KR20000014875A - 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템 - Google Patents
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Abstract
반도체 장치를 제조하는 제조설비와 계측을 위한 계측설비를 통신망을 통해 전송되는 데이터를 참조하여 원거리에 접속된 컴퓨터에서도 각각의 동작을 제어하도록 하는 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 공정설비와 계측설비가 제 1 통신망에 접속되어 있고, 제 1 통신망에 접속된 제 1 호스트컴퓨터 및 클라이언트컴퓨터가 접속되어 공정설비 및 계측설비로부터 클라이언트컴퓨터로 데이터 전송이 이루어지는 반도체 장치 제조시스템에 있어서, 제 1 통신망과는 별도로 공정설비와 계측설비가 제 2 통신망에도 접속되고, 제 2 통신망에 접속된 제 2 호스트컴퓨터로 데이터전송이 이루어지며, 제 2 통신망에 접속되는 클라이언트컴퓨터가 공정설비 및 계측설비를 전송되는 데이터를 참조하여 그 동작을 제어하도록 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 서로 다른 통신망으로 접속된 컴퓨터에 의해 원거리에서도 공정설비 또는 계측설비 등의 데이터를 확인하고, 그들의 동작을 제어할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 장치를 제조하는 제조설비와 계측을 위한 계측설비를 통신망을 통해 전송되는 데이터를 참조하여 원거리에 접속된 컴퓨터에서도 각각의 동작을 제어하도록 하는 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템에 관한 것이다.
반도체 장치를 제조하는 설비를 포함하는 각종 단말기, 컴퓨터들은 동일하거나 호환가능한 조건에서 서로 데이터 전송이 이루어지는 통신망을 공유할 수 있다. 이들은 데이터베이스를 구비하는 호스트컴퓨터를 공유하여 각종 데이터들을 교환하고, 서로 다른 컴퓨터 또는 설비들을 제어할 수 있도록 프로그램될 수 있다.
이러한 통신망에 연결될 수 있는 설비중 반도체 장치 제조설비 또는 계측설비는, 클린룸(clean room)이라는 특수한 환경하에서 사용되어지며, 작업자들 또한 방진복이나 기타 먼지를 발생시키는 외부적인 요인이 차단되어 있는 환경속에서 작업을 진행한다. 이러한 반도체 제조공정에서 각각의 공정 및 측정 단계마다 사용되어지는 설비나 장치는 통신케이블에 연결되어 있으며, 상기 설비나 장치로부터 작업이 진행될 때마다 사용되어지는 설비의 레시피(recipe), 작업자 정보, 측정데이터 및 공정조건 등을 자동으로 선택되도록 하고 있다.
즉, 도1에서 보는 바와 같이 종래의 반도체 장치 제조시스템은, 공정설비(10) 또는 제조설비(12)들이 통신망(14)에 접속되어서 호스트(16)에 데이터를 전송하고, 통신망(14)에 접속된 컴퓨터(18)로부터 데이터를 전송받도록 구성되어 있다.
전술한 바와 같이 구성되어 있는 종래의 공정설비(10)는 이미 프로그램되어 있는 공정순서에 따라 반도체 장치를 제조하기 위한 동작을 수행하고, 그에 따라 발생된 데이터를 통신망(14)에 접속된 호스트(16)로 전송하도록 되어 있다. 또한, 계측설비(12)도 공정설비(10)와 유사한 기능을 수행하는데, 소정 계측단위별로 얻어진 데이터들을 통신망(14)을 통해 호스트(16)로 전송한다.
이렇게 전송된 데이터를 통신망(14)을 공유하고 있는 컴퓨터(18)에서 호스트(16)에 요구하면 그에 따른 데이터가 컴퓨터(18)에 전송되어서 공정설비(10)의 공정데이터와 계측설비(12)로부터의 계측데이터를 참고할 수 있도록 되어 있다.
종래에 통신망(14)에 구현되는 프로토콜(Protocol)은 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard, 이하 'SECS'라 함)라고 하는 것으로서 장비와 호스트(16)와 교신하기 위한 세부적인 언어를 정의하고 있다.
그런데, 작업이 진행될 때마다 SECS를 통해 감당할 수 있는 데이터 양에 한계가 있었고, 공정데이터나 계측데이터의 용량이 커서 통신망(14)을 통해 데이터를 전송하는 데에 시간이 많이 소요되었으며, 통신망(14)에 접속되어 사용가능한 지역이 한정됨으로써 원거리에서 데이터를 조회하거나, 데이터를 전송할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서 통신망에 접속된 컴퓨터에 의해 원거리에서도 공정설비 또는 계측설비 등의 데이터를 확인하고, 그들의 동작을 제어할 수 있도록 하는 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템을 제공하는 데 있다.
도1은 종래의 반도체 장치 제조설비의 데이터 전송시스템을 나타내는 도면이다.
도2는 본 발명에 따른 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템의 실시예를 나타내는 도면이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10, 20 : 공정설비 12, 22 : 계측설비
14, 24, 26 : 통신망 16, 28, 30 : 호스트컴퓨터
18, 32 : 클라이언트컴퓨터
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템은, 공정설비와 계측설비가 제 1 통신망에 접속되어 있고, 상기 제 1 통신망에 접속된 제 1 호스트컴퓨터 및 클라이언트컴퓨터가 접속되어 상기 공정설비 및 상기 계측설비로부터 상기 클라이언트컴퓨터로 데이터 전송이 이루어지는 반도체 장치 제조용 데이터 전송시스템에 있어서, 상기 제 1 통신망과는 별도로 상기 공정설비와 계측설비가 제 2 통신망에도 접속되고, 상기 제 2 통신망에 접속된 제 2 호스트컴퓨터로 데이터전송이 이루어지며, 상기 제 2 통신망에 접속되는 상기 클라이언트컴퓨터가 상기 공정설비 및 계측설비를 전송되는 데이터를 참조하여 그 동작을 제어하도록 이루어진다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도2에 의하면, 공정설비(20)와 계측설비(22) 각각은 통신망(24)과 통신망(26)에 모두 접속되어 있고, 통신망(24)에는 SECS호스트(28)가, 통신망(26)에는 랜호스트(30)가 각각 접속되어 있다. 그리고, 통신망(24, 26)에 공통으로 컴퓨터(32)가 접속되어 이루어진다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는, 공정설비(20)로부터 통신망(24)을 통해 입력되는 공정관련 데이터와, 계측설비(22)로부터 통신망(24)을 통해 입력되는 계측관련 데이터가 SECS호스트(28)에 전송되면, 컴퓨터(32)에서는 통신망(24)에 접속하여 각각의 데이터를 요구하여 전송받는다. 또한, 전송된 데이터들을 참조하여 정상적인 동작여부를 사용자는 판단하고, 정상적인 동작으로 판단되면 현재의 동작상태를 유지하도록 한다. 또한 비정상적이거나 변경하여야 하는 경우가 발생하면 랜호스트(30)를 공유하고 있는 통신망(26)을 통해 프로그램변경 또는 동작제어하는 제어신호를 전송하여 공정설비(20) 또는 계측설비(22)가 정상적인 동작을 수행하도록 제어한다.
통신망(24)을 통해서 전송되는 데이터의 양이 많음으로 데이터 전송외에 기타 신호가 전송되면 전송속도는 물론 전송신호가 왜곡될 수 있으므로 통신망(24)은 데이터 전송전용으로 사용한다.
그리고, 통신망(26)을 통해 공정설비(20) 또는 계측설비(22)를 제어하는 제어신호를 실어줌으로써 신호의 왜곡발생을 방지하고, 원거리에서도 설비들을 제어하는 제어전용으로 사용할 수 있다.
따라서, 전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면, 데이터 전송과 제어신호 전송이 서로 다른 통신망을 통해 전송됨으로써 안정적인 설비관리가 이루어지는 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 서로 다른 통신망으로 접속된 컴퓨터에 의해 원거리에서도 공정설비 또는 계측설비 등의 데이터를 확인하고, 그들의 동작을 제어할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (1)
- 공정설비와 계측설비가 제 1 통신망에 접속되어 있고, 상기 제 1 통신망에 접속된 제 1 호스트컴퓨터 및 클라이언트컴퓨터가 접속되어 상기 공정설비 및 상기 계측설비로부터 상기 클라이언트컴퓨터로 데이터 전송이 이루어지는 반도체 장치 제조시스템에 있어서,상기 제 1 통신망과는 별도로 상기 공정설비와 계측설비가 제 2 통신망에도 접속되고, 상기 제 2 통신망에 접속된 제 2 호스트컴퓨터로 데이터전송이 이루어지며, 상기 제 2 통신망에 접속되는 상기 클라이언트컴퓨터가 상기 공정설비 및 계측설비를 전송되는 데이터를 참조하여 그 동작을 제어하도록 이루어짐을 특징으로 하는 통신망을 통한 반도체 장치 제조설비 제어시스템.
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- 1998-08-25 KR KR1019980034493A patent/KR20000014875A/ko not_active Application Discontinuation
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