KR20000034819A - 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액주입방법 - Google Patents

마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액주입방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액 주입방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 진공장치와 연결된 진공 챔버 내부에 워킹용액을 채운 용기를 구비하고, 이곳에 마이크로 인젝팅 디바이스들을 갖는 다수개의 카트리지들을 한꺼번에 담군 후, 용기 내의 워킹용액이 각 마이크로 인젝팅 디바이스들의 가열챔버들 내에 일괄적으로 채워지도록 함으로써, 제품의 전체적인 생산시간을 저감시킬 수 있으며, 또한, 전체적인 공정절차를 단순화하여, 제품의 생산수율을 향상시킬 수 있다.

Description

마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액 주입방법{Working liquid injection apparatus of a micro injecting device and method for injecting the working liquid}
본 발명은 잉크젯 프린터, 의료기기의 마이크로 펌프, 연료 분사장치 등에 적용되는 마이크로 인젝팅 디바이스(micro injecting device)에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 워킹용액을 다수개의 가열챔버들에 일괄적으로 주입시킴으로써, 제품의 생산효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 하는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액 주입방법에 관한 것이다.
통상, 마이크로 인젝팅 디바이스는 잉크, 주사액 및 휘발유 등의 목적물을 특정 대상물, 예컨대, 인쇄용지, 인체 및 자동차 등에 미량으로 공급하고자 하는 경우, 목적물에 일정 크기의 전기적·열적 에너지를 가하여, 목적물의 체적변화를 유도함으로써, 미량의 목적물을 원하는 대상물에 공급할 수 있도록 설계된 장치를 일컫는다.
최근, 전기·전자 기술의 발달에 힘입어 이러한 마이크로 인젝팅 디바이스 또한 빠른 발전을 거듭하고 있으며, 전반적인 생활영역에 걸쳐 광범위한 영역을 확대해 가고 있다. 마이크로 인젝팅 디바이스가 실제의 생활에 적용되는 예로 잉크젯 프린터를 예시할 수 있다.
마이크로 인젝팅 디바이스의 한 종류인 잉크젯 프린터는 기존의 도트 프린터와 달리 카트리지의 사용에 따라 다양한 칼라의 구현이 가능하고 소음이 적으며, 인자 품질이 미려하다는 많은 장점을 갖고 있어 점차 그 사용영역이 확대되는 추세에 있다.
이러한 장점을 지닌 잉크젯 프린터에는 통상, 미소 직경의 노즐들을 갖는 프린터 헤드가 장착되며, 이러한 프린터 헤드는 외부로부터 온/오프되는 전기적인 신호를 통해 액체 상태의 잉크를 기포상태로 변환·팽창시킨 후, 이러한 잉크를 외부로 분사시킴으로써, 인쇄용지에 원활한 인쇄작업이 진행되도록 하는 역할을 수행한다.
일반적으로 잉크젯 프린터 헤드의 가열챔버 내부에는 증기압 발생이 용이한 워킹용액(Working liquid)이 충진되어 멤브레인의 진동을 유도함으로써, 외부의 용지에 원활한 프린팅 작용이 이루어지도록 한다. 이러한 워킹용액을 주입하는 장치 및 방법에는 여러 가지가 제시되어 왔다.
도 1을 참조하면, 잉크젯 프린터 헤드(100)를 장착하며 내부에 잉크가 채워진 카트리지(200)에는 가열챔버(4)의 내부에 워킹용액이 지속적으로 공급될 수 있도록 잉크젯 프린터 헤드(100)에 인접한 부분에 워킹용액 주입 툴(300)이 장착된다.
이와 같은 워킹용액 주입 툴(300)을 이용하여 워킹용액을 주입하는 방법을 설명하면 다음과 같다.
워킹용액 저장부(302)에 저장된 워킹용액은 소정의 가압장치(도시않됨)로부터 가해지는 일정 크기의 압력에 따라 신속히 잉크젯 프린터 헤드(100)로 주입된다. 이때, 워킹용액 공급관(303)을 경유한 워킹용액은 도 3에 도시된 공급홀(102)을 거쳐 워킹용액 공급채널(101)로 플로우됨으로써, 각 가열챔버들(4)을 채우게 된다.
한편, 상술한 과정을 통해 각 가열챔버들(4)을 채우고 남은 워킹용액은 도 1에 도시된 워킹용액 회귀관(304)을 통해 워킹용액 회귀부(301)로 회귀된다. 이후, 가열챔버들(4)을 밀봉하여 워킹용액의 주입을 완료한다.
그러나, 상기한 바와 같은 잉크젯 프린터 헤드의 워킹용액 주입 방식에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.
즉, 각 가열챔버들의 내부에 워킹용액을 주입하기 위해서는 잉크를 수용한 카트리지에 워킹용액 주입 툴을 개별적으로 추가 장착하고, 이를 통해, 개별 잉크젯 프린터 헤드마다 워킹용액을 주입하여야 함으로써, 제품의 전체적인 생산시간이 증가되고, 제품의 전체적인 제조공정이 복잡해진다.
또한, 이러한 제조공정의 복잡함으로 인해, 전체적인 생산수율이 저하된다.
따라서, 본 발명의 목적은 워킹용액 주입 툴을 개별적으로 장착한 카트리지를 이용하지 않고서도 각 개별 가열챔버들의 내부에 워킹용액을 주입할 수 있도록 하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 전체적인 제조공정의 복잡함을 단순화시킴으로써, 제품의 생산수율을 향상시키는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
도 1은 종래의 마이크로 인젝팅 디바이스가 장착된 카트리지의 형상을 도시한 단면도.
도 2는 본 발명이 적용되는 마이크로 인젝팅 디바이스의 형상을 도시한 사시도.
도 3은 종래의 마이크로 인젝팅 디바이스의 가열챔버 어레이를 도시한 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치를 도시한 예시도.
도 5는 본 발명에 따른 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법을 순차적으로 도시한 순서도.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 에어 공급/흡입 장치와 연결된 진공챔버 내부에 워킹용액을 채운 용기를 배치하고, 용기의 내부에 잉크젯 프린터 헤드들을 장착한 다수개의 카트리지들을 한꺼번에 담군 후, 에어 공급/흡입 장치를 작동시켜, 진공챔버의 내부환경을 저압의 고진공 상태로 변경시킴으로써, 용기 내의 워킹용액이 각 잉크젯 프린터 헤드들의 가열챔버들 내에 일괄적으로 채워지도록 한다.
이 경우, 바람직하게, 진공챔버 내부의 진공압력은 2 X 10-1mmHg - 2 X 10-3mmHg, 좀더 바람직하게, 2 X 10-2mmHg이다.
이때, 용기의 외벽에는 냉각매체 플로우관이 감겨지는데, 이러한 냉각매체 플로우관으로는 냉각매체가 플로우되어 워킹용액 용기를 냉각시키는 기능을 수행하게 된다. 여기서, 냉각매체 플로우관을 흐르는 냉각매체로는 가스, 좀더 바람직하게, 질소가스가 사용된다.
이에 따라, 본 발명에서는 제품의 생산시간을 저감시킬 수 있으며, 제품의 전체적인 생산수율을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액 주입방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2은 본 발명이 적용되는 잉크젯 프린터 헤드의 형상을 나타내는 사시도이다. 도시된 바와 같이, 지지기판(1)의 보호막(2) 상부에는 가열층(Thermal resistor layer:11)이 형성되며 가열층(11)의 상부에는 가열층으로 전기적인 에너지를 공급하는 전극층(3)이 형성된다.
여기서, 가열층(11)은 공급된 전기적 에너지를 500℃ - 550℃ 정도의 열에너지로 변환시켜 가열챔버 배리어층(5)으로 둘러싸인 가열챔버(4)로 전달하게 되는데, 이때, 가열챔버(4) 내부에는 증기압 발생이 용이한 워킹용액(Working liquid:미도시)이 충진된다.
이러한 워킹용액은 가열챔버(4)의 상부에 형성된 멤브레인(6)을 진동시켜 잉크챔버 배리어층(7)으로 둘러싸인 잉크챔버(9)에 저장된 잉크가 노즐 플레이트(8)로 둘러싸인 노즐(10)을 통해 외부로 드롭되도록 함으로써, 외부의 용지로 원활한 프린팅 작업이 이루어지도록 한다.
도 4는 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 워킹용액 주입장치를 도시한 예시도로서, 진공챔버(400)의 내부에는 워킹용액을 채운 워킹용액 용기(401)가 배치되며, 워킹용액 내에는 카트리지들(200)을 탑재한 카트리지 수납용기(402)가 배치된다. 이때, 워킹용액 용기(401)의 외벽은 냉각매체 플로우관(403)에 의해 감겨지며, 각 카트리지들(200)에는 잉크젯 프린터 헤드들(100)이 장착된다.
이때, 냉각매체 플로우관(403)은 진공챔버(400) 내로 인입되는 인렛관(403a) 및 진공챔버(400) 외부로 인출되는 아웃렛관(403b)으로 나뉘어 배치되는데, 인렛관(403a) 및 아웃렛관(403b)이 통과하는 진공챔버(400)의 바텀면(407)에는 실링부(405)가 형성됨으로써, 진공챔버(400)의 내부를 외기와 분리한다.
또한, 바텀면(407)과 탑면(408)이 맞닿는 경계면에도 실링부(405)가 형성됨으로써, 진공챔버(400)의 내부를 외기와 분리한다.
한편, 상술한 진공챔버(400)는 에어 공급/흡입 장치(406)와 연결되는데, 이때, 에어 공급/흡입 장치(406)는 진공챔버의 내부로부터 에어를 흡입하여 진공챔버의 내부가 진공상태를 이룰 수 있도록 함과 아울러 진공챔버의 내부로 에어를 공급하여 진공챔버 내부의 진공상태가 신속히 해체될 수 있도록 하는 역할을 동시에 수행한다.
여기서, 카트리지 수납용기(402)에 탑재되어, 외부의 워킹용액과 분리된 다수개의 카트리지들(200)은 외부로 노출된 워킹용액 공급관들(303)을 구비하는데, 이러한 워킹용액 공급관들(303)은 카트리지들(200)에 장착된 잉크젯 프린터 헤드들(100)의 가열챔버들(4)과 연결됨으로써, 워킹용액 용기에 채워진 워킹용액이 가열챔버들(4)로 원활히 주입될 수 있는 주입로를 제공한다.
후술하는 진공조건이 주어지면, 워킹용액 용기(401)를 채우고 있던 워킹용액은 각 가열챔버들(4)에 일괄적으로 주입될 수 있다.
종래의 경우, 잉크젯 프린터 헤드는 가열챔버에 워킹용액을 주입받을 때, 워킹용액 주입 툴을 개별적으로 추가 장착한 카트리지들에 의해 워킹용액을 주입 받아야 함으로써, 제품의 생산 수율이 현저히 저감되었다.
그러나, 본 발명의 경우, 잉크젯 프린터 헤드(100)는 상술한 워킹용액 주입장치를 통해 워킹용액을 일괄적으로 주입받을 수 있음으로써, 워킹용액 주입 툴을 개별적으로 추가 장착한 카트리지를 통해 워킹용액을 주입받는 복잡한 과정을 거치지 않고서도 원활한 워킹용액 주입을 이룰 수 있다.
이하, 상술한 구성을 갖는 본 발명의 워킹용액 주입장치를 이용한 워킹용액 주입방법을 상세히 설명한다.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 작업자는 워킹용액의 주입이 필요한 다수개의 잉크젯 프린터 헤드들(100)을 장착한 다수개의 카트리지들(200)을 취합하여 카트리지 수납용기(402)에 탑재한 후, 카트리지 수납용기(402)를 진공챔버 게이트(미도시)를 통해 진공챔버(400) 내의 워킹용액 용기(401)에 투입한다. 이때, 워킹용액 용기(401)에는 워킹용액이 적정량 채워진다(단계 S1).
이어서, 작업자는 냉각매체 플로우관(403)의 인렛관(403a)을 통해 냉각매체를 지속적으로 플로우한다(단계 S2). 이와 같이 냉각매체를 플로우하는 이유는 워킹용액 용기(401)의 외벽 온도를 저감시켜, 워킹용액의 증발을 미리 방지하기 위함이다.
이때, 본 발명의 특징에 따르면, 상술한 냉각매체는 가스, 바람직하게, 질소가스이다. 통상, 질소가스는 양호한 냉매로 알려진 바, 본 발명에서는 이러한 질소가스를 이용하여 워킹용액 용기(401)의 외벽을 지속적으로 냉각시킴으로써, 워킹용액의 증발을 미리 방지한다.
계속해서, 인렛관(403a)을 통해 플로우된 냉각매체는 냉각매체 플로우관(403)의 전 라인을 경유한 후 아웃렛관(403b)을 통해 외부로 배출된다.
한편, 상술한 냉각매체를 플로우하는 공정과 아울러 작업자는 에어 공급/흡입 장치(406)를 핸들링하여 진공챔버(400) 내부의 에어를 흡입한다. 이에 따라, 진공챔버(400)의 내부를 채우고 있던 에어는 전량 에어 공급/흡입 장치(406)를 통해 흡입되며, 그 결과 진공챔버(400)의 내부에는 저압의 진공이 형성된다(단계 S2). 이러한 진공형성 과정은 상술한 냉각매체 플로우 과정과 동시에 이루어진다.
이때, 잉크젯 프린터 헤드(100)에 형성된 가열챔버(4)들의 내부를 채우고 있던 에어들도 진공챔버(400) 내부의 에어배출과 아울러 에어 공급/흡입 장치(406)를 통해 전량 흡입된다. 즉, 진공챔버(400) 내부의 에어가 배출됨과 동시에 가열챔버(4)의 내부의 에어는 워킹용액내에 버블형태로 분출되어 진공챔버(400)로 방출된다. 이에 따라, 가열챔버들(4)의 내부는 워킹용액이 원활히 주입될 수 있는 빈 공간을 이룬다.
여기서, 본 발명의 특징에 따르면, 진공챔버(400)의 내부에 형성되는 진공의 압력은 2 X 10-1mmHg ~ 2 X 10-3mmHg, 좀더 바람직하게 2 X 10-2mmHg이다.
한편, 상술한 공정 진행 결과, 진공챔버(400)의 내부에 진공이 형성되면, 워킹용액 용기(401)의 내부에 채워진 워킹용액은 진공이 형성된 가열챔버들(4)의 빈 공간으로 신속히 빨려 들어감으로써, 각 가열챔버들(4)의 내부를 가득 채운다. 이에 따라, 카트리지(200)들에 장착된 잉크젯 프린터 헤드들(100)의 가열챔버들(4)에는 워킹용액이 일괄적으로 채워진다(단계 S3).
이후, 상술한 냉각매체 플로우 과정 및 진공형성 과정을 통해 잉크젯 프린터 헤드들(100)의 가열챔버들(4)로 워킹용액이 모두 주입되면, 다음 단계로써, 진공을 해체하고 워킹용액이 채워진 각 가열챔버들(4)을 실링하여 공정을 완료한다.
먼저, 상술한 과정을 통해 잉크젯 프린터 헤드들(100)의 가열챔버들(4)에 워킹용액의 주입이 완료되면, 작업자는 상술한 에어 공급/흡입 장치(406)를 핸들링하여, 진공챔버(400) 내부로 에어를 공급함으로써, 진공챔버 내부의 진공을 해체한다(단계 S4).
이어서, 작업자는 워킹용액 주입이 완료된 다수개의 잉크젯 프린터 헤드들(100)을 장착한 다수개의 카트리지들(200)을 탑재하고 있는 카트리지 수납용기(402)를 진공챔버 게이트를 통해 진공챔버(400)의 외부로 반출한다(단계 S5).
이후, 작업자는 유기재질, 예컨대, 폴리이미드 재질의 봉지체를 사용하여 카트리지(200)들에 장착된 각 잉크젯 프린터 헤드(100)들의 가열챔버들(4)을 실링하여, 워킹용액을 가열챔버들(4)의 내부에 안정적으로 저장시킨다(단계 S6).
이와 같이, 본 발명에서는 워킹용액을 다수개의 잉크젯 프린터 헤드들의 가열챔버들에 일괄적으로 주입시킴으로써, 제품의 생산효율을 현저히 향상시킬 수 있다.
본 발명은 인크젯 프린터 헤드를 예로 들어 설명하였으나, 마이크로 인젝팅 디바이스가 적용되는 의료기기의 마이크로 펌프, 연료 분사장치 등에 적용될 수 있다.
또한, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액 주입방법에서는 진공장치와 연결된 진공 챔버 내부에 워킹용액을 채운 용기를 구비하고, 이곳에 마이크로 인젝팅 디바이스들을 갖는 다수개의 카트리지들을 한꺼번에 담군 후, 용기 내의 워킹용액이 각 마이크로 인젝팅 디바이스들의 가열챔버들 내에 일괄적으로 채워지도록 함으로써, 제품의 전체적인 생산시간을 저감시킬 수 있으며, 또한, 전체적인 공정절차를 단순화하여, 제품의 생산수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (9)

  1. 진공챔버와;
    상기 진공챔버 내부로 에어를 공급하거나 상기 진공챔버 내부의 에어를 흡입하여 상기 진공챔버 내부의 진공상태를 조절하는 에어 공급/흡입 장치와;
    워킹용액을 수용하여 상기 진공챔버의 내부에 배치되는 워킹용액 용기와;
    다수개의 마이크로 인젝팅 디바이스들이 장착된 카트리지들을 탑재하여 상기 워킹용액 내에 담겨지는 카트리지 수납용기를 포함하는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 워킹용액 용기의 외벽은 내부에 냉각매체가 플로우되는 냉각매체 플로우관에 의해 감겨지는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치.
  3. 워킹용액 용기에 수용된 워킹용액 내에 다수개의 마이크로 인젝팅 디바이스들이 장착된 카트리지들을 탑재한 카트리지 수납용기를 담그고, 상기 워킹용액 용기를 진공챔버 내에 배치하는 단계와;
    상기 진공챔버 내부의 에어를 흡입하여 소정 압력의 진공을 형성시키는 단계와;
    상기 진공챔버의 내부로 에어를 공급하여 상기 진공을 해체하는 단계와;
    상기 카트리지 수납용기를 상기 진공챔버로부터 반출하는 단계와;
    상기 마이크로 인젝팅 디바이스들의 가열챔버들을 실링하는 단계를 포함하는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 진공챔버의 내부에 소정 압력의 진공을 형성시킴과 동시에 상기 워킹용액을 냉각하는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 워킹용액 용기의 외벽에 설치된 냉각매체 플로우관으로 냉각매체를 플로우시켜 상기 워킹용액을 냉각시키는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 냉각매체는 가스를 포함하는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 가스는 질소가스를 포함하는 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
  8. 제 3 항에 있어서, 상기 진공의 압력은 2 X 10-1mmHg - 2 X 10-3mmHg인 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 진공의 압력은 2 X 10-2mmHg인 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입방법.
KR1019990007324A 1998-11-03 1999-03-05 마이크로 인젝팅 디바이스의 워킹용액 주입장치 및 워킹용액주입방법 KR20000034819A (ko)

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6561231B2 (en) 1999-10-13 2003-05-13 Armand P. Neukermans Method for filling acoustic implantable transducers
JP3658328B2 (ja) * 2001-02-07 2005-06-08 キヤノン株式会社 液体収容容器への液体再充填方法および装置
WO2003037212A2 (en) * 2001-10-30 2003-05-08 Lesinski George S Implantation method for a hearing aid microactuator implanted into the cochlea
JP4151653B2 (ja) * 2005-01-17 2008-09-17 セイコーエプソン株式会社 機能液滴吐出ヘッドの初期充填方法、機能液滴吐出ヘッドの初期充填装置、機能液滴吐出ヘッド、機能液供給装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法
WO2006120048A2 (en) * 2005-05-13 2006-11-16 David Gethings Air bubble removal from ink jet cartridges
US20070169434A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Shawn Kinney Process for aseptic vacuum filling and stoppering of low viscosity liquids in syringes
JP5055889B2 (ja) * 2006-08-11 2012-10-24 セイコーエプソン株式会社 液体収容体の製造方法
JP6157285B2 (ja) * 2013-09-02 2017-07-05 キヤノン株式会社 インク充填装置およびインク充填方法
US9004652B2 (en) 2013-09-06 2015-04-14 Xerox Corporation Thermo-pneumatic actuator fabricated using silicon-on-insulator (SOI)
US9004651B2 (en) 2013-09-06 2015-04-14 Xerox Corporation Thermo-pneumatic actuator working fluid layer
US9096057B2 (en) 2013-11-05 2015-08-04 Xerox Corporation Working fluids for high frequency elevated temperature thermo-pneumatic actuation
GB201501061D0 (en) * 2015-01-22 2015-03-11 Nicoventures Holdings Ltd Apparatus and method for filling liquid into a cartridge for a vapour provision system
JP6717975B2 (ja) * 2016-07-26 2020-07-08 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー．Ｈｅｗｌｅｔｔ‐Ｐａｃｋａｒｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｌ．Ｐ． 分割壁を備える流体吐出デバイス

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1345347A (en) * 1920-07-06 Method of filling thermometer-tubes and the like
US994010A (en) * 1910-10-22 1911-05-30 Gen Electric Method of and apparatus for producing exhausted vessels.
US1922458A (en) * 1929-10-25 1933-08-15 Schaeffer Walter Process for filling an ampule
US2679343A (en) * 1949-10-06 1954-05-25 Vapor Heating Corp Method and apparatus for filling thermostat tubes with mercury
US3282306A (en) * 1964-04-02 1966-11-01 Pastemaster Inc Process and apparatus for the charging of containers
FR2131037A5 (ko) * 1971-03-30 1972-11-10 Orega Cifte
JPS5840726B2 (ja) * 1975-11-12 1983-09-07 株式会社日立製作所 液晶封入装置
US4061163A (en) * 1976-07-06 1977-12-06 Gte Sylvania Incorporated Method of filling electrochemical cells with electrolyte
US4480259A (en) 1982-07-30 1984-10-30 Hewlett-Packard Company Ink jet printer with bubble driven flexible membrane
US4713925A (en) * 1985-04-01 1987-12-22 Kafkis N H Method and apparatus for filling a plurality of flexible pipette type vessels
US5335711A (en) 1987-05-30 1994-08-09 Ae Plc Process and apparatus for metal casting
US5601125A (en) 1995-07-18 1997-02-11 Seagate Technology, Inc. Vacuum fill technique for hydrodynamic bearing
JPH09226140A (ja) * 1996-02-21 1997-09-02 Brother Ind Ltd インクカートリッジのインク注入方法及びその装置
JP3666537B2 (ja) * 1996-11-14 2005-06-29 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録装置用インクカートリッジの製造方法
KR100209513B1 (ko) * 1997-04-22 1999-07-15 윤종용 잉크젯 프린트헤드에서 액티브(Active) 액체 저장 및 공급 장치

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