KR20000014382U - 웨이퍼 세정설비용 배기관 개폐장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 세정설비에서 발생되는 가스를 배기시키는 배기관에 설치되어 웨이퍼를 세정하는 각 공정의 세정효과를 극대화 시키기 위하여 상기 배기관을 통하여 배기되는 가스의 양을 정확하게 조절할 수 있는 웨이퍼 세정설비용 배기관 개폐장치에 관한 것으로서, 약액이 담겨진 세정조의 내부에 웨이퍼가 안착되는 고정부재가 구비되며 상기 세정조의 상부 일측에는 가스를 배기시키는 배기관이 설치된 웨이퍼 세정설비의 배기관 일측에 설치되어 가스의 배기량을 조절하기 위하여 레버에 의해서 연동되면서 배기관의 내부를 개폐시키는 배기관 개폐장치에 있어서, 상기 배기관에 내장된 댐퍼에 설치되어 이를 회전시키는 레버의 상부에 절결홈을 형성하고 이의 내부에 삽입되며 힌지를 중심으로 회전가능하게 설치된 고정핀과, 상기 고정핀의 끝단이 선택적을 삽입되어 레버의 회전을 방지하도록 커버에 설치되며 외측 둘레면에는 다수의 삽입홈이 구비된 고정플레이트로 이루어진 것이다.

Description

웨이퍼 세정설비용 배기관 개폐장치

본 고안은 웨이퍼 세정설비에서 발생되는 가스를 배기시키는 배기관에 설치되어 웨이퍼를 세정하는 각 공정의 세정효과를 극대화 시키기 위하여 상기 배기관을 통하여 배기되는 가스의 양을 정확하게 조절할 수 있는 웨이퍼 세정설비용 배기관 개폐장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼를 제조할 때에는 그 표면에 도포(산화막, 감광막등), 노광, 에칭등의 공정을 반복하고 있으며 이러한 공정을 마친 웨이퍼의 표면에는 미세한 이물질이 부착되므로 이러한 이물질을 제저하기 위해서는 세정설비로 세정을 하고 있다.

상기 세정설비에서 웨이퍼를 세정할 때에는 세정부의 분위기를 일정하게 유지하여야 하며 이를 위해서 웨이퍼를 세정하는 약액에서 발생하는 가스를 외부로 배기키고 있으며 배기관의 개폐정도를 일정하게 유지할 수 있는 장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.

종래에는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와같이 세정설비 본체(A)의 내부에 웨이퍼(W)의 표면에 부착된 이물질을 세정하는 세정부(C)가 다수개 설치되어 있고 상기 각 세정부(C)에는 웨이퍼(W) 세정용 약액이 담겨지는 세정조(1)가 설치되어 있으며 이의 하부 또는 측면에는 상기 약액을 가열하기 위한 히터(2)가 설치되어 있다.

한편 상기 세정조(1)의 내부에는 세정하기위한 웨이퍼(W)가 안착되는 고정부재(3)가 설치되어 있으며 세정조(1)의 상부 일측에는 웨이퍼(W)를 세정하는 약액에서 발생되는 가스를 외부로 배출시키기 위한 배기관(4)이 설치되어 있다.

또한 상기 배기관(4)의 끝단에는 배기되는 가스의 양을 조절하기 위한 댐퍼(5)가 회전축(6)를 중심으로 회전가능하게 삽입되어 있고 상기 회전축(6)이 삽입된 배기관(4)의 외측에는 기밀을 유지하기 위한 오링(7)이 삽입된 커버(8)가 설치되어 있으며 상기 회전축(6)의 끝단에는 댐퍼(5)를 회전시키기 위한 레버(9)가 결합되어 있다.

따라서 세정부(C)하부에 설치된 히터(2)를 작동시켜 세정조(1)에 담겨진 약액을 가열하고 상기 세정조(1)의 내부에 설치된 고정부재(3)에 웨이퍼(W)를 안착시키면 웨이퍼(W)에 부착된 이물질을 세정한다.

이와같이 웨이퍼(W)를 세정할 때에는 가열된 약액에서 가스가 발생하게 되며 이러한 가스가 세정부(C)의 내부에 존재하게 되면 웨이퍼(W)의 세정효과를 저하시키게 되므로 웨이퍼(W)의 세정효과를 극대화 시키기 위해서는 상기 세정부(C) 내부의 분위기를 일정하게 유지시켜야 한다.

따라서 상기 가스는 세정조(1)의 상부 일측에 설치된 배기관(4)을 통하여 배기 시키고 있으며 이때에는 레버(9)를 회전시키면 상기 배기관(4)의 내부에 설치된 댐퍼(5)가 회전하게 되므로 배기관(4)의 내부가 개폐되어 배기되는 가스의 양을 조절하게 된다.

그러나 종래의 배기관 개폐장치는 배기관(4)을 개폐시키는 댐퍼(5)를 고정시키는 별도의 수단이 구비되어 있지 않음으로 인해서 장시간 사용으로 인하여 커버(8)의 내부에 설치된 오링(7)이 부식되거나 탄성력이 약화되면 댐퍼(5)는 배기되는 가스에 의해서 회전하게 되어 배기관(4)의 개폐정도가 변하게 되므로 세정부(C) 내부의 분위기를 일정하게 유지하지 못하게 되어 웨이퍼(W)의 세정효과가 저하되는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 고안한 것으로서, 가스의 배기량을 조절하기 위해서 배기관에 설치된 댐퍼를 회전시키는 레버에 고정핀을 설치하여 초기에 설정된 배기관의 개폐정도를 일정하게 유지하여 웨이퍼의 세정효과를 극대화 시킬수 있는 웨이펴 세정설비용 배기관 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 약액이 담겨진 세정조의 상부에 웨이퍼가 안착되는 고정부재가 구비되며 상기 세정조의 상부 일측에는 가스를 배기시키는 배기관이 설치된 웨이퍼 세정설비의 배기관 일측에 설치되어 가스의 배기량을 조절하기 위하여 레버에 의해서 연동되면서 배기관의 내부를 개폐시키는 배기관 개폐장치에 있어서, 상기 배기관에 내장된 댐퍼에 설치되어 이를 회전시키는 레버의 상부에 절결홈을 형성하고 이의 내부에 삽입되며 힌지를 중심으로 회전가능하게 설치된 고정핀과, 상기 고정핀의 끝단이 선택적을 삽입되어 레버의 회전을 방지하도록 커버에 설치되며 외측 둘레면에는 다수의 삽입홈이 구비된 고정플레이트로 이루어진 것이다.

도 1은 일반적인 웨이퍼 세정설치를 도시한 정면도,

도 2는 도 1의 A - A선 단면도,

도 3은 종래의 배기관 개폐장치를 도시한 사시도,

도 4는 종래의 배기관 개폐장치를 도시한 단면도,

도 5는 본 고안에 따른 배기관 개폐장치를 도시한 사시도,

도 6은 본 고안에 따른 배기관 개폐장치를 도시한 단면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

W : 웨이퍼 1 : 세정조

3 : 고정부재 4 : 배기관

5 : 댐퍼 8 : 커버

10 : 레버 11 : 절결홈

20 : 고정핀 21 : 힌지

30 : 고정플레이트 31 : 삽입홈

이하 본 고안을 도시한 첨부도면 도 5 및 도 6을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 고안에 따른 배기관 개폐장치를 도시한 사시도이고, 도 6은 본 고안에 따른 배기관 개폐장치를 도시한 단면도로서, 종래와 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.

본 고안의 웨이퍼 세정설비용 배기관 개폐장치는 세정설비 본체(A)에 설치된 세정부(C)의 세정조(1)에 담겨진 약액이 가열되면서 발생되는 가스를 외부로 배기시키는 배기관(4)의 끝단에 설치되어 있다.

이러한 배기관 개폐장치는 배기관(4)의 내부에 회전축(6)을 중심으로 회전하면서 관로를 개폐시키는 댐퍼(5)가 설치되어 있고 상기 회전축(6)이 삽입된 배기관(4)의 외측에는 기밀을 유지하기 위한 오링(7)이 삽입된 커버(8)가 설치되어 있으며 상기 커버(8)에는 외측 둘레면에 다수의 삽입홈()이 구비된 고정플레이트()가 설치되어 있다.

한편 상기 회전축(6)의 끝단에는 댐퍼(5)를 회전시키기 위한 레버(10)가 결합되어 있고 상기 레버(10)에는 절결홈(11)이 형성되어 있으며 상기 절결홈(11)에는 고정플레이트(30)에 형성된 다수의 삽입홈(31)중 어느 한곳에 선택적으로 삽입되는 고정핀(20)이 힌지(21)를 중심으로 회전가능하게 설치되어 있다.

따라서 세정부(C) 하부에 설치된 히터(2)를 작동시켜 세정조(1)에 담겨진 약액을 가열하고 상기 세정조(1)의 내부에 설치된 고정부재(3)에 웨이퍼(W)를 안착시킨 후 상기 웨이퍼(W)가 세정조(1)에 담겨진 약액에 침수 되도하여 웨이퍼(W)에 부착된 이물질을 세정한다.

이와같이 웨이퍼(W)를 세정할 때에는 가열된 약액에서 가스가 발생하게 되며 이러한 가스가 세정부(C)의 내부 및 주변에 존재하게 되면 웨이퍼(W)의 세정효과를 저하시키게 되므로 웨이퍼(W)의 세정효과를 극대화 시키기 위해서는 상기 세정부(C) 내부의 분위기를 일정하게 유지시켜야 한다.

따라서 상기 가스는 세정조(1)의 상부 일측에 설치된 배기관(4)을 통하여 배기 시키고 있으며 세정조(1)내부의 분위기가 일정하게 유지될수 있도록 배기관(4)을 통하여 배기되는 가스의 양에 따라 댐퍼(5)를 개방시키기 위해서 레버(10)를 회전시킨다.

상기 레버(10)를 회전시킨후 레버(10)에 설치된 고정핀(20)을 배기관(4)측으로 밀면 상기 고정핀(20)은 힌지(21)를 중심으로 회전하게되고 이의 끝단은 커버(8)에 설치된 고정플레이트(30)의 외측 둘레면에 형성된 다수의 삽입홈(31)중 어느 한곳에 삽입된다.

이와같이 고정핀(20)이 삽입되면 레버(10)의 회전이 방지되므로 장시간 사용으로 인한 오링(7)의 부식이나 탄성력이 변화 하여도 댐퍼(5)는 유동되지 않게 되어 배기되는 가스의 양을 일정하게 유지할 수 있게 되므로 웨이퍼(W)의 세정효과를 극대화 시킬수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 고안은 웨이퍼를 세정하는 세정설비의 세정부에 발생하는 가스가 배기되는 배기관을 개폐시키는 댐퍼를 회전시키는 레버가 고정핀에 의해서 고정되어 댐퍼의 유동이 방지되고 이에 따라서 일정량의 배기가스가 배기되어 세정부의 분위기를 일정하게 유지하게 되므로 웨이퍼의 세정효과를 극대화시켜 세정불량에 의한 불량을 최소화 할 수 있는 매우 유용한 고안이다.

Claims (1)

1. 약액이 담겨진 세정조(1)의 내부에 웨이퍼(W)가 안착되는 고정부재(3)가 구비되며 상기 세정조(1)의 상부 일측에는 가스를 배기시키는 배기관(4)이 설치된 웨이퍼 세정설비의 배기관(4) 일측에 설치되어 가스의 배기량을 조절하기 위하여 레버에 의해서 연동되면서 배기관(4)의 내부를 개폐시키는 배기관 개폐장치에 있어서, 상기 배기관(4)에 내장된 댐퍼(5)에 설치되어 이를 회전시키는 레버(10)의 상부에 절결홈(11)을 형성하고 이의 내부에 삽입되며 힌지(21)를 중심으로 회전가능하게 설치된 고정핀(20)과, 상기 고정핀(20)이 선택적을 삽입되어 레버(10)의 회전을 방지하도록 커버(8)에 설치되며 외측 둘레면에는 다수의 삽입홈(31)이 구비된 고정플레이트(30)로 이루어진 구성을 특징으로하는 웨이퍼 세정설비용 배기관 개폐장치.