KR200195109Y1 - 반도체의 래티클보관장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치는 모터와 팬을 이용하여 외부공기를 유입한 후 필터를 통해서 걸러진 외부공기를 챔버내의 래티클 보관선반으로 공급하는 반도체의 래티클 보관장치에 있어서, 상기 챔버의 일측에 질소가스공급부를 설치하고, 그 질소가스공급부에서 래티클보관선반의 상단까지 연결되도록 질소가스공급관을 설치하며, 그 질소가스공급관의 단부에 다수개의 질소가스공급노즐을 설치하여, 외부공기를 유입하는 모터의 구동이 정지하였을 때 챔버내에 일정압이 유지되도록 질소가스를 공급하도록 하므로, 장비내 문제점에 의해서 장시간 장비를 다운하여야 하는 경우, 혹은 외부전원의 문제점으로 외부 전원이 공급되지 않을 때 장비내에 질소가스 퍼지(purge)를 시킬 수 있으므로, 장비내의 청정도를 유지할 수 있어 장비내 보관중인 레티클의 파티클 오염을 방지할 수 있도록 한다.
Description
본 고안은 반도체의 래티클보관장치에 관한 것으로, 특히 장비내 문제점에 의해서 장시간 장비를 다운하여야 하는 경우, 혹은 외부전원의 문제점으로 외부 전원이 공급되지 않을 때 장비내에 질소가스 퍼지(purge)를 시킬 수 있으므로, 장비내의 청정도를 유지할 수 있어 장비내 보관중인 레티클의 파티클 오염을 방지할 수 있도록 한 반도체의 래티클보관장치에 관한 것이다.
종래의 기술에 의한 반도체의 래티클보관장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 래티클보관용 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 하부에 설치한 모터 및 팬(2)과, 상기 모터에 구동으로 회전하는 팬에 의해 외부공기가 유입되어 챔버(10)내부를 이동하는 이동통로(3)와, 상기 이동통로(3)의 내측에 설치하여 외부공기를 걸러주도록 한 필터(4)와, 상기 필터(4)의 안쪽에 설치되어 래티클을 보관하게 되는 래티클보관선반(1)으로 구성된다.
이와 같이 구성된 종래의 기술에 의한 반도체의 래티클보관장치의 작용을 설명하며, 구성에서 살펴본 바와 같이, 챔버 하부의 모터가 구동하여 팬(2)을 회전시킴으로써 외부공기를 챔버(10)내부로 유입시키게 되고, 상기 유입된 외부공기는 챔버(10)내부의 이동통로(3)를 통해 챔버(10)의 상부로 이동하게 된다. 이때 이동통로(3)의 내측에 필터(4)를 설치하고, 상기 필터(4)의 후면에 외부공기유입공(도면에 도시되지 않음)을 형성하여, 상기 외부공기가 필터(4)를 통해 걸러진 상태로 챔버내의 래티클보관선반(1)으로 유입되어 일정압을 유지한채 래티클의 청정을 유지할 수 있게 한다.
그러나, 종래의 기술에서는 래티클이 고청정 영역에서 보관되어야 하나 장비내 문제점에 의해서 장시간 장비가 다운되는 경우, 혹은 외부 전원의 문제점으로 외부전원이 공급되지 않는 경우, 모터가 동작되지 않으므로 해서 장비내에 공기를 공급해줄 수 없어 장시간 장비내의 청정도를 유지하지 못하여 장비내의 파티클 오염을 유발시키게 되는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안의 목적은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 것으로, 장비내 문제점에 의해서 장시간 장비다운이나, 외부 전원이 공급되지 않을 때 장비내에 질소가스 퍼지(purge)를 시킬 수 있으므로, 장비내의 청정도를 유지할 수 있어 장비내 보관중인 레티클의 파티클 오염을 방지할 수 있도록 한 반도체의 래티클보관장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래의 기술에 의한 반도체의 래티클보관장치를 나타내는 정면도.
도 2는 종래의 기술에 의한 반도체의 래티클보관장치를 나타내는 측면도.
도 3은 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치를 나타내는 정면도.
도 4는 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치를 나타내는 측면도.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
11 ; 래티클보관선반 12 ; 모터
16 ; 질소가스공급부 16a ; 필터
16b ; 레귤레이터 16c ; 공급밸브
17 ; 질소가스공급관 18 ; 질소가스공급노즐
20 ; 챔버
이러한, 본 고안의 목적은 모터와 팬을 이용하여 외부공기를 유입한 후 필터를 통해서 걸러진 외부공기를 챔버내의 래티클 보관선반으로 공급하는 반도체의 래티클 보관장치에 있어서, 상기 챔버의 일측에 질소가스공급부를 설치하고, 그 질소가스공급부에서 래티클보관선반의 상단까지 연결되도록 질소가스공급관을 설치하며, 그 질소가스공급관의 단부에 다수개의 질소가스공급노즐을 설치하여, 외부공기를 유입하는 모터의 구동이 정지하였을 때 챔버내에 일정압이 유지되도록 질소가스를 공급하므로써 달성된다.
이하, 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.
도 3은 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치를 나타내는 정면도이고, 도 4는 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치를 나타내는 측면도를 각각 보인 것이다.
이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치는 모터(12)와 팬을 이용하여 외부공기를 유입한 후 필터(14)를 통해서 걸러진 외부공기를 챔버(20)내의 래티클 보관선반(11)으로 공급하는 반도체의 래티클 보관장치에 있어서, 상기 챔버(20)의 일측에 질소가스공급부(16)를 설치하고, 그 질소가스공급부(16)에서 래티클보관선반(11)의 상단까지 연결되도록 질소가스공급관(17)을 설치하며, 그 질소가스공급관(17)의 단부에 래티클보관선반(11)의 각 컬럼에 하나씩 즉 네개의 질소가스공급노즐(18)을 설치하여, 외부공기를 유입하는 모터(12)의 구동이 정지하였을 때 챔버(20)내에 일정압이 유지되도록 질소가스를 공급하도록 한다.
상기 질소가스공급부(16)는 질소가스의 공급압력을 설정하는 레귤레이터(16b)와, 상기 레귤레이터(16b)에 의해 설정된 공급압력에 따라 질소가스공급부를 개폐하는 공급밸브(16c)와, 상기 공급밸브(16c)의 일측에 설치한 필터(16a)로 구성된다.
이와 같이 구성된 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치의 작용효과를 설명한다.
평상시에는 모터(12)와 팬을 이용하여 외부공기를 유입한 후 필터(14)를 통해서 챔버(20)내에 공급하여 챔버(20)내의 청정도를 유지시켜준다. 그러나 장비내 문제점에 의해서 장시간 장비를 다운하는 경우나, 또는 외부 전원의 문제점으로 외부전원이 공급되지 않을 때는 장비하부의 질소공급부(16)에서 레귤레이터(16b)를 통해 공급압력을 설정한 후 공급밸브(16c)를 오픈한다. 그러면, 챔버(20) 상부의 질소가스공급노즐(18)에서 질소가스가 분사되고, 일정시간이 지나면 챔버(20)내에는 일정압이 형성되어 외부로부터 파티클이 유입되는 것을 방지하게 된다. 챔버(20)내의 일정압을 계속 유지시켜줄 수 있도록 공급압력을 조절한다.
장비의 문제점이 해결되어 다시 전원이 공급되면, 질소가스의 공급을 중단하고 평상시와 같이 외부공기를 이용하여 청정도를 유지하게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체의 래티클보관장치는 모터와 팬을 이용하여 외부공기를 유입한 후 필터를 통해서 걸러진 외부공기를 챔버내의 래티클 보관선반으로 공급하는 반도체의 래티클 보관장치에 있어서, 상기 챔버의 일측에 질소가스공급부를 설치하고, 그 질소가스공급부에서 래티클보관선반의 상단까지 연결되도록 질소가스공급관을 설치하며, 그 질소가스공급관의 단부에 다수개의 질소가스공급노즐을 설치하여, 외부공기를 유입하는 모터의 구동이 정지하였을 때 챔버내에 일정압이 유지되도록 질소가스를 공급하도록 하므로, 장비내 문제점에 의해서 장시간 장비를 다운하여야 하는 경우, 혹은 외부전원의 문제점으로 외부 전원이 공급되지 않을 때 장비내에 질소가스 퍼지(purge)를 시킬 수 있으므로, 장비내의 청정도를 유지할 수 있어 장비내 보관중인 레티클의 파티클 오염을 방지할 수 있도록 한 효과가 있다.
Claims (2)
- 모터와 팬을 이용하여 외부공기를 유입한 후 필터를 통해서 걸러진 외부공기를 챔버내의 래티클 보관선반으로 공급하는 반도체의 래티클 보관장치에 있어서, 상기 챔버의 일측에 질소가스공급부를 설치하고, 그 질소가스공급부에서 래티클보관선반의 상단까지 연결되도록 질소가스공급관을 설치하며, 그 질소가스공급관의 단부에 다수개의 질소가스공급노즐을 설치하여, 외부공기를 유입하는 모터의 구동이 정지하였을 때 챔버내에 일정압이 유지되도록 질소가스를 공급하도록 한 것을 특징으로 하는 반도체의 래티클보관장치.
- 제1항에 있어서, 상기 질소가스공급부는 질소가스의 공급압력을 설정하는 레귤레이터와, 상기 레귤레이터에 의해 설정된 공급압력에 따라 질소가스공급부를 개폐하는 공급밸브와, 상기 공급밸브의 일측에 설치한 필터로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체의 래티클보관장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019980001385U KR200195109Y1 (ko) | 1998-02-07 | 1998-02-07 | 반도체의 래티클보관장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019980001385U KR200195109Y1 (ko) | 1998-02-07 | 1998-02-07 | 반도체의 래티클보관장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990035739U KR19990035739U (ko) | 1999-09-15 |
| KR200195109Y1 true KR200195109Y1 (ko) | 2000-09-01 |
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ID=19531732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019980001385U KR200195109Y1 (ko) | 1998-02-07 | 1998-02-07 | 반도체의 래티클보관장치 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR200195109Y1 (ko) |
-
1998
- 1998-02-07 KR KR2019980001385U patent/KR200195109Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
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|---|---|
| KR19990035739U (ko) | 1999-09-15 |
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