KR20000044563A - 웨이퍼의 중심정렬장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 생산공정에서 제조된 웨이퍼의 중심인식에 사용되는 카메라의 수를 감소시켜 장치의 제작비용을 감소시키기 위하여, 스핀들 척 상에 장착된 웨이퍼의 중심위치를 정렬시키기 위한 중심정렬장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 화상에 대한 아날로그 신호를 습득하며 상기 웨이퍼의 중심정렬동작을 수행하는 구동수단; 상기 장치 전체의 동작을 제어하는 호스트 모듈; 상기 구동수단의 동작을 제어하는 구동수단제어모듈; 및 상기 구동수단제어모듈과 신호를 교환하며, 상기 웨이퍼의 중심위치를 측정하고 인식하기 위하여 구동수단에서 습득된 아날로그 신호를 디지탈 영상으로 변환시켜 출력하며, 상기 영상신호를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치를 측정하는 영상처리모듈을 포함하는 웨이퍼의 중심정렬장치를 제공한다.

Description

웨이퍼의 중심정렬장치 및 방법
본 발명은 반도체의 제조공정에 이용되는 웨이퍼의 중심정렬장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 중심인식에 사용되는 카메라의 수를 감소시켜 장치의 제작비용을 감소시킬 수 있는 웨이퍼의 중심정렬장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 생산공정에서 제작된 웨이퍼 상의 소자에 대한 불량 여부를 자동으로 검사하는 프로빙 장치(probing apparatus)에서는, 반도체 소자의 전기적인 특성검사를 수행하기 위해, 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 프로빙 카드와 물리적으로 연결하기 전에, 프로빙 카드의 니들 배열 방향과 상기 소자의 패드 배열방향을 정렬시키는 프리 얼라인먼트(pre-alignment)가 수행되고 있다.
여기서, 상기 프리 얼라인먼트는 먼저 웨이퍼를 그의 회전중심에 대하여 직교하는 두 축(X축, Y축) 상에 정렬시키고, 웨이퍼 상에 형성된 노치(notch) 또는 플랫 죤(flat zone)을 찾아 상기 웨이퍼를 정해진 방향으로 정렬시키는 것이다. 이와 같은 프리 얼라인먼트 작업에서는 상기 웨이퍼를 제위치에 정확하게 정렬시키기 위해 웨이퍼의 중심을 인식하는 작업이 대단히 중요시되고 있다.
이에 따라, 종래의 웨이퍼 중심정렬장치에서는 웨이퍼의 중심인식을 위하여, 웨이퍼가 고정되는 스핀들 척(spindle chuck)의 상측 또는 하측에 최대 50㎜의 인식영역을 가진 다수의 선형 CCD(charge coupling device)카메라와, 약 25㎜ × 25㎜의 인식영역을 가진 영상 CCD카메라를 채용하고 있다. 여기서, 상기 선형 CCD카메라는 웨이퍼의 중심을 인식하기 위한 것이며, 상기 영상 CCD카메라는 웨이퍼의 ID(identification)인식을 위한 것이다.
상기와 같은 종래의 웨이퍼 중심정렬장치에서는, 스핀들 척 상에 장착된 웨이퍼의 중심이 상기 스핀들 척의 중심과 일치될 때 상기 웨이퍼를 인식하는 선형 CCD카메라의 위치와 스핀들 척 상에 장착된 웨이퍼를 인식하는 상기 선형 CCD카메라의 위치로부터 상기 웨이퍼의 중심과 스핀들 척의 중심(즉, 회전중심)간의 오차를 측정한다.
이때, 상기 오차만큼 웨이퍼의 중심을 기준으로 영상 CCD카메라를 원근 수평이동하여 웨이퍼의 중심을 인식할 수 있도록 되어있다.
그러나, 웨이퍼 상의 소자를 테스트하기 위한 시간이 충분히 길기 때문에 영상 CCD카메라를 이용하여 웨이퍼의 중심인식작업을 수행하더라도 웨이퍼 테스트 시간에 영향을 미치지 않는다.
따라서, 종래의 웨이퍼 프리 얼라인먼트 장치에서는, 웨이퍼의 중심인식을 위해 상기 선형 CCD카메라를 사용하므로, 장치의 전체적인 제작비용을 증가되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 웨이퍼의 중심인식을 위한 구성요소를 감소시키므로써 장치의 전체적인 제작비용을 감소시킬 수 있는 웨이퍼의 중심정렬장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도1은 본 발명에 따른 웨이퍼 중심정렬장치의 일실시예 구성을 나타낸 블록도.
도2는 본 발명의 구동수단을 나타낸 구성도.
도3은 본 발명에 따른 웨이퍼 중심정렬장치의 좌표계를 나타낸 다이아그램.
도4a 및 도4b는 도3의 좌표계 상에 위치된 기준 에지포지션과 기준 ID 포지션을 나타낸 상태도.
도5는 도3의 좌표계에 놓여진 웨이퍼의 L1및 L2와 중심좌표를 나타낸 예시도.
도6은 본 발명에 따른 웨이퍼의 X좌표값을 구하는 방법을 나타낸 예시도.
도7은 본 발명에 따른 호스트 모듈의 동작을 나타낸 흐름도.
도8a 내지 도8c는 본 발명에 따른 구동수단제어모듈의 동작을 나타낸 흐름도.
도9는 본 발명에 따른 영상제어모듈의 동작을 나타낸 흐름도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 구동수단 200 : 호스트 모듈
300 : 구동수단제어모듈 400 : 영상처리모듈
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 스핀들 척 상에 장착된 웨이퍼의 중심위치를 정렬시키기 위한 중심정렬장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 화상에 대한 아날로그 신호를 습득하며 상기 웨이퍼의 중심정렬동작을 수행하는 구동수단; 상기 장치 전체의 동작을 제어하는 호스트 모듈; 상기 구동수단의 동작을 제어하는 구동수단제어모듈; 및 상기 구동수단제어모듈과 신호를 교환하며, 상기 웨이퍼의 중심위치를 측정하고 인식하기 위하여 구동수단에서 습득된 아날로그 신호를 디지탈 영상으로 변환시켜 출력하며, 상기 영상신호를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치를 측정하는 영상처리모듈을 포함하는 웨이퍼의 중심정렬장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 스핀들 척의 중심을 원점으로하며, 상기 원점과 카메라의 인식영역에서의 중심을 지나는 Y축 및 상기 원점에서 상기 Y축과 직교하는 X축을 가진 좌표계를 설정하고, 상기 스핀들 척 상에 장착되는 웨이퍼의 반지름(R)을 입력시키는 제1단계; 상기 웨이퍼가 상기 스핀들 척 상에 장착되었다는 신호를 수신한 호스트 모듈이 구동수단제어모듈에 상기 웨이퍼 중심정렬의 시작신호를 송신하는 제2단계; 상기 웨이퍼 중심정렬의 시작신호를 수신한 상기 구동수단제어모듈이 카메라를 기준에지포지션으로 이동시킨 후에, 영상처리모듈로 상기 웨이퍼의 에지포지션에 대한 탐색신호를 송신하는 제3단계; 상기 구동수단제어모듈의 탐색신호를 수신한 상기 영상처리모듈이 아날로그 영상을 습득하여 상기 에지포지션을 탐색한 후에, 상기 구동수단제어모듈로 그 탐색결과에 대한 메시지를 송신하는 제4단계; 상기 영상처리모듈로부터 수신된 메시지가 탐색실패 신호일 경우, 상기 구동수단제어모듈이 상기 카메라의 인식영역을 그의 ｜Y｜만큼 소정방향으로 이동하여 다시 상기 영상처리모듈로 에지포지션 탐색신호를 송신하는 제5단계; 및 상기 영상처리모듈로부터 수신된 메시지가 탐색완료 신호일 경우, 상기 구동수단제어모듈이 상기 웨이퍼의 중심좌표를 계산하고, 계산된 상기 중심좌표로부터 상기 웨이퍼의 이동량과 이동방향을 계산하여 상기 웨이퍼를 상기 스핀들 척상의 중심위치로 정렬시키는 제6단계를 포함하는 웨이퍼의 중심정렬방법을 더 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼의 중심정렬장치 및 방법에 대하여 상세히 설명한다.
도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼 중심정렬장치는 스핀들 척(1) 상에 장착된 웨이퍼(2)의 화상에 대한 아날로그 신호를 습득하며 상기 웨이퍼의 중심정렬동작을 수행하는 구동수단(100)과, 장치 전체의 동작을 제어하는 호스트 모듈(200)과, 상기 구동수단(100)의 동작을 제어하는 구동수단제어모듈(300)과, 상기 구동수단제어모듈(300)과 신호를 교환하며, 상기 웨이퍼(2)의 중심위치를 측정하고 인식하기 위하여 구동수단(100)에서 습득된 아날로그 신호를 디지탈 영상으로 변환시켜 출력하며, 상기 영상신호를 이용하여 웨이퍼(2)의 위치를 측정하는 영상처리모듈(400)을 포함한다.
여기서, 상기 구동수단(100)은 스핀들 척(1) 상에 배치되어 웨이퍼(2)의 화상에 대한 아날로그 신호를 습득하는 영상인식부(110)를 구비한다. 상기 영상인식부(110)는 광학문자인식용(optical character recognition)센서를 채용한 카메라(112)와, 상기 카메라(112)를 웨이퍼(2) 상에서 수평방향으로 직선이동시키는 수평모터(114)와, 상기 웨이퍼(2)를 비추어주는 조명(116)으로 이루어진다.
또한, 상기 구동수단(100)은 스핀들 척(1)의 회전축 하단부에 장착된 회전모터(120)와, 상기 스핀들 척(1)의 회전축 상에 일단부가 고정되며 상기 회전모터(120)를 지지하는 지지대(130)와, 상기 지지대(130)의 타단부에 관통되는 구동축을 가진 승강모터(130)를 구비한다.
이때, 상기 회전모터(120)는 회전축을 통해 스핀들 척(1)에 회전력을 제공한다. 또한, 상기 지지대(130)는 승강모터(140)의 구동에 의해 상기 구동축 상에서 상하이동되도록 형성된다. 예를들면, 상기 지지대(130)의 타단부측 내주면에는 나사산이 형성되고, 상기 승강모터(140)의 구동축 상에는 상기 지지대(130)의 나사산과 치합되는 나사산이 형성되어, 상기 승강모터(140)가 구동될 경우, 상기 지지대(130)는 나사결합에 의해 승강모터(140)의 구동축을 따라 상하이동하게 되는 것이다.
이에 따라, 상기 승강모터(140)가 구동될 경우, 지지대(130)의 일단부에 고정된 회전축을 가진 스핀들 척(1), 및 지지대(130)에 장착된 회전모터(120)가 승강하게 된다.
그러면, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에서 제안하는 기술적인 원리들을 설명한 후에 상기와 같이 구성된 본 발명의 중심정렬장치를 이용한 웨이퍼의 중심정렬방법에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 도3에 도시된 바와 같이, 상기 스핀들 척(1)의 회전축 중심을 원점(O)으로 하고, 상기 원점(O)과 카메라(112)의 인식영역(Field Of View)(A) 중심을 지나는 Y축을 가지며, 상기 원점(O)에서 Y축에 직교하는 X축을 가진 좌표계를 설정한다. 이때, 상기 좌표계에서 원점(O)으로부터 카메라 인식영역(A)의 중심을 향한 방향이 Y축의 (+)방향이 되며, 원점(O)의 우측을 향한 방향이 X축의 (+)방향이 된다.
그리고, 도4a에 도시된 바와 같이, 반지름(R)을 가지는 웨이퍼에 대하여 상기 웨이퍼(2)의 중심이 좌표계의 중심과 일치된 상태에서, 상기 Y축과 웨이퍼(2)의 에지(edge)가 만나는 교점이 카메라 인식영역(A) 중앙에 위치되도록하는 카메라(112)의 위치를 "기준 에지포지션"이라고 정의한다. 또한, 도4b에 도시된 바와 같이 상기 웨이퍼(2)의 중심이 좌표계의 중심과 일치된 상태에서, 상기 웨이퍼(2)의 ID를 인식할 수 있는 카메라(112)의 위치를 "기준 ID 포지션"이라고 정의한다.
상기와 같은 좌표계 상에서 다음과 같은 방식에 의해 반지름이 R인 웨이퍼의 중심좌표(CW= (XCw, YCw))를 구하게 된다.
상기 웨이퍼 중심좌표(CW)의 YCw는, 도5에 도시된 바와 같이 카메라(112)를 이동시켜 제1에지포지션을 찾아 상기 제1에지포지션에 대한 원점(O)으로부터의 거리 "L1"을 측정하고, 상기 웨이퍼(2)를 180도 회전시켜 제2에지포지션을 찾아 상기 제2에지포지션에 대한 원점(O)으로부터의 거리 "L2"를 측정한 다음, 수학식 YCw= (L1+ L2)/2으로 구하게 된다.
또한, 상기 웨이퍼 중심좌표(CW)의 XCw는, 도6에 도시된 바와 같이 피타고라스의 정리에 의해 먼저 그 절대값 이 구해진다. 그리고, 웨이퍼(2)를 시계방향으로 90도 회전시킨 후에, 상기 영상처리모듈(400)에서 출력되는 화상을 확인하여 웨이퍼의 에지가 카메라의 중심 아래쪽으로 치우친 경우에는 XCw의 절대값에 (-)부호를 부여하고, 상기 웨이퍼의 에지가 카메라의 중심 위쪽으로 치우친 경우에는 XCw의 절대값에 (+)의 부호를 부여한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 동작은 다음과 같다.
도7에 도시된 바와 같이, 상기 호스트 모듈(200)은 카세트에 적재되어 있던 웨이퍼가 스핀들 척(1) 상에 장착되었다는 신호를 수신하여(210), 구동수단제어모듈(300)에 웨이퍼(2)의 중심정렬 시작신호를 송신한다(220).
그런 다음, 상기 호스트 모듈(200)은 구동수단제어모듈(300)로부터 웨이퍼(2)의 중심정렬이 완료되었다는 신호를 수신하고(230) 종료한다.
이러한 경우에, 도8a에 도시된 바와 같이, 상기 호스트 모듈(200)로부터 시작신호를 수신한 구동수단제어모듈(300)은 카메라(112)를 기준 에지포지션으로 이동시킨 다음(310), 상기 카메라(112)에서 입력된 신호를 디지털신호로 변경시켜 웨이퍼의 에지포지션을 탐색하라는 신호를 영상처리모듈(400)에 송신한다(320).
그런 다음, 상기 구동수단제어모듈(300)은 영상처리모듈(400)로부터 탐색결과에 대한 메시지를 수신하여(330), 상기 영상처리모듈(400)로부터 입력된 신호가 탐색실패신호인지 탐색완료신호인지를 판단한다(340).
이때, 상기 구동수단제어모듈(300)이 영상처리모듈(400)로부터 입력받은 신호는 다음과 같은 영상처리모듈(400)의 동작에 의해 구해진다.
즉, 도9에 도시된 바와 같이, 상기 영상처리모듈(400)이 구동수단제어모듈(300)로부터 에지포지션의 탐색신호를 수신하여(410), 상기 카메라(112)로부터 습득된 아날로그 영상신호에서 에지포지션을 탐색한다(420). 상기한 경우, 상기 영상처리모듈(400)은 카메라(112)로부터 습득한 영상내에 에지포지션이 존재하는가를 판단하고(430), 상기 판단결과(430), 영상처리모듈(400)에 입력된 영상에 에지포지션이 존재하면 카메라 인식영역(Field Of View)(A)의 중심을 기준으로하여 에지포지션의 상대위치를 계산한 다음(440), 상기 구동수단제어모듈(300)에 의해 계산된 상대위치와 함께 에지포지션의 탐색완료신호를 송신한 후에(450) 동작을 완료한다. 그러나, 상기 판단결과(430) 영상처리모듈(400)에 입력된 영상에 에지포지션이 존재하지 않는다면, 상기 카메라 인식영역의 중심과 예상되는 에지포지션간의 상대위치를 부호(+1/-1)로만 계산한 다음(460), 상기 구동수단제어모듈(300)에 측정된 부호값과 함께 에지포지션의 탐색실패신호를 송신한 후에(470) 동작을 완료한다.
한편, 상기 구동수단제어모듈(300)이 영상처리모듈(400)로부터 입력된 신호를 판단한 결과(340), 영상처리모듈(400)로부터 수신된 신호가 탐색실패신호인 경우, 도8b에 도시된 바와 같이 상기 구동수단제어모듈(300)은 수신한 에지포지션의 상대적인 부호로부터 카메라(112)에서 탐색되는 부분이 웨이퍼(112) 상면의 일부분인지 아니면 웨이퍼(2)를 벗어난 주위의 다른 부분인지를 판단한다(350). 이때, 상기 판단결과(350), 카메라(112)에서 탐색되는 부분이 웨이퍼(2)의 상면인 경우, 상기 구동수단제어모듈(300)은 카메라(112)를 좌표계의 (+)Y방향으로 카메라 인식영역의 ｜Y｜만큼 이동시킨 다음(352), 다시 상기 영상처리모듈(400)로 에지포지션의 탐색신호를 송신하는 단계(320)에서부터 반복수행한다. 그러나, 상기 판단결과(350), 카메라(112)에서 탐색되는 부분이 웨이퍼(2)의 상면이 아닌경우, 상기 구동수단제어모듈(300)은 카메라(112)를 좌표계의 (-)Y방향으로 카메라 인식영역의 ｜Y｜만큼 이동시킨 다음(354), 다시 상기 영상처리모듈(400)로 에지포지션의 탐색신호를 송신하는 단계(320)에서부터 반복수행한다.
그리고, 상기 구동수단제어모듈(300)이 영상처리모듈(400)로부터 입력된 신호를 판단한 결과(340), 카메라(112)가 에지포지션을 탐색한 경우에는, 도8c에 도시된 바와 같이 상기 구동수단제어모듈(300)은 카메라(112)가 이동된 거리에 영상처리모듈(400)로부터 수신된 상대위치값을 더함으로써, 상기 영상처리모듈(400)에서 탐색된 에지포지션과 원점사이의 거리를 계산한 다음(360), 상기 계산된 크기가 L1과 L2중 어느 것인가를 판단한다(370). 이때, 상기 계산된 크기가 L1인 경우, 상기 구동수단제어모듈(300)은 웨이퍼(2)가 180° 회전되도록 스핀들 척(1)을 회전시킨 다음(371), 상기 영상처리모듈(400)로 에지포지션의 탐색신호를 송신하는 단계(320)에서부터 반복수행한다. 그러나, 상기 계산된 거리가 L2인 경우, 상기 구동수단제어모듈(300)은 스핀들 척(1)을 회전시켜 상기 웨이퍼(2)를 시계방향으로 90도 회전시키고(372), 이어 상기 웨이퍼 중심의 X좌표에 대한 부호(sign)를 설정하기 위하여 영상처리모듈(400)로 에지포지션의 위치검사신호를 송신한다(373). 그런 다음, 상기 구동수단제어모듈(300)은 소정시간 대기 후, 상기 영상처리모듈(400)로부터 수신한 값의 부호만을 검사하여 웨이퍼 중심의 X좌표에 대한 부호를 계산하고(374), 상기 계산된 부호를 가지고 웨이퍼(2)의 중심좌표(XCw, YCw)를 다음의 수학식에 의해 구하므로써, 웨이퍼의 이동량을 계산한다(375). 이때, 이동방향은 계산된 중심좌표의 반대로 설정된다.
그런 다음, 상기 구동수단제어모듈(300)은 구동수단(100)을 제어하여 계산된 웨이퍼의 이동량과 방향으로 웨이퍼의 중심을 이동시키므로써 웨이퍼의 중심을 스핀들 척의 중심에 정렬시키고(376), 상기 호스트 모듈(200)로 웨이퍼(2)의 중심정렬에 대한 완료신호를 송신한 다음(377) 동작을 완료한다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기한 바와 같이 구성되어 작용하는 본 발명은, 웨이퍼의 중심정렬을 위한 구성요소를 감소시키므로써 웨이퍼의 중심정렬장치에 대한 제작비용을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 스핀들 척 상에 장착된 웨이퍼의 중심위치를 정렬시키기 위한 중심정렬장치에 있어서,
    상기 웨이퍼의 화상에 대한 아날로그 신호를 습득하며 상기 웨이퍼의 중심정렬동작을 수행하는 구동수단;
    상기 장치 전체의 동작을 제어하는 호스트 모듈;
    상기 구동수단의 동작을 제어하는 구동수단제어모듈; 및
    상기 구동수단제어모듈과 신호를 교환하며, 상기 웨이퍼의 중심위치를 측정하고 인식하기 위하여 구동수단에서 습득된 아날로그 신호를 디지탈 영상으로 변환시켜 출력하며, 상기 영상신호를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치를 측정하는 영상처리모듈
    을 포함하는 웨이퍼의 중심정렬장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동수단이,
    상기 스핀들 척 상에 배치되어 상기 웨이퍼의 화상에 대한 아날로그 신호를 습득하는 영상인식부;
    상기 스핀들 척의 회전축 하단부에 장착된 회전모터와, 상기 스핀들 척의 회전축 상에 일단부가 고정되며, 상기 회전모터를 지지하는 지지대; 및
    상기 지지대의 타단부에 관통되는 구동축을 가지며, 상기 지지대를 상하방향으로 이동시키는 승강모터
    를 포함하는 웨이퍼의 중심정렬장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 영상인식부가,
    상기 웨이퍼의 영상을 습득하기 위하여 광학문자인식용 센서를 채용한 카메라;
    상기 카메라를 웨이퍼 상에서 수평방향으로 직선이동시키는 수평모터; 및
    상기 웨이퍼를 비추어주는 조명
    을 포함하는 웨이퍼의 중심정렬장치.
  4. 스핀들 척의 중심을 원점으로하며, 상기 원점과 카메라의 인식영역에서의 중심을 지나는 Y축 및 상기 원점에서 상기 Y축과 직교하는 X축을 가진 좌표계를 설정하고, 상기 스핀들 척 상에 장착되는 웨이퍼의 반지름(R)을 입력시키는 제1단계;
    상기 웨이퍼가 상기 스핀들 척 상에 장착되었다는 신호를 수신한 호스트 모듈이 구동수단제어모듈에 상기 웨이퍼 중심정렬의 시작신호를 송신하는 제2단계;
    상기 웨이퍼 중심정렬의 시작신호를 수신한 상기 구동수단제어모듈이 카메라를 기준에지포지션으로 이동시킨 후에, 영상처리모듈로 상기 웨이퍼의 에지포지션에 대한 탐색신호를 송신하는 제3단계;
    상기 구동수단제어모듈의 탐색신호를 수신한 상기 영상처리모듈이 아날로그 영상을 습득하여 상기 에지포지션을 탐색한 후에, 상기 구동수단제어모듈로 그 탐색결과에 대한 메시지를 송신하는 제4단계;
    상기 영상처리모듈로부터 수신된 메시지가 탐색실패 신호일 경우, 상기 구동수단제어모듈이 상기 카메라의 인식영역을 그의 ｜Y｜만큼 소정방향으로 이동하여 다시 상기 영상처리모듈로 에지포지션 탐색신호를 송신하는 제5단계; 및
    상기 영상처리모듈로부터 수신된 메시지가 탐색완료 신호일 경우, 상기 구동수단제어모듈이 상기 웨이퍼의 중심좌표를 계산하고, 계산된 상기 중심좌표로부터 상기 웨이퍼의 이동량과 이동방향을 계산하여 상기 웨이퍼를 상기 스핀들 척상의 중심위치로 정렬시키는 제6단계
    를 포함하는 웨이퍼의 중심정렬방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제4단계가,
    상기 카메라로부터 습득된 영상에서 상기 에지포지션을 탐색하여, 상기 영상내에서 상기 에지포지션의 존재여부를 판단하는 제1과정;
    상기 제1과정의 판단결과 상기 영상내에 상기 에지포지션이 존재하면, 상기 카메라 인식영역의 중심에서 찾은 에지의 상대위치값을 계산하는 제2과정; 및
    상기 제2과정 수행 후에, 상기 구동수단제어모듈로 상기 제2과정에서 계산된 상대위치값과 함께 상기 에지포지션의 탐색완료신호를 송신하는 제3과정
    을 포함하는 웨이퍼의 중심정렬방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제1과정의 판단결과 상기 영상내에 상기 에지포지션이 존재하지 않으면, 상기 카메라 인식영역의 중심과 예상되는 에지포지션의 상대위치 부호를 계산하는 제4과정; 및
    상기 제4과정의 수행 후에, 상기 구동수단제어모듈로 상기 제4과정에서 계산된 상대위치 부호값과 함께 상기 에지포지션의 탐색실패신호를 송신하는 제5과정
    을 더 포함하는 웨이퍼의 중심정렬방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제6단계는,
    상기 구동수단제어모듈이 상기 에지포지션과 원점사이의 거리(L1, L2)를 계산하는 제1과정;
    상기 제1과정 수행 후, 상기 계산에 의해 상기 웨이퍼의 두 에지포지션과 상기 원점과의 거리(L1및 L2)가 모두 계산되었는가를 판단하는 제2과정; 및
    상기 제2과정의 판단결과, 상기 원점으로부터 상기 두 에지포지션 중 어느 하나까지만의 거리(L1)가 계산되었을 경우, 상기 웨이퍼를 180도 회전시킨 후에 상기 제2단계에서부터 반복수행하는 제3과정
    을 포함하는 웨이퍼의 중심정렬방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제2과정의 판단결과, 상기 원점으로부터 상기 두 에지포인트까지의 거리(L1및 L2)가 모두 계산된 경우, 상기 웨이퍼를 시계방향으로 90도 회전시킨 후에, 상기 웨이퍼 중심의 X좌표에 대한 부호를 정하기 위하여 상기 영상처리모듈로 상기 웨이퍼 에지포지션의 위치검사신호를 송신하는 제4과정;
    상기 영상처리모듈로부터 상기 웨이퍼 에지포지션에 대한 거리를 수신하고, 상기 수신된 거리의 부호를 X좌표의 부호로하여 상기 웨이퍼의 중심좌표를 수학식
    으로 구함으로써 상기 웨이퍼의 이동량을 계산하는 제5과정; 및
    상기 구동수단제어모듈이 상기 계산된 이동량만큼 X, Y부호의 반대방향으로 상기 구동수단을 제어하여 상기 웨이퍼의 중심을 상기 스핀들 척의 중심에 정렬시키는 제6과정
    을 더 포함하는 웨이퍼의 중심정렬방법.
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