KR0124714Y1 - 개스 라인 펌핑장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 공정에 사용되는 개스를 공급하는 개스 라인 펌핑장치에 관한 것으로, 특히 개스 라인 폭발을 방지할 수 있는 개스 라인 펌핑장치에 관한 것으로, 아르곤 개스의 유량을 조절하면서 공급하는 유량조절기(2); 상기 유량조절기(2)를 통과한 아르곤 개스를 공정 체임버로 투입되거나 차단하도록 하는 제 1 및 제 2 공정밸브(4,6); 및 상기 유량조절기(2)와 제 1 공정밸브(4)사이에 설치되어 상기 제 1 및 제 2 공정밸브(4,6)가 폐쇄된 경우 펌핑을 하여 개스라인의 폭발을 방지하는 제 3 및 제 4 공정밸브(8,10)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Description
제1도는 본 고안에 의한 개스 라인 펌핑장치를 개략적으로 나타내는 블록도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 유량조절기 4 : 제 1 공정밸브
6 : 제 2 공절밸브 8 : 제 3 공정밸브
10 : 제 4 공정밸브
본 고안은 반도체 공정에 사용되는 개스를 공급하는 개스 라인 펌핑장치에 관한 것으로, 특히 개스 라인에 잔류된 개스압의 상승에 따라 폭발하는 것을 방지할 수 있는 개스 라인 펌핑장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자생산에 사용되고 있는 스퍼터 장비의 공정개스로서 아르곤(Ar) 개스를 사용하며, 상기 공정개스의 유량은 MFC(Mass Flow control)에 의하여 조절된다. 또한, 종래에는 상기 MFC에 의해 유량이 조절된 개스가 제 1 및 제 2 공정밸브를 통하여 공정튜브로 유입되는 구조로 되어 있다.
이때, 상기 공정튜브로 공급되는 개스의 차단시, 상기 MFC와 제 1 공정밸브 사이의 개스공급라인에 개스압이 차게 되며, 이는 다음 공정을 위해 아르곤(Ar) 개스가 공급될 때, 상기 개스공급라인에 개스압이 상승되고 있다. 또한 상기 MFC를 오래 사용하게 되면 MFC 자체에 개스 유출이 발생하며, 상기 개스 유출로 인하여 개스공급라인의 압력이 챔버앞까지 차게 된다.
이러한 상태에서 공정가스가 공급될 경우에 챔버 내부에서 분진을 유발시키며, 상기 개스압의 상승으로 인하여 개스공급라인에 폭발이 발생하여 분진으로 인한 반도체 소자 생산 수율에 막대한 지장을 초래하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 고안은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, MFC와 제 1 공정밸브사이에 두 개의 공정밸브를 추가로장착하여 공정완료후 개스공급라인에 개스압이 상승하거나, MFC의 오동작에 따라 개스가 라인내로 누출되어 있는 것을 펌핑하므로써 상기 개스압력에 따른 개스 라인의 폭발을 방지하고 또한 상기 개스압력의 영향으로 공정챔버내에서 파티클이 발생하는 것을 방지하는 개스 라인 펌핑장치를 제공함에 그 목적을 두고 있다.
본 고안은 상기 목적을 달성하기 위하여, 공정개스의 유량을 조절하면서 공급하는 유량조절기; 상기 유량조절기를 통과한 공정개스가 공정챔버로 투입되도록 개스공급경로를 제공하는 개스공급라인; 상기 개스공급라인상에 설치되어 공정챔버로 공정개스가 공급되거나 차단되도록 외부의 제어신호에 의해 개폐되는 제 1 및 제 2 공정밸브; 및 상기 개스공급라인에서 분기된 펌핑라인; 상기 펌핑라인상에 설치되어 외부의 제어신호에 의해 상기 제 1 및 제 2 공정밸브의 개폐동작과 반대로 동작하며, 개스공급라인에 개스압이 형성되는 것을 제거하도록 개방되는 제 3 공정밸브; 및 상기 제 3 공정밸브의 후단부 펌핑라인에 장착되며, 진공펌프에 연결된 외부의 공정챔버를 펌핑할 경우 차폐되어 제 3 공정밸브측으로 진공압력이 역류되는 것을 방지하는 제 5 공정밸브를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 개스 라인 펌핑장치를 제공한다.
이하, 제1도를 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 제1도는 본 고안에 개스 라인 펌핑장치를 개략적으로 나타내는 블록도이며, 도면에서 2는 유량조절기, 4는 제 1 공정밸브, 6은 제 2 공절밸브, 8은 제 3 공정밸브, 10은 제 4 공정밸브를 각각 나타낸다.
본 실시예에서는 제1도에 도시된 바와 같이, 상기 유량조절기(2)와 제 1 공정밸브(4)사이에 연결된 개스공급라인에 펌핑라인이 분기되도록 장착된다. 또한, 상기 펌핑라인상에는 제 3 공정밸브(8)와 제 4 공정밸브(10)가 순차적으로 연결되며, 상기 제 4 공정밸브(10)에는 진공펌프가 연결되어 상기 진공펌프의 동작으로 개스공급라인을 펌핑하여 그의 내부에 잔류하는 개스압을 제거하는 구조로 되어 있다.
여기서, 상기 제 4 공정밸브(10)는 진공펌프가 외부의 챔버를 펌핑할 경우, 차페되도록 외부의 제어신호에 의해 개폐동작이 제어되어 상기 진공펌프에 의한 외부 챔버의 진공압이 제 3 공정밸브(8)측으로 역류되는 것을 방지하는 기능을 한다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 동작을 상세히 설명한다.
먼저, 상기 제 1 공정밸브(4)와 제 3 공정밸브(8)의 신호 파워 라인을 같이 연결하다. 제 1 공정밸브(4)와 제 3 공정밸브(8)의 개폐동작은 서로 반대로 동작한다. 예를 들면, 제 1 공정밸브(4)가 차폐된 경우, 제 3 공정밸브(8)는 개방된다. 따라서, 공정 튜브로 공정개스가 투입되는 경우에 제 1 공정밸브(4)와 제 2 공정밸브(6)는 개방되게 된다. 또한, 공정이 완료되면 제 1 공정밸브(4)와 제 2 공정밸브(8)는 차폐됨과 동시에, 제 3 공정밸브(8) 및 제 4 공정밸브(10)가 개방되며, 진공펌프의 작동에 따라 유량조절기(MFC, Mass Flow Control)(2)와 제 1 공정밸브(4) 사이의 개스공급라인을 펌핑라인을 통하여 계속적으로 펌핑하게 된다.
여기서, 상기 제 4 공정밸브는 진공펌프가 그에 연결된 외부의 챔버를 진공시킬 경우에 차폐되도록 동작하여 진공압이 제 3 공정밸브(8)를 통하여 개스공급라인을 오염키는 것을 미연에 차단한다.
연결된 챔버의 러핑밸브(14)의 신호 파워 라인을 같이 연결하여 서로 반대의 개폐동작이 이루어지도로 한다. 즉, 상기 제 3 및 제 4 공정밸브(8, 10)가 개방되어 펌핑동작하는 경우에는 상기 러핑밸브(14)는 차폐되어 있도록 되어 있으며, 상기 챔버A, B(16, 18)를 펌핑하기 위하여 상기 러핑밸브(14)를 개방시켰을 경우에는 상기 제 4 공정밸브(10)가 차폐되도록 동작한다. 이에 따라, 러핑밸브(14)가 개방되었을 때, 상기 챔버A, B(16, 18)의 진공압이 제 4 공정밸브(10)를 통하여 유입되는 것을 차단함으로써 진공압에 의해 개스공급라인이 오염되는 것을 방지하게 되는 것이다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 고안은 유량조절기와 제 1 공정밸브사이에 잔류되어 있는 개스압을 펌핑하여 제거하므로써 상기 개스압에 의해 개스라인이 폭발되거나 상기 개스압에 의해 파티클이 발생하는 것을 신뢰성있게 방지하며, 이에 따라 반도체 제조 공정 수율 및 장비의 가동율을 향상시킬 수 있는 우수한 효과를 갖는다.
Claims (1)
- 개스 라인 펌핑장치에 있어서, 공정개스의 유량을 조절하면서 공급하는 유량조절기; 상기 유량조절기를 통과한 공정개스가 공정챔버로 튜입되도록 개스공급경로를 제공하는 개스공급라인; 상기 개스공급라인상에 설치되어 공정챔버로 공정개스가 공급되거나 차단되도록 외부의 제어신호에 의해 개폐되는 제 1 및 제 2 공정밸브; 및 상기 개스공급라인에서 분기된 펌핑라인; 상기 펌핑라인상에 설치되어 외부의 제어신호에 의해 상기 제 1 및 제 2 공정밸브의 개폐동작과 반대동작하며, 개스공급라인에 개스압이 형성되는 것을 제거하도록 개방되는 제 3 공정밸브; 및 상기 제 3 공정밸브의 후단부 펌핑라인에 장착되며, 진공펌프에 연결된 외부의 공정챔버를 펌핑할 경우 차폐되어 제 3 공정밸브측으로 진공압력이 역류되는 것을 방지하는 제 4 공정밸브를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 개스 라인 펌핑장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940020887U KR0124714Y1 (ko) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 개스 라인 펌핑장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940020887U KR0124714Y1 (ko) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 개스 라인 펌핑장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960009256U KR960009256U (ko) | 1996-03-16 |
| KR0124714Y1 true KR0124714Y1 (ko) | 1999-02-18 |
Family
ID=19391006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019940020887U KR0124714Y1 (ko) | 1994-08-18 | 1994-08-18 | 개스 라인 펌핑장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0124714Y1 (ko) |
-
1994
- 1994-08-18 KR KR2019940020887U patent/KR0124714Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960009256U (ko) | 1996-03-16 |
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