JP2000141690A - マイクロインジェクティングデバイスのワ―キング溶液注入装置及びワ―キング溶液注入方法 - Google Patents

マイクロインジェクティングデバイスのワ―キング溶液注入装置及びワ―キング溶液注入方法

Info

Publication number
JP2000141690A
JP2000141690A JP11314347A JP31434799A JP2000141690A JP 2000141690 A JP2000141690 A JP 2000141690A JP 11314347 A JP11314347 A JP 11314347A JP 31434799 A JP31434799 A JP 31434799A JP 2000141690 A JP2000141690 A JP 2000141690A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
working solution
vacuum chamber
vacuum
container
cartridge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11314347A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3193913B2 (ja
Inventor
Byung-Sun Ahn
秉善 安
Dunaev Boris Nikolaevich
ボリス ニコラエビッチ ドナイエフ
Lavrishev Vadim Petrovich
バジム ペトロビッチ ラブリシエフ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2000141690A publication Critical patent/JP2000141690A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3193913B2 publication Critical patent/JP3193913B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
    • B41J2/14064—Heater chamber separated from ink chamber by a membrane
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/377—Cooling or ventilating arrangements

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造工程を単純化し，製品の生産時間を短縮
させて，生産収率を向上させたマイクロインジェクティ
ングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング
溶液注入方法を提供する。 【解決手段】 エア供給および吸入装置４０６と連結さ
れた真空チャンバ４００内部にワーキング溶液容器４０
１を配置し，容器の内部にマイクロインジェクティング
デバイスを装着した多数個のカートリッジ２００を同時
に浸した後，エア供給および吸入装置４０６を作動させ
て真空チャンバ４００の内部を高真空状態にすることに
より，ワーキング溶液容器４０１内のワーキング溶液が
各マイクロインジェクティングデバイスの加熱チャンバ
４内に一括して充填されるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットプリ
ンタ，医療機器のマイクロポンプ，燃料噴射装置等に適
用されるマイクロインジェクティングデバイスに関し，
特に，ワーキング溶液を多数個の加熱チャンバに一括的
に注入することにより製品の生産効率を顕著に向上させ
ることができるマイクロインジェクティングデバイスの
ワーキング溶液注入装置及び注入方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】マイクロインジェクティングデバイス
は，インク，走査液，揮発油等の物質を特定対象物，例
えば，印刷用紙，人体，自動車等に微量供給しようとす
る場合，供給する物質に一定の大きさの電気的および熱
的エネルギーを加えて体積変化を誘導することにより，
微量の供給物質を所望する対象物に適切に供給できるよ
うに設計された装置である。
【０００３】最近，このようなマイクロインジェクティ
ングデバイスは，電気および電子技術の発達に伴い急速
に発展しており，全般的な生活領域にわたって幅広く適
用範囲が拡大されている。マイクロインジェクティング
デバイスの適用例としては，インクジェットプリンタが
ある。
【０００４】インクジェットプリンタは，既存のドット
プリンタとは異なり，例えば，カートリッジの使用によ
って多様な色が印刷可能である。また，騒音が少ない，
あるあるいは印字品質が美麗である等の多くの長所を有
しており，その使用領域が拡大されている。
【０００５】一方，このような長所を有するインクジェ
ットプリンタには，通常，微小直径のノズルを持つプリ
ントヘッドが装着される。インクジェットプリンタにお
いて，プリントヘッドは，外部からオンおよびオフされ
る電気的な信号を介して液体状態のインクを気泡状態に
状態変化，および体積膨脹させて外部に噴射することに
より，印刷用紙への円滑な印刷作業の進行を可能とす
る。
【０００６】一般的に，インクジェットプリントヘッド
の加熱チャンバ内部には，蒸気圧発生が容易なワーキン
グ溶液が充填されており，その蒸気圧によりメンブレン
の振動を誘導することにより外部の用紙に円滑に印刷が
行なわれるようにする。
【０００７】図４は従来のインクジェットプリントヘッ
ド１００が装着されたカートリッジ２００の形状を示す
断面図，図５は従来のインクジェットプリントヘッド１
００の加熱チャンバアレーを示す斜視図である。
【０００８】図４に示すように，インクジェットプリン
トヘッド１００を装着して内部にインクが充填されたカ
ートリッジ２００には，加熱チャンバ４の内部にワーキ
ング溶液を持続的に供給するため，インクジェットプリ
ントヘッド１００と隣接した部分にワーキング溶液注入
ツール３００が装着される。
【０００９】前記のようなワーキング溶液注入ツール３
００を利用してワーキング溶液を注入する方法について
説明すると次のようである。
【００１０】ワーキング溶液貯蔵部３０２に貯蔵された
ワーキング溶液は，所定の加圧装置(図示せず)から加わ
る一定大きさの圧力によって迅速にインクジェットプリ
ントヘッド１００に注入される。この時，ワーキング溶
液供給管３０３を経由したワーキング溶液は，図５に示
された供給ホール１０２を経由してワーキング溶液供給
チャンネル１０１にフローされることにより各加熱チャ
ンバ４を充填する。
【００１１】一方，上述の過程により各加熱チャンバ４
を充填した後残ったワーキング溶液は，ワーキング溶液
回帰管３０４を通ってワーキング溶液回帰部３０１に回
帰される。以後，加熱チャンバ４を密封してワーキング
溶液の注入を完了する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし，従来のインク
ジェットプリントヘッドのワーキング溶液注入方法にお
いては，各加熱チャンバの内部にワーキング溶液を注入
するためには，インクを収容したカートリッジにワーキ
ング溶液注入ツールを個別に追加装着して，それを通し
て個別インクジェットプリントヘッドごとにワーキング
溶液を注入しなければならなかったため，製品の全体的
な生産時間が増加し，製品の製造工程が複雑になって，
全体的な生産収率が低下するという問題点があった。
【００１３】本発明は，従来のマイクロインジェクティ
ングデバイスのワーキング溶液注入装置およびワーキン
グ溶液注入方法が有する上記問題点に鑑みてなされたも
のであり，その目的は，ワーキング溶液注入ツールを個
別に装着したカートリッジを利用せず各個別加熱チャン
バの内部にワーキング溶液が注入できるようにすること
にある。
【００１４】また，本発明の別の目的は，全体的な製造
工程を単純化させて製品の生産収率を向上させることに
ある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め，第１の発明は真空チャンバと，真空チャンバ内部に
エアを供給し，または前記真空チャンバ内部からエアを
吸入して真空チャンバ内部の真空状態を調節するエア供
給および吸入装置と，ワーキング溶液を収容して真空チ
ャンバの内部に配置されるワーキング溶液容器と，多数
個のマイクロインジェクティングデバイスが装着された
カートリッジを搭載してワーキング溶液内に浸るカート
リッジ収納容器とを含むことを特徴とするマイクロイン
ジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置であ
る。
【００１６】ワーキング溶液容器の外壁の周囲には，内
部に冷却媒体が流される冷却媒体フロー管が，らせん状
に配置されるようにしてもよい。
【００１７】また，第２の発明は，ワーキング溶液容器
に収容されたワーキング溶液内に，多数個のマイクロイ
ンジェクティングデバイスが装着されたカートリッジを
搭載したカートリッジ収納容器を浸して，ワーキング溶
液容器を真空チャンバ内に配置する段階と，真空チャン
バ内部のエアを吸入して所定圧力の真空を形成させる段
階と，真空チャンバの内部にエアを供給して真空を解除
する段階と，カートリッジ収納容器を真空チャンバから
搬出する段階と，マイクロインジェクティングデバイス
の加熱チャンバを密閉する段階とを含むことを特徴とす
るマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶
液注入方法である。
【００１８】ここで，真空チャンバ内部の真空圧力は，
２×１０−１ｍｍＨｇ〜２×１０− ３ｍｍＨｇ，好まし
くは，２×１０−２ｍｍＨｇである。
【００１９】この時，容器の外壁には冷却媒体フロー管
が捲かれ，冷却媒体フロー管へは冷却媒体が流されてワ
ーキング溶液容器を冷却させる機能を実行する。ここ
で，冷却媒体フロー管を流れる冷却媒体としてはガス，
好ましくは，窒素ガスが使用される。
【００２０】かかる構成によれば，エア供給および吸入
装置と連結された真空チャンバ内部にワーキング溶液を
充填した容器を配置して，容器の内部にインクジェット
プリントヘッドを装着した多数個のカートリッジを同時
に浸した後，エア供給および吸入装置を作動させて真空
チャンバの内部環境を低圧の高真空状態に変更させるこ
とにより，容器内のワーキング溶液が各インクジェット
プリントヘッドの加熱チャンバ内に一括して充填される
ようにすることが可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下，添付図面を参照しながら本
発明にかかるマイクロインジェクティングデバイスのワ
ーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法の好
適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細
書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する
構成要素については，同一の符号を付することにより重
複説明を省略する。
【００２２】（第１の発明）図１は本発明にかかるイン
クジェットプリントヘッド１００の形状を示す斜視図で
ある。図１に示されるように，インクジェットプリント
ヘッド１００は，支持基板１の保護膜２の上部に加熱層
１１が形成される。加熱層１１の上部には，加熱層に電
気的なエネルギーを供給する電極層３が形成される。
【００２３】ここで，加熱層１１は供給された電気的エ
ネルギーを５００℃〜５５０℃程度の熱エネルギーに変
換して加熱チャンババリヤ層５で囲まれた加熱チャンバ
４に伝達する。この時，加熱チャンバ４内部には蒸気圧
発生が容易なワーキング溶液(図示せず)が充填される。
【００２４】ワーキング溶液の蒸気圧が加熱チャンバ４
の上部に形成されたメンブレン６を振動させると，イン
クチャンババリヤ層７で囲まれたインクチャンバ９に貯
蔵されたインクが，ノズルプレート８で囲まれたノズル
１０を通して外部にドロップされることにより，外部の
用紙への円滑な印刷作業が行われる。
【００２５】図２は本発明にかかるインクジェットプリ
ントヘッドのワーキング溶液注入装置を示す図である。
図２に示されるように，真空チャンバ４００の内部には
ワーキング溶液を充填したワーキング溶液容器４０１が
配置される。ワーキング溶液内にはカートリッジ２００
を搭載したカートリッジ収納容器４０２が配置される。
【００２６】ワーキング溶液容器４０１の外壁は冷却媒
体フロー管４０３がらせん状に配置され，各カートリッ
ジ２００にはインクジェットプリントヘッド１００が装
着される。
【００２７】冷却媒体フロー管４０３は，真空チャンバ
４００内への入り口となるインレット管４０３ａと，真
空チャンバ４００からの出口となるアウトレット管４０
３ｂとに分けて配置される。インレット管４０３a及び
アウトレット管４０３bが通過する真空チャンバ４００
の底面４０７にはシーリング部４０５が形成されること
により，真空チャンバ４００の内部を外気と分離する。
【００２８】また，底面４０７とトップ面４０８が隣接
する境界面にもシーリング部４０５が形成されることに
より，真空チャンバ４００の内部を外気と分離する。
【００２９】一方，真空チャンバ４００は，エア供給お
よび吸入装置４０６と連結されている。エア供給および
吸入装置４０６は，真空チャンバ４００の内部からエア
を吸入して真空チャンバ４００の内部が真空状態を形成
するようにするとともに，エアを供給して真空チャンバ
４００内部の真空状態を迅速に解除させる役割を実行す
る。
【００３０】ここで，カートリッジ収納容器４０２に搭
載されて外部のワーキング溶液と分離された多数個のカ
ートリッジ２００は，外部に露出されたワーキング溶液
供給管３０３を具備する。
【００３１】ワーキング溶液供給管３０３は，カートリ
ッジ２００に装着されたインクジェットプリントヘッド
１００の加熱チャンバ４と連結され，ワーキング溶液容
器に充填されたワーキング溶液が，加熱チャンバ４に円
滑に注入できる注入路を提供する。以後，真空条件が満
たされると，ワーキング溶液容器４０１を充填していた
ワーキング溶液は各加熱チャンバ４に一括して注入され
る。
【００３２】従来のインクジェットプリントヘッドは，
加熱チャンバのワーキング溶液の注入を受ける時，ワー
キング溶液注入ツールを個別に追加装着したカートリッ
ジによりワーキング溶液の注入を受けるため，製品の生
産収率が顕著に低減されていた。
【００３３】しかし，本発明によるインクジェットプリ
ントヘッド１００は，上述のワーキング溶液注入装置に
より一括してワーキング溶液の注入を受けるため，ワー
キング溶液注入ツールを個別に追加装着したカートリッ
ジを通してワーキング溶液の注入を受けるという複雑な
過程が不必要であり，円滑なワーキング溶液の注入が可
能となる。
【００３４】（第２の発明）以下，第１の発明にかかる
ワーキング溶液注入装置を利用したワーキング溶液注入
方法について詳細に説明する。
【００３５】図３は本発明によるインクジェットプリン
トヘッドのワーキング溶液注入方法を順次に示すフロー
チャートである。図３に示されるように，作業者はワー
キング溶液の注入が必要な多数個のインクジェットプリ
ントヘッド１００を装着した多数個のカートリッジ２０
０をカートリッジ収納容器４０２に搭載した後，カート
リッジ収納容器４０２を真空チャンバゲート(図示せず)
を通して真空チャンバ４００内のワーキング溶液容器４
０１に投入する。この時，ワーキング溶液容器４０１に
はワーキング溶液が適正量充填される（ステップ５０
１）。
【００３６】次に作業者は，ワーキング溶液容器４０１
の外壁温度を低下させてワーキング溶液の蒸発を防止す
るため，冷却媒体フロー管４０３のインレット管４０３
aを通して冷却媒体を持続的に流す。
【００３７】この時，本発明の特徴によると，上述の冷
却媒体はガス，好ましくは，窒素ガスである。通常，窒
素ガスは良好な冷媒として知られており，本発明ではそ
の窒素ガスを利用してワーキング溶液容器４０１の外壁
を持続的に冷却させることにより，ワーキング溶液の蒸
発を防止する。
【００３８】次に，インレット管４０３aを通して流さ
れた冷却媒体は，冷却媒体フロー管４０３の全てのライ
ンを経由した後にアウトレット管４０３bから外部に排
出される。
【００３９】一方，上述の冷却媒体を流す工程ともに作
業者は，エア供給および吸入装置４０６を操作して真空
チャンバ４００内部のエアを吸入する。したがって，真
空チャンバ４００の内部を充填していたエアは全量，エ
ア供給および吸入装置４０６を通して吸入され，真空チ
ャンバ４００の内部には低圧の真空状態が形成される。
このような真空形成過程は上述の冷却媒体フロー過程と
同時に行われる。
【００４０】この時，インクジェットプリントヘッド１
００に形成された加熱チャンバ４の内部を充填していた
エアも，真空チャンバ４００内部のエア排出と同時にエ
ア供給および吸入装置４０６を通して全量吸入される。
即ち，真空チャンバ４００内部のエアが排出されるとと
もに加熱チャンバ４の内部のエアはワーキング溶液内に
気泡形態で噴出され，真空チャンバ４００に放出され
る。したがって，加熱チャンバ４の内部には，ワーキン
グ溶液が円滑に注入できる空間が形成される（ステップ
５０２）。
【００４１】ここで，本発明の特徴によると，真空チャ
ンバ４００の内部に形成される真空の圧力は２×１０
−１ｍｍＨｇ〜２×１０−３ｍｍＨｇ，好ましくは，２
×１０ −２ｍｍＨｇである。
【００４２】一方，真空チャンバ４００の内部に真空が
形成されると，ワーキング溶液容器４０１の内部に充填
されたワーキング溶液は，真空が形成された加熱チャン
バ４の空間に迅速に吸入されることにより各加熱チャン
バ４の内部を充填する。したがって，カートリッジ２０
０に装着されたインクジェットプリントヘッド１００の
加熱チャンバ４にはワーキング溶液が一括して充填され
る（ステップ５０３）。
【００４３】以後，上述の冷却媒体フロー過程及び真空
形成過程を通してインクジェットプリントヘッド１００
の加熱チャンバ４にワーキング溶液が全て注入される
と，真空を解除してワーキング溶液が充填された各加熱
チャンバ４を密閉し，工程を完了する。
【００４４】すなわち，インクジェットプリントヘッド
１００の加熱チャンバ４にワーキング溶液の注入が完了
されると，作業者は，エア供給および吸入装置４０６を
操作して真空チャンバ４００内部にエアを供給すること
により真空チャンバ内部の真空を解除する（ステップ５
０４）。
【００４５】次に作業者は，ワーキング溶液注入が完了
された多数個のインクジェットプリントヘッド１００を
装着した，多数個のカートリッジ２００を搭載している
カートリッジ収納容器４０２を，真空チャンバゲートを
通して真空チャンバ４００の外部に搬出する（ステップ
５０５）。
【００４６】次に，有機材質，例えば，ポリイミド材質
のシーリング材を使用して，カートリッジ２００に装着
された各々のインクジェットプリントヘッド１００の加
熱チャンバ４を密閉し，ワーキング溶液を加熱チャンバ
４の内部に安定的に貯蔵させる（ステップ５０６）。
【００４７】以上，添付図面を参照しながら本発明にか
かるマイクロインジェクティングデバイスのワーキング
溶液注入装置および注入方法の好適な実施形態について
説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者
であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範
疇内において各種の変更例または修正例に想到し得るこ
とは明らかであり，それらについても当然に本発明の技
術的範囲に属するものと了解される。
【００４８】即ち，本発明ではインクジェットプリント
ヘッドを例としてで説明したが，マイクロインジェクテ
ィングデバイスが適用される医療機器のマイクロポン
プ，燃料噴射装置等において，全般的に有用な効果があ
る。
【００４９】
【発明の効果】以上のように本発明にかかるマイクロイ
ンジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及
びワーキング溶液注入方法によると，ワーキング溶液を
多数個のインクジェットプリントヘッドの加熱チャンバ
に一括して注入することにより，製品の生産効率を顕著
に向上させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の発明にかかるインクジェットプリントヘ
ッド１００の形状を示す斜視図である。
【図２】第１の発明にかかるインクジェットプリントヘ
ッドのワーキング溶液注入装置を示す図である。
【図３】第２の発明にかかるインクジェットプリントヘ
ッドのワーキング溶液注入方法を順次に示すフローチャ
ートである。
【図４】従来のインクジェットプリントヘッド１００が
装着されたカートリッジ２００の形状を示す断面図であ
る。
【図５】従来のインクジェットプリントヘッド１００の
加熱チャンバアレーを示す斜視図である。
【符号の説明】
１ 支持基板 ２ 保護膜 ３ 電極層 ４ 加熱チャンバ ５ バリヤ層 ６ メンブレン ７ インクチャンババリヤ層 ８ ノズルプレート ９ インクチャンバ １０ ノズル １１ 加熱層 １００ インクジェットプリントヘッド ２００ カートリッジ ３０３ ワーキング溶液供給管 ４００ 真空チャンバ ４０１ ワーキング溶液容器 ４０２ カートリッジ収納容器 ４０３ 冷却媒体フロー管 ４０３ａ インレット管 ４０３ｂ アウトレット管 ４０５ シーリング部 ４０６ エア供給および吸入装置 ４０７ 底面 ４０８ トップ面
フロントページの続き (72)発明者 ラブリシエフ バジム ペトロビッチ ロシア 143430 モスクワ パシャルロク ナハビノ クラスノゴルスキ区域 サペ ロフ街 11チ 10 アパート22

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 真空チャンバと，前記真空チャンバ内部
    にエアを供給し，または前記真空チャンバ内部からエア
    を吸入して前記真空チャンバ内部の真空状態を調節する
    エア供給および吸入装置と，ワーキング溶液を収容して
    前記真空チャンバの内部に配置されるワーキング溶液容
    器と，多数個のマイクロインジェクティングデバイスが
    装着されたカートリッジを搭載して前記ワーキング溶液
    内に浸るカートリッジ収納容器とを含むことを特徴とす
    るマイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶
    液注入装置。
  2. 【請求項２】 前記ワーキング溶液容器の外壁の周囲に
    は，内部に冷却媒体が流される冷却媒体フロー管が，ら
    せん状に配置されることを特徴とする請求項１記載のマ
    イクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注
    入装置。
  3. 【請求項３】 ワーキング溶液容器に収容されたワーキ
    ング溶液内に，多数個のマイクロインジェクティングデ
    バイスが装着されたカートリッジを搭載したカートリッ
    ジ収納容器を浸して，前記ワーキング溶液容器を真空チ
    ャンバ内に配置する段階と，前記真空チャンバ内部のエ
    アを吸入して所定圧力の真空を形成させる段階と，前記
    真空チャンバの内部にエアを供給して前記真空を解除す
    る段階と，前記カートリッジ収納容器を前記真空チャン
    バから搬出する段階と，前記マイクロインジェクティン
    グデバイスの加熱チャンバを密閉する段階とを含むこと
    を特徴とするマイクロインジェクティングデバイスのワ
    ーキング溶液注入方法。
  4. 【請求項４】 前記真空チャンバの内部に所定圧力の真
    空を形成させるとともに，前記ワーキング溶液を冷却す
    ることを特徴とする請求項３記載のマイクロインジェク
    ティングデバイスのワーキング溶液注入方法。
  5. 【請求項５】 前記ワーキング溶液容器の外壁に設置さ
    れた冷却媒体フロー管に冷却媒体を流して，前記ワーキ
    ング溶液を冷却することを特徴とする請求項４記載のマ
    イクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注
    入方法。
  6. 【請求項６】 前記冷却媒体は，ガスを含むことを特徴
    とする請求項４記載のマイクロインジェクティングデバ
    イスのワーキング溶液注入方法。
  7. 【請求項７】 前記ガスは，窒素ガスを含むことを特徴
    とする請求項６記載のマイクロインジェクティングデバ
    イスのワーキング溶液注入方法。
  8. 【請求項８】 前記真空の圧力は，２×１０−１ｍｍＨ
    ｇ〜２×１０−３ｍｍＨｇであることを特徴とする請求
    項３記載のマイクロインジェクティングデバイスのワー
    キング溶液注入方法。
  9. 【請求項９】 前記真空の圧力は，２×１０−２ｍｍＨ
    ｇであることを特徴とする請求項８記載のマイクロイン
    ジェクティングデバイスのワーキング溶液注入方法。
JP31434799A 1998-11-03 1999-11-04 マイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法 Expired - Fee Related JP3193913B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98120475 1998-11-03
RU98120475/12A RU2163218C2 (ru) 1998-11-03 1998-11-03 Способ инжекции рабочей жидкости в микроинжекционное устройство

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000141690A true JP2000141690A (ja) 2000-05-23
JP3193913B2 JP3193913B2 (ja) 2001-07-30

Family

ID=20212232

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP31434799A Expired - Fee Related JP3193913B2 (ja) 1998-11-03 1999-11-04 マイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6199600B1 (ja)
EP (1) EP0999062A3 (ja)
JP (1) JP3193913B2 (ja)
KR (1) KR20000034819A (ja)
CN (1) CN1253037A (ja)
RU (1) RU2163218C2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015047793A (ja) * 2013-09-02 2015-03-16 キヤノン株式会社 インク充填装置およびインク充填方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6561231B2 (en) 1999-10-13 2003-05-13 Armand P. Neukermans Method for filling acoustic implantable transducers
JP3658328B2 (ja) * 2001-02-07 2005-06-08 キヤノン株式会社 液体収容容器への液体再充填方法および装置
WO2003037212A2 (en) 2001-10-30 2003-05-08 Lesinski George S Implantation method for a hearing aid microactuator implanted into the cochlea
JP4151653B2 (ja) * 2005-01-17 2008-09-17 セイコーエプソン株式会社 機能液滴吐出ヘッドの初期充填方法、機能液滴吐出ヘッドの初期充填装置、機能液滴吐出ヘッド、機能液供給装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法
WO2006120048A2 (en) * 2005-05-13 2006-11-16 David Gethings Air bubble removal from ink jet cartridges
US20070169434A1 (en) * 2006-01-26 2007-07-26 Shawn Kinney Process for aseptic vacuum filling and stoppering of low viscosity liquids in syringes
JP5055889B2 (ja) * 2006-08-11 2012-10-24 セイコーエプソン株式会社 液体収容体の製造方法
US9004652B2 (en) 2013-09-06 2015-04-14 Xerox Corporation Thermo-pneumatic actuator fabricated using silicon-on-insulator (SOI)
US9004651B2 (en) 2013-09-06 2015-04-14 Xerox Corporation Thermo-pneumatic actuator working fluid layer
US9096057B2 (en) 2013-11-05 2015-08-04 Xerox Corporation Working fluids for high frequency elevated temperature thermo-pneumatic actuation
GB201501061D0 (en) * 2015-01-22 2015-03-11 Nicoventures Holdings Ltd Apparatus and method for filling liquid into a cartridge for a vapour provision system
CN109070589B (zh) * 2016-07-26 2020-10-27 惠普发展公司，有限责任合伙企业 具有分隔壁的流体喷射装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1345347A (en) * 1920-07-06 Method of filling thermometer-tubes and the like
US994010A (en) * 1910-10-22 1911-05-30 Gen Electric Method of and apparatus for producing exhausted vessels.
US1922458A (en) * 1929-10-25 1933-08-15 Schaeffer Walter Process for filling an ampule
US2679343A (en) * 1949-10-06 1954-05-25 Vapor Heating Corp Method and apparatus for filling thermostat tubes with mercury
US3282306A (en) * 1964-04-02 1966-11-01 Pastemaster Inc Process and apparatus for the charging of containers
FR2131037A5 (ja) * 1971-03-30 1972-11-10 Orega Cifte
JPS5840726B2 (ja) * 1975-11-12 1983-09-07 株式会社日立製作所 液晶封入装置
US4061163A (en) * 1976-07-06 1977-12-06 Gte Sylvania Incorporated Method of filling electrochemical cells with electrolyte
US4480259A (en) 1982-07-30 1984-10-30 Hewlett-Packard Company Ink jet printer with bubble driven flexible membrane
US4713925A (en) * 1985-04-01 1987-12-22 Kafkis N H Method and apparatus for filling a plurality of flexible pipette type vessels
US5335711A (en) 1987-05-30 1994-08-09 Ae Plc Process and apparatus for metal casting
US5601125A (en) 1995-07-18 1997-02-11 Seagate Technology, Inc. Vacuum fill technique for hydrodynamic bearing
JPH09226140A (ja) * 1996-02-21 1997-09-02 Brother Ind Ltd インクカートリッジのインク注入方法及びその装置
JP3666537B2 (ja) * 1996-11-14 2005-06-29 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録装置用インクカートリッジの製造方法
KR100209513B1 (ko) * 1997-04-22 1999-07-15 윤종용 잉크젯 프린트헤드에서 액티브(Active) 액체 저장 및 공급 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015047793A (ja) * 2013-09-02 2015-03-16 キヤノン株式会社 インク充填装置およびインク充填方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6199600B1 (en) 2001-03-13
EP0999062A2 (en) 2000-05-10
EP0999062A3 (en) 2000-07-19
JP3193913B2 (ja) 2001-07-30
RU2163218C2 (ru) 2001-02-20
CN1253037A (zh) 2000-05-17
KR20000034819A (ko) 2000-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3193913B2 (ja) マイクロインジェクティングデバイスのワーキング溶液注入装置及びワーキング溶液注入方法
US10532580B2 (en) Fluid ejection apparatus with vertical inlet/outlet and fluid pump
US8272717B2 (en) Jetting device with reduced crosstalk
EP2678162B1 (en) Printing system and related method
JPH0729429B2 (ja) 熱的インクジエツトプリンターに用いるためのプリントヘツド
JPH1120194A (ja) インクジェットプリンタ用空気除去方法およびインクジェットプリンタ
US7681994B2 (en) Drop ejection device
KR20080028952A (ko) 규모조정이 가능한 액적 사출 제조 방법 및 장치
JP2010241120A (ja) 流体液滴吐出中の供給チャンネル及び回収チャンネルにおけるクロストークの低減装置
JP2011073390A (ja) 液体噴射装置
JP6393128B2 (ja) 液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および液体噴射ヘッドの製造方法
CN107618264A (zh) 液体喷射方法、液体喷射装置以及液体喷射头
JP2004142465A (ja) 流体噴射器ヘッド及びその製造方法
US20120256985A1 (en) Liquid ejection head and liquid ejection apparatus
JP2002240267A (ja) 二層印刷ヘッド構成を使用する音響インキ印刷を行うための小滴噴射装置および小滴噴射方法
JP2004223914A (ja) 液滴吐出装置、電気光学装置、電子機器、液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法、液滴吐出ヘッドの乾燥抑制方法
CA2349097A1 (en) System and method for maintaining the front of a fluid jet device in a relatively clean condition
US6186617B1 (en) Device for storing and supplying active liquid in ink jet printhead
JP2004004177A (ja) 製膜装置とその液状体充填方法及びデバイス製造方法とデバイス製造装置並びにデバイス
JP2002321354A (ja) インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JPH0820111A (ja) 液体噴射記録ヘッドおよびこれを搭載する液体噴射記録装置
JP5703652B2 (ja) 加熱流路ユニット、および、液体噴射ヘッド
KR20110027827A (ko) 잉크 공급
JP3763218B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびそれを備えたインクジェット記録装置
JP2002273882A (ja) インクジェットプリントヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010515

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees