JP3193913B2 - マイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法 - Google Patents
マイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法Info
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- Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンタ,医療機器のマイクロポンプ,燃料噴射装置等に適
用されるマイクロインジェクティングデバイスに関し,
特に,ワーキング溶液を多数個の加熱チャンバに一括的
に注入することにより製品の生産効率を顕著に向上させ
ることができるマイクロインジェクティングデバイスの
ワーキング溶液注入装置及び注入方法に関するものであ
る。
ンタ,医療機器のマイクロポンプ,燃料噴射装置等に適
用されるマイクロインジェクティングデバイスに関し,
特に,ワーキング溶液を多数個の加熱チャンバに一括的
に注入することにより製品の生産効率を顕著に向上させ
ることができるマイクロインジェクティングデバイスの
ワーキング溶液注入装置及び注入方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】マイクロインジェクティングデバイス
は,インク,走査液,揮発油等の物質を特定対象物,例
えば,印刷用紙,人体,自動車等に微量供給しようとす
る場合,供給する物質に一定の大きさの電気的および熱
的エネルギーを加えて体積変化を誘導することにより,
微量の供給物質を所望する対象物に適切に供給できるよ
うに設計された装置である。
は,インク,走査液,揮発油等の物質を特定対象物,例
えば,印刷用紙,人体,自動車等に微量供給しようとす
る場合,供給する物質に一定の大きさの電気的および熱
的エネルギーを加えて体積変化を誘導することにより,
微量の供給物質を所望する対象物に適切に供給できるよ
うに設計された装置である。
【0003】最近,このようなマイクロインジェクティ
ングデバイスは,電気および電子技術の発達に伴い急速
に発展しており,全般的な生活領域にわたって幅広く適
用範囲が拡大されている。マイクロインジェクティング
デバイスの適用例としては,インクジェットプリンタが
ある。
ングデバイスは,電気および電子技術の発達に伴い急速
に発展しており,全般的な生活領域にわたって幅広く適
用範囲が拡大されている。マイクロインジェクティング
デバイスの適用例としては,インクジェットプリンタが
ある。
【0004】インクジェットプリンタは,既存のドット
プリンタとは異なり,例えば,カートリッジの使用によ
って多様な色が印刷可能である。また,騒音が少ない,
あるあるいは印字品質が美麗である等の多くの長所を有
しており,その使用領域が拡大されている。
プリンタとは異なり,例えば,カートリッジの使用によ
って多様な色が印刷可能である。また,騒音が少ない,
あるあるいは印字品質が美麗である等の多くの長所を有
しており,その使用領域が拡大されている。
【0005】一方,このような長所を有するインクジェ
ットプリンタには,通常,微小直径のノズルを持つプリ
ントヘッドが装着される。インクジェットプリンタにお
いて,プリントヘッドは,外部からオンおよびオフされ
る電気的な信号を介して液体状態のインクを気泡状態に
状態変化,および体積膨脹させて外部に噴射することに
より,印刷用紙への円滑な印刷作業の進行を可能とす
る。
ットプリンタには,通常,微小直径のノズルを持つプリ
ントヘッドが装着される。インクジェットプリンタにお
いて,プリントヘッドは,外部からオンおよびオフされ
る電気的な信号を介して液体状態のインクを気泡状態に
状態変化,および体積膨脹させて外部に噴射することに
より,印刷用紙への円滑な印刷作業の進行を可能とす
る。
【0006】一般的に,インクジェットプリントヘッド
の加熱チャンバ内部には,蒸気圧発生が容易なワーキン
グ溶液が充填されており,その蒸気圧によりメンブレン
の振動を誘導することにより外部の用紙に円滑に印刷が
行なわれるようにする。
の加熱チャンバ内部には,蒸気圧発生が容易なワーキン
グ溶液が充填されており,その蒸気圧によりメンブレン
の振動を誘導することにより外部の用紙に円滑に印刷が
行なわれるようにする。
【0007】図4は従来のインクジェットプリントヘッ
ド100が装着されたカートリッジ200の形状を示す
断面図,図5は従来のインクジェットプリントヘッド1
00の加熱チャンバアレーを示す斜視図である。
ド100が装着されたカートリッジ200の形状を示す
断面図,図5は従来のインクジェットプリントヘッド1
00の加熱チャンバアレーを示す斜視図である。
【0008】図4に示すように,インクジェットプリン
トヘッド100を装着して内部にインクが充填されたカ
ートリッジ200には,加熱チャンバ4の内部にワーキ
ング溶液を持続的に供給するため,インクジェットプリ
ントヘッド100と隣接した部分にワーキング溶液注入
ツール300が装着される。
トヘッド100を装着して内部にインクが充填されたカ
ートリッジ200には,加熱チャンバ4の内部にワーキ
ング溶液を持続的に供給するため,インクジェットプリ
ントヘッド100と隣接した部分にワーキング溶液注入
ツール300が装着される。
【0009】前記のようなワーキング溶液注入ツール3
00を利用してワーキング溶液を注入する方法について
説明すると次のようである。
00を利用してワーキング溶液を注入する方法について
説明すると次のようである。
【0010】ワーキング溶液貯蔵部302に貯蔵された
ワーキング溶液は,所定の加圧装置(図示せず)から加わ
る一定大きさの圧力によって迅速にインクジェットプリ
ントヘッド100に注入される。この時,ワーキング溶
液供給管303を経由したワーキング溶液は,図5に示
された供給ホール102を経由してワーキング溶液供給
チャンネル101にフローされることにより各加熱チャ
ンバ4を充填する。
ワーキング溶液は,所定の加圧装置(図示せず)から加わ
る一定大きさの圧力によって迅速にインクジェットプリ
ントヘッド100に注入される。この時,ワーキング溶
液供給管303を経由したワーキング溶液は,図5に示
された供給ホール102を経由してワーキング溶液供給
チャンネル101にフローされることにより各加熱チャ
ンバ4を充填する。
【0011】一方,上述の過程により各加熱チャンバ4
を充填した後残ったワーキング溶液は,ワーキング溶液
回帰管304を通ってワーキング溶液回帰部301に回
帰される。以後,加熱チャンバ4を密封してワーキング
溶液の注入を完了する。
を充填した後残ったワーキング溶液は,ワーキング溶液
回帰管304を通ってワーキング溶液回帰部301に回
帰される。以後,加熱チャンバ4を密封してワーキング
溶液の注入を完了する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかし,従来のインク
ジェットプリントヘッドのワーキング溶液注入方法にお
いては,各加熱チャンバの内部にワーキング溶液を注入
するためには,インクを収容したカートリッジにワーキ
ング溶液注入ツールを個別に追加装着して,それを通し
て個別インクジェットプリントヘッドごとにワーキング
溶液を注入しなければならなかったため,製品の全体的
な生産時間が増加し,製品の製造工程が複雑になって,
全体的な生産収率が低下するという問題点があった。
ジェットプリントヘッドのワーキング溶液注入方法にお
いては,各加熱チャンバの内部にワーキング溶液を注入
するためには,インクを収容したカートリッジにワーキ
ング溶液注入ツールを個別に追加装着して,それを通し
て個別インクジェットプリントヘッドごとにワーキング
溶液を注入しなければならなかったため,製品の全体的
な生産時間が増加し,製品の製造工程が複雑になって,
全体的な生産収率が低下するという問題点があった。
【0013】本発明は,従来のマイクロインジェクティ
ングデバイスのワーキング溶液注入装置およびワーキン
グ溶液注入方法が有する上記問題点に鑑みてなされたも
のであり,その目的は,ワーキング溶液注入ツールを個
別に装着したカートリッジを利用せず各個別加熱チャン
バの内部にワーキング溶液が注入できるようにすること
にある。
ングデバイスのワーキング溶液注入装置およびワーキン
グ溶液注入方法が有する上記問題点に鑑みてなされたも
のであり,その目的は,ワーキング溶液注入ツールを個
別に装着したカートリッジを利用せず各個別加熱チャン
バの内部にワーキング溶液が注入できるようにすること
にある。
【0014】また,本発明の別の目的は,全体的な製造
工程を単純化させて製品の生産収率を向上させることに
ある。
工程を単純化させて製品の生産収率を向上させることに
ある。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め,第1の発明は真空チャンバと,真空チャンバ内部に
エアを供給し,または前記真空チャンバ内部からエアを
吸入して真空チャンバ内部の真空状態を調節するエア供
給および吸入装置と,ワーキング溶液を収容して真空チ
ャンバの内部に配置されるワーキング溶液容器と,多数
個のマイクロインジェクティングデバイスが装着された
カートリッジを搭載してワーキング溶液内に浸るカート
リッジ収納容器とを含むことを特徴とするマイクロイン
ジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置であ
る。
め,第1の発明は真空チャンバと,真空チャンバ内部に
エアを供給し,または前記真空チャンバ内部からエアを
吸入して真空チャンバ内部の真空状態を調節するエア供
給および吸入装置と,ワーキング溶液を収容して真空チ
ャンバの内部に配置されるワーキング溶液容器と,多数
個のマイクロインジェクティングデバイスが装着された
カートリッジを搭載してワーキング溶液内に浸るカート
リッジ収納容器とを含むことを特徴とするマイクロイン
ジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置であ
る。
【0016】ワーキング溶液容器の外壁の周囲には,内
部に冷却媒体が流される冷却媒体フロー管が,らせん状
に配置されるようにしてもよい。
部に冷却媒体が流される冷却媒体フロー管が,らせん状
に配置されるようにしてもよい。
【0017】また,第2の発明は,ワーキング溶液容器
に収容されたワーキング溶液内に,多数個のマイクロイ
ンジェクティングデバイスが装着されたカートリッジを
搭載したカートリッジ収納容器を浸して,ワーキング溶
液容器を真空チャンバ内に配置する段階と,真空チャン
バ内部のエアを吸入して所定圧力の真空を形成させる段
階と,真空チャンバの内部にエアを供給して真空を解除
する段階と,カートリッジ収納容器を真空チャンバから
搬出する段階と,マイクロインジェクティングデバイス
の加熱チャンバを密閉する段階とを含むことを特徴とす
るマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶
液注入方法である。
に収容されたワーキング溶液内に,多数個のマイクロイ
ンジェクティングデバイスが装着されたカートリッジを
搭載したカートリッジ収納容器を浸して,ワーキング溶
液容器を真空チャンバ内に配置する段階と,真空チャン
バ内部のエアを吸入して所定圧力の真空を形成させる段
階と,真空チャンバの内部にエアを供給して真空を解除
する段階と,カートリッジ収納容器を真空チャンバから
搬出する段階と,マイクロインジェクティングデバイス
の加熱チャンバを密閉する段階とを含むことを特徴とす
るマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶
液注入方法である。
【0018】ここで,真空チャンバ内部の真空圧力は,
2×10−1mmHg〜2×10− 3mmHg,好まし
くは,2×10−2mmHgである。
2×10−1mmHg〜2×10− 3mmHg,好まし
くは,2×10−2mmHgである。
【0019】この時,容器の外壁には冷却媒体フロー管
が捲かれ,冷却媒体フロー管へは冷却媒体が流されてワ
ーキング溶液容器を冷却させる機能を実行する。ここ
で,冷却媒体フロー管を流れる冷却媒体としてはガス,
好ましくは,窒素ガスが使用される。
が捲かれ,冷却媒体フロー管へは冷却媒体が流されてワ
ーキング溶液容器を冷却させる機能を実行する。ここ
で,冷却媒体フロー管を流れる冷却媒体としてはガス,
好ましくは,窒素ガスが使用される。
【0020】かかる構成によれば,エア供給および吸入
装置と連結された真空チャンバ内部にワーキング溶液を
充填した容器を配置して,容器の内部にインクジェット
プリントヘッドを装着した多数個のカートリッジを同時
に浸した後,エア供給および吸入装置を作動させて真空
チャンバの内部環境を低圧の高真空状態に変更させるこ
とにより,容器内のワーキング溶液が各インクジェット
プリントヘッドの加熱チャンバ内に一括して充填される
ようにすることが可能である。
装置と連結された真空チャンバ内部にワーキング溶液を
充填した容器を配置して,容器の内部にインクジェット
プリントヘッドを装着した多数個のカートリッジを同時
に浸した後,エア供給および吸入装置を作動させて真空
チャンバの内部環境を低圧の高真空状態に変更させるこ
とにより,容器内のワーキング溶液が各インクジェット
プリントヘッドの加熱チャンバ内に一括して充填される
ようにすることが可能である。
【0021】
【発明の実施の形態】以下,添付図面を参照しながら本
発明にかかるマイクロインジェクティングデバイスのワ
ーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法の好
適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細
書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する
構成要素については,同一の符号を付することにより重
複説明を省略する。
発明にかかるマイクロインジェクティングデバイスのワ
ーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法の好
適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細
書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する
構成要素については,同一の符号を付することにより重
複説明を省略する。
【0022】(第1の発明)図1は本発明にかかるイン
クジェットプリントヘッド100の形状を示す斜視図で
ある。図1に示されるように,インクジェットプリント
ヘッド100は,支持基板1の保護膜2の上部に加熱層
11が形成される。加熱層11の上部には,加熱層に電
気的なエネルギーを供給する電極層3が形成される。
クジェットプリントヘッド100の形状を示す斜視図で
ある。図1に示されるように,インクジェットプリント
ヘッド100は,支持基板1の保護膜2の上部に加熱層
11が形成される。加熱層11の上部には,加熱層に電
気的なエネルギーを供給する電極層3が形成される。
【0023】ここで,加熱層11は供給された電気的エ
ネルギーを500℃〜550℃程度の熱エネルギーに変
換して加熱チャンババリヤ層5で囲まれた加熱チャンバ
4に伝達する。この時,加熱チャンバ4内部には蒸気圧
発生が容易なワーキング溶液(図示せず)が充填される。
ネルギーを500℃〜550℃程度の熱エネルギーに変
換して加熱チャンババリヤ層5で囲まれた加熱チャンバ
4に伝達する。この時,加熱チャンバ4内部には蒸気圧
発生が容易なワーキング溶液(図示せず)が充填される。
【0024】ワーキング溶液の蒸気圧が加熱チャンバ4
の上部に形成されたメンブレン6を振動させると,イン
クチャンババリヤ層7で囲まれたインクチャンバ9に貯
蔵されたインクが,ノズルプレート8で囲まれたノズル
10を通して外部にドロップされることにより,外部の
用紙への円滑な印刷作業が行われる。
の上部に形成されたメンブレン6を振動させると,イン
クチャンババリヤ層7で囲まれたインクチャンバ9に貯
蔵されたインクが,ノズルプレート8で囲まれたノズル
10を通して外部にドロップされることにより,外部の
用紙への円滑な印刷作業が行われる。
【0025】図2は本発明にかかるインクジェットプリ
ントヘッドのワーキング溶液注入装置を示す図である。
図2に示されるように,真空チャンバ400の内部には
ワーキング溶液を充填したワーキング溶液容器401が
配置される。ワーキング溶液内にはカートリッジ200
を搭載したカートリッジ収納容器402が配置される。
ントヘッドのワーキング溶液注入装置を示す図である。
図2に示されるように,真空チャンバ400の内部には
ワーキング溶液を充填したワーキング溶液容器401が
配置される。ワーキング溶液内にはカートリッジ200
を搭載したカートリッジ収納容器402が配置される。
【0026】ワーキング溶液容器401の外壁は冷却媒
体フロー管403がらせん状に配置され,各カートリッ
ジ200にはインクジェットプリントヘッド100が装
着される。
体フロー管403がらせん状に配置され,各カートリッ
ジ200にはインクジェットプリントヘッド100が装
着される。
【0027】冷却媒体フロー管403は,真空チャンバ
400内への入り口となるインレット管403aと,真
空チャンバ400からの出口となるアウトレット管40
3bとに分けて配置される。インレット管403a及び
アウトレット管403bが通過する真空チャンバ400
の底面407にはシーリング部405が形成されること
により,真空チャンバ400の内部を外気と分離する。
400内への入り口となるインレット管403aと,真
空チャンバ400からの出口となるアウトレット管40
3bとに分けて配置される。インレット管403a及び
アウトレット管403bが通過する真空チャンバ400
の底面407にはシーリング部405が形成されること
により,真空チャンバ400の内部を外気と分離する。
【0028】また,底面407とトップ面408が隣接
する境界面にもシーリング部405が形成されることに
より,真空チャンバ400の内部を外気と分離する。
する境界面にもシーリング部405が形成されることに
より,真空チャンバ400の内部を外気と分離する。
【0029】一方,真空チャンバ400は,エア供給お
よび吸入装置406と連結されている。エア供給および
吸入装置406は,真空チャンバ400の内部からエア
を吸入して真空チャンバ400の内部が真空状態を形成
するようにするとともに,エアを供給して真空チャンバ
400内部の真空状態を迅速に解除させる役割を実行す
る。
よび吸入装置406と連結されている。エア供給および
吸入装置406は,真空チャンバ400の内部からエア
を吸入して真空チャンバ400の内部が真空状態を形成
するようにするとともに,エアを供給して真空チャンバ
400内部の真空状態を迅速に解除させる役割を実行す
る。
【0030】ここで,カートリッジ収納容器402に搭
載されて外部のワーキング溶液と分離された多数個のカ
ートリッジ200は,外部に露出されたワーキング溶液
供給管303を具備する。
載されて外部のワーキング溶液と分離された多数個のカ
ートリッジ200は,外部に露出されたワーキング溶液
供給管303を具備する。
【0031】ワーキング溶液供給管303は,カートリ
ッジ200に装着されたインクジェットプリントヘッド
100の加熱チャンバ4と連結され,ワーキング溶液容
器に充填されたワーキング溶液が,加熱チャンバ4に円
滑に注入できる注入路を提供する。以後,真空条件が満
たされると,ワーキング溶液容器401を充填していた
ワーキング溶液は各加熱チャンバ4に一括して注入され
る。
ッジ200に装着されたインクジェットプリントヘッド
100の加熱チャンバ4と連結され,ワーキング溶液容
器に充填されたワーキング溶液が,加熱チャンバ4に円
滑に注入できる注入路を提供する。以後,真空条件が満
たされると,ワーキング溶液容器401を充填していた
ワーキング溶液は各加熱チャンバ4に一括して注入され
る。
【0032】従来のインクジェットプリントヘッドは,
加熱チャンバのワーキング溶液の注入を受ける時,ワー
キング溶液注入ツールを個別に追加装着したカートリッ
ジによりワーキング溶液の注入を受けるため,製品の生
産収率が顕著に低減されていた。
加熱チャンバのワーキング溶液の注入を受ける時,ワー
キング溶液注入ツールを個別に追加装着したカートリッ
ジによりワーキング溶液の注入を受けるため,製品の生
産収率が顕著に低減されていた。
【0033】しかし,本発明によるインクジェットプリ
ントヘッド100は,上述のワーキング溶液注入装置に
より一括してワーキング溶液の注入を受けるため,ワー
キング溶液注入ツールを個別に追加装着したカートリッ
ジを通してワーキング溶液の注入を受けるという複雑な
過程が不必要であり,円滑なワーキング溶液の注入が可
能となる。
ントヘッド100は,上述のワーキング溶液注入装置に
より一括してワーキング溶液の注入を受けるため,ワー
キング溶液注入ツールを個別に追加装着したカートリッ
ジを通してワーキング溶液の注入を受けるという複雑な
過程が不必要であり,円滑なワーキング溶液の注入が可
能となる。
【0034】(第2の発明)以下,第1の発明にかかる
ワーキング溶液注入装置を利用したワーキング溶液注入
方法について詳細に説明する。
ワーキング溶液注入装置を利用したワーキング溶液注入
方法について詳細に説明する。
【0035】図3は本発明によるインクジェットプリン
トヘッドのワーキング溶液注入方法を順次に示すフロー
チャートである。図3に示されるように,作業者はワー
キング溶液の注入が必要な多数個のインクジェットプリ
ントヘッド100を装着した多数個のカートリッジ20
0をカートリッジ収納容器402に搭載した後,カート
リッジ収納容器402を真空チャンバゲート(図示せず)
を通して真空チャンバ400内のワーキング溶液容器4
01に投入する。この時,ワーキング溶液容器401に
はワーキング溶液が適正量充填される(ステップ50
1)。
トヘッドのワーキング溶液注入方法を順次に示すフロー
チャートである。図3に示されるように,作業者はワー
キング溶液の注入が必要な多数個のインクジェットプリ
ントヘッド100を装着した多数個のカートリッジ20
0をカートリッジ収納容器402に搭載した後,カート
リッジ収納容器402を真空チャンバゲート(図示せず)
を通して真空チャンバ400内のワーキング溶液容器4
01に投入する。この時,ワーキング溶液容器401に
はワーキング溶液が適正量充填される(ステップ50
1)。
【0036】次に作業者は,ワーキング溶液容器401
の外壁温度を低下させてワーキング溶液の蒸発を防止す
るため,冷却媒体フロー管403のインレット管403
aを通して冷却媒体を持続的に流す。
の外壁温度を低下させてワーキング溶液の蒸発を防止す
るため,冷却媒体フロー管403のインレット管403
aを通して冷却媒体を持続的に流す。
【0037】この時,本発明の特徴によると,上述の冷
却媒体はガス,好ましくは,窒素ガスである。通常,窒
素ガスは良好な冷媒として知られており,本発明ではそ
の窒素ガスを利用してワーキング溶液容器401の外壁
を持続的に冷却させることにより,ワーキング溶液の蒸
発を防止する。
却媒体はガス,好ましくは,窒素ガスである。通常,窒
素ガスは良好な冷媒として知られており,本発明ではそ
の窒素ガスを利用してワーキング溶液容器401の外壁
を持続的に冷却させることにより,ワーキング溶液の蒸
発を防止する。
【0038】次に,インレット管403aを通して流さ
れた冷却媒体は,冷却媒体フロー管403の全てのライ
ンを経由した後にアウトレット管403bから外部に排
出される。
れた冷却媒体は,冷却媒体フロー管403の全てのライ
ンを経由した後にアウトレット管403bから外部に排
出される。
【0039】一方,上述の冷却媒体を流す工程ともに作
業者は,エア供給および吸入装置406を操作して真空
チャンバ400内部のエアを吸入する。したがって,真
空チャンバ400の内部を充填していたエアは全量,エ
ア供給および吸入装置406を通して吸入され,真空チ
ャンバ400の内部には低圧の真空状態が形成される。
このような真空形成過程は上述の冷却媒体フロー過程と
同時に行われる。
業者は,エア供給および吸入装置406を操作して真空
チャンバ400内部のエアを吸入する。したがって,真
空チャンバ400の内部を充填していたエアは全量,エ
ア供給および吸入装置406を通して吸入され,真空チ
ャンバ400の内部には低圧の真空状態が形成される。
このような真空形成過程は上述の冷却媒体フロー過程と
同時に行われる。
【0040】この時,インクジェットプリントヘッド1
00に形成された加熱チャンバ4の内部を充填していた
エアも,真空チャンバ400内部のエア排出と同時にエ
ア供給および吸入装置406を通して全量吸入される。
即ち,真空チャンバ400内部のエアが排出されるとと
もに加熱チャンバ4の内部のエアはワーキング溶液内に
気泡形態で噴出され,真空チャンバ400に放出され
る。したがって,加熱チャンバ4の内部には,ワーキン
グ溶液が円滑に注入できる空間が形成される(ステップ
502)。
00に形成された加熱チャンバ4の内部を充填していた
エアも,真空チャンバ400内部のエア排出と同時にエ
ア供給および吸入装置406を通して全量吸入される。
即ち,真空チャンバ400内部のエアが排出されるとと
もに加熱チャンバ4の内部のエアはワーキング溶液内に
気泡形態で噴出され,真空チャンバ400に放出され
る。したがって,加熱チャンバ4の内部には,ワーキン
グ溶液が円滑に注入できる空間が形成される(ステップ
502)。
【0041】ここで,本発明の特徴によると,真空チャ
ンバ400の内部に形成される真空の圧力は2×10
−1mmHg〜2×10−3mmHg,好ましくは,2
×10 −2mmHgである。
ンバ400の内部に形成される真空の圧力は2×10
−1mmHg〜2×10−3mmHg,好ましくは,2
×10 −2mmHgである。
【0042】一方,真空チャンバ400の内部に真空が
形成されると,ワーキング溶液容器401の内部に充填
されたワーキング溶液は,真空が形成された加熱チャン
バ4の空間に迅速に吸入されることにより各加熱チャン
バ4の内部を充填する。したがって,カートリッジ20
0に装着されたインクジェットプリントヘッド100の
加熱チャンバ4にはワーキング溶液が一括して充填され
る(ステップ503)。
形成されると,ワーキング溶液容器401の内部に充填
されたワーキング溶液は,真空が形成された加熱チャン
バ4の空間に迅速に吸入されることにより各加熱チャン
バ4の内部を充填する。したがって,カートリッジ20
0に装着されたインクジェットプリントヘッド100の
加熱チャンバ4にはワーキング溶液が一括して充填され
る(ステップ503)。
【0043】以後,上述の冷却媒体フロー過程及び真空
形成過程を通してインクジェットプリントヘッド100
の加熱チャンバ4にワーキング溶液が全て注入される
と,真空を解除してワーキング溶液が充填された各加熱
チャンバ4を密閉し,工程を完了する。
形成過程を通してインクジェットプリントヘッド100
の加熱チャンバ4にワーキング溶液が全て注入される
と,真空を解除してワーキング溶液が充填された各加熱
チャンバ4を密閉し,工程を完了する。
【0044】すなわち,インクジェットプリントヘッド
100の加熱チャンバ4にワーキング溶液の注入が完了
されると,作業者は,エア供給および吸入装置406を
操作して真空チャンバ400内部にエアを供給すること
により真空チャンバ内部の真空を解除する(ステップ5
04)。
100の加熱チャンバ4にワーキング溶液の注入が完了
されると,作業者は,エア供給および吸入装置406を
操作して真空チャンバ400内部にエアを供給すること
により真空チャンバ内部の真空を解除する(ステップ5
04)。
【0045】次に作業者は,ワーキング溶液注入が完了
された多数個のインクジェットプリントヘッド100を
装着した,多数個のカートリッジ200を搭載している
カートリッジ収納容器402を,真空チャンバゲートを
通して真空チャンバ400の外部に搬出する(ステップ
505)。
された多数個のインクジェットプリントヘッド100を
装着した,多数個のカートリッジ200を搭載している
カートリッジ収納容器402を,真空チャンバゲートを
通して真空チャンバ400の外部に搬出する(ステップ
505)。
【0046】次に,有機材質,例えば,ポリイミド材質
のシーリング材を使用して,カートリッジ200に装着
された各々のインクジェットプリントヘッド100の加
熱チャンバ4を密閉し,ワーキング溶液を加熱チャンバ
4の内部に安定的に貯蔵させる(ステップ506)。
のシーリング材を使用して,カートリッジ200に装着
された各々のインクジェットプリントヘッド100の加
熱チャンバ4を密閉し,ワーキング溶液を加熱チャンバ
4の内部に安定的に貯蔵させる(ステップ506)。
【0047】以上,添付図面を参照しながら本発明にか
かるマイクロインジェクティングデバイスのワーキング
溶液注入装置および注入方法の好適な実施形態について
説明したが,本発明はかかる例に限定されない。当業者
であれば,特許請求の範囲に記載された技術的思想の範
疇内において各種の変更例または修正例に想到し得るこ
とは明らかであり,それらについても当然に本発明の技
術的範囲に属するものと了解される。
かるマイクロインジェクティングデバイスのワーキング
溶液注入装置および注入方法の好適な実施形態について
説明したが,本発明はかかる例に限定されない。当業者
であれば,特許請求の範囲に記載された技術的思想の範
疇内において各種の変更例または修正例に想到し得るこ
とは明らかであり,それらについても当然に本発明の技
術的範囲に属するものと了解される。
【0048】即ち,本発明ではインクジェットプリント
ヘッドを例としてで説明したが,マイクロインジェクテ
ィングデバイスが適用される医療機器のマイクロポン
プ,燃料噴射装置等において,全般的に有用な効果があ
る。
ヘッドを例としてで説明したが,マイクロインジェクテ
ィングデバイスが適用される医療機器のマイクロポン
プ,燃料噴射装置等において,全般的に有用な効果があ
る。
【0049】
【発明の効果】以上のように本発明にかかるマイクロイ
ンジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及
びワーキング溶液注入方法によると,ワーキング溶液を
多数個のインクジェットプリントヘッドの加熱チャンバ
に一括して注入することにより,製品の生産効率を顕著
に向上させる効果がある。
ンジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及
びワーキング溶液注入方法によると,ワーキング溶液を
多数個のインクジェットプリントヘッドの加熱チャンバ
に一括して注入することにより,製品の生産効率を顕著
に向上させる効果がある。
【図1】第1の発明にかかるインクジェットプリントヘ
ッド100の形状を示す斜視図である。
ッド100の形状を示す斜視図である。
【図2】第1の発明にかかるインクジェットプリントヘ
ッドのワーキング溶液注入装置を示す図である。
ッドのワーキング溶液注入装置を示す図である。
【図3】第2の発明にかかるインクジェットプリントヘ
ッドのワーキング溶液注入方法を順次に示すフローチャ
ートである。
ッドのワーキング溶液注入方法を順次に示すフローチャ
ートである。
【図4】従来のインクジェットプリントヘッド100が
装着されたカートリッジ200の形状を示す断面図であ
る。
装着されたカートリッジ200の形状を示す断面図であ
る。
【図5】従来のインクジェットプリントヘッド100の
加熱チャンバアレーを示す斜視図である。
加熱チャンバアレーを示す斜視図である。
1 支持基板 2 保護膜 3 電極層 4 加熱チャンバ 5 バリヤ層 6 メンブレン 7 インクチャンババリヤ層 8 ノズルプレート 9 インクチャンバ 10 ノズル 11 加熱層 100 インクジェットプリントヘッド 200 カートリッジ 303 ワーキング溶液供給管 400 真空チャンバ 401 ワーキング溶液容器 402 カートリッジ収納容器 403 冷却媒体フロー管 403a インレット管 403b アウトレット管 405 シーリング部 406 エア供給および吸入装置 407 底面 408 トップ面
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−118632(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/175
Claims (9)
- 【請求項1】 真空チャンバと,前記真空チャンバ内部
にエアを供給し,または前記真空チャンバ内部からエア
を吸入して前記真空チャンバ内部の真空状態を調節する
エア供給および吸入装置と,ワーキング溶液を収容して
前記真空チャンバの内部に配置されるワーキング溶液容
器と,多数個のマイクロインジェクティングデバイスが
装着されたカートリッジを搭載して前記ワーキング溶液
内に浸るカートリッジ収納容器とを含むことを特徴とす
るマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶
液注入装置。 - 【請求項2】 前記ワーキング溶液容器の外壁の周囲に
は,内部に冷却媒体が流される冷却媒体フロー管が,ら
せん状に配置されることを特徴とする請求項1記載のマ
イクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注
入装置。 - 【請求項3】 ワーキング溶液容器に収容されたワーキ
ング溶液内に,多数個のマイクロインジェクティングデ
バイスが装着されたカートリッジを搭載したカートリッ
ジ収納容器を浸して,前記ワーキング溶液容器を真空チ
ャンバ内に配置する段階と,前記真空チャンバ内部のエ
アを吸入して所定圧力の真空を形成させる段階と,前記
真空チャンバの内部にエアを供給して前記真空を解除す
る段階と,前記カートリッジ収納容器を前記真空チャン
バから搬出する段階と,前記マイクロインジェクティン
グデバイスの加熱チャンバを密閉する段階とを含むこと
を特徴とするマイクロインジェクティングデバイスのワ
ーキング溶液注入方法。 - 【請求項4】 前記真空チャンバの内部に所定圧力の真
空を形成させるとともに,前記ワーキング溶液を冷却す
ることを特徴とする請求項3記載のマイクロインジェク
ティングデバイスのワーキング溶液注入方法。 - 【請求項5】 前記ワーキング溶液容器の外壁に設置さ
れた冷却媒体フロー管に冷却媒体を流して,前記ワーキ
ング溶液を冷却することを特徴とする請求項4記載のマ
イクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注
入方法。 - 【請求項6】 前記冷却媒体は,ガスを含むことを特徴
とする請求項4記載のマイクロインジェクティングデバ
イスのワーキング溶液注入方法。 - 【請求項7】 前記ガスは,窒素ガスを含むことを特徴
とする請求項6記載のマイクロインジェクティングデバ
イスのワーキング溶液注入方法。 - 【請求項8】 前記真空の圧力は,2×10−1mmH
g〜2×10−3mmHgであることを特徴とする請求
項3記載のマイクロインジェクティングデバイスのワー
キング溶液注入方法。 - 【請求項9】 前記真空の圧力は,2×10−2mmH
gであることを特徴とする請求項8記載のマイクロイン
ジェクティングデバイスのワーキング溶液注入方法。
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AU2002342150A1 (en) | 2001-10-30 | 2003-05-12 | George S. Lesinski | Implantation method for a hearing aid microactuator implanted into the cochlea |
JP4151653B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2008-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 機能液滴吐出ヘッドの初期充填方法、機能液滴吐出ヘッドの初期充填装置、機能液滴吐出ヘッド、機能液供給装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法 |
WO2006120048A2 (en) * | 2005-05-13 | 2006-11-16 | David Gethings | Air bubble removal from ink jet cartridges |
US20070169434A1 (en) * | 2006-01-26 | 2007-07-26 | Shawn Kinney | Process for aseptic vacuum filling and stoppering of low viscosity liquids in syringes |
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GB201501061D0 (en) * | 2015-01-22 | 2015-03-11 | Nicoventures Holdings Ltd | Apparatus and method for filling liquid into a cartridge for a vapour provision system |
WO2018022019A1 (en) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with a portioning wall |
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---|---|---|---|---|
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US994010A (en) * | 1910-10-22 | 1911-05-30 | Gen Electric | Method of and apparatus for producing exhausted vessels. |
US1922458A (en) * | 1929-10-25 | 1933-08-15 | Schaeffer Walter | Process for filling an ampule |
US2679343A (en) * | 1949-10-06 | 1954-05-25 | Vapor Heating Corp | Method and apparatus for filling thermostat tubes with mercury |
US3282306A (en) * | 1964-04-02 | 1966-11-01 | Pastemaster Inc | Process and apparatus for the charging of containers |
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US5601125A (en) | 1995-07-18 | 1997-02-11 | Seagate Technology, Inc. | Vacuum fill technique for hydrodynamic bearing |
JPH09226140A (ja) * | 1996-02-21 | 1997-09-02 | Brother Ind Ltd | インクカートリッジのインク注入方法及びその装置 |
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KR100209513B1 (ko) * | 1997-04-22 | 1999-07-15 | 윤종용 | 잉크젯 프린트헤드에서 액티브(Active) 액체 저장 및 공급 장치 |
-
1998
- 1998-11-03 RU RU98120475/12A patent/RU2163218C2/ru active
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1999
- 1999-03-05 KR KR1019990007324A patent/KR20000034819A/ko not_active Application Discontinuation
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- 1999-11-03 CN CN99126007A patent/CN1253037A/zh active Pending
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KR20000034819A (ko) | 2000-06-26 |
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