KR200194077Y1 - 챔버간 진공도 차이 감소장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 공정챔버(1)에 공정개스의 공급을 제어하는 공정개스 밸브(2)가 닫히면 소정 시간 동안 상기 챔버의 펌핑을 실시하도록 구성된 제어수단(3,4)을 구비하는 것을 특징으로 하여, 공정후 챔버간의 진공도 격차를 완화시킴으로써 챔버의 손상과 파티클의 발생을 방지하는 효과가 있는 챔버간 진공도 차이 감소 장치에 관한 것이다.

Description

챔버간 진공도 차이 감소장치

제1도는 본 고안에 따른 챔버간 진공도 차이 감소장치의 일실시예를 나타낸 구성도.

제2도는 제1도에 도시된 타이머의 회로도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 냉각챔버 2,3 : 밸브

4 : 타이머 10 : 진압레벨 하강부

20 : 단안정 멀티바이브레이터 30 : 전압레벨 상승부

본 고안은 고진공 상태를 필요로하는 반도체 장비에서의 공정 챔버간 진공도 차이를 최소화하는 챔버간 진공도 차이 감소장치에 관한 것이다.

일반적인 스퍼터링 장비를 그 일예로 종래 기술을 살펴본다.

종래의 스퍼터링 장비에서 공정이 끝난 웨이퍼는 냉각챔버에서 냉각되는데, 이때 냉각챔버 내부로 냉각가스인 아르곤(Ar) 가스가 밸브를 통해 주입된다.

그러나, 종래에는 상기와 같은 웨이퍼 냉각공정을 끝마친 후, 떨어진 진공도를 보강하기 위한 펌핑을 수행하지 않고 바로 버퍼챔버와 연결된 슬릿밸브를 오픈하므로, 상기 냉각챔버와 버퍼챔버와의 진공도 차이로 인해 챔버가 손상되는 문제점이 있었다.

또한, 상기한 진공도 차이로 인해, 챔버내에 파티클(particle)이 발생하여 챔버내를 오염시키는 등의 문제점을 초래했다.

따라서, 본 고안은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것 으로서, 냉각공정후, 냉각챔버와 버퍼챔버 간의 진공도가 실질적으로 동일해지도록 상기 냉각챔버에 소정시간동안의 펌핑공정을 수행하므로써, 챔버의 손상과 파티클의 발생을 방지할 수 있는 챔버간 진공도 차이 감소장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 웨이퍼에 소정공정을 실시하기 위한 챔버; 외부로부터 인가되는 제어신호에 따라 개폐되어, 상기 챔버에 공정가스를 주입/차단하기 위한 공정가스 밸브수단; 상기 챔버에 연결되어, 상기 챔버내에 주입된 공정가스를 배출시키는 러프펌프; 상기 챔버와 러프펌프를 연결하는 진공통로 상에 설치되며, 외부에서 발생되는 펄스신호에 따라 동작하여 상기 진공통로를 개폐시키는 러프펌프용 밸브; 및 상기 러프펌프용 밸브를 제어하기 위한 하나의 펄스를 소정시간동안 발생시키는 타이머를 포함하는 챔버간 진공도 차이 감소장치를 제공한다.

이하, 첨부된 제1도 및 제2도를 참조하여 본 고안의 일실시예를 상세히 설명한다.

먼저, 제1도는 반도체 장치에 설치된 본 고안에 따른 챔버간 진공도 차이 감소장치의 구성도로서, 도면에서 1은 챔버, 2는 아르곤 밸브, 3은 진공 밸브, 4는 타이머를 각각 나타낸다.

제1도에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 챔버간 진공도 차이 감소장치는 웨이퍼 소정공정을 실시하기 위한 냉각챔버(1)와, 장비내에서 발생된 제어 신호에 따라 개폐되어 냉각가스인 아르곤 가스를 냉각챔버(1)내로 주입/차단하기 위한 아르곤 밸브(2)와, 냉각챔버(1) 내부의 가스를 배출시키기 위한 러프펌프를 냉각챔버(1)와 연결시킨 진공통로상에 설치된 러프펌프용 밸브(3)와, 상기 아르곤 밸브(1)의 차폐신호에 따라 소정시간동안 러프펌프용 밸브(3)를 개방시키기 위한 펄스를 발생시키는 타이머(4)를 구비한다.

참고적으로, 제2도는 제1도에 도시핀 타이머의 바람직한 실시예의 회로도로서, 도면에서 10은 전압레벨 하강부, 20은 단안정 멀티바이브레이터(mono-stable multivibrator), 30은 전압레벨 상승부, LED는 발광 다이오드를 각각 나타낸다.

도면에 도시된 바와 같이 타이머는, 상기 아르곤 밸브의 개폐신호에 따라 하 나의 펄스를 출력하도록 구성된 단안정 멀티바이브레이터(20)를 구비한다.

또한, 본 실시예의 타이머(4)는, 스윙폭이 24V인 아르곤 밸브 개폐신호를 스윙폭 5V로 변경하여 상기 단안정 멀티바이브레이터(20)의 트리거단으로 인가하는 전압레벨 하강부(10)와, 단안정 멀티바이브레이터(20)에서 발생된 스윙폭 5V의 펄스를 스윙폭 24V의 러프펌프용 밸브 개폐신호로 변환하여 출력하는 전압레벨 상승부(30)를 구비한다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 동작상태에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

냉각될 웨이퍼가 냉각챔버(1)내로 들어오면, 아르곤 밸브(2)가 개방되고, 러프 펌프용 밸브(3)는 차폐된다. 이어, 상기 웨이퍼의 냉각이 끝나면 아르곤 밸브(2)가 차폐되어 냉각챔버(1) 내로 아르곤 가스가 주입되는 것을 방지하고, 타이머(4)로부터 발생된 펄스에 의해 소정시간동안 러프펌프용 밸브(3)를 개방시켜, 챔버(1)내의 공기를 흡입하므로써, 상기 냉각챔버(1) 내의 진공도가 버퍼챔버와 실질적으로 동일하도록 한다. 이에 따라, 상기 냉각챔버(1)와 버퍼챔버와의 연결부에 위치한 슬릿 밸브가 열리더라도 챔버간의 진공도 차이는 종래 기술에서보다 감소되는 것이다.

참고적으로, 타이머(4)의 동작시간을 설정하는 방법은 주로 단안정 멀티바이브레이터(20)에 구비된 가변저항을 변동시키므로써 가능해진다.

상기와 같이 이루어지는 본 고안은, 냉각공정이 끝난 챔버에 진공펌핑을 소 정시간동안 실시하도록 구성되어, 냉각챔버와 버퍼챔버 사이의 진공도가 실질적으로 일치하도록 함으로써, 상기 두 챔버 간의 진공도 차이로인한 챔버의 손상파 피티클의 발생을 방지하는 효과가 있다.

이상에서 설명한 본 고안은, 본 고안에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이다.

Claims (4)

1. 웨이퍼에 소정공정을 실시하기 위한 챔버; 외부로부터 인가되는 제어신호에 따라 개폐되어, 상기 챔버에 공정가스를 주입/차단하기 위한 공정가스 밸브수단; 상기 챔버에 연결되어, 상기 챔버내에 주입된 공정가스를 배출시키는 러프펌프; 상기 챔버와 러프펌프를 연결하는 진공통로 상에 설치되며, 외부에서 발생되는 펄스신호에 따라 동작하여 상기 진공통로를 개폐시키는 러프펌프용 밸브; 및 상기 러프펌프용 밸브를 제어하기 위한 하나의 펄스를 소정시간동안 발생시키는 타이머를 포함하는 챔버간 진공도 차이 감소장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 타이머는, 상기 공정가스 밸브수단의 개폐신호에 따라, 상기 펄스를 발생시키는 단안정고, 멀티바이브레이터를 포함하는 챔버간 진공도 차이 감소장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 타이머가, 상기 공정가스 밸브수단 개폐신호의 스윙폭을 논리소자에 적합한 스윙폭으로 변환하여, 상기 단안정 멀티바이브레이터에 트리거 신호에 인가하는 제1전압레벨 변환수단을 더 포함하는 챔버간 진공도 차이 감소장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 타이머가, 상기 단안정 멀티바이브레이터의 출력을 상기 진공도 향샹수단을 동작시키기에 적합한 스윙폭으로 변환시키는 제2전압레벨 변환수단을 더 포함하는 챔버간 진공도 차이 감소장치.