KR20000014841A - 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치 - Google Patents

오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치 Download PDF

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Abstract

탭 테이프가 그 내부를 통과하도록 입구와 출구를 가지는 케이싱; 및 케이싱의 내부를 통과하는 탭 테이프의 상하면에 각각 부착된 이물질을 제거하기 위한 한 쌍의 브러시를 포함하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치가 개시되어 있다. 개시된 탭 테이프 청소 장치는 브러시의 마모로 인하여 탭 테이프에 부착된 이물질을 제거하기 위한 수단을 더 포함한다. 이물질 제거 수단은 탭 테이프의 상면 및 하면으로 각각 공기를 분사하기 위한 한 쌍의 노즐을 가지는 공기 분사 장치이다. 이와 같이 되어, 한 쌍의 브러시에 의해 탭 테이프의 상면 및 하면에 부착된 이물질이 모두 제거될 수 있으며, 이물질 제거 수단은 브러시의 마모로 인한 이물질을 탭 테이프로부터 2차적으로 제거한다.

Description

오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치
본 발명은 액정 패널에 탭(TAB)형 반도체 패키지(이하 탭이라 약칭)를 부착하기 위한 OLB(outer lead bonding) 장비의 탭 테이프 공급 장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 탭 테이프에 부착된 이물질을 청소하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 패널에 탭을 부착하는 OLB 장비에서, 탭은 테이프의 형태로 공급되어 일정한 크기로 타발된다.
도 1은 이러한 탭 테이프에서 탭을 타발해내기 위한 탭 테이프 공급 장치의 일 예를 보인 것이다.
도시된 바와 같이, 탭 테이프 공급 장치는 공급 릴(11)과, 회수 릴(12), 스페이서 릴(13), 금형(14), 이송부(15), 및 청소용 브러시(16)를 포함하고 있다.
탭 테이프(T)는 공급 릴(11)에 감겨져 있으며, 이송부(15)에 의해 일정 양씩 금형(14)으로 이송된다. 금형(14)은 이송된 탭 테이프(T)를 일정한 크기로 타발한다. 회수 릴(12)은 금형(14)에서 타발 완료된 탭 테이프(T)를 회수하며, 스페이서 릴(13)은 이송부(15)에 의해 이송되는 양만큼의 스페이서(S ; 공급 릴에 감긴 탭 테이프가 서로 접촉되어 파손되는 것을 방지하기 위해 탭 테이프 사이에 함께 감긴 보호용 테이프)를 회수한다.
그리고, 청소용 브러시(16 ; 도 2 참조)는 공급 릴(11)과 이송부(15) 사이에 설치되어 있으며, 그 끝단이 이송부(15)에 의해 이송되는 탭 테이프(T)의 하면에 접촉되어 있다. 따라서, 탭 테이프(T)가 이송부(15)에 의해 이송될 때 탭 테이프(T)의 하면에 부착된 이물질은 청소용 브러시(16)에 의해 제거된다. 참고로 도면에서 미설명 부호 17은 탭 테이프의 이송을 안내하는 가이드이고, 18은 탭 테이프 공급 장치를 구성하는 각 구성 부품들이 설치되는 프레임이다.
그러나, 종래에는 청소용 브러시가 탭 테이프의 하면 만을 청소하게 되므로 탭 테이프의 상면에 부착된 이물질의 제거가 불가능한 단점이 있었다. 더욱이 청소용 브러시를 장기간 사용하게 되면 브러시가 마모되어 마모된 브러시의 이물질이 탭 테이프의 하면에 부착되는 바, 이를 해소할 대책이 없다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 탭 테이프의 상하면을 모두 청소할 수 있는 탭 테이프 청소 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 브러시의 마모에 의해 브러시의 이물질이 탭 테이프에 부착되는 것을 방지할 수 있는 탭 테이프 청소 장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
도 1은 일반적인 탭 테이프 공급 장치의 구성을 보인 도면.
도 2는 도 1에 도시된 탭 테이프 공급 장치에서 청소용 브러시를 보다 상세하게 도시한 측면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치가 설치된 탭 테이프 공급 장치를 보인 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치를 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치의 케이싱을 도시한 측면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
20 ; 탭 테이프 청소 장치 21 ; 케이싱
21a ; 입구 21b ; 출구
21c ; 배기구 22 ; 브러시
24 ; 안내관 25 ; 분사 노즐
T ; 탭 테이프
상기와 같은 목적은, 탭 테이프가 그 내부를 통과하도록 입구와 출구를 가지는 케이싱; 및 케이싱의 내부를 통과하는 탭 테이프의 상하면에 각각 부착된 이물질을 제거하기 위한 한 쌍의 브러시를 포함하는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치에 의해 달성된다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 브러시의 마모로 인하여 탭 테이프에 부착된 이물질을 제거하기 위한 수단을 더 포함하는 것에 의해 달성된다. 이물질 제거 수단은 탭 테이프의 상면 및 하면으로 각각 공기를 분사하기 위한 한 쌍의 노즐을 가지는 공기 분사 장치이다. 공기 분사 장치는 탭 테이프에 부착된 이물질의 제거가 보다 용이하도록 공기를 이온화시키기 위한 이오나이저를 가지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 탭 테이프로부터 제거된 이물질을 케이싱의 외부로 배출하기 위한 수단을 더 포함하며, 이 배출 수단은 케이싱에 형성된 배기구를 통해 케이싱 내부의 공기를 외부로 강제 배출하는 배기 펌프이다.
한편, 케이싱은 이송부와 금형 사이에 설치되는 것이 바람직하다.
이와 같이 된 본 발명에 따르면, 한 쌍의 브러시에 의해 탭 테이프의 상면 및 하면에 부착된 이물질을 모두 제거할 수 있으며, 이물질 제거 수단은 탭 테이프에 부착된 이물질을 2차적으로 제거하게 된다. 이때, 이물질 제거 수단에 의해 주로 제거되는 이물질은 브러시의 마모로 인한 이물질이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 청소 장치가 설치된 탭 테이프 공급 장치를 보인 도면이다. 도시된 바와 같이 탭 테이프 공급 장치 자체는 앞서 설명한 종래의 탭 테이프 공급 장치와 동일하므로, 다시 설명하지는 않으며, 동일 한 구성 부분에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치(20)는 탭 테이프(T)를 이송하는 이송부(15)와 탭 테이프(T)를 일정한 크기로 타발하는 금형(14) 사이에 설치되어 있다. 이와 같이 탭 테이프 청소 장치(20)가 이송부(15)와 금형(14) 사이에 설치되어 있으므로, 탭 테이프(T)는 청소가 완료된 다음 바로 금형(14)으로 이송된다. 따라서, 청소 장치(20)로부터 금형(14)으로 이동되는 동안 상부로부터 떨어지는 이물질이 탭 테이프(T)에 부착될 가능성이 최소화될 수 있다.
도 4에는 본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치(20)가 단면도로서 보다 상세하게 도시되어 있다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치(20)는 케이싱(21), 브러시(22), 이물질 제거부, 및 배기부를 포함한다.
케이싱21은 탭 테이프(T)가 그 내부를 관통하도록 입구(21a)와 출구(21b)를 가지며, 그 하면에는 배기구(21c)가 형성되어 있다. 부호 23은 케이싱(21)이 탭 테이프(T)와 동일한 높이에 위치되도록 지지하기 위한 다리이다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이 케이싱(21)은 상부 부재(21d) 및 하부 부재(21f)가 입구(21a) 및 출구(21b)와 동일한 높이를 기준으로 하여 서로 힌지 결합된 구성을 가진다.
브러시(22)는 탭 테이프(T)에 부착된 이물질을 제거하기 위한 것으로, 케이싱(21) 내부의 입구(21a)측 상하면에 각각 한 개씩 설치되어 있다.
이물질 제거부는 외부의 공기를 흡입하는 흡기 펌프(미도시)와, 이 흡기 펌프에 의해 흡입된 공기를 케이싱(21) 내부로 분사하기 위한 분사 노즐(25)을 가진다. 흡기 펌프에 의해 흡입된 공기를 노즐까지 안내하기 위한 안내관(24)은 중간에서 둘로 나뉘어 케이싱(21)의 출구(21b)측 벽의 상측 및 하측에 형성된 홈에 각각 끼워진다. 그리고, 분사 노즐(25)은 안내관(24)의 끝단과 케이싱(21)의 내부를 소통시키는 관통공의 형태로 케이싱(21)의 벽에 형성되어 있다. 또한, 분사 노즐(25)은 공기가 탭 테이프(T)의 상면 및 하면으로 분사되도록 형성되어 있다. 바람직하게는 흡기 펌프와 안내관(24) 사이에는 공기를 이온화시키는 이오나이저(미도시)가 설치된다.
한편, 도면상에 도시되어 있지는 않으나, 배기부는 케이싱(21)의 배기공(21c)과 연결된 배기 펌프를 가지며, 케이싱(21) 내부의 공기를 외부로 배출함으로써, 케이싱(21) 내부의 공기 중을 부유하는 이물질을 케이싱(21)의 외부로 배출한다.
이러한 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 탭 테이프 청소 장치의 작용은 다음과 같다.
이송부(15)에 의해 금형(14)으로 이송되는 탭 테이프(T)는 케이싱(21)을 관통하게 된다.
케이싱(21) 내부의 입구(21a) 근처에 설치된 한 쌍의 브러시(22)는 케이싱(21)의 입구(21a)를 통해 케이싱(21) 내부로 들어오는 탭 테이프(T)의 상하면에 각각 접촉되어 탭 테이프(T)의 상하면에 각각 부착된 이물질들을 쓸어낸다.
이물질 제거부는 흡기 펌프를 통해 흡입된 공기를 분사 노즐(25)을 통해 탭 테이프(T)의 상하면으로 각각 분사하는 것에 의해 탭 테이프(T)의 상하면에 부착된 이물질을 2차로 제거한다. 이때는 주로 브러시(22)의 마모로 인한 이물질이 제거된다. 여기서, 흡기 펌프와 안내관(24) 사이에 이오나이저가 설치된 경우에는 분사 노즐(25)을 통해 분사되는 공기가 이온화되어 있으므로, 탭 테이프(T)에 부착된 이물질이 보다 용이하게 제거될 수 있다.
상기와 같이, 브러시(22) 및 이물질 제거부에 의해 탭 테이프(T)로부터 제거된 이물질은 케이싱(21)의 내부의 공기 중에서 부유하게 된다. 이 경우, 이들 이물질이 탭 테이프(T)에 다시 부착될 우려가 있다.
이를 방지하기 위하여 케이싱(21)의 배기구(21c)와 연결된 배기 펌프가 작동되어 케이싱(21) 내부의 공기를 케이싱(21)의 외부로 배출한다. 이에 따라, 케이싱(21) 내부의 공기 중에 부유하는 이물질은 공기와 함께 외부로 배출된다.
이러한 과정을 거쳐 탭 테이프에 대한 청소, 즉 이물질 제거 작업이 완료된다.
상기된 바와 같은 본 발명은, 한 쌍의 브러시가 탭 테이프의 상, 하면에 각각 접촉되어 있으므로 탭 테이프의 상, 하면에 부착된 이물질을 모두 제거할 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명은 공기를 분사하는 이물질 제거부를 통해 2차로 이물질을 제거하게 되므로, 브러시의 마모로 인하여 브러시의 이물질이 탭 테이프에 부착되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이상에서는 본 발명의 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능할 것이다.

Claims (7)

  1. 탭 테이프가 그 내부를 통과하도록 입구와 출구를 가지는 케이싱; 및
    상기 케이싱의 내부를 통과하는 탭 테이프의 상하면에 각각 부착된 이물질을 제거하기 위한 한 쌍의 브러시를 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 브러시의 마모로 인하여 상기 탭 테이프에 부착된 이물질을 제거하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소기.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 이물질 제거 수단은 상기 탭 테이프의 상면 및 하면으로 각각 공기를 분사하기 위한 한 쌍의 노즐을 가지는 공기 분사 장치인 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 공기 분사 장치는 탭 테이프에 부착된 이물질의 제거가 보다 용이하도록 공기를 이온화시키기 위한 이오나이저를 가지는 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 탭 테이프로부터 제거된 이물질을 상기 케이싱의 외부로 배출하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 배출 수단은 상기 케이싱에 형성된 배기구를 통해 상기 케이싱 내부의 공기를 외부로 강제 배출하는 배기 펌프인 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 케이싱은 이송부와 금형 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 오엘비 장비용 탭 테이프 공급 장치의 탭 테이프 청소 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0547853A (ja) * 1991-08-07 1993-02-26 Nec Ibaraki Ltd Ｔａｂテープ
KR100200351B1 (ko) * 1995-12-28 1999-06-15 윤종용 티시피가 부착되어 있는 탭 아이시 실장 구조
KR970048851A (ko) * 1995-12-30 1997-07-29 김광호 액정 표시 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8657702B2 (en) 2008-12-18 2014-02-25 Robert Boyd Golf clubs and golf club heads having interchangeable rear body members

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