465)가 설치되어 있다. 상기 바이패스 밸브(465)는 상기 가스공급 시스템(500)이 정상작동되고 있는 동안에는 폐쇄된 상태를 유지한다.
이러한 구성을 갖는 종래 가스공급 시스템(500)은 다음과 같이 작동한다.
먼저, 상기 가스 용기(410)에 담겨져 있는 가스는 체결구(420)를 통해 상기 가스라인(420)으로 공급된다. 이어서, 상기 가스는 제1 밸브(435)를 통해 필터(440)를 통과하는데, 상기 필터(440)를 통과하는 동안 상기 가스에 포함된 불순물이 여과된다.
상기 필터(440)를 통과한 가스는 레귤레이터(445)를 거치게 되면서 그 압력이 줄어들게 된다. 통상적으로, 상기 가스 용기(410)로부터 유출되는 가스의 압력은 400-1200 psi이나 상기 레귤레이터(445)를 통과한 가스의 압력은 약 5psi 정도가 된다. 이때, 상기 레귤레이터(445)의 제1 및 제2 압력계(446, 447)에는 상기 레귤레이터(445)로 입/출력되는 가스의 입/출력 압력이 표시된다.
이렇게 압력이 낮아진 가스는 상기 제2 밸브(449)를 통해 가스유량 조절기(450)로 유입된다. 상기 가스유량 조절기(450)는 상기 가스의 유량을 제어하여 적당량의 가스를 상기 소스챔버(510)로 공급하며, 상기 소스챔버(510)로 공급된 가스는 상기 소스챔버(510) 내에서 이온화되어 웨이퍼 상에 주입되게 된다.
그러나, 상기 구성을 갖는 종래 가스공급 시스템(500)은 압축가스를 공급하는 용도로는 유용하게 사용될 수 있으나, SDS(safety delivery system)가스를 공급하는 용도로 호환 사용할 수 없다는 단점이 있다. 즉, 종래에는 이온주입 공정에 사용되는 가스가 압축가스로 국한되었으나, 현재는 안전도의 관점에서 SDS 가스를 혼용해서 사용하고 있다. 그런데, 상기 SDS 가스는 대기압 상태에서는 가스 용기 내에 있는 가스가 용기 밖으로 나오지 못하도록 설계되어 있기 때문에, 상기 압축가스 시스템에 사용되는 레귤레이터(445)와 가스 유량 조절기(450)를 SDS 가스에 사용할 수 없다는 문제가 발생한다. 즉, SDS 가스에 적합한 별도의 레귤레이터와 가스 유량 조절기가 필요하게 된다.
한편, 가스 비용면에서는 상기 SDS 가스가 상기 압축가스의 수십배에 해당되는 가격차이를 보이고 있기 때문에, 현재 SDS 가스 공급구조로 되어 있는 가스공급 시스템을 압축가스 공급 시스템으로 바꾸고 있는 실정이다. 따라서, 비용을 들여 SDS 가스 공급 시스템을 압축가스 공급 시스템으로 바꾼후, 향후 추세가 SDS 가스를 사용하는 추세가 되면 또 비용을 들여 SDS 가스 공급 시스템으로 바꾸어야 하므로, 비용이 이중으로 소요될 뿐만 아니라 장치의 효율이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상기 종래기술의 문제점을 극복하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 이온주입 공정에서 압축 가스와 SDS가스를 선택적으로 공급할 수 있는 듀얼모드 가스공급 시스템을 제공하는 것이다.
도1은 종래 이온주입 공정에 사용되는 가스공급 시스템의 구조를 보여주는 도면이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이온주입 공정에 사용되는 듀얼모드 가스공급 시스템의 구조를 보여주는 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 듀얼모드 가스공급 시스템 200 : 가스 박스
210 : 가스 용기 220 : 제1 체결구
230 : 제1 가스라인 235 : 제2 가스라인
240 : 제1 필터 250 : 제1 레귤레이터
260 : 제1 가스유량 조절기 270 : 제1 바이패스관
280 : 메인 가스라인 300 : 소스(source) 챔버
330 : 제2 필터 340 : 제2 레귤레이터
360 : 제2 가스유량 조절기 370 : 제2 바이패스관
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 압축가스 또는 SDS 가스가 충전되는 가스용기, 그 일단부가 제1 연결구를 통해 상기 가스용기의 일측에 연결되며, 압축가스의 통로 역할을 하는 제1 가스라인, 그 일단부가 제2 연결구를 통해 상기 가스 용기의 타측에 연결되며, SDS가스의 통로역할을 하는 제2 가스라인 및 그 일단부가 상기 제1 및 제2 가스라인의 타단부에 연통되어 있으며, 그 타단부는 가스를 이온화시켜 웨이퍼로 주입하는 소스 챔버에 연통되어 있는 메인 가스라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드 가스공급 시스템을 제공한다.
상기 제1 가스라인에는 유입되는 가스에 포함된 불순물을 제거하기 위한 제1 필터, 상기 제1 필터를 통과한 가스의 압력을 감소시키기 위한 제1 레귤레이터 및 상기 제1 레귤레이터를 통과한 가스의 유량을 제어하여 상기 소스챔버로 공급하는 제1 가스유량 조절기가 설치된다.
상기 제1 연결구와 상기 제1 필터 사이에는 가스의 유입을 허용/차단하는 제1 밸브가 제공되며 상기 제1 레귤레이터와 제1 가스유량 조절기 사이에도 가스의 유입을 허용/차단하는 제2 밸브가 제공된다.
상기 제2 가스라인에는 유입되는 가스에 포함된 불순물을 제거하기 위한 제2 필터, 상기 제2 필터를 통과한 가스의 압력을 감소시키기 위한 제2 레귤레이터 및 상기 제2 레귤레이터를 통과한 가스의 유량을 제어하여 상기 소스챔버로 공급하는 제2 가스유량 조절기가 제공된다.
상기 제2 연결구와 상기 제2 필터 사이에는 가스의 유입을 허용/차단하는 제3 밸브가 제공되며, 상기 제2 레귤레이터와 제2 가스유량 조절기 사이에도 가스의 유입을 허용/차단하는 제4 밸브가 제공된다.
상기 제1 가스라인으로 압축가스가 유입될 때에는 상기 제3 및 제4 밸브가 차단상태를 유지하며, 상기 제2 가스라인으로 SDS 가스가 유입될 때에는 상기 제1 및 제2 밸브가 차단상태를 유지한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 듀얼모드 가스공급 시스템(100)이 도시되어 있다.
도2에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 듀얼모드 가스공급 시스템(100)은 압축 가스 또는 SDS 가스를 공급하기 위한 가스 박스(200) 및 메인 가스라인(280)을 통해 상기 가스 박스(200)에 연결되어 있는 소스챔버(300)를 구비한다. 상기 메인 가스라인(280)에는 상기 가스 박스(200)로부터 유입되는 가스를 개방/폐쇄하기 위한 메인 밸브(285)가 제공된다. 상기 가스 박스(200)로부터 유입되는 가스는 상기 소스챔버(300) 내에서 이온화되어 웨이퍼 내부로 주입된다.
상기 가스 박스(200) 내에는 압축가스 또는 SDS 가스가 충전되는 가스 용기(210)가 배치된다. 도2에는 하나의 가스 용기(210) 만이 도시되어 있지만, 두 개 또는 그 이상의 가스 용기가 배치될 수 있다.
상기 가스용기(210)의 일측에는 압축가스의 통로 역할을 하는 제1 가스라인(230)이 연결된다. 상기 제1 가스라인(230)의 일단부와 상기 가스용기(210) 사이에는 제1 연결구(220)가 제공되어 가스의 누설을 방지하도록 되어 있다. 또한, 상기 가스 용기(210)의 타측에는 SDS가스의 통로역할을 하는 제2 가스라인(235)이 연결되어 있다. 상기 제2 가스라인(235)의 일단부와 상기 가스용기(210) 사이에는 제2 연결구(320)가 제공되어 가스의 누설을 방지하도록 되어 있다.
상기 제1 및 제2 가스라인(230, 235)의 타단부는 상기 메인 가스라인(280)의 일단부에 연통되어 있다. 따라서, 상기 압축 가스 또는 SDS 가스는 상기 가스 용기(210)로부터 상기 제1 및 제2 가스라인(230, 235)을 통해 상기 메인 가스라인(280)의 일단부로 공급된다. 한편, 상기 메인 가스라인(280)의 타단부는 상기 소스 챔버(300)에 연통되어 상기 제1 및 제2 가스라인(230, 235)을 통해 선택적으로 유입되는 압축가스 또는 SDS 가스를 상기 소스 챔버(300)로 전달한다.
상기 제1 가스라인(230)에는 유입되는 압축가스에 포함된 불순물을 제거하기 위한 제1 필터(240), 상기 제1 필터(240)를 통과한 가스의 압력을 감소시키기 위한 제1 레귤레이터(250) 및 상기 제1 레귤레이터(250)를 통과한 가스의 유량을 제어하여 상기 소스챔버(300)로 공급하는 제1 가스 유량 조절기(260)가 설치되어 있다.
상기 제1 연결구(220)와 상기 제1 필터(240) 사이에는 가스의 유입을 허용/차단하는 제1 밸브(238)가 제공되며, 상기 제1 레귤레이터(250)와 제1 가스 유량 조절기(260) 사이에는 가스의 유입을 허용/차단하는 제2 밸브(257)가 제공된다.
상기 제1 레귤레이터(250)는 제1 및 제2 압력계(254, 255)를 구비하는데, 상기 제1 압력계(254)는 상기 제1 레귤레이터(250)로 입력되는 가스의 압력을 표시하며, 상기 제2 압력계(255)는 상기 제1 레귤레이터(250)를 통과한 가스의 압력을 표시한다. 상기 제1 가스 유량 조절기(260)는 상기 소스챔버(300)로 유입되는 가스의 양을 조절하여 적절한 양의 가스가 상기 소스 챔버(300)로 유입되도록 한다.
상기 제2 가스라인(235)에는 유입되는 압축가스에 포함된 불순물을 제거하기 위한 제2 필터(330), 상기 제2 필터(330)를 통과한 가스의 압력을 감소시키기 위한 제2 레귤레이터(340) 및 상기 제2 레귤레이터(340)를 통과한 가스의 유량을 제어하여 상기 소스챔버(300)로 공급하는 제2 가스 유량 조절기(360)가 설치되어 있다.
상기 제2 연결구(320)와 상기 제2 필터(330) 사이에는 가스의 유입을 허용/차단하는 제3 밸브(325)가 제공되며, 상기 제2 레귤레이터(340)와 제2 가스 유량 조절기(360) 사이에는 가스의 유입을 허용/차단하는 제4 밸브(350)가 제공된다.
상기 제2 레귤레이터(340)는 제3 및 제4 압력계(344, 345)를 구비하는데, 상기 제3 압력계(344)는 상기 제2 레귤레이터(340)로 입력되는 SDS 가스의 압력을 표시하며, 상기 제4 압력계(345)는 상기 제2 레귤레이터(340)를 통과한 SDS 가스의 압력을 표시한다. 상기 제2 가스 유량 조절기(360)는 상기 소스챔버(300)로 유입되는 SDS 가스의 양을 조절하여 적절한 양의 SDS 가스가 상기 소스 챔버(300)로 유입되도록 한다.
상기 제1 가스라인(230)으로 압축가스가 유입될 때에는 상기 제3 및 제4 밸브(325, 350)가 차단상태를 유지하며, 상기 제2 가스라인(235)으로 SDS 가스가 유입될 때에는 상기 제1 및 제2 밸브(238, 257)가 차단상태를 유지하도록 되어 있다. 따라서, 상기 압축 가스 또는 SDS 가스가 상기 제1 및 제2 가스라인(230, 235) 사이에서 역류되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 제1 가스유량 조절기(260)의 위치에 상응하는 상기 제1 가스라인(230)의 소정 위치에는 시스템의 오동작시 압축가스를 배기시키기 위한 제1 바이패스관(270)이 분기되어 있으며, 상기 제2 가스유량 조절기(360)의 위치에 상응하는 상기 제2 가스라인(235)의 소정 위치에는 시스템의 오동작시 SDS 가스를 배기시키기 위한 제2 바이패스관(370)이 분기되어 있다.
상기 제1 및 제2 바이패스관(270, 370)에는 시스템의 정상작동시 폐쇄상태를 유지하며, 시스템의 오동작시 개방되게 되는 제1 및 제2 바이패스 밸브(275, 375)가 각각 제공된다. 상기 제1 내지 제4 밸브(238, 257, 325, 350) 및 상기 제1 및 제2 바이패스 밸브(275, 375)는 전자적으로 제어되는 솔레노이드 밸브를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 구성을 갖는 본 발명에 따른 듀얼모드 가스공급 시스템(100)은 다음과 같이 작동한다.
먼저, 압축가스를 공급할 경우에는 압축가스가 충전된 가스용기(210)가 장착되며, 상기 제1 가스라인(230)의 제1 및 제2 밸브(238, 257)는 개방되고, 상기 제2 가스라인(235)의 제3 및 제4 밸브(325, 350)는 차단된다.
따라서, 상기 가스 용기(210)에 담겨져 있는 압축가스는 제1 체결구(220)를 통해 상기 제1 가스라인(230)으로 공급된다. 상기 압축가스는 상기 제1 밸브(238)를 통해 제1 필터(240)를 통과하는데, 상기 제1 필터(240)를 통과하는 동안 상기 압축가스에 포함된 불순물이 여과된다.
상기 제1 필터(240)를 통과한 압축가스는 제1 레귤레이터(250)를 거치게 되면서 그 압력이 줄어들게 된다. 통상적으로, 상기 가스 용기(210)로부터 유출되는 가스의 압력은 400-1200 psi이나 상기 제1 레귤레이터(250)를 통과한 가스의 압력은 약 5psi 정도가 된다. 이때, 상기 제1 레귤레이터(250)의 제1 및 제2 압력계(254, 255)에는 상기 제1 레귤레이터(250)로 입/출력되는 가스의 입/출력 압력이 표시된다.
이렇게 압력이 낮아진 가스는 상기 제2 밸브(257)를 통해 제1 가스유량 조절기(260)로 유입된다. 상기 제1 가스유량 조절기(260)는 상기 압축가스의 유량을 제어하여 적당량의 압축가스를 상기 소스챔버(300)로 공급하며, 상기 소스챔버(300)로 공급된 압축가스는 상기 소스챔버(300) 내에서 이온화되어 웨이퍼 상에 주입되게 된다.
한편, SDS가스를 공급할 경우에는 SDS 가스가 충전된 가스 용기(210)가 장착되며, 상기 제1 가스라인(230)의 제1 및 제2 밸브(238, 257)는 폐쇄되고, 상기 제2 가스라인(235)의 제3 및 제4 밸브(325, 350)는 개방된다.
따라서, 상기 가스 용기(210)에 담겨져 있는 SDS가스는 제2 체결구(320)를 통해 상기 제2 가스라인(235)으로 공급된다. 상기 SDS가스는 상기 제3 밸브(325)를 통해 제2 필터(330)를 통과하는데, 상기 제2 필터(330)를 통과하는 동안 상기 SDS가스에 포함된 불순물이 여과된다.
상기 제2 필터(330)를 통과한 SDS가스는 제2 레귤레이터(340)를 거치게 되면서 그 압력이 줄어들게 된다. 이때, 상기 제2 레귤레이터(340)의 제3 및 제4 압력계(344, 345)에는 상기 제2 레귤레이터(340)로 입/출력되는 가스의 입/출력 압력이 표시된다.
이렇게 압력이 낮아진 SDS가스는 상기 제4 밸브(350)를 통해 제2 가스유량 조절기(360)로 유입된다. 상기 제2 가스유량 조절기(360)는 상기 SDS가스의 유량을 제어하여 적당량의 SDS가스를 상기 소스챔버(300)로 공급하며, 상기 소스챔버(300)로 공급된 SDS가스는 상기 소스챔버(300) 내에서 이온화되어 웨이퍼 상에 주입되게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 듀얼모드 가스공급 시스템은 사용자의 필요에 따라 압축가스 또는 SDS 가스를 선택적으로 공급할 수 있다는 장점을 갖는다.
또한, 상기 가스들을 선택적으로 공급하기 위해 장치를 해체 및 조립하거나 개조하지 않아도 되므로 비용이 절감되고 시스템의 효율이 향상된다는 장점을 갖는다.
이상 본 발명이 바람직한 실시예를 참고로 설명되었으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상의 범주 내에서 다양한 개량이나 변형이 가능하고, 이러한 개량이나 변형 또한 본 발명에 속한다는 것은 당업자라면 인지할 수 있을 것이다.

Claims (3)

  1. 압축가스 또는 SDS 가스가 충전되는 가스용기;
    그 일단부가 제1 연결구를 통해 상기 가스용기의 일측에 연결되며, 압축가스의 통로 역할을 하는 제1 가스라인:
    그 일단부가 제2 연결구를 통해 상기 가스 용기의 타측에 연결되며, SDS가스의 통로역할을 하는 제2 가스라인; 및
    그 일단부가 상기 제1 및 제2 가스라인의 타단부에 연통되어 있으며, 그 타단부는 가스를 이온화시켜 웨이퍼로 주입하는 소스 챔버에 연통되어 있고, 상기 제1 및 제2 가스라인으로부터 유입되는 압축가스 또는 SDS 가스를 상기 소스 챔버로 공급하는 메인 가스라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드 가스공급 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 가스라인에는 유입되는 가스에 포함된 불순물을 제거하기 위한 제1 필터, 상기 제1 필터를 통과한 가스의 압력을 감소시키기 위한 제1 레귤레이터, 상기 제1 레귤레이터를 통과한 가스의 유량을 제어하여 상기 소스챔버로 공급하는 제1 가스유량 조절기, 상기 제1 연결구와 상기 제1 필터 사이에 배치되어 가스의 유입을 허용/차단하는 제1 밸브, 및 상기 제1 레귤레이터와 제1 가스유량 조절기 사이에 배치되어 가스의 유입을 허용/차단하는 제2 밸브가 제공되며, 상기 제2 가스라인에는 유입되는 가스에 포함된 불순물을 제거하기 위한 제2 필터, 상기 제2 필터를 통과한 가스의 압력을 감소시키기 위한 제2 레귤레이터, 상기 제2 레귤레이터를 통과한 가스의 유량을 제어하여 상기 소스챔버로 공급하는 제2 가스유량 조절기, 상기 제2 연결구와 상기 제2 필터 사이에 배치되어 가스의 유입을 허용/차단하는 제3 밸브, 및 상기 제2 레귤레이터와 제2 가스유량 조절기 사이에 배치되어 가스의 유입을 허용/차단하는 제4 밸브가 제공되고, 상기 제1 가스라인으로 압축가스가 유입될 때에는 상기 제3 및 제4 밸브가 차단상태를 유지하며, 상기 제2 가스라인으로 SDS 가스가 유입될 때에는 상기 제1 및 제2 밸브가 차단상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 듀얼모드 가스공급 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 가스유량 조절기의 위치에 상응하는 상기 제1 가스라인의 소정 위치에는 시스템의 오동작시 압축가스를 배기시키기 위한 제1 바이패스관이 분기되어 있으며, 상기 제2 가스유량 조절기의 위치에 상응하는 상기 제2 가스라인의 소정 위치에는 시스템의 오동작시 SDS 가스를 배기시키기 위한 제2 바이패스관이 분기되어 있고, 상기 제1 및 제2 바이패스관에는 시스템의 정상작동시 폐쇄상태를 유지하며, 시스템의 오동작시 개방되는 제1 및 제2 바이패스 밸브가 각각 제공되는 것을 특징으로 하는 듀얼모드 가스공급 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160138877A (ko) 2015-05-26 2016-12-06 (주)펠리테크 마이크로파를 이용한 세라믹 발열 하이브리드 건조기

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