KR20000011683A

KR20000011683A - 진공장치

Info

Publication number: KR20000011683A
Application number: KR1019990028219A
Authority: KR
Inventors: 오카다다카시; 노나카마나부; 가바사와다카시
Original assignee: 다카키도시요시; 세이코세이키 가부시키가이샤
Priority date: 1998-07-13
Filing date: 1999-07-13
Publication date: 2000-02-25
Also published as: EP0972561A2; JP2000024483A; EP0972561A3

Abstract

본 발명의 진공장치는, 처리실 내부의 스테이지 주변에서 압력분포의 불균일을 제거할 수 있는 새로운 구조를 가지는 진공장치이다. 이 진공장치는 처리실(10)의 바닥면 구석 각각에 배치된 배출구(14)들과, 이 배출구(14)들 각각의 주변에 배치된 압력게이지를 포함한다. 이 각각의 배출구(14)는 컨덕턴스 가변형 밸브(19)(이하, 간단히 "밸브"라 한다)를 통해 지관(17)과 연통되며, 이 지관(17)의 끝에는 터보분자펌프(15)가 설치되어 연통된다. 각각의 압력 게이지(16)로부터 출력된 압력값을 나타내는 신호는 제어유닛에서 각각의 압력 게이지(16)의 목표값과 비교되어, 목표값들 사이의 차이값이 대응하는 제어신호로서 밸브구동모터로 출력된다. 이 제어신호에 기초하여, 밸브(19)가 개폐되어 배출구(14)로부터 배출될 가스의 양이 조정되도록 제어된다. 그 결과, 처리실(10) 내부의 스테이지 주변에서 압력분포의 불균일이 제거된다.

Description

진공장치{vacuum apparatus}

본 발명은, 예를 들면, 드라이 에칭, CVD, 스퍼터링, 이온 주입 등에 사용되는 진공장치에 관한 것이며, 특히, 처리실 내부에서의 압력분포에 대한 불균일을 제거할 수 있는 진공장치에 관한 것이다.

반도체 제조장비 또는 액정제조장비에서 드라이 에칭, CVD, 스퍼터링, 이온 주입 등을 수행하는 경우에, 처리실 내부의 처리가스를 배기시켜 진공처리를 수행하는 데는 터보분자펌프(turbomolecular pump) 등의 진공펌프가 사용된다.

도 6은 종래에 사용되던 진공장치의 일 예를 도시한 것이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 종래의 진공장치에서는 시료(11) 등이 놓이는 스테이지(12)가 처리실(수용실: 10) 내부에 제공된다. 또한 처리실(10)의 외부에는 스테이지(12)의 아래쪽으로부터 스테이지(12)를 회전시키거나 또는 다른 기능을 수행하도록 하는 구동 메커니즘(13)이 제공된다. 처리실의 하면(또는 측면)에는 배출구(14)가 제공되어 처리실(10) 내부에 존재하는 가스를 배출하도록 하며, 터보분자펌프(15)는 처리실(10)의 외부로부터 배출구(14) 부분에 제공된다.

그러나, 처리실(10) 내부의 압력에 대한 조정은 배출구(14)로부터의 배기가스에 의해 수행된다. 따라서, 배출구(14)로부터의 거리 등에 따라 처리실(10) 내부에 압력분포의 불균일성이 발생될 수 있다. 더구나, 시료(11)가 어느 정도의 면적을 가진다면, 터보분자펌프(15) 측에 가까운 쪽(A)에서의 압력은 낮아지며, 반면 터보분자펌프(15)로부터 먼 쪽(B)의 압력은 높아진다. 그러므로, 시료(11)의 주변에서 압력분포가 불균일해지는 문제가 발생하며, 그 결과 시료(11)에 대한 제조조건, 반응조건 및 측정조건 등의 다양한 조건이 균일하지 않게 된다. 특히, 최근에는 반도체를 제조하는 공정에서 시료(11)로서 스테이지(12) 위의 놓여지는 웨이퍼의 직경이 점차 증가하는 경향이므로, 이 경우, 웨이퍼 주위에서 발생하는 압력차이를 피할 수 없어, 균일한 제품을 제조하는 데도 방해가 된다.

처리실(10) 내부에서의 압력을 균일하게 하려는 시도로서, 다음의 구조를 가지는 진공장치가 제안되었다.

그 예로서, 도 7에 도시한 바와 같이, 처리실(10) 내부에 스테이지를 둘레에 다수의 배출구(14: 도면 내의 4개의 구멍)를 동일한 간격으로 배치한 경우를 들 수 있다. 각각의 배출구(14)는 지관(17: branch pipe)을 통해 단일의 터보분자펌프(15)에 접속되어 있다. 배관상태를 설명하기 위해 도 7에서는 도시를 생략하였지만, 스테이지(12)는 각 배출구(14)들의 중앙위치에 배치되며, 스테이지(12)를 회전시키기 위한 구동메커니즘(13)은 지관(17)들로 둘러싸인 중앙위치에 배치된다.

이 방법에서는 시료(11)의 둘레에 동일한 간격으로 배출구(14)를 제공함으로써, 시료(11) 둘레의 압력은 균일하게 된다.

또한, 도 8에 도시한 바와 같이, 진공장치는, 처리실(10) 내부의 스테이지 둘레에 동일 간격으로 다수의 배출구(14)가 제공되고(도면의 4개의 구멍), 터보분자펌프(15)가 각각의 배출구(14)에 제공되도록 구성할 수 있다. 또한 터보분자펌프(15)들이 대칭이 되도록 지관(17)을 구성한 진공장치도 있다.

이러한 구성의 진공장치에 따르면, 터보분자펌프(15)들에 의해서, 시료(11)둘레에 균일하게 배치된 다수의 배출구(14)들을 통해 배기 작동이 수행되기 때문에, 압력분포가 불균일하게 되는 현상을 제거할 수 있다.

또한, 다른 진공장치로서, 도 10에 도시한 바와 같이, 처리실(10) 내부의 스테이지(12)와 배출구(14)의 사이에 컨덕턴스 조정판(18: conductance adjustment plate)이 배치된 경우도 있다.

이 진공장치에는 단일의 배출구(14)가 배치된다. 그러나, 컨덕턴스 조정판(18)이 배출 기류에 대한 저항판으로서 기능하기 때문에, 처리실(10) 내부에서 압력분포에 대한 불균일성을 제한할 수 있다.

그러나, 도 7에 도시한 진공장치에서는 구동 메커니즘이 처리실(10)의 하부 중앙에 제공되기 때문에 터보분자펌프(15)는 구동 메커니즘과 떨어지도록 배치되어야 한다. 따라서, 지관(17) 또한, 장애물인 구동 메커니즘을 피하면서 터보분자펌프(15)와 연통되도록 하여야 한다. 이러한 구성에서는, 배관문제 때문에 각 배출구(14)에서 컨덕턴스(배출 저항)가 불규칙하게 변동하게 되어, 배출구(14)들로부터의 공기흡입력에 차이가 발생하게 된다. 또한, 단지 4개의 배출구(14)를 가진 경우에도, 여전히, 각각의 배출구(14)의의 주변과, 인접 배출구(14, 14)의 중간위치 사이에서 압력의 불균일을 발생시키게 된다. 이러한 이유로, 도 6에 도시된 진공장치에 비해 압력의 불균일은 비록 해소될 수 있으나, 압력차가 발생한다는 문제는 여전히 남는다. 또한, 지관(17)에서 배관막힘 현상이 일어나 배출구들 중 일부로부터 배출되는 가스의 양이 변화되면, 이러한 상태는 고칠 수 없게 되고, 그 결과 압력분포의 불균일 문제가 발생한다.

도 8에 도시된 진공장치의 경우에는, 터보분자펌프(15)가 각각의 배출구(14)에 대해 독립적으로 설치되기 때문에, 이 장치는 배관에 따른 컨덕턴스의 불균일 문제는 없다. 그러나, 도 7에 도시한 경우에서처럼, 4개의 배출구(14) 정도만으로 구성된 경우에, 각각의 배출구(14)의 주변과, 이웃하는 배출구(14, 14)의 중간 위치 사이에서 발생하는 압력의 불균일 문제는 여전히 남는다.

또한, 도 9에 도시된 경우에서도, 배출구의 수가 단지 4개 정도이고, 도 7 또는 도 8에 도시된 진공장치라면, 각각의 배출구(14)의 주변과 인접하는 배출구(14, 14)의 중간위치 사이에서 압력 불균일이 발생하는 문제는 여전히 남는다.

도 10에 도시된 진공장치의 경우에, 컨덕턴스 조정판(18)을 제공하는 것은 비용을 증가시키며, 압력분포의 불균일성을 효과적으로 제거하는 데는 불충분하다.

따라서, 본 발명의 목적은, 처리실 내부에서 스테이지의 주변에서 압력분포가 제거될 수 있는 새로운 구조의 진공장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공장치에서의 제어유닛을 도시한 블록도,

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 6은 종래의 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 7은 종래의 다른 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 8은 종래의 또 다른 진공장치를 도시한 개략적 사시도,

도 9는 종래의 또 다른 진공장치를 도시한 개략적 사시도, 그리고

도 10은 종래의 또 다른 진공장치를 도시한 개략적 사시도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10: 처리실(chamber) 11: 시료(sample)

12: 스테이지 13: 구동 메커니즘

14: 배출구 15: 터보분자펌프(turbomolecular pump)

16: 압력 게이지 17: 지관(branch pipe)

19: 컨덕턴스 가변형 밸브(conductance variable valve)

본 발명은 전술한 목적을 실현하기 위한 수단으로, 처리실, 상기 처리실 내부의 다수의 위치에서 압력을 측정하는 다수 개의 압력 게이지, 상기 처리실 내부에서 다수의 위치에 배치된 다수의 배출구, 상기 배출구로부터 상기 처리실 내부의 가스를 흡입하여 배출하는 적어도 하나의 펌프, 및 상기 압력 게이지들에 의해 검출된 압력분포에 기초하여, 상기 펌프에 의해 상기 각각의 배출구(14)로부터 배출되는 가스의 양을 조정하는 조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치를 제공한다.

이러한 본 발명의 진공장치를 제공함에 따라서, 처리실 내부의 압력분포의 인덱스로서의 처리실 내부의 다수 위치에서의 압력이 다수의 압력게이지로 측정되고, 이 측정결과에 기초하여 처리실 내부에서의 가스의 배출량이 캘리브레이트(calibrate) 된다. 따라서, 배관으로 인한 배기의 컨덕턴스 사이에서의 차이 또는 여러 장소들 사이에서의 차이에 관계없이 배기가스의 양은 캘리브레이트 될 수 있다.

그 결과, 처리실 내부에서의 스테이지의 주변에서 압력분포의 불균일성은 효과적이고도 적절하게 제거된다.

전술한 진공장치에서, 상기 적어도 하나의 배출구는 상기 압력 게이지들 각각의 측정위치와 대응하여 배치되며, 상기 배기가스의 양을 조정하는 조정수단은, 각각의 압력 게이지에 대응하여 상기 배출구의 적어도 하나에 대해 독립적으로 배기가스의 양에 대한 제어를 수행하도록 구성될 수 있다.

또한, 전술한 진공장치에서, 상기 배기가스의 양을 조정하는 조정수단은, 상기 배출구로부터 펌프로 배출되는 가스의 유속을 조정하도록 상기 배출구와 상기 펌프의 사이에 배치된 밸브와, 상기 압력분포에 기초하여 상기 밸브를 제어하도록 하는 밸브제어유닛을 포함하도록 구성될 수도 있다.

또한, 전술한 진공장치에서, 상기 적어도 하나의 펌프는 다수 개이며, 상기 배기가스의 양을 조정하기 위한 조정수단은 상기 다수의 펌프 각각에 대해 r.p.m.을 제어하도록 하는 펌프제어유닛을 포함하는 것으로 구성될 수도 있다.

이하, 첨부된 도면 도 1 및 도 2를 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.

본 발명의 이해를 돕고, 그 설명을 명료히 하기 위해서, 동일한 기능을 하는 동일한 부품의 경우에는, 본 발명의 명세서 전체에서 동일한 도면부호를 사용하였음을 알린다.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공장치의 구조를 도시하는 개략적인 사시도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 진공장치에서 시료(11) 등(도시 생략)이 놓이는 스테이지(12 : 도시 생략)는 사각형 모양을 가지는 처리실(10)의 바닥면 중앙에 설치된다. 스테이지(12)를 회전시키거나 스테이지(12)의 아래쪽으로부터 다른 기능을 수행하기 위한 구동장치(도시 생략)는, 처리실(10)의 바깥쪽에 배치된다.

이러한 구조는 전술한 종래의 진공장치의 그것과 동일하다.

4개의 배출구(14) 각각은 처리실의 각 구석측의 바닥면에 형성되며, 스테이지(12)로부터 동일한 간격을 가지도록 배치된다. 동일한 수(이 실시예에서는 4개)의 압력 게이지(16: 압력센서)가 스테이지(12) 위의 각각의 배출구(14:)에 대해 제공되어, 시료(11)의 주변에서 압력을 측정하도록 한다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에서 배출구(14) 및 압력게이지(16)는 시료와 접하는 동일 간격으로 원주를 따라 배치되고, 그리하여 시료 주변에서 균일한 압력분포를 생성할 수 있도록 하며, 또한 그 제어를 용이하게 실현할 수 있도록 한다.

배출구(14)들 각각은, 컨덕턴스 가변형 밸브(19: 이하 간단히 "밸브"라고 칭함)를 경유하여 지관(17)과 각각 연통된다. 터보분자펌프(15)는 지관(17)의 끝부분과 연통되어, 처리실(10) 내부의 처리가스 등의 가스가 흡입되고, 배출구(17)로부터 지관(17)으로 배출된다. 밸브(19)들은 밸브구동모터에 의해 개폐되어 배출구(14)를 통해 흡입되어 배출되는 가스의 유속이 조정될 수 있도록 한다. 스테이지(12)의 구동메커니즘(도시 생략)은 지관(17)에 의해 둘러싸인 중앙부에 배치된다.

압력 게이지로부터의 신호는 제어장치로 출력되고, 그리하여 이 신호에 기초하여 제어장치에 의해 밸브구동모터의 구동을 제어하도록 한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공장치에서 제어유닛을 도시한 블록도이다.

도 2에는, 비록 두 쌍의 압력 게이지(16)와 밸브(19)만을 도시하였지만, 실제의 실시모드에서는 4쌍의 압력 게이지(6) 및 밸브(19)가 제공되며, 또한 이들 각각에 대해서도 유사한 제어가 이루어진다는 것을 알아야 한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 측정된 압력값을 나타내는 신호는 각각의 압력 게이지로부터 제어유닛(21)으로 출력되도록 구성된다. 제어유닛(21)에서, 상기 각각의 측정값은 각각의 압력게이지에 대해 설정된 목표값과 비교되고, 이들 사이의 차이는 PID보상장치(22)로 출력된다. 목표값들 사이의 차이에 대응하는 값을 가지는 이 제어신호는 PID보상장치(22)로부터 출력되며, 증폭기(23)에서 증폭된 후 밸브구동모터(24)로 출력된다.

그 후, 밸브구동모터(24)는 입력신호에 기초하여 작동함으로써, 밸브(19)의 개폐동작을 수행한다. 이러한 배치에 따라, 압력 게이지들 중 하나의 주변에서 압력이 높은 경우에, 이와 관련된 밸브(19)의 열림 정도가 크게 되어, 배출구(14)로부터 배출된 가스의 양이 증가하도록 한다. 그 결과, 배출구(14) 주변에서의 압력은 낮아지게 된다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면, 처리실(10) 내부에서의 실제 압력분포가 처리실 내부의 다수 위치에서의 압력측정에 의해 검출된다. 그래서, 배출구(14)로부터 배출될 가스의 양이 상기 압력분포에 기초하여 캘리브레이트 된다. 따라서, 본 실시예에 따르면, 배출될 가스의 양은 배관에 따른 배출 컨덕턴스 사이에서의 차이 또는 그 위치들 사이의 차이에도 불구하고, 다수의 위치에서 독립적으로 캘리브레이트 된다. 그 결과, 처리실(10) 내부에서 압력분포를 적절하고도 효과적으로 정정할 수 있으며, 시료(11)의 주변에서 압력분포의 불균일성을 제거할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 압력게이지(16)가 시료의 주변에서의 압력을 검출하기 위해서 시료(11)의 주변에 제공되며, 배기가스의 양이 각각의 배출구(14)에 제공된 밸브(19)에 의해 독립적으로 제어된다. 그 결과, 지관(17)이 막히는 현상이 발생되더라도, 그 막힘 현상에 따라 배출구(14) 각각에 제공된 각각의 밸브가 개방됨으로써, 막힘현상에 대한 영향을 받지 않고 시료(11)의 주변에서 균일한 압력분포를 얻을 수 있다.

본 실시예에 따르면, 배출구(14)는 스테이지(12)의 주변에 동일한 간격으로 배치된다. 그 결과, 시료(11)의 주변에서 압력의 설정을 균일하게 할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 배출구(14)로부터 배출된 가스의 양이 제어되어 처리실의 압력분포를 제거할 수 있다. 그 결과, 처리실(10) 내부에서 압력 그 자체를 동시에 제어하는 것이 가능하다.

본 실시예에 따르면, 배출구(14)로부터 배출되는 가스의 양이 제어유닛(21)에 의해 설정된 목표값을 기초로 하여 가변된다. 그 결과, 제어유닛(21)에 설정되는 목표값을 가변시킴으로써, 스테이지 주변에서의 압력은 다양한 강도를 가지며 균일한 압력분포를 만들어 낼 수 있으며, 다른 다양한 소망하는 압력분포를 만들어 낼 수 있다.

본 발명에 따른 진공장치는 전술한 실시예에만 한정되는 것은 아니면, 다양한 개조가 적절히 행해질 수 있음을 알아야 한다.

예를 들면, 전술한 실시예에서는, 배출구(14)로부터 펌프(15)로 배출된 가스의 유속을 조정하도록, 배출구(14)와 펌프(15)의 사이에서 배기가스의 양을 조정하기 위한 수단으로 밸브(19)가 배치된다. 또한, 제어장치(21)는 전술한 압력게이지로부터 검출되어 송신된 압력분포에 기초하여 밸브(19)의 개폐동작을 제어한다. 그러나, 본 발명에 따른 진공장치에서는 이것에만 제한되지 않으며, 다수개의 펌프(15) 중 하나가 적어도 하나의 배출구(14)에 대응하여 제공되고, 펌프(15)로부터 배출될 가스의 양이 제어유닛(21)에 의해 제어되는 구조를 가질 수 있다. 펌프(15)로부터 배출될 가스의 양에 대한 제어는 예를 들면, 펌프의 r.p.m. 등을 변화시키거나, 또는 하나에서 다른 r.p.m.을 가지는 다른 하나로 바뀌는 것에 의해 수행될 수 있다.

그러므로 구성된 실시예 중 하나의 예가 도 3에 도시되었다. 도 3에 도시된 실시예에서, 펌프(15)는 배출구(14)의 각각과 개별적으로 연통되어 있다. 압력 게이지(16)에 의해 측정된 압력에 기초하는 출력은 전술한 실시예에서와 같이 목표값사이에서의 차이에 대응하여 제어신호로서 제어신호(21)로부터 출력되며, 각 펌프의 r.p.m.은 이 제어신호에 기초하여 제어된다. 이러한 배치를 함으로써, 압력 게이지(16) 주변에서의 압력이 높아지는 경우에, 배출구(14)를 통과하는 가스를 흡입하여 배출하는 펌프(15)의 r.p.m.은 증가하게 되고, 그리하여 배출구(14)로부터 배출된 가스의 양이 증가하게 된다. 그 결과, 배출구(14) 주변에서의 압력은 감소하게 된다. 또한, 압력 게이지(16)의 주변에서의 압력이 낮아지는 경우에, 대응하는 배출구(14)를 통과하는 가스를 흡입 및 배출하는 펌프의 r.p.m.은 감소하게 되고, 그래서 배출구(14)로부터 배출되는 가스의 양에서 감소가 이루어진다. 그 결과, 배출구(14)의 주변에서의 압력은 증가하게 된다.

도 3에 도시된 실시예에서, 전술한 실시예와 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 다수의 펌프(15)가 사용됨으로써, 각각의 펌프(15)는 작은 크기로 제조될 수 있다. 또한 관성이 매우 작은 수직으로 얇은 형태의 터보분자펌프를 제공함으로써, 양호한 r.p.m.응답을 얻게 되어 안정된 상태를 유지할 수 있고, 또한 압력분포상태가 없거나 또는 이상적인 압력분포상태를 유지할 수 있는 결과로서 압력분포의 불균일함을 빠르게 제어할 수 있다. 또한, 펌프는 프레임에 끼워지는 방법으로 제공될 수 있다.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 배출구(14)에 대해서 밸브(19) 및 펌프(15)의 두 가지가 모두 제공되어 배기가스의 양이 밸브(19)에 의해 또는 밸브(19)와 펌프(15)의 조합에 의해 제어되는 구조를 가질 수도 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 배출구(14)를 구성하는 두 개의 배출구(14) 중 어느 하나가 밸브를 가지도록 하고, 동일한 펌프가 한 쌍의 배출구(14) 각각으로부터 가스를 흡입하여 배출하는 구성을 채택할 수도 있다. 이 경우, 밸브(19)의 개폐작동만이 제어될 수 있거나, 또는 밸브(19)의 개폐작동 및 펌프(15)의 r.p.m. 모두가 제어될 수 있게 되더라도, 각각의 배출구(14)로부터 배출되는 가스의 양은 독립적으로 제어되므로 스테이지의 주변에서 압력분포의 불균일을 만족스럽게 제어할 수 있다.

모든 배출구(14)에 대해서 독립적으로 배기가스의 양을 제어하지 않고, 모든 다수의 배출구(14)에 대해서 하나의 밸브(19) 및/또는 하나의 연통되는 펌프(15)를 제공하게 됨으로써, 모든 다수의 배출구(14)에 대해 배기가스의 양을 높이거나 줄이도록 제어할 수 있는 구성을 채택하면서도 어느 정도 압력분포의 불균일성을 제거하거나 또는 소망하는 압력분포 상태를 얻을 수 있다.

전술한 실시예 및 도 3 내지 도 5에 도시한 각각의 수정예에서는, 비록 하나의 압력게이지(16)가 각각의 바닥면 구석에 배치되었지만, 즉, 전체 4개의 압력 게이지(16)가 4개의 구석에서 압력을 측정하도록 배치되었지만, 본 발명은 이러한 4개의 장소에 한정되는 것은 아니다. 그러나, 압력 게이지의 측정결과가 처리실(10) 내부에서 압력분포의 인덱스로서 사용되었기 때문에, 압력 게이지(16)의 수는 다수개 일 것이 요구된다. 또한 측정위치로는, 처리실(10)의 형상, 처리실(10)의 내부에 놓이는 부재의 개수 및 종류, 배출구(14)의 위치 등으로부터 판단하여 압력분포가 만족스럽게 채택될 수 있는 장소라면 바람직하다. 스테이지(12) 위에 놓이는 시료의 환경에서 압력분포를 정확하게 잡아내어 압력분포의 불균일성을 제거할 수 있도록 하기 위해서, 측정위치는 스테이지(12)의 주변이라면 족하다.

전술한 실시예 및 도 3 내지 도 5에 도시한 수정예에서, 비록 하나의 배출구(14)가 압력 게이지(16)의 각 측정위치에 대응하여 제공되고 있지만, 배출구(14)의 수는 항상 압력을 측정하기 위한 측정위치의 수와 동일하지 않을 수 있다. 그러나, 용이하고도 적절하게 각 배출구(14)에 대한 배기가스의 양을 조정하기 위해서는, 적어도 하나의 배출구(14)가 압력 게이지(16)의 각 측정위치로 배치되어, 배출구(14)의 주변에서 압력을 측정할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

전술한 실시예 및 도 3 내지 도 5에 도시한 수정예에서, 제어유닛(21)은 압력 게이지(16)(압력측정위치) 각각의 목표값을 설정하고, 이 목표값과 구해진 압력값 사이의 차이에 기초하여, 밸브(19)의 개폐정도, 펌프(15)의 r.p.m. 등을 제어하여 배기가스 양을 조정하도록 되어 있다. 그러나, 목표값은 얻어진 압력에 따라 설정될 수도 있다.

목표값은 다수 개의 압력 게이지(16)(예를 들면, 모든 2개의 압력 게이지)의 평균값으로 설정된다. 따라서, 조정은 각각의 다수의 배출구(14) 사이에서 각각의 배출구(14)로부터 배기될 가스의 양을 만드는 것일 수 있으며, 또한 다수의 압력 게이지(16)의 모든 측정범위에 대해서 압력을 만드는 것일 수도 있다.

또한, 처리실(10)의 사용 목적에 따라, 목표값이 사전에 설정되지 않고, 얻어진 압력의 최저값과 최고값 또는 모든 측정된 압력의 평균값이 목표값으로 설정되는 구성을 가질 수도 있다.

전술한 실시예 및 도 3 내지 도 5에 도시된 수정예에 대해서 사용될 수 있는 펌프로서는, 모멘트 전송형 진공펌프(momentum transfer-type vacuum pump) 및 부피 전송형 진공펌프(volume transfer-type vacuum pump)가 있다.

전술한 바와 같은, 본 발명의 진공장치에 의해서, 처리실 내부의 스테이지 주변에서 압력분포의 불균일 현상을 만족스럽게 제거할 수 있다.

Claims

처리실,

상기 처리실 내부의 다수의 위치에서 압력을 측정하는 다수 개의 압력 게이지,

상기 처리실 내부에서 다수의 위치에 배치된 다수의 배출구,

상기 배출구로부터 상기 처리실 내부의 가스를 흡입하여 배출하는 적어도 하나의 펌프: 및

상기 압력 게이지들에 의해 검출된 압력분포에 기초하여, 상기 펌프에 의해 상기 각각의 배출구(14)로부터 배출되는 가스의 양을 조정하는 조정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 배출구는 상기 압력 게이지들 각각의 측정위치와 대응하여 배치되며,

상기 배기가스의 양을 조정하는 조정수단은, 각각의 압력 게이지에 대응하여 상기 배출구의 적어도 하나에 대해 독립적으로 배기가스의 양에 대한 제어를 수행하는 것을 특징으로 하는 진공장치.
제1항에 있어서, 상기 배기가스의 양을 조정하는 조정수단은, 상기 배출구로부터 펌프로 배출되는 가스의 유속을 조정하도록 상기 배출구와 상기 펌프의 사이에 배치된 밸브와, 상기 압력분포에 기초하여 상기 밸브를 제어하도록 하는 밸브제어유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공장치.
제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 펌프는 다수 개이며, 상기 배기가스의 양을 조정하기 위한 조정수단은 상기 다수의 펌프 각각에 대해 r.p.m.을 제어하도록 하는 펌프제어유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공장치.