KR20000019809A

KR20000019809A - 반도체장치 제조용 폐액배출장치

Info

Publication number: KR20000019809A
Application number: KR1019980038082A
Authority: KR
Inventors: 유동준
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-09-15
Filing date: 1998-09-15
Publication date: 2000-04-15

Abstract

본 발명은, 도 2에 도시한 바와 같이, 아스피레이터(3)를 사용하여 폐액이 일시적으로 저장되는 폐액조(2)로부터 폐액을 인출하여 용수와 혼합한 상태에서 배출관(4)을 통하여 배출하는 폐액배출장치에서 용수를 공급하는 용수급수관(1)에 수압의 저하를 수반하지 않으면서 용수 중에 포함된 이물질을 여과하여 이물질이 아스피레이터(3)로 유입되지 않도록 하기 위한 필터박스(5)를 용수급수관(1)에 취부시켜서 이루어진 폐액배출장치를 제공함을 특징으로 한다.

따라서, 상기 필터박스(5)내의 필터가이드(51)에 의하여 이물질이 제거된 용수를 아스피레이터(3)에 공급토록 하므로써 아스피레이터(3)의 폐색을 예방하고, 폐액의 배출을 원활하게 하는 효과를 제공한다.

Description

반도체장치 제조용 폐액배출장치

본 발명은 반도체장치의 제조에 사용되고 난 후의 폐액을 배출시키기 위한 폐액배출장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 폐액통 내의 폐액을 아스피레이터의 흡입력으로 인출하여 아스피레이터에 공급되는 용수와 혼합하여 배출관을 통하여 배출시키도록 한 반도체장치 제조용 폐액배출장치에 관한 것이다.

반도체장치를 제조하기 위하여는 그 소재가 되는 웨이퍼에 대하여 산화, 마스킹, 포토레지스트코팅, 식각, 확산 및 적층 등과 이들 공정들의 전, 후에서 보조적으로 수행되는 세척, 건조 및 검사 등의 여러 공정이 수행되어야 하며, 그에 따라 여러 장치들 및 기구들의 적용을 받아야 한다.

또한, 이들 공정들을 수행하기 위하여는 다양한 화학약품들이 사용되며, 사용되고 난 후의 폐액들은 일정하게 수거되어 후처리된 후 배출되게 된다.

종래의 폐액제거장치의 경우, 도 1에 도시한 바와 같이, 반도체장치의 제조에 사용되고 난 후의 폐액이 폐액조(2)에 일시적으로 저장되며, 이를 배출관(4)을 통하여 자동적으로 배출토록 하기 위하여 상기 폐액조(2)에 폐액배출단속밸브(22)가 취부된 폐액배출관(21)의 일단을 연결시키고, 그 타단을 아스피레이터(3)의 흡입단에 연결시키며, 급수단속밸브(11) 및 유량계(12)가 취부된 용수급수관(1)을 상기 아스피레이터(3)의 상단에 연결시키고, 상기 아스피레이터(3)의 하단은 배출관(4)에 연결시켜 이루어진다. 이러한 구성을 갖는 종래의 폐액배출장치의 경우, 아스피레이터(3)에 용수를 급수하므로써 용수의 수압에 의하여 상기 아스피레이터(3)를 경유하여 아스피레이터(3)의 상단에서 하단으로 빠르게 용수를 흘려보내는 것에 의하여 상기 아스피레이터(3) 내부에서 감압이 발생하고, 이는 그 흡입단에 연결된 폐액배출관(21)으로 감압이 적용되도록 하므로써 이 폐액배출관(21)을 경유하여 적용되는 아스피레이터(3)의 감압작용으로 상기 폐액조(2)내의 폐액이 빨려나와 상기 아스피레이터(3) 내부에서 용수와 혼합되면서 자동적으로 배출관(4)으로 배출되게 된다. 이때 사용되는 아스피레이터(3)는 상용적으로 제공되는 것으로서, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 용이하게 이해될 수 있을 정도로 공지된 것임은 물론 상용적으로 구입하여 사용할 수 있는 것이다.

그러나, 이러한 종래의 폐액배출장치에서는 용수급수관(1)을 경유하여 아스피레이터(3)로 급수되는 용수가 대개 일정한 수압을 갖는 상수원에 연결되어 상수원에서 공급되는 용수를 직접 사용하게 되는 데, 이때 사용되는 용수에 이물질이 포함되는 경우, 이 이물질은 곧 급수단속밸브(11), 유량계(12), 배출관(4) 또는 아스피레이터(3), 특히 아스피레이터(3) 내부의 근처에 형성되는 노즐의 폐색을 유발하는 문제점이 있었으며, 특히 아스피레이터(3)의 폐색은 곧바로 폐액조(2)에서의 폐액의 인출을 불가능하게 하는 직접적인 원인이 되어 폐액의 배출작용을 원활히 수행하지 못하게 하는 문제점이 발생되곤 하였다. 또한, 일반적인 필터를 상기 아스피레이터(3)에 용수를 공급하는 용수급수관(1)에 취부시키는 경우, 필터 전후에 있어서 수압차를 유발하게 되고, 아스피레이터(3)에 충분한 수압을 적용시킬 수 없게 되기 때문에 역시 폐액의 원활한 배출을 불가능하게 하는 문제점이 있을 수 있다.

본 발명의 목적은 용수의 수압저하를 유발하지 않으면서 용수 중에 포함된 이물질이 아스피레이터에까지 유입되지 않도록 하는 필터박스를 포함하는 폐액배출장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 반도체장치 제조용 폐액배출장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 폐액배출장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 용수급수관 2 : 폐액조

3 : 아스피레이터 4 : 배출관

5 : 필터박스 11 : 급수단속밸브

12 : 유량계 21 : 폐액배출관

22 : 폐액배출단속밸브 51 : 필터가이드

본 발명에 따른 반도체장치 제조용 폐액배출장치는, 폐액이 일시적으로 저장되는 폐액조에 폐액배출단속밸브가 취부된 폐액배출관의 일단을 연결시키고, 그 타단을 아스피레이터의 흡입단에 연결시키며, 필터가이드가 내부에 취부된 필터박스, 급수단속밸브 및 유량계가 취부된 용수급수관을 상기 아스피레이터의 상단에 연결시키고, 상기 아스피레이터의 하단은 배출관에 연결시켜 이루어진다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2에 개략적으로 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 폐액배출장치는, 용수를 아스피레이터(3)로 급수하는 용수급수관(1)에 내부에 필터가이드(51)가 취부된 필터박스(5)를 취부시켜 상기 필터박스(5)를 경유하여 용수가 아스피레이터(3)로 공급되도록 구성함을 특징으로 한다.

상기 필터박스(5)는 중공의 박스로 그 내부에는 상기한 바와 같이 필터가이드(51)가 취부되어 있다. 따라서, 상기 필터박스(5)내로 유입되는 용수는 상기 필터가이드(51)를 경유하여 이를 넘어 계속해서 아스피레이터(3)로 공급되게 된다.

이때, 상기 필터가이드(51)는 수직상방으로 돌출되어 있기 때문에 용수는 필터가이드(51)의 높이까지 그 수위가 상승한 다음 이를 넘어서 계속 흘러가게 되고, 용수 중에 포함된 이물질은 중력에 의하여 하방으로 흐르다가 상기 필터가이드(51)에 의하여 그 진행이 정지되며, 상기 필터가이드(51)를 넘어서 상기 아스피레이터(3)로 공급되는 것을 차단하게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면 수압의 감소없이 용수 중에 포함된 이물질이 아스피레이터(3)로 유입되지 않도록 하므로써 아스피레이터(3)가 폐색되는 것을 방지하고, 폐액배출이 원활하게 이루어지도록 하는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims

폐액이 일시적으로 저장되는 폐액조에 폐액배출단속밸브가 취부된 폐액배출관의 일단을 연결시키고, 그 타단을 아스피레이터의 흡입단에 연결시키며, 필터가이드가 내부에 취부된 필터박스, 급수단속밸브 및 유량계가 취부된 용수급수관을 상기 아스피레이터의 상단에 연결시키고, 상기 아스피레이터의 하단은 배출관에 연결시켜 이루어짐을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 폐액배출장치.